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内野 喜一郎(うちの きいちろう) データ更新日:2019.06.29

教授 /  総合理工学研究院 エネルギー科学部門 電気理工学講座


主な研究テーマ
蓄電機能を持つ2元酸化金属膜のプラズマを用いた成膜技術の開発
キーワード:蓄電池 プラズマ 新方式生成技術
2011.02~2017.03.
薄膜型太陽電池プロセス用プラズマの生成と計測に関する研究
キーワード:太陽電池 プラズマ 大面積 トムソン散乱 新方式生成技術
2009.04~2015.03.
質量分析器へのフェムト秒レーザーポストイオン化の適用に関する研究
キーワード:質量分析、フェムト秒レーザー、多光子イオン化、飛行時間型
2004.04~2012.03.
極端紫外光源用プラズマの協同的トムソン散乱法による電子密度・温度およびイオン荷電数の測定
キーワード:リソグラフィー、レーザー生成プラズマ、放電生成プラズマ、レーザー計測、電子密度、電子温度、荷電数
2004.04~2015.03.
リソグラフィー用エキシマレーザー放電の高度計測とレーザー性能改善に関する研究
キーワード:リソグラフィー、エキシマレーザー、放電、プラズマ、予備電離、レーザー計測
2000.04~2006.12.
プラズマディスプレイパネル(PDP)のためのマイクロ放電のレーザートムソン散乱法による計測
キーワード:PDP、レーザー計測、プラズマ、放電、電子密度、電子温度
2000.04~2012.03.
従事しているプロジェクト研究
ノンレアメタル半導体蓄電池製造用VHFプラズマCVD装置の研究開発
2011.03~2012.02, 代表者:内野喜一郎, 九州大学, 経済産業省平成22年度補正予算事業地域イノベーション創出研究開発事業(日本)
第2族元素酸化物などの半導体は、ある条件下で蓄電池として働く。これを、ノンレアメタル蓄電池として、低温で大面積かつ安価に製造するためにプラズマCVD装置を開発する。.
超高感度極微量質量分析システムの実用化
2008.10~2011.03, 代表者:工藤政都, 日本電子株式会社, 独立行政法人科学技術振興機構 産学イノベーション加速事業【先端計測分析技術・機器開発】(日本)
学術創生研究で試作開発してきた極微量試料用超高感度質量分析装置を、超高感度極微量質量分析システムとして実用化するための研究開発を行う。.
惑星探査用次世代超高感度極微量質量分析システムの開発
2004.04~2009.03, 代表者:石原盛男, 大阪大学, 文部科学省科学研究費補助金 学術創成研究(日本)
今後の惑星科学探査ミッションにより、地球に持ち帰られる宇宙試料の解析を目指した極微量試料用超高感度質量分析装置の基礎研究の創出と試作を行う。.
研究業績
主要原著論文
主要総説, 論評, 解説, 書評, 報告書等
主要学会発表等
学会活動
所属学会名
プラズマ・核融合学会
レーザー学会
学協会役員等への就任
2018.04~2020.03, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部, 支部長.
2015.06~2019.05, プラズマ・核融合学会, 理事.
2008.06~2018.03, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部, 役員.
2003.04~2017.03, レーザー学会, 九州支部委員.
学会大会・会議・シンポジウム等における役割
2014.12.20~2014.12.21, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第18回支部大会, 座長(Chairmanship).
2013.11.02~2013.11.03, 第29回九州・山口プラズマ研究会, 座長(Chairmanship).
2012.12.22~2012.12.23, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第16回支部大会, 座長(Chairmanship).
2012.11.10~2012.11.11, 第28回九州・山口プラズマ研究会, 座長(Chairmanship).
2011.11.06~2011.11.07, 第27回九州・山口プラズマ研究会, 座長(Chairmanship).
2007.11.01~2007.11.01, 平成19年度 応用物理学会九州支部シンポジウム, 座長(Chairmanship).
2007.09.01~2007.09.01, 電気関係学会九州支部連合大会, 座長(Chairmanship).
2007.06.01~2007.06.01, 第4回PDP フォーラム:広島「PDP 工学領域研究会」, 座長(Chairmanship).
2006.09.01~2006.09.01, 電気関係学会九州支部連合大会, 座長(Chairmanship).
2006.08.01~2006.08.01, 平成18年電気学会基礎・材料・共通部門大会, 座長(Chairmanship).
2007.01.20~2007.01.20, レーザー学会, 座長(Chairmanship).
2014.12.20~2014.12.21, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第18回支部大会, 実行委員長.
2011.11.06~2011.11.07, 第27回九州・山口プラズマ研究会, 実行委員長.
2007.11.08~2007.11.08, 応用物理学会九州支部シンポジウム, 実行委員長.
2007.09.24~2007.09.28, 6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2007), 現地実行委員.
2007.01.20~2007.01.20, レーザー学会, 現地実行委員.
2006.11.01~2006.11.01, The 8th Cross Straits Symposium on Materials, Energy and Environmental Sciences, Chairman.
2005.12.01~2005.12.01, The 7th Cross Straits Symposium on Materials, Energy and Environmental Sciences, Chairman.
学術論文等の審査
年度 外国語雑誌査読論文数 日本語雑誌査読論文数 国際会議録査読論文数 国内会議録査読論文数 合計
2007年度    
2006年度      
2005年度    
その他の研究活動
海外渡航状況, 海外での教育研究歴
JET Joint Undertaking, UnitedKingdom, 1987.11~1988.10.
外国人研究者等の受入れ状況
2014.05~2014.10, 1ヶ月以上, Al-Azhar University , Egypt, 外国政府・外国研究機関・国際機関.
2006.10~2007.06, 1ヶ月以上, Al-Azhar University , Egypt, 外国政府・外国研究機関・国際機関.
2006.04~2008.03, 1ヶ月以上, Al-Azhar University , Egypt, 文部科学省.
2003.08~2005.03, 1ヶ月以上, 韓国釜山国立大学, Korea, 学内資金.
受賞
第16回プラズマエレクトロニクス賞, 公益社団法人 応用物理学会, 2018.03.
電気学術振興賞論文賞, 電気学会, 2004.05.
プラズマ・核融合学会賞 技術進歩賞, 社団法人 プラズマ・核融合学会, 2000.11.
研究資金
科学研究費補助金の採択状況(文部科学省、日本学術振興会)
2018年度~2020年度, 基盤研究(C), 代表, 次世代半導体リソグラフィー用極端紫外光源のスズデブリ除去過程に関する研究.
2014年度~2016年度, 基盤研究(C), 代表, 蓄電機能を発現する金属酸化薄膜のプラズマプロセス技術の確立.
2009年度~2011年度, 基盤研究(B), 代表, プラズマディスプレイパネルの高効率発光機構に関する研究.
2006年度~2007年度, 特定領域研究, 代表, 協同的トムソン散乱計測システムの開発とEUV光源プラズマの最適化研究.
2004年度~2005年度, 特定領域研究, 代表, マイクロ放電プラズマのためのレーザートムソン散乱計測法の確立.
2002年度~2004年度, 基盤研究(B), 代表, PDPマイクロ放電のレーザートムソン散乱法による研究.
競争的資金(受託研究を含む)の採択状況
2012年度~2013年度, 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラムA-STEP, 代表, 蓄電機能を有する金属酸化膜のプラズマプロセス技術の開発.
共同研究、受託研究(競争的資金を除く)の受入状況
2018.04~2019.03, 代表, EUV光源内で発生するプラズマの計測とコレクタ反射膜への影響評.
2014.08~2015.03, 代表, トムソン散乱法による電流遮断時電子密度測定法の研究.
2013.09~2018.03, 代表, トムソン散乱法によるEUVプラズマの計測に関する共同研究.
2013.08~2014.03, 代表, 電流遮断プロセスにおける過渡アークの電子密度測定技術に関する研究.
2013.04~2014.03, 代表, VHFプラズマ制御技術に関する研究.
2012.08~2013.03, 代表, トムソン散乱法によるガス中アーク及び溶融物の挙動測定に関する共同研究.
2012.04~2013.03, 代表, レーザーを用いたVHFプラズマ特性の計測法の開発.
2011.04~2012.03, 代表, レーザーを用いたVHFプラズマ特性の計測法の開発/微結晶Si太陽電池の製膜に用いられる高圧・狭ギャッププラズマの電子密度・負イオン密度、電子温度の計測法の開発を行う。.
2011.03~2012.02, 代表, ノンレアメタル半導体蓄電池製造用VHFプラズマCVD装置の研究開発/酸化物半導体の結晶粒径制御、製膜速度制御が可能なVHF帯のプラズマCVD装置を開発し、ノンレアメタル半導体蓄電池の製造技術を確立する。.
2010.08~2011.02, 代表, レーザ散乱法によるプラズマ計測/レーザトムソン散乱を用いてEUV光源プラズマの特性を計測する。.
2010.04~2012.03, 代表, トムソン散乱測定法によるガス中アーク及び溶融金属の挙動測定研究/遮断器内のアーク放電の電子密度・温度をレーザートムソン散乱法で測定し、遮断器内の溶融金属蒸気の挙動の理解を通じて、遮断器消弧室の遮断現象の把握をはかる。.
2010.04~2011.03, 代表, 超高感度極微量質量分析システムの実用化/学術創生研究で試作開発してきた超高感度質量分析装置を、超高感度極微量質量分析システムとして実用化する。.
2010.04~2011.03, 代表, レーザーを用いたVHFプラズマ特性の計測法の開発/微結晶Si太陽電池の製膜に用いられる高圧・狭ギャッププラズマの電子密度・負イオン密度、電子温度の計測法の開発を行う。.
2009.09~2010.03, 代表, レーザ散乱法によるプラズマ計測/レーザトムソン散乱を用いてEUV光源プラズマの特性を計測する。.
2009.04~2010.03, 代表, 超高感度極微量質量分析システムの実用化/学術創生研究で試作開発してきた超高感度質量分析装置を、超高感度極微量質量分析システムとして実用化する。.
2009.04~2010.03, 代表, レーザーを用いたVHFプラズマ特性の計測法の開発/微結晶Si太陽電池の製膜に用いられる高圧・狭ギャッププラズマの電子密度・負イオン密度、電子温度の計測法の開発を行う。.
2008.10~2010.03, 代表, トムソン散乱測定法によるガス中アーク及び溶融金属の挙動測定研究/遮断器内のアーク放電の電子密度・温度をレーザートムソン散乱法で測定し、遮断器内の溶融金属蒸気の挙動の理解を通じて、遮断器消弧室の遮断現象の把握をはかる。.
2008.10~2009.03, 代表, 超高感度極微量質量分析システムの実用化/学術創生研究で試作開発してきた超高感度質量分析装置を、超高感度極微量質量分析システムとして実用化する。.
2008.07~2009.03, 代表, エキシマレーザーの高繰返し化の研究/エキシマレーザーにおいて繰返し周波数とバッファガスの関係の基礎研究.
2008.06~2009.03, 代表, レーザ散乱法によるプラズマ計測/レーザトムソン散乱を用いてEUV光源プラズマの特性を計測する。.
2005.04~2006.03, 代表, エキシマレーザー内放電プラズマの高精度計測.
2005.04~2008.03, 代表, プラズマディスプレイ内マイクロ放電の研究/九州大学では,トムソン散乱計測によりプラズマディスプレイ内マイクロ放電の電子密度,電子温度の空間分布とその時間進展を明らかとする。NHK放送技術研究所では,同放電のシミュレーション技術を開発し,放電進展を計算可能とする。計測と計算の結果を比較検討することで,プラズマディスプレイのエネルギー効率を改善することをはかる。.
寄附金の受入状況
2018年度, 東京エレクトロン株式会社, 寄附金.
2017年度, 東京エレクトロン株式会社, 寄附金.
2016年度, 東京エレクトロン株式会社, 寄附金.

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