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黒河 周平(くろかわ しゆうへい) データ更新日:2017.06.05

教授 /  工学研究院 機械工学部門 加工プロセス


主な研究テーマ
CO2吸収剤の高効率利用に関する研究
キーワード:CO2,吸収剤,スプレー,微細加工
2015.04.
CMP研磨パッドの清浄度評価に関する研究
キーワード:CMP(Chemical Mechanical Polishing),クリーニング,コンディショニング,ポリシングパッド,スラリー
2014.04.
難加工材料ワイドギャップ半導体基板の高能率精密研磨に関する研究
キーワード:CMP(Chemical Mechanical Polishing),難加工材料,パワーデバイス
2012.04.
有機薄膜太陽電池製造法に関する研究
キーワード:有機薄膜,太陽電池,噴霧,塗布,成膜,CMP(Chemical Mechanical Polishing)
2010.04.
希少金属代替材料プロジェクト/精密研磨向けセリウム量低減技術開発及び代替材料開発/代替砥粒及び革新的研磨技術を活用した精密研磨向けセリウム低減技術の開発
キーワード:セリウム,セリア,レアメタル,ガラス,研磨,代替,CMP
2009.07~2014.03.
有機EL膜の均一平坦化成膜法に関する研究
キーワード:有機EL, 噴霧,塗布,成膜,CMP(Chemical Mechanical Polishing)
2008.04.
未知形状三次元自由曲面の測定・評価.
キーワード:未知形状,自由曲面,三次元測定機,測定,精度,評価
2008.04.
ホブコーティング膜の耐摩耗性向上に関する研究
キーワード:歯車,切削,ホブ,コーティング,耐摩耗性
2008.04.
CMPパッドのダイヤモンドコンディショニングと加工特性に関する研究.
キーワード:ダイヤモンド砥石, CMP(Chemical Mechanical Polishing),コンディショニング,ポリシングパッド,カットレート,スラリー
2007.04.
高圧マイクロジェットによるCMPパッドの非破壊コンディショニングに関する研究
キーワード:HPMJ, CMP(Chemical Mechanical Polishing),コンディショニング,ポリシングパッド,スラリー
2007.04.
高速・高精度CNC三次元測定機の開発.
キーワード:CNC,三次元測定機,精度,アルゴリズム
2006.04.
微小モジュール歯車の歯面トポグラフィ計測
キーワード:微小モジュール,トポグラフィ,計測
2004.04.
微小径ロータリエンコーダ開発のためのナノマシニング
キーワード:計測,ロータリエンコーダ,ナノマシニング
2004.04.
歯車の接触問題・特に,負荷時の歯当たり計測評価
キーワード:歯車の歯当たり ,接触問題,表面形状キャラクタリゼーション,トポグラフィ計測
1992.04.
歯車のかみあい伝達誤差の解析および高精度測定.
キーワード:歯車のかみあい精度,マイクロギヤシステムテクノロジー
1995.04.
工学表面の形状・粗さ測定およびトポグラフィのキャラクタリゼーション.
キーワード:表面形状キャラクタリゼーション ,トポグラフィ計測
1999.04.
画像処理を用い知能化精密位置決めを利用した表面粗さ自動測定システムの開発.
キーワード:表面粗さ,自動測定,制御,画像処理 ,知能化精密位置決め
1997.04.
従事しているプロジェクト研究
帯電型スプレーによる大面積積層型有機ELデバイス向け有機薄膜の成膜装置の開発
2012.09~2015.03, 代表者:宮地計二, 経済産業省(サポートインダストリ)
帯電方スプレーを用いた積層型有機ELデバイス向けの成膜装置を開発する.
LDE用ウェーハ超博板化裏面精密研磨技術の開発
2012.04~2013.03, 代表者:黒河周平, 経済産業省(サポートインダストリ)
LDE用ウェーハ,SiC, GaN の超博板化裏面精密研磨技術および計測技術の開発.
半導体デバイス製造工程における回転霧化式エアロゾルスプレーによる成膜装置の開発
2011.03~2011.09, 代表者:宮地計二, 経済産業省(サポートインダストリ)
三次元スタック構造の半導体デバイスにおける貫通電極(TSV)溝作成時に必要となるレジスト成膜技術に必要な成膜装置の開発..
NEDO 代替砥粒および革新的研磨技術を活用した精密研磨向けセリウム低減技術の開発
2009.07~2014.03, 代表者:三重県産業支援センター, 三重県産業支援センター
液晶ディスプレーおよびハードディスク向けガラスの表面を精密に平滑化するために不可欠な酸化セリウムの使用量を削減する技術を確立する..
研究業績
主要著書
1. Toshiro DOI, Ioan D. MARINESCU, and Syuhei KUROKAWA, Advances in CMP/Polishing Technologies for the Manufacture of Electronic Devices, William Andrew Applied Science Publishers, Elsevier Inc., 317ページ, 2011.12.
2. 有浦泰常,鬼鞍宏猷,仙波卓弥,鈴木俊男,黒河周平, 機械製作法II, 朝倉書店, 190ページ, 2007.03.
主要原著論文
1. Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, and Toshiro DOI, Evaluation of Pitch Deviations with Comprehensive Representation Suitable for Engagement Evaluation in Different Types of Gears, International Journal of Automation Technology, 5, 2, 132-137, Vol.5, No.2, pp.132-137, 2011.03.
2. Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoji MATSUKAWA, Kiyoshi SESHIMO, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasunori KAWASE, Impact of Reduction in CeO2 Slurry Consumption for Oxide CMP ---Approach from Alternative Slurries and Pad Groove Patterns---, Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010, 244-247, pp.244-247, 2010.11.
3. Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI, Characteristics of Sidebands of Mesh Frequency Caused by Gear Eccentricity ---Identification of Indices of Amplitude Modulation under Load by Transmission Error Measurement---, Proc. of the International Conference on Gears, VDI-Berichte 2108.1, 293-304, VDI-Berichte 2108.1, pp.293-304, 2010.10.
4. Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, and Toshiro DOI, Comprehensive Representation of Pitch Deviations Suitable for Engagement Evaluation in Different Types of Gears, Proc. of the 10th International Symposium on Measurement and Quality Control, B2-051-1-B2-051-4, pp.B2-051-1-B2-051-4, 2010.09.
5. Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI, Systematic Error by Temperature Transition of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears, Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010, pp.1-4, 2010.03.
6. Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI, Development of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears, Proc. of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture, 533-537, pp.533-537, 2010.02.
7. Syuhei KUROKAWA and Yasutsune ARIURA, Development of a grating disk of a microrotary encoder for measurement of meshing accuracy of microgears, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 46, 9, 931-944, Vol.46, Issue 9, pp.931-944, 2010.01.
8. Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI, Evaluation of gear engagement accuracy by Transmission Error with sub-microradian resolution, International Journal of Surface Science and Engineering, Vol.3, No.3, pp.160-177, 2009.05.
9. Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI, Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement---, Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, pp.221-226, 2009.05.
10. 宮地計二,黒河周平,清家善之,小林義典,山本浩之,土肥俊郎, スプレー式洗浄の粒子解析と洗浄力に関する考察(二流体スプレーと高圧マイクロジェットの洗浄力比較), 精密工学会誌, 第75巻第4号 536~541頁, 2009.04.
11. Syuhei Kurokawa, Keiji Miyachi, Yoshiyuki Seike, Shinichi Izumikawa, Shinichi Haba, and Toshiro Doi, Pad Conditioning Using a High Pressure Micro Jet (HPMJ) to Improve Life Span of Unwoven Fabric Pads in CMP for Silicon Wafers, Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008, pp.243-249, 2008.11.
12. 宮地計二,黒河周平,清家善之,山本浩之,小林義典,土肥俊郎, 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究(粒子挙動解析と洗浄実験による考察), 精密工学会誌, Vol.74, No.10, pp.1074-1079, 2008.10.
13. Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Bekki Atsushi, Yoji Matsukawa, Toshiro Doi, Application of Angle Measurement with Sub-micro Radian Resolution to Detect Nanometer Engagement of a Gear Pair, Proc. of the International Conference on Precision Measurement, ICPM2008, DVD-ROM, pp.1-11, 2008.09.
14. Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Tatsuyuki Yamamoto , Automatic leveling procedure by use of the spring method in measurement of three-dimensional surface roughness, Proc. of the 4th International Symposium on Precision Mechanical Measurements, ISPMM2008, Proceedings of SPIE, Vol.7130, pp.71301I-1-71301I-7, 2008.08.
15. Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA, Development of a Grating Disk of a Micro Rotary Encoder for Measurement of Meshing Accuracy of Micro Gears, Proc. of the 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2007), pp.265-268, 2007.09.
16. Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA, Measurement of Tooth Pair Deflections With Ultra High Resolution Encoders and Prediction of Transmission Error Under Load in High Precision, Proc. of the ASME 2007 International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference, IDETC/CIE 2007, DVD-ROM, pp.1-10, 2007.09.
17. 梅崎洋二,有浦泰常,黒河周平,井島有朋, ホブ切り過渡現象の観察と切りくず生成機構の解明
(第4報,舞いツール基礎試験における切りくず生成時の形態とかみ込みの関係), 日本機械学会論文集C編, 73巻 733号, pp.2597-2603, 2007.09.
18. 黒河周平,有浦泰常,中西拓也, インボリュート円筒歯車の偏心を考慮したかみ合い伝達誤差解析
(偏心を伴う歯車かみ合い伝達誤差厳密解の導出), 日本機械学会論文集C編, 73巻 732号, pp.2367-2374, 2007.08.
19. Syuhei KUROKAWA and Shinya IMAMURA, Nano Manufacturing of a Small-tipped Stylus for Measurement of Micro-Machine Elements with Concave Surfaces, Proc. of the 35th International MATADOR Conference, pp.7-10, 2007.07.
20. Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA and Akio KAWAMOTO, Identification of the Parameters of Gear Eccentericity by Using Measured Transmission Error Curves, Proc. of the International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2007, CD-ROM, pp.1-6, 2007.07.
21. Syuhei KUROKAWA, Topography measurement of gear tooth flanks with CMM and evaluation of pitch deviations with the new definition, The Journal of Chinese Society of of Mechanical Engineers, Vol.27, No.5, pp.513-518, 2006.10.
22. Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA, Influence of gear eccentricity on the characteristics of noise spectrum
(Frequency modulation and sidebands of mesh frequency), Proc. of the International Conference on Mechanical Transmissions, ICMT'2006, Vol.II, pp.896-901, 2006.09.
23. Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA, Evaluation of shot peened surfaces using characterization technique of three-dimensional surface topography, Journal of Physics, 13, 9-12, Vol. 13, pp.9-12, 2005.09.
24. Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA, Evaluation of Transmission Error with Gear Eccentricity by Measurement and Approximate Formula, Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, pp.1-4 CD-ROM, 2005.06.
主要総説, 論評, 解説, 書評, 報告書等
1. 黒河周平, 設計製図教育とものづくり実践教育, 日本設計工学会, 設計工学, Vol.47, No.3, 24~28頁, 2012.03.
2. 黒河周平, 歯車専用測定機の高機能化と歯車の歯元・歯底形状スキャニング測定の実現, 一般社団法人日本機械学会, 日本機械学会機素潤滑設計部門ニュースレター 基礎研究をいかに実用製品に結びつけたか No.30, 2011.08.
3. 永村和照,黒河周平,他30名, 歯車装置のさらなる高性能と高機能実現のための設計・製造技術調査研究分科会研究報告書, 一般社団法人日本機械学会, RC241研究報告書 pp.1-240, 2011.04.
4. 黒河周平,他31名, オプトメカトロニクス技術を用いた次世代型の超大型基板の進歩に関わる加工処理とその周辺技術に関する調査研究報告書, (社)日本機械工業連合会/(社)日本オプトメカトロニクス協会, 日記連20先端-5 pp.1~246, 2009.03.
5. 黒河周平,土肥俊郎, 次世代多層配線プロセスとCMP技術の動向, 月刊トライボロジー, 第243号,p.12-15, 2007.11.
6. 黒河周平, 微小径ロータリエンコーダの開発とマイクロ回転機械要素精度計測への応用, 九州大学中央分析センター センターニュース Vol.26, No.2, p.5-6, 2007.02.
主要学会発表等
1. Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI, Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles, The International Conference on Power Transmissions、ICPT'2011, 2011.10.26.
2. Syuhei Kurokawa, Morihisa Hoga, Yoji Matsukawa, Osamu Ohnishi, and Toshiro Doi, Micro Radial Grating Disk Manufactured by Nanoimprinting Technique for Transmission Error Measurement of Micro Gears, The 56th International Scientific Colloquium, 2011.09.13.
3. Syuhei KUROKAWA, Gear manufacturing and metrology for industry and science--- from large to tiny size with old and new techniques, The 7th International Symposium on Precision Engineering Measurement and Instrumentation, 2011.08.08.
4. Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoji MATSUKAWA, Kiyoshi SESHIMO, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasunori KAWASE, Impact of Reduction in CeO2 Slurry Consumption for Oxide CMP ---Approach from Alternative Slurries and Pad Groove Patterns---, International Conference on Planarization/CMP Technology 2010, 2010.11.15.
5. 黒河周平,松川洋二,梅崎洋二,土肥俊郎, 歯面形状誤差および歯車偏心・端面振れを含むかみ合い伝達誤差解析, 日本機械学会九州支部・中国四国支部合同企画長崎講演会, 2009.10.10.
6. 黒河周平,有浦泰常,梅崎洋二,土肥俊郎, 歯車の歯当たりとかみ合い評価法について(可展円筒歯車歯面の図式展開について), 日本機械学会2009年度年次大会, 2009.09.16.
7. Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI, Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement---, The JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, MPT2009, 2009.05.14.
8. 黒河周平, 大局的形状パラメータを用いた三次歯面修正の新しい評価法, 日本機械学会 第6回機素潤滑設計部門講演会, 2006.05.
特許出願・取得
特許出願件数  13件
特許登録件数  1件
学会活動
所属学会名
IEEE
日本学術振興会
砥粒加工学会
日本機械学会
精密工学会
学協会役員等への就任
2017.04~2018.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 代表会員.
2017.04~2019.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2017.04~2019.03, 日本機械学会 RC275分科会, 幹事.
2016.05~2018.04, 日本機械学会 P-SCD398分科会, 幹事.
2017.04~2019.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 運営委員.
2017.04~2018.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2017.04~2018.03, 精密工学会 超精密加工専門委員会, 幹事.
2017.04~2019.03, 精密工学会 校閲委員会 校閲協力委員, 運営委員.
2016.04~2018.03, 精密工学会 九州支部, 副支部長.
2016.04~2017.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2014.04~2017.03, 精密工学会 超精密加工専門委員会, 幹事.
2015.04~2017.03, 精密工学会 校閲委員会 校閲委員, 運営委員.
2015.04~2016.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2015.04~2017.03, 日本機械学会 RC268分科会, 運営委員.
2015.04~2017.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 運営委員.
2015.04~2017.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2014.04~2015.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2014.04~2015.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2014.04~2016.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 委員長.
2013.04~2015.03, 精密工学会 校閲委員会 校閲委員, 校閲委員.
2012.02~2014.01, 精密工学会 超精密加工専門委員会, 幹事.
2013.04~2014.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 副委員長.
2013.04~2014.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 校閲委員.
2013.05~2016.04, 日本機械学会 P-SCD380分科会, 幹事.
2013.04~2015.03, 日本機械学会 RC261分科会, 幹事.
2012.04~2013.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2012.03~2013.02, 日本機械学会 九州支部庶務幹事, 幹事.
2011.04~2012.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2011.04~2012.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 幹事.
2010.12~2012.01, 精密工学会 超精密加工専門委員会, 幹事.
2011.02, 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会, 副委員長.
2010.04~2011.03, 精密工学会 校閲委員会 校閲委員, 校閲委員.
2011.04~2013.03, 日本機械学会 RC251分科会, 運営委員.
2010.04~2011.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2010.04~2014.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 運営委員.
2010.05~2013.04, 日本機械学会 P-SCD369分科会, 幹事.
2010.02, 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会, 幹事.
2009.04~2010.03, 精密工学会 校閲委員会 校閲委員, 校閲委員.
2009.04~2011.03, 日本機械学会 RC241分科会, 幹事.
2009.04~2010.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2009.04~2011.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 校閲委員.
2009.04~2010.03, 日本機械学会 日本機械学会誌 トピックス委員, 運営委員.
2009.04~2010.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 運営委員.
2009.04~2012.03, 日本学術振興会産学協力研究委員会「将来加工技術136委員会」, 運営委員.
2008.09~2009.03, オプトメカトロニクス技術を用いた次世代の超大型基板の進歩に関わる加工処理とその周辺技術に関する調査研究委員会, 幹事.
2008.04~2009.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2008.04~2009.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門 代議員, 代議員.
2008.04~2009.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2008.03~2009.02, 日本機械学会 九州支部, 幹事.
2007.05, 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会, 運営委員.
2007.04~2008.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 幹事.
2007.04~2008.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 校閲委員.
2007.04~2008.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門 代議員, 代議員.
2007.04~2008.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2007.05~2010.04, 日本機械学会 P-SCD359分科会, 幹事.
2007.04~2009.03, 日本機械学会 RC230分科会, 幹事.
2006.06, 精密工学会 知的ナノ計測専門委員会, 運営委員.
2006.04~2007.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 校閲委員.
2006.04~2007.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2006.04~2007.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門 代議員, 代議員.
2006.04~2007.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2005.04~2007.03, 日本機械学会 2006年度年次大会 実行委員, 運営委員.
2005.04~2006.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門 代議員, 代議員.
2005.04~2006.03, 日本機械学会 機素潤滑設計部門, 運営委員.
2005.04~2006.03, 日本機械学会 日本機械学会誌 トピックス委員, 運営委員.
2005.04~2007.03, 日本機械学会 RC218分科会, 幹事.
2005.04~2006.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2004.12, 精密工学会 プラスチック歯車研究会, 専門委員.
2004.04~2005.03, 日本機械学会 論文編集委員会, 校閲委員.
2004.04~2005.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2004.04~2007.04, 日本機械学会 P-SCD348分科会, 幹事.
2003.04~2004.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 運営委員.
2003.04~2004.03, 日本機械学会 ME1技術企画委員会, 運営委員.
2001.02~2004.03, 日本機械学会 P-SC331分科会, 運営委員.
2000.04~2002.03, 日本機械学会 論文編集委員会 校閲委員, 運営委員.
学会・研究会における座長等
2017.04.20~2017.04.21, The 7th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2017, 座長.
2017.03.13~2017.03.15, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 座長.
2017.03.14~2017.03.14, 日本機械学会 九州支部 第70期総会講演会, 座長.
2017.03.01~2017.03.03, The JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, MPT2017-Kyoto, 座長.
2016.10.27~2016.10.30, 2016 International Conference on Power Transmissions, 座長.
2016.10.17~2016.10.19, The International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2016, 座長.
2016.09.11~2016.09.14, 日本機械学会 2016年度年次大会, 司会.
2016.09.06~2016.09.08, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, BP賞審査員.
2016.03.15~2016.03.17, 2016年度精密工学会春季大会学術講演会, BP賞審査員.
2015.11.19~2015.11.20, 2015年度日本機械学会講習会 歯車技術基礎講座, 司会.
2015.09.30~2015.10.02, The International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015, 座長.
2015.09.23~2015.09.25, International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015, 座長.
2015.09.13~2015.09.16, 日本機械学会 2015年度年次大会, 座長.
2015.09.04~2015.09.06, 2015年度精密工学会秋季大会学術講演会, 座長.
2015.04.22~2015.04.25, The 6th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2015, 座長.
2015.03.17~2015.03.19, 2015年度精密工学会春季大会学術講演会, BP賞審査員.
2014.09.16~2014.09.18, 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会, BP賞審査員.
2013.12.14~2013.12.14, 2013年度精密工学会九州支部第14回学生研究発表会, 座長.
2013.03.06~2013.03.06, 日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会, 優秀講演賞審査員.
2012.12.08~2012.12.08, 2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会, 座長.
2012.09.28~2012.09.29, 2012年度日本機械学会九州支部福岡講演会, 座長.
2012.06.20~2012.06.23, The 4th International Conference on Power Transmissions - PT'21, 座長.
2012.03.16~2012.03.16, 日本機械学会 九州支部 第65期総会講演会, 座長.
2012.03.14~2012.03.16, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会, 座長.
2011.12.10~2011.12.10, 2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会, 座長.
2011.10.25~2011.10.29, Advances in Power Transmission Science and Technology, ICMPT'2011, 座長.
2011.09.29~2011.09.30, 2011年度日本機械学会九州支部宮崎講演会, 座長.
2011.09.20~2011.09.22, 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会, 座長.
2011.08.26~2011.08.26, 精密加工プロセス研究会 第8回研究会, 司会.
2011.05.27~2011.05.29, The 1st International Conference on Manufacturing Process Technology, ICMPT2011, 座長.
2011.04.22~2011.04.22, 精密工学会プラナリゼーションCMP委員会 第109回研究会, 司会.
2010.12.11~2010.12.11, 2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会, 座長.
2010.09.27~2010.09.29, 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会, 座長.
2010.09.05~2010.09.09, The 10th International Symposium on Measurement and Quality Control ISMQC2010, 座長.
2010.03.16~2010.03.18, 2010年度精密工学会春季大会学術講演会, 座長.
2010.03.15~2010.03.15, 日本機械学会 九州支部 第63期総会講演会, 座長.
2010.02.02~2010.02.05, The International Conference on Advanced Manufacture ICAM2010, 座長.
2009.12.12~2009.12.12, 2009年度精密工学会九州支部佐賀講演会, 座長.
2009.11.19~2009.11.21, The 6th International Conference on CMP/Planarization Technology ICTP2009, 座長.
2009.09.13~2009.09.16, 日本機械学会 2009年度年次大会, 座長.
2009.09.10~2009.09.12, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会, 座長.
2009.06.29~2009.07.03, The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments ISMTII2009, 座長.
2009.05.13~2009.05.15, International Conf. on Motion and Power Transmissions MPT2009, 座長.
2009.03.18~2009.03.18, 日本機械学会 九州支部 第62期総会講演会, 座長.
2008.12.06~2008.12.06, 2008年度精密工学会九州支部福岡講演会, 座長.
2008.09.17~2008.09.19, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会, 座長.
2008.08.03~2008.08.07, 日本機械学会 2008年度年次大会, 座長.
2008.03.19~2008.03.19, 日本機械学会 九州支部 第61期総会講演会, 座長.
2007.12.01~2007.12.01, 2007年度精密工学会九州支部長崎地方講演会, 座長.
2007.11.01~2007.11.01, MPT2007 シンポジウム<伝動装置>, 座長.
2007.07.01~2007.07.01, The 35th International MATADOR Conference, 座長.
2007.07.01~2007.07.01, International Conf. on Manufacturing, Machine Design and Tribology ICMDT2007, 座長.
2007.03.01~2007.03.16, 日本機械学会 九州支部 第60期総会講演会, 座長.
2006.09.01~2006.09.01, International Conf. on Mechanical Transmissions ICMT'2006, 座長.
2006.09.01~2006.09.01, 日本機械学会 2006年度年次大会講演会, 座長.
2006.05.01~2006.05.01, 日本機械学会 第6回機素潤滑設計部門講演会, 座長.
2006.03.01~2006.03.01, 日本機械学会 九州支部 第59期総会講演会, 座長.
2005.09.01~2005.09.01, 日本機械学会 2005年度年次大会講演会, 座長.
2005.03.01~2005.03.01, 日本機械学会 九州支部 第58期総会講演会, 座長.
2004.09.01~2004.09.01, 日本機械学会 2004年度年次大会講演会, 座長.
2004.03.01~2004.03.01, 日本機械学会 九州支部 第57期総会講演会, 座長.
2003.03.01~2003.03.01, 日本機械学会 九州支部 第56期総会講演会, 座長.
2002.10.01~2002.10.01, 日本機械学会 中国四国支部 松山地方講演会, 座長.
2002.09.01~2002.09.01, 日本機械学会 2002年度年次大会, 座長.
学会大会・会議・シンポジウム等における役割
2017.09.20~2017.09.22, 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2017.09.22~2017.09.25, The 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2017) , International Program Committee Member.
2017.10.11~2017.10.13, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2017(ICPT2017), Executive Committee.
2017.08.30~2017.09.01, 砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017, 副実行委員長.
2017.03.13~2017.03.15, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2017.03.01~2017.03.03, 動力・運動伝達系国際会議MPT2017-Kyoto, 組織・実行委員会委員.
2016.11.14~2016.11.19, The 16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016), 論文校閲委員.
2016.10.27~2016.10.30, The International Conference on Power Transmissions (ICPT2016), International Organizing Committee Member.
2016.10.17~2016.10.19, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2016(ICPT2016), Executive Committee.
2016.10.05~2016.10.07, The 5th International Conference on Power Transmissions (BAPT2016), Scientific Board Member.
2016.09.11~2016.09.14, 2016年度日本機械学会年次大会, 実行委員会 総務委員会.
2016.09.11~2016.09.14, 2016年度日本機械学会年次大会, セッションオーガナイザ.
2016.09.06~2016.09.08, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2016.04.18~2016.04.19, 日本機械学会 第16回機素潤滑設計部門講演会, 実行委員会委員.
2016.03.15~2016.03.17, 2016年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2015.11.19~2015.11.20, 日本機械学会歯車技術基礎講座講習会, 実行委員会 委員長.
2015.09.30~2015.10.02, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2015(ICPT2015), Executive Committee.
2015.09.04~2015.09.06, 2015年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2015.04.22~2015.04.25, The 6th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2015), Steering Committee & Program Committee.
2015.09.13~2015.09.16, 2015年度日本機械学会年次大会, セッションオーガナイザ.
2015.03.27~2015.04.01, The 38th International MATADOR Conference, International Scientific Committee.
2015.03.17~2015.03.19, 2015年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2014.11.19~2014.11.21, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2014(ICPT2014), Program Chair.
2014.11.14~2014.11.16, 日本機械学会歯車技術基礎講座講習会, 実行委員会 委員長.
2014.09.16~2014.09.18, 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2014.07.23~2014.07.25, The 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014), Session Adviser.
2014.03.18~2014.03.20, 2014年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2013.11.14~2013.11.16, MPT2013-Miyazaki シンポジウム伝動装置, 実行委員会 幹事.
2013.11.12~2013.11.15, The 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013), Full paper reviewer.
2013.10.30~2013.11.01, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2013(ICPT2013), Program Committee Member.
2013.09.12~2013.09.14, 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2013.03.13~2013.03.15, 2013年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2012.10.25~2012.10.26, The International Conference on Manufacturing Process Technology 2012 (ICMPT-2012), Co-Chairman.
2012.10.15~2012.10.17, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2012(ICPT2012), Program Committee Member.
2012.09.13~2012.09.16, 2012年度精密工学会秋季大会学術講演会, 実行委員会 委員.
2012.09.13~2012.09.16, 2012年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2012.04.23~2012.04.24, 日本機械学会 第12回機素潤滑設計部門講演会, 実行委員会 委員.
2012.03.16~2012.03.16, 日本機械学会 九州支部 第65期総会講演会, 実行委員会 委員.
2012.03.14~2012.03.16, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2011.11.09~2011.11.11, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2011(ICPT2011), Program Committee Member.
2011.10.25~2011.10.29, The International Conference on Power Transmissions, Scientific Committee International Member.
2011.09.29~2011.09.30, 日本機械学会九州支部宮崎講演会, セッションオーガナイザ.
2011.09.20~2011.09.22, 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2011.08.07~2011.08.11, The 7th International Symposium on Precision Engineering Measurement and Instrumentation (ISPEMI2011), Program Committee Member.
2011.05.27~2011.05.30, The 1st International Conference on Manufacturing Process Technology (ICMPT2011), Organizing Committee Co-Chairman.
2011.03.17~2011.03.17, 日本機械学会 九州支部 第64期総会講演会, 実行委員会 委員.
2011.03.14~2011.03.16, 2011年度精密工学会春季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2010.11.14~2010.11.17, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2010(ICPT2010), Program Committee Member.
2010.09.27~2010.09.29, 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会, セッションオーガナイザ.
2010.09.05~2010.09.09, The 10th International Symposium on Measurement and Quality Control(ISMQC2010), Publication Committee Member.
2009.11.19~2009.11.21, The International Conference on Planarization/CMP Technology 2009(ICPT2009), Committee Member.
2009.06.29~2009.07.02, The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments ISMTII2009, International Program Committee.
2009.05.13~2009.05.15, International Conference on Motion and Power Transmission, MPT2009-Sendai, 実行委員会 委員.
2009.03.18~2009.03.18, 日本機械学会 九州支部 第62期総会講演会, 実行委員会 委員.
2008.08.25~2008.08.29, International Symposium on Precision Mechanical Measurements ISPMM'2008, Member of the International Advisory Committee.
2008.04.21~2008.04.22, 日本機械学会 機素潤滑設計部門 部門講演会, 実行委員会 委員.
2007.02.01~2007.12.30, 日本機械学会 MPT2007 シンポジウム伝動装置, 実行委員会 委員.
2007.09.01~2007.09.01, The 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments ISMTII2007, Organizing Committee.
2006.09.01~2006.09.01, 日本機械学会 2006年度年次大会, 部門代表実行委員会委員.
2006.08.01~2006.08.01, International Symposium on Precision Mechanical Measurements ISPMM'2006, Member of the International Advisory Committee.
2005.06.01~2005.06.01, KSME and JSME The First Joint International Conference on Manufaturing, Machine Design and Tribology, Session Organizer.
2004.11.01~2004.11.01, 日本機械学会 MPT2004 シンポジウム伝動装置, 実行委員会 委員.
2003.03.01~2003.03.01, 日本機械学会九州支部第56期総会講演会, 実行委員会委員.
2000.11.01~2002.03.01, JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, MPT2001-Fukuoka, 実行委員会 幹事.
学会誌・雑誌・著書の編集への参加状況
2017.04~2019.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2017.04~2019.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 編集委員.
2015.04~2017.03, Surface Topography: Metrology and Properties 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Measurement Science and Technology 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Materials Research Express 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Mechanism and Machine Theory 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Measurement 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Japanese Journal of Applied Physics 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, International Journal of Advanced Manufacturing Technology 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, The Electrochemical Society Journals 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, Journal of Applied Surface Science 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 査読委員.
2015.04~2017.03, 日本機械学会誌 論文編集委員, 編集委員.
2015.04~2017.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2014.04~2015.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 査読委員.
2013.04~2014.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 編集委員.
2013.04~2015.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2013.04~2014.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 査読委員.
2012.04~2013.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 編集委員.
2011.04~2013.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 査読委員.
2012.04~2013.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2011.04~2012.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 編集委員.
2011.04~2012.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2011.03, Precision Engineering, 編集委員.
2009.04~2011.03, 日本機械学会誌 論文校閲委員, 査読委員.
2010.04~2011.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2010.04~2011.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 編集委員.
2009.04~2010.03, 精密工学会誌 校閲協力委員, 査読委員.
2009.04~2010.03, 日本機械学会誌 トピックス委員, トピックス委員.
2009.04~2010.03, 日本オプトメカトロニクス協会 技術広報委員会, 編集委員.
2005.04~2006.03, 日本機械学会誌 トピックス委員, トピックス委員.
1994.04~1995.03, 日本機械学会メカライフ, コレスポンデント.
学術論文等の審査
年度 外国語雑誌査読論文数 日本語雑誌査読論文数 国際会議録査読論文数 国内会議録査読論文数 合計
2016年度 31  37    70 
2015年度 25  12  35    72 
2014年度 14  59    80 
2013年度 20  35    59 
2012年度 12  12  70    94 
2011年度 20    32 
2010年度 59    70 
2009年度   67    73 
2008年度   23    24 
2007年度   14    15 
2006年度      
2005年度      
2004年度      
2003年度    
2001年度    
2000年度    
その他の研究活動
研究活動に関する情報の公開
ホームページ, http://www.mech.kyushu-u.ac.jp/~premach/index.html, 2008.03.
海外渡航状況, 海外での教育研究歴
Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea, 2017.04~2017.04.
Grand Metropark Hotel Chongqing,Chongqing, China, 2016.10~2016.10.
Beijing Friendship Hotel, Beijing, China, 2016.10~2016.10.
Hotel GRANIT, Ohrid, ETEL, Macedonia, Switzerland, 2017.10~2017.10.
National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan, 2016.05~2016.05.
FZG, Technische Universitaet Muenchen, Muenchen, HEIDENHAIN, Traunreut, Germany, 2015.10~2015.10.
Wild Horse Pass, Phoenix, United States of America, 2015.09~2015.10.
National Taiwan University, Taipei, Taiwan, 2015.09~2015.09.
National Fromsa University, Huwei, Taiwan, 2015.03~2015.03.
Shanghai International Convention Center, Shanghai, China, 2014.03~2014.03.
Pukyong National University, Busan, Korea, 2013.11~2013.11.
Ambassador Hotel, Hsinchu, Taiwan, 2013.10~2013.11.
FZG, Technische Universitaet Muenchen, Muenchen, EPFL, Lausanne, Germany, Switzerland, 2013.10~2013.10.
Crowne Plaza Resort Hotel, Lake Placid, United States of America, 2013.08~2013.08.
WRTH Aachen, Aachen, PTB, Braunschweig, Germany, 2013.07~2013.07.
BEXCO, Busan, Korea, 2013.05~2013.05.
Moscone West, San Francisco, United States of America, 2013.04~2013.04.
Inservice Training Institute of KFCC, Jeju, Korea, 2013.03~2013.03.
IMEC, Leuven, Belgium, 2012.10~2012.10.
MINATEC, Grenoble, France, 2012.10~2012.10.
Rina Sinaia, Sinaia, Romania, 2012.06~2012.06.
Jiaoxi, Yilan, Taiwan, 2012.03~2012.03.
COEX, Seoul, Korea, 2011.11~2011.11.
Northwestern Polytechnical University, Xi'an, Shaanxi, China, 2011.10~2011.10.
PTB, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany, 2011.09~2011.09.
Technische Universitaet Ilmenau, Germany, 2011.09~2011.09.
Lijiang, Yunnan, China, 2011.08~2011.08.
Gyeongsang National University, Jinju, Korea, 2011.05~2011.05.
Biltmore, Phoenix, United States of America, 2010.11~2010.11.
The University of Edinburgh, Edinburgh, United Kingdom, 2010.10~2010.10.
Technische Universitaet Muenchen, Muenchen, Germany, 2010.10~2010.10.
Gyeongsang National Univ., Jinju, Korea, 2010.03~2010.03.
National Taipei University of Technology, Kenting Howard Beach Resort, Taiwan, 2010.02~2010.02.
Mendeleyev Institute for Metrology, Russia, 2009.06~2009.07.
Industrial Technology Research Institute, Taiwan, 2008.11~2008.11.
Univeristy of Ilmenau, Germany, 2008.09~2008.09.
Hefei University, China, 2008.08~2008.08.
Las Vegas, University of Nevada Las Vegas, United States of America, 2007.09~2007.09.
National Taiwan University, Taipei, ITRI, Taiwan, 2007.07~2007.07.
Gyeongsang National Univ., Jinju, Korea, 2007.01~2007.01.
Chongqing Univ., China, 2006.09~2006.09.
Urumqi, China, 2006.08~2006.08.
Univ. of Huddersfield, United Kingdom, 2005.09~2005.09.
Chung-Ang Univ., Seoul, Korea, 2005.06~2005.06.
Beijing, National Institute of Metrology, China, China, 2004.08~2004.08.
Busan, Korea, 2003.10~2003.10.
Sofia, Varna, Bulgaria, 2003.09~2003.09.
Daimler Chrysler Deutschland, TU-Muenchen, BMW, Germany, Germany, Germany, 2002.03~2002.03.
Baltimore, United States of America, 2000.09~2000.09.
Hannover Univ., Wilhelm Fette GmbH, Klingernberg Soehne GmbH, RWTH-Aachen, TU-Muenchen, Gleason-HURTH GmbH, ZF Friedrichshafen AK, Germany, Germany, Germany, Germany, 1999.10~1999.11.
C.N.I.T. Paris, CETIM, France, France, 1999.03~1999.03.
RWTH-Aachen, Germany, 1998.03~1999.03.
外国人研究者等の受入れ状況
2016.04~2016.07, University of Toledo, United States of America, 学内資金.
受賞
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2017.03.
工学講義賞, 九州大学工学部, 2016.11.
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2016.09.
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2015.09.
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2015.03.
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2014.09.
ベストオーガナイザ賞, 公益社団法人精密工学会, 2014.04.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2013.09.
Best Paper Award, The 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013 Organizing Committee), 2013.07.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2013.05.
Excellent Paper Award, The 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, (CJUMP2013 Review Committee of Award), 2013.03.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2012.09.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2012.05.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2011.11.
ベストオーガナイザ賞, (社)精密工学会, 2010.11.
工作機械技術振興賞・奨励賞, (財)工作機械技術振興財団, 2010.05.
工作機械技術振興賞・奨励賞, (財)工作機械技術振興財団, 2010.05.
研究資金
科学研究費補助金の採択状況(文部科学省、日本学術振興会)
2016年度~2018年度, 基盤研究(B), 分担, 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動評価に基づく高精度ナノ粒子粒度分布解析.
2012年度~2015年度, 基盤研究(S), 分担, 究極デバイスとしてのダイヤモンド基板の革新的超精密加工プロセスへのブレークスルー.
2008年度~2010年度, 基盤研究(A), 分担, 密閉雰囲気内で行う光触媒反応と電解作用の援用型特殊加工装置.
2003年度~2005年度, 基盤研究(C), 代表, 微小モジュール歯車の偏心を考慮したかみあい伝達誤差解析.
1997年度~1998年度, 奨励研究(A), 代表, はすば歯車の負荷によるたわみ絶対値測定と負荷時かみあい伝達誤差解析.
寄附金の受入状況
2008年度, (社)精密工学会, 使途特定寄付金/成形プラスチック歯車に関する研究.
2007年度, (社)精密工学会, 使途特定寄付金/成形プラスチック歯車に関する研究.
2004年度, 高橋産業経済研究財団, 使途特定寄付金/マイクロトランスミッション開発のための歯面トポグラフィ計測.

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