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白谷 正治(しらたに まさはる) データ更新日:2024.04.25

教授 /  システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 電子デバイス工学


総説, 論評, 解説, 書評, 報告書等
1. 白谷正治,古閑一憲,渡辺征夫, VHFプラズマCVDによる結晶シリコンナノ粒子の生成と膜への取り込み, 第30回アモルファス物質の物性と応用セミナーテキスト, 2003.12.
2. 白谷正治,古閑一憲,渡辺征夫, 高効率薄膜シリコン太陽電池のためのクラスタ制御プラズマCVD, 表面技術, 54 (12) (2003) 1-4, 2003.12.
3. 白谷正治, 大気圧・液中プラズマの基礎と先端技術への応用, 応用物理, 72 (2003) 773, 2003.06.
4. 白谷正治, プラズマを用いたナノ構造作製と制御, 応用物理, 72 (2003) 104, 2003.01.
5. 渡辺征夫,白谷正治,古閑一憲, 平成14年度新エネルギー・産業技術総合開発機構受託研究成果報告書, 2003.03.
6. 渡辺征夫,白谷正治,古閑一憲, 平成13年度新エネルギー・産業技術総合開発機構受託研究成果報告書, 2002.03.

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