Kyushu University Academic Staff Educational and Research Activities Database
List of Reports
Hiroshi Nakashima Last modified date:2018.08.07

Professor / Advanced Functional Devies / Global Innovation Center / Global Innovation Center


Reports
1. 中島 寛, 電子サイクロトロンプラズマを活用したシリコン薄膜及び極薄シリコン酸化膜の形成とその電気的評価, 真空, Vol. 45, No.10, pp. 13-18, 2002.09.