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古閑 一憲(こが かずのり) データ更新日:2019.03.25



大学院(学府)担当

システム情報科学府 電子デバイス工学専攻 ナノ集積システム工学講座

学部担当



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FAX番号
092-802-3717
取得学位
博士(理学)
専門分野
プラズマ理工学
活動概要
1)研究活動概要

 半導体産業などの先端産業を支える基盤技術の中にプラズマプロセスがある.プラズマプロセスの発展が半導体産業の発展つながる事から,プラズマプロセス
の高精度化が様々角度から進められている.当研究室ではプラズマプロセスの高精度技術の開発を主な課題として,次のような研究を行っている.

・高品質アモルファスシリコン薄膜の高速成膜
・次世代大規模集積回路内配線技術の開発


・高品質アモルファスシリコン薄膜の高速成膜

 アモルファスシリコンは太陽電池や液晶駆動用薄膜トランジスタなどに用いられている.特にアモルファスシリコン太陽電池は現在深刻な問題となっている環
境・エネルギー問題の解決に大きな役割を果たすと期待されている.当研究室では,アモルファスシリコン太陽電池の高効率化と低コスト化を実現するため,基
礎研究と製造技術の開発に世界に先駆けて取り組んでいる.
 その関連研究として,プラズマ応用計測技術の開発やシリコン微粒子を用いたナノ構造デバイスの創製などを行っている.


・次世代大規模集積回路内配線技術の開発

 半導体の高集積化に伴い,半導体内の配線に銅が用いられる傾向にある.細密な配線技術として今後の発展が期待されてる,プラズマCVD法による銅配線技
術の開発に取り組み,すでにサブミクロン幅の溝に銅を埋め込むことに成功している.

 その他,プラズマプロセスやプラズマエッチングに深く関与するプラズマシースに励起される非線形現象の研究も行っている.



2)教育活動概要
 電気工学実験を担当している.学部学生を対象に,プラズマの基本的特性について実験を通じて理解してもらう事が目的である.

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