優秀講演論文表彰

2022.1   High Speed Precision Dry Hobbing Replacing Conventional Hobbing and Shaving

感謝状

2021.6   国立研究開発法人 理化学研究所   IJEM Best Paper Award in 2020 に対して．

Best Paper Award in 2020

2021.3   International Journal of Extreme Manufacturing  

Best Paper Award

2020.11   The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)  

一般社団法人日本機械学会 年次大会 機素潤滑設計部門 優秀講演賞

2019.4   一般社団法人 日本機械学会   歯面に溝を有する仮想高周波振動フェースギヤの設計

一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門 第18回部門講演会 優秀講演賞

2019.4   一般社団法人 日本機械学会   トロコイド干渉によるはすば歯車のピッチング損傷（基礎円付近の歯面損傷観察）

岩木トライボコーティングネットワークアワード IWAKI AWARD優秀賞・事業賞

2019.2   一般社団法人 未来生産システム学協会   脱真空回転霧化式二流体スプレー法を用いた三次元スタック構造半導体デバイスへのコンフォーマル成膜技術

Best Paper Award

2017.9   The Conference Committee of ISMTII2017 (the 13th International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2017)  

Excellent Paper Award

2017.7   The 10th MIRAI Conference on Microfabricatoin and Green Technology, MIRAI2017 (The Review Committee of MIRAI2017)  

第38次 工作機械技術振興賞 奨励賞

2017.6   公益財団法人 工作機械技術振興財団   奨励賞「蛍光観察によるCMP仕上げ研磨用ソフトパッドとウェーハ接触部の調査」

ベストオーガナイザ賞

2017.3   公益社団法人精密工学会   2017年度春期大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

工学講義賞

2016.11   九州大学工学部   専攻教育科目の中でアンケートを採った結果に基づき，二次資料と合わせて受賞決定．

ベストオーガナイザ賞

2016.9   公益社団法人精密工学会   2016年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2015.9   公益社団法人精密工学会   2015年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2015.3   公益社団法人精密工学会   2015年度春期大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2014.9   公益社団法人精密工学会   2014年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2014.4   公益社団法人精密工学会   2014年度春季大会のオーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2013.9   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

Best Paper Award

2013.7   The 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013 Organizing Committee)   Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel

ベストオーガナイザ賞

2013.5   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

Excellent Paper Award

2013.3   The 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, (CJUMP2013 Review Committee of Award)   Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods

ベストオーガナイザ賞

2012.9   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2012.5   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2011.11   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

ベストオーガナイザ賞

2010.11   （社）精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

工作機械技術振興賞・奨励賞

2010.5   （財）工作機械技術振興財団   ホブコーティング膜TiAlNの耐摩耗性能に関する基礎研究

工作機械技術振興賞・奨励賞

2010.5   （財）工作機械技術振興財団   純水のHPMJ（高圧マイクロジェット）による発泡ポリウレタンパッドの非破壊コンディショニング

Systematic Error by Temperature Transition of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears International journal

Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI

Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010.3

Development of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears Reviewed International journal

Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI

Proc. of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture   2010.2

Development of a grating disk of a microrotary encoder for measurement of meshing accuracy of microgears Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA and Yasutsune ARIURA

The International Journal of Advanced Manufacturing Technology   46 ( 9 )   2010.1

Evaluation of gear engagement accuracy by Transmission Error with sub-microradian resolution Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI

International Journal of Surface Science and Engineering   2009.5

Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement--- Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI

Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009.5

スプレー式洗浄の粒子解析と洗浄力に関する考察（二流体スプレーと高圧マイクロジェットの洗浄力比較） Reviewed

宮地計二，黒河周平，清家善之，小林義典，山本浩之，土肥俊郎

精密工学会誌   2009.4

Pad Conditioning Using a High Pressure Micro Jet (HPMJ) to Improve Life Span of Unwoven Fabric Pads in CMP for Silicon Wafers Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Keiji Miyachi, Yoshiyuki Seike, Shinichi Izumikawa, Shinichi Haba, and Toshiro Doi

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008.11

高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究（粒子挙動解析と洗浄実験による考察） Reviewed

宮地計二，黒河周平，清家善之，山本浩之，小林義典，土肥俊郎

精密工学会誌   2008.10

Application of Angle Measurement with Sub-micro Radian Resolution to Detect Nanometer Engagement of a Gear Pair Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Bekki Atsushi, Yoji Matsukawa, Toshiro Doi

Proc. of the International Conference on Precision Measurement, ICPM2008   2008.9

Automatic leveling procedure by use of the spring method in measurement of three-dimensional surface roughness Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Tatsuyuki Yamamoto

Proc. of the 4th International Symposium on Precision Mechanical Measurements, ISPMM2008   2008.8

Development of a Grating Disk of a Micro Rotary Encoder for Measurement of Meshing Accuracy of Micro Gears Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2007)   2007.9

ホブ切り過渡現象の観察と切りくず生成機構の解明 （第4報，舞いツール基礎試験における切りくず生成時の形態とかみ込みの関係） Reviewed

梅崎洋二，有浦泰常，黒河周平，井島有朋

日本機械学会論文集C編   2007.9

Measurement of Tooth Pair Deflections With Ultra High Resolution Encoders and Prediction of Transmission Error Under Load in High Precision Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the ASME 2007 International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference, IDETC/CIE 2007, DVD-ROM   2007.9

インボリュート円筒歯車の偏心を考慮したかみ合い伝達誤差解析 （偏心を伴う歯車かみ合い伝達誤差厳密解の導出） Reviewed

黒河周平，有浦泰常，中西拓也

日本機械学会論文集C編   2007.8

Nano Manufacturing of a Small-tipped Stylus for Measurement of Micro-Machine Elements with Concave Surfaces Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA and Shinya IMAMURA

Proc. of the 35th International MATADOR Conference   2007.7

Identification of the Parameters of Gear Eccentericity by Using Measured Transmission Error Curves Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA and Akio KAWAMOTO

Proc. of the International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2007, CD-ROM   2007.7

Topography measurement of gear tooth flanks with CMM and evaluation of pitch deviations with the new definition Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA

The Journal of Chinese Society of of Mechanical Engineers   2006.10

Influence of gear eccentricity on the characteristics of noise spectrum (Frequency modulation and sidebands of mesh frequency) Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the International Conference on Mechanical Transmissions, ICMT'2006   2006.9

Evaluation of shot peened surfaces using characterization technique of three-dimensional surface topography Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Journal of Physics   13   9 - 12   2005.9

Evaluation of Transmission Error with Gear Eccentricity by Measurement and Approximate Formula Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   2005.6

Polishing Mechanisms in CMP through Slurry Particle Behavior and Pad Surface Topography Observation Affecting Polishing Performance Reviewed International journal

@Syuhei KUROKAWA, #Toya TAKAHASHI, @Terutake HAYASHI, @Shuntaro HAYASHI, @Yutaka WADA, @Hozumi YASUDA and @Hirokuni HIYAMA

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2023)   2023.10

Non-Linear Wear Propagation Property and Prediction Method Having Influencing Pitting Failure of Helical Gears Reviewed International journal

@Koji KUMAGAI, @Hanlin LIU and @Syuhei KUROKAWA

Tribology Online   17 ( 1 )   44 - 53   2022.2

Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip Reviewed International journal

#Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)   1 - 4   2021.11

High Speed Precision Dry Hobbing Replacing Conventional Hobbing and Shaving Reviewed International journal

@Tatsuro TAKAGI, @Noritaka FUJIMURA, @Keisuke YOSHIKAWA, @Kazuyuki ISHIZU, #Manami GOTO, and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)   1 - 4   2021.11

Clarification of polishing mechanism focusing on abrasive particle behavior in CMP -Quantification of abrasive particles retained in the contact area of polishing pads with different removal rates- Reviewed International journal

#Syuntaro HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Naoyuki HANDA, @Yutaka WADA, and @Hirokuni HIYAMA

Proc. of Asian Workshop on Planarization/CMP Technology 2021   5 - 8   2021.10

Measurement of Molar Concentration Spectrum Based on Number-weighted Particle Size Distribution for Poly-dispersed Particles Using Nanoparticle Chip Reviewed International journal

#Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 23th IMEKO World Congress   1 - 4   2021.8

Measurement of molar concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip Reviewed International journal

#Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

Precision Engineering   74   460 - 468   2021.8

Characteristic of SiC Slurry in Ultra Precision Lapping of Sapphire Substrates Reviewed

Tao TIN, ZhiDa WANG, Toshiro DOI, @Syuhei KUROKAWA, Zhe TAN, XiaoKang DING, Huan LIN

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing   22 ( 6 )   1021 - 1029   2021.4

A high quality surface finish grinding process to produce total reflection mirror for x-ray fluorescence analysis Reviewed

Hitoshi OHMORI, Shinjiro UMEZU, Yunji KIM, Yoshihiro UEHARA, Hiroshi KASUGA, Teruko KATO, Nobuhide ITOH, @Syuhei KUROKAWA, Takayuki KUSUMI, Yugo SUGAWARA, and Shinsuke KUNIMURA

International Journal of Extreme Manufacturing   2 ( 1 )   1 - 7   2021.3

In-process tool wear detection by measuring the slip of AC induction motor in intermittent cutting process Reviewed

Mitsuaki MURATA, Naoki HARADA, Amine GOUARIR and @Syuhei KUROKAWA

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   15 ( 1 )   1 - 9   2021.2

Measurement of molar concentration spectrum for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip Reviewed

#Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)   1 - 2   2020.11

ナノ粒子チップを用いた多分散ナノ粒子の粒度分布計測 Reviewed

#朱 家慶，@林 照剛，@黒河 周平

日本機械学会論文集   86 ( 892 )   1 - 19   2020.10

Shear-thickening Polishing Process for the Tungsten-cobalt Carbide Tool Reviewed

Min Li, Fangzeng Song, Hitoshi Ohmori, Naohiro Nishikawa, and @Syuhei Kurokawa

Transactions of MIRAI   8   26 - 30   2020.10

Modeling and simulation of multi-materials for additive manufacturing Reviewed

Md. Hazrat ALI, Gaziz YERBOLAT, and @Syuhei KUROKAWA

International Journal on Interactive Design and Manufacturing   14   1057 - 1069   2020.8

Modelling of functionally graded materials using thermal loads Reviewed

Assetbek Ashirbekob, Anuar Abilgaziyev, @Syuhei Kurokawa, Md Hazrat Ali

Journal of Engineering Science and Technology   15 ( 3 )   1719 - 1730   2020.6

Pitting failure of helical gears induced by trochoidal interference and multidirectional, interacting wear Reviewed

#Koji KUMAGAI, Yuta NAITO, @Syuhei KUROKAWA

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   14 ( 4 )   1 - 13   2020.5

Hybrid effect study of PAD-conditioning/slurry-supply by high-pressure-micro-jet (HPMJ) method during CMP process Reviewed

Chengwu Wang, Toshiro Doi, Keiji Miyachi, Keiichi Tsukamoto, Tadakazu Miyashita, Syuhei Kurokawa, Li Fan, Yu Zhang, Wei Hang

ECS Journal of Solid State Science and Technology   9 ( 3 )   2020.3

Numerical and experimental analysis of the 3D printed multi-material ankle-foot orthosis Reviewed

Temirlan Otepbergenov, Zhalgas Smagulov, Anuar Abilgaziyev, Syuhei Kurokawa and Md. Hazrat Ali

Journal of Physics: Conference Series, Volume 1510, 2019 The 10th Asia Conference on Mechanical and Aerospace Engineering 26-28 December 2019, Bangkok, Thailand   2020.1

Evaluation of Feel of Fishing Reel by Elucidating the Relationship Between Tactile Sensation and Gear Vibration

Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

AHFE International Conference on Affective and Pleasurable Design, 2019 Advances in Affective and Pleasurable Design - Proceedings of the AHFE 2019 International Conference on Affective and Pleasurable Design   154 - 164   2020.1

Validity of quantifying sensation of fishing reel using transmission error instead of sensory human evaluation for face gear design Reviewed

Tetsuo INOUE, Syuhei KUROKAWA

Mechanical Engineering Journal   6 ( 6 )   1 - 20   2019.12

Shape optimization technique in 3D printing

Md Hazrat Ali, Temirlan Otepbergenov, Sagidolla Batay, Syuhei Kurokawa

3rd International Conference on Automation, Control and Robots, ICACR 2019 Proceedings of 2019 3rd International Conference on Automation, Control and Robots, ICACR 2019   2019.10

Surface Morphology of Femtosecond Laser Induced SiC Substrate and Effective CMP Application Reviewed

@Syuhei KUROKAWA, #Chengwu WANG, @Terutake HAYASHI

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.67   2019.10

Planarization of CVD polycrystalline SiC by plasma fusion CMP Reviewed

#Shuhei OKOGE, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, #Kaito WAKAMATSU

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.69   2019.10

Surface Processing for Fused Silica using Multi Shot Femtosecond Laser Beam Reviewed

#Ryosuke MIZUMACHI, @Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, #Yuki HIROTSU, @Noboru HASEGAWA, @Masamoto NISHIKINO, @Thanh-hung DINH

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.70   2019.10

Accuracy improvement of gear measuring machine with coordinate measuring function -Significant factors that cause scanning errors- Reviewed

#Yuto KAJITANI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, @Ryota MATSUOKA

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.120   2019.10

Nano particle sizing method based on the analysis of the nano particle diffusional motion Reviewed

@Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.121   2019.10

Nano particle sizing using nanoparticle chip Reviewed

@Terutake HAYASHI, #Jiaqing ZHU, @Syuhei KUROKAWA

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.122   2019.10

Polishing of Quartz Glass by Using Colloidal Ceria with Controlled Aggregation State Reviewed

#Kaito WAKAMATSU, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.123   2019.10

Three-dimensional Shape Measurement using Non-contact Line Laser Probe Reviewed

#Masanori KAJIKI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI

Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.124   2019.10

Improving the Estimation Accuracy of Fishing Reel Sensation Caused by Gear Vibration Using Tactile Response Delay Time Reviewed International journal

@Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the VDI International Conference on Gears 2019   1 - 11   2019.9

Development of tactile and non-tactile hybrid gear measuring machine - Pre-feasibility study of non-tactile gear measurement - Reviewed International journal

@Ryota MATSUOKA, @Tetsuya TAGUCHI and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019.9

Measurement of number based particle sizing distribution using nanoparticle micro array Reviewed International journal

#Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019.9

Three-dimensional Shape Measurement using Non-contact Line Laser Probe ‒ An abnormal phenomenon of excessive detection error ‒ Reviewed International journal

1 - 6   2019.9

Accuracy improvement of gear measuring machine with coordinate measuring function -Significant factors of deviation in measurement- Reviewed International journal

#Yuto KAJITANI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, @Ryota MATSUOKA

Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019.9

Direct observation of slurry particle behavior at the interface of CMP pad and glass substrate Reviewed International journal

@Syuhei KUROKAWA, #Atsushi WATANABE, @Terutake HAYASHI, @Naoyuki HANDA, @Yutaka WADA, @Chikako TAKATOH, @Shoichi SHIMA, and @Hirokuni HIYAMA

Proc. of the 2019 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2019)   1 - 2   2019.9

Acceleration of CO2 absorption rate of temperature-responsive hydrogels by precision machining and spray coating process Reviewed

#Syuhei KUROKAWA, #Shuhei YAMAMOTO, @Terutake HAYASHI, and @Yu HOSHINO

The 40th MATADOR International Conference on Advanced Manufacturing and Design   P.144   2019.7

Whole Outline Scanning Measurement of Internal Gear by using CNC Gear Measuring Machine Reviewed

#Syuhei KUROKAWA, #Yuuki UTSUNOMIYA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, and @Ryota MATSUOKA

The 6th International BAPT Conference on Power Transmissions 2019   P.1 - P.5   2019.6

Machinability of SMART Forging Process Materials in Intermittent Cutting 2nd Report: Machinability in Normal Cutting Region and Selection of Optimum Cutting Condition Reviewed

Mitsuaki Murata, Makoto Hino, Ryoichi Kuwano, Syuhei Kurokawa

3rd International Conference on Power, Energy and Mechanical Engineering, ICPEME 2019 E3S Web of Conferences   95   2019.5

Effects of changes in gas type and partial pressure on chemical mechanical polishing property of Si substrate Reviewed

Tao Yin, Kei Kitamura, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Zhaozhong Zhou, Kaiping Feng

ECS Journal of Solid State Science and Technology   8 ( 4 )   P293 - P297   2019.5

Influence of Trochoidal Interference near Base Circle of Helical Gears on Pitting Failure Reviewed

#Koji KUMAGAI, @Kunihiko MORIKAWA, @Atsushi HAYATA, @Yuta NAITO and @Syuhei KUROKAWA

The 8th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   ( TH-B-2-1 )   P1 - P2   2019.4

Influence of coating in square end mill using in-process tool wear detection based on electrical contact resistance Reviewed

@Amine Gouarir, @Syuhei Kurokawa, @Takao Sajima, @Mitsuaki Murata

International Journal of Automation Technology   13 ( 1 )   125 - 132   2019.1

Polishing Characteristics of MnO₂ Polishing Slurry on the Si-face of SiC Wafer Reviewed

@Tao Yin, @Tosiro Doi, @Syuhei Kurokawa, @Zhao zhong Zhou, @Kai ping Feng

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing   19 ( 12 )   1773 - 1780   2018.12

A novel nano particle characterizing method using nano particle micro array Reviewed International journal

@Terutake Hayashi, @Syuhei KUROKAWA, and #Zhu Jiaqing

Proc. of the 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)   1 - 2   2018.11

CMP Characteristics of Quartz Glass Substrate by Aggregated Colloidal Ceria Slurry Slurry Reviewed International journal

#Kaito WAKAMATSU, @Syuhei KUROKAWA, and @Terutake HAYASHI

Proc. of the 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)   1 - 4   2018.11

High Performance CMP of Oxide Film by Controlling Aggregation State of Colloidal Ceria Slurry Reviewed International journal

@Syuhei Kurokawa, #Takaaki Toyama, @Terutake Hayashi, @Eisaku Suda, and @Jun Tokuda

Proc. of the 2018 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2018)   1 - 4   2018.10

Estimation of feel of fishing reel by using the tactile response delay time Reviewed International journal

@Tetsuo Inoue and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the International Gear Conference 2018   1361 - 1371   2018.8

Machinability of SMART Forged Materials in Intermittent Cutting Reviewed International journal

@Mitsuaki MURATA, @Makoto HINO, @Ryoichi KUWANO, @Syuhei KUROKAWA

Int. J. of Materials Science and Engineering   Vol.6 ( No.1 )   1 - 9   2018.3

Study of Femtosecond Laser Ablation Effect on Micro-Processing for 4H-SiC Substrate Reviewed International journal

#Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Julong YUAN, @Li FAN, @Huizong LU, @Zhe WU, @Weifeng YAO, @Yu ZHANG, and @Toshiro DOI

Int. J. of Automation Technology   Vol.12 ( No.2 )   187 - 198   2018.3

SEM, AFM and TEM Studies for Repeated Irradiation Effect of Femtosecond Laser on 4H-SiC Surface Morphology at Near Threshold Fluence Reviewed International journal

#Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Toshiro DOI, @Julong YUAN, @Masatoshi MITSUHARA, @Weifeng YAO, and @Kehua ZHANG

ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol.7 ( Issue 2 )   P29 - P34   2018.1

Surface Morphology Evolution Induced by Repeated Femtosecond Laser Ablation on 4H-SiC Substrate and Its Application to CMP Reviewed International journal

#Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Toshiro DOI, @Julong YUAN, @Binghai LV, and @Kehua ZHANG

ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol.6 ( Issue 12 )   P835 - P861   2017.12

Dynamics of Photo-excitation for the Ablation of 4H-SiC Substrate using Femtosecond Laser Reviewed International journal

#Keigo MATSUNAGA, @Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, #Hideaki YOKOO, @Noboru HASEGAWA, @Masaharu NISHIKINO, and @Yoji MATSUKAWA

Proc. of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21   1 - 4   2017.11

Controllable CMP of Oxide Film by Using Colloidal Ceria Slurry Reviewed International journal

@Syuhei KUROKAWA, #Takaaki TOYAMA, @Terutake HAYASHI, @Eisaku SUDA, and @Jun TOKUDA

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2017   177 - 182   2017.10

Whole Gear Outline Scanning Measurement of Internal Gear by Using CNC Gear Measuring Machine Reviewed International journal

@Syuhei KUROKAWA, #Yuki UTSUNOMIYA, @Tetusya TAGUCHI, @Terutake HAYASHI, and @Yoji MATSUKAWA

Proc. of the 13th International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2017, ISMTII2017   1 - 6   2017.9

A Novel Particle Sizing Method for Nano Abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe Reviewed International journal

@Terutake HAYASHI, #Toshiki SERI, and @Syuhei KUROKAWA

Int. J. of Automation Technology   Vol.11 ( No.5 )   754 - 760   2017.9

Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reel by Coordinate Measurement and Gear Transmission Error Measurement Reviewed International journal

@Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

Applied Mechanics and Materials   Vol.870   185 - 190   2017.9

Influence of Waveform Components Derived from the Transmission Error of a Face Gear Pair on a Fishing Reel based on Tactile Sensibility Reviewed International journal

@Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

Precision Engineering   Vol.51   232 - 243   2017.8

SiC研磨技術の現状と新加工法－強酸化剤を添加したスラリーによる加工－ Reviewed

@黒河周平

砥粒加工学会誌   Vol.61 ( No.8 )   422 - 425   2017.8

Plasma Fusion Chemical Mechanical Polishing as a Next Generation Processing Technology and its Applications to SiC, GaN, and Diamond Substrates Reviewed International journal

@Hideo AIDA, @Toshiro DOI, @Yasuhisa SANO, and @Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 10th MIRAI Conference on Microfabricatoin and Green Technology, MIRAI2017 (Transaction of MIRAI)   Vol.5   70 - 75   2017.6

Whole Outline Scanning Measurement for Helical Gears Including Root and Bottom Profiles Reviewed International journal

@Syuhei KUROKAWA, #Takashi TERAOKA, #Yuki UTSUNOMIYA, @Tetusya TAGUCHI, @Terutake HAYASHI, and @Yoji MATSUKAWA

Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions MPT2017-Kyoto   1 - 4   2017.3

Effects of Pinion Gear Pressure Angle and Helix Angle Errors on Transmission Error of a Face Gear Modified with a Transmission Error Controlled Curve Reviewed International journal

Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions MPT2017-Kyoto   1 - 5   2017.3

The Polishing Effect of SiC Substrates in Femtosecond Laser Irradiation Assisted Chemical Mechanical Polishing (CMP) Reviewed International journal

Chengwu WANG, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Julong YUAN, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Kehua ZHANG, and Qianfa DENG

ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol. 6 ( Issue 4 )   P105 - P112   2017.1

Proposal of a face gear which generates virtual high mesh frequencyby addition of grooves on the tooth flank, and the investigation viavibration simulator and actual samples Reviewed International journal

Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

Precision Engineering   Vol. 47   321 - 332   2017.1

大型鍛鋼品の偏析帯と焼割れ発生の関係 Reviewed

有川 剛史, 今村 亮祐, 黒河 周平

日本機械学会論文集   Vol. 83 ( No.845 )   1 - 17   2016.12

Study on low power laser processing technique with instant surface excitation using femtosecond double pulse Reviewed International journal

Terutake HAYASHI, Keigo MATSUNAGA, Syuhei KUROKAWA, Hideaki YOKOO, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Takayuki KUMADA, Tomohiro OTOBE, Yoji MATSUKAWA, and Yasuhiro TAKAYA

Proc. of 16th International Conference on Precison Engineeering ICPE2016   C305-8183   1 - 4   2016.11

段付厚板の熱間曲げ加工における表面疵の発生挙動および曲げ加工の適正化 ― 大型鍛鋼クランクスローの成形工程に関する研究 ― Reviewed

有川 剛史, 堀江 祥平, 野崎 孝彦, 香川 恭徳, 柿本 英樹, 黒河 周平

塑性と加工   Vol. 57 ( No.670 )   1077 - 1082   2016.11

Planarization for Translucent Polycrystalline Alumina by Surface Polishing Technique Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Leo HIRASHIMA, Terutake HAYASHI, Keiichiro WATANABE, Hiroyuki TSUJI, and Tomoki NAGAE

Proc. of 16th International Conference on Precison Engineeering ICPE2016   C111-8207   1 - 2   2016.11

Scanning Strategy of Edge Corners in Gear Outline Measurement Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Yuki UTSUNOMIYA, Takashi TERAOKA, and Terutake HAYASHI

Proc. of the International Conference on Power Transmissions 2016   917 - 921   2016.10

Gear Metrology for Gear Meshing Accuracy and Nano-Manufacturing Application to Micro Gear Engagement Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Hyomin CHA, Terutake HAYASHI, and Morihisa HOGA

Proc. of 5th International Conference on Power Transmission BAPT2016   194 - 198   2016.10

Particle Size Ddistribution Analysis for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe Reviewed International journal

Terutake HAYASHI, Toshiki SERI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2016   75 - 78   2016.10

CMP Characteristics for SiC Substrates Irradiated by Femtosecond Laser Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Chengwu WANG, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Terutake HAYASHI, and Noboru FUKIHARU

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2016   86 - 89   2016.10

In-Process Tool Wear Detection of Uncoated Square End Mill Based on Electrical Contact Resistance Reviewed International journal

Amine GOUARIR, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, and Mitsuaki MURATA

International Journal of Automation Technology   Vol. 10 ( No.5 )   767 - 772   2016.9

大型鍛鋼品ポリマー焼入れにおける段付き丸棒のフランジ厚みが焼割れ発生に及ぼす影響―大型鍛鋼品のポリマー焼入れに関する研究― Reviewed

有川 剛史, 今村 亮祐, 松宮 知朗, 沖田 圭介, 松田 真理子, 黒河 周平

塑性と加工   Vol. 57 ( No.666 )   648 - 654   2016.7

Study on Surface Excitation of SiC by Double Pulse Femtosecond Laser Process –Investigation of Surface Irradiation- Reviewed International journal

2016.5

Removal Rate Improvement in SiC-CMP and its Mechanisms Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA

Proc. of Cross-Strait and Asia-Pacific Conference on Wafer Planarization/CMP Technology 2016, APWCMP2016   151 - 156   2016.5

Real-time evaluation of tool wear detection system under wet machining based on electrical contact resistance Reviewed International journal

Amine GOUARIR, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, and Mitsuaki MURATA

P4.12   311 - 312   2016.5

High-efficiency Planarization Method Combining Mechanical Polishing and Atmospheric-pressure Plasma Etching for Hard-to-machine Semiconductor Substrates Reviewed International journal

Yasuhisa SANO, Kousuke SHIOZAWA, Toshiro DOI, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Tadakazu MIYASHITA, Kazuto YAMAUCHI

Mechanical Engineering Journal   Vol. 3 ( No.1 )   1 - 9   2016.1

大型鍛鋼品ポリマー焼入れにおけるポリマー水溶液の劣化が焼割れ発生に及ぼす影響 Reviewed International journal

有川 剛史, 朴 海洋, 松宮 知朗, 今村 亮祐, 沖田 圭介, 松田 真理子, 黒河 周平

日本機械学会論文集   Vol.82 ( No.833 )   1 - 11   2016.1

Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reels Using a Bone Conduction Speaker Based on Transmission Error of Gear Pairs and Predication by MT System Reviewed International journal

Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa, Takashi MAENO, Yasutoshi MAKINO

Mechanical Engineering Journal   Vol. 2 ( No.6 )   1 - 9   2015.12

Consideration of Femtosecond Laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing Reviewed International journal

Chengwu WANG, Syuhei Kurokawa, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OYAMA, Terutake Hayashi, Ji ZHANG, Eiji ASAKAWA

Applied Mechanics and Materials   Vols. 799-800   458 - 462   2015.10

Proposal of a Face Gear which Generates Virtual High Mesh Frequency by Addition of Grooves on the Tooth Flank Reviewed International journal

Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

Proc. of International Conference on Gears, VDI-Berichte Nr.2255, 2015   2015.10

In-process Tool Wear Detection of Square End mill Based on DC Two Terminal Method Reviewed International journal

Amine Gouarir, Syuhei Kurokawa, Mitsuaki Murata, Takao Sajima, Tetsuya Torii

Proc. of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21, 2015   2015.10

A Study on Fluorescence Polarization Method for Analyzing Diffusional Movement of Abrasive Grain in CMP Slurry Reviewed International journal

Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

Proc. of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21, 2015   2015.10

Optimization of Machining Conditions of Basic-Type CMP/PCVM Fusion Processing Using SiC Substrate Reviewed International journal

Yasuhisa Sano, Kousuke SHIOZAWA, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Haruo Sumizawa, Kazuto Yamaguchi

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015.9

Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reel by Coordinate Measurement and Gear Transmission Error Measurement Reviewed International journal

Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015.9

Comprehensive Evaluation for Individual Gear Accuracy by Whole Circumference Scanning Measurement Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Kensuke Uesugi, Takashi Teraoka, Tetsuya Taguchi, Terutake Hayashi, Yoji Matsukawa

Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015.9

A Novel Measurement Method for Brownian Diffusion of Nano-abrasives in CMP Slurry Reviewed International journal

Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015.9

Proposal of Cleanliness Evaluation Method of CMP Pad and Investigation of Cleaning Effect by the High-Pressure Jet Reviewed International journal

Masashi Kitamura, Syuhei Kurokawa, Yuta Tokumoto, Terutake Hayashi, Hirokuni Hiyama, Yutaka Wada, Chikako Takatoh

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015.9

Brownian Diffusion Analysis for Nano-Abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescence Polarization Method Reviewed International journal

Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015.9

Study on Innovative Plasma Fusion CMP and its Application to Processing of Diamond Substrate Reviewed International journal

Hideaki Nishizawa, Koki Oyama, Toshiro Karaki Doi, Hideo Aida, Seongwoo Kim, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Chengwu Wang

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015.9

Development of 3D Printer with Integrated Temperature Control System Reviewed International journal

N. Mir-Nasiri, Md. Hazrat Ali, Syuhei Kurokawa

Proc. of the 4th International Conference on Informatics, Electronics & Vision, ICIEV2015   2015.6

Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reels Using a Bone Conduction Speaker Based on Transmission Error of Gear Pairs Reviewed International journal

Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa, Takashi MAENO, Yasutoshi MAKINO

Proc. of the 6th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2015   2015.4

Conformal Resist Coating Technique for TSV Manufacturing Process by Electrostatic Spray Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Tomoaki HOTOKEBUCHI, Yusuke UCHIYAMA, Keiji MIYACHI, Yoshinori KOBAYASHI, Terutake Hayashi, Kazuhisa MATSUO

Proc. of the 38th Internatinal Manufacturing Automation and Systems Technology Applications Design Organisation and Management Research (MATADOR) Conference   2015.3

Study on a Novel CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type B) and Its Basic Characteristics Reviewed International journal

Koki OYAMA, Toshiro Karaki Doi, Yasuhisa SANO, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Tadakazu MIYASHITA, Seongwoo KIM, Tsutomu YAMAZAKI, Hideaki NISHIZAWA

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014.11

Development of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type A) and Its Fundamental Characteristics Reviewed International journal

Kousuke SHIOZAWA, Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Tadakazu MIYASHITA, Haruo SUMIZAWA, Kazuto YAMAUCHI

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014.11

Processing Characteristics of SiC Wafer by Consideration of Oxidation Effect in Different Atmospheric Environment Reviewed International journal

Ji ZHANG, Syuhei Kurokawa, Terutake Hayashi, Eiji ASAKAWA, Chengwu WANG

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014.11

Study on Diffusion Coefficient Evaluation for Free Abrasives and Chemicals by Using Fluorescent Anisotropy Analysis Reviewed International journal

Terutake Hayashi, Toshiki SERI, Syuhei Kurokawa

Proc. of the 18th International Conference on Mechatronics Technology   2014.10

Development of Gear Measuring Machine for Whole Scanning Method of Cylindrical Gear Outline and Evaluation of Tooth Root and Tooth Profile Deviations Reviewed International journal

Takashi TERAOKA, Kensuke UESUGI, Syuhei Kurokawa, Tetsuya TAGUCHI, Terutake Hayashi, Yoji MATSUKAWA

Proc. of the 18th International Conference on Mechatronics Technology   2014.10

Rotational Feeling Evaluation in Fishing Reel Using Vibration Simulator (Influence of Transmission Error Component of Gear Pair onTtactile Sensibility) Reviewed International journal

Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa

Proc. of the International Gear Conference   2014.8

Application of machine vision in improving safety and reliability for gear profile measurement Reviewed International journal

MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

Machine Vision and Application   25 ( 6 )   1549 - 1559   2014.8

Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface Reviewed International journal

Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yu OKADA, Hiroaki NISHIKAWA, Kazuto YAMAUCHI

Key Engineering Materials   2014.8

Identification of Radii of Tooth Root and Pitch Deviations from Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI, Takashi TERAOKA, M.D. Hazrat ALI, Tetsuya TAGUCHI, Yoji MATSUKAWA

Proc. of the International Gear Conference   2014.8

The Study of Film Formation Process by Electrospray Method to Manufacture High Productivity Organic Light-Emitting Diode Devices Reviewed International journal

Yoshiyuki SEIKE, Yasushi Koishikawa, Mikihiro KATO, Keiji MIYACHI, Syuhei Kurokawa, Akinari DOI, Hiroshi MIYAZAKI, CHIHAYA ADACHI

SID 2014 Digest   2014.6

Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage Reviewed International journal

Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Kousuke SHIOZAWA, Yu OKADA, Kazuto YAMAUCHI

Sensors and Materials   2014.6

Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining(CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts Reviewed International journal

Toshiro Karaki Doi, Yasuhisa SANO, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OHYAMA

Sensors and Materials   2014.6

Performance Analysis of High Speed Tool Wear Detection System based on DC Two Terminal Methods Reviewed International journal

Amine GOUARIR, Syuhei Kurokawa, Mitsuaki MURATA, Fujiwara HIROAKI

Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Control of Industrial Processes   2014.5

Approach to High Efficient CMP for Power Device Substrates Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Chengwu W. WANG, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI

ECS Transactions   2014.3

Macromodel for Changes in Polishing Pad Surface Condition Caused by Dressing and Polishing Reviewed International journal

Akira ISOBE, Kenjiro OGATA, Syuhei Kurokawa

Japanese Journal of Applied Physics   53 ( 1 )   016501-1 - 016501-7   2013.12

Camera Based 3D Probe Control in Measuring Gear Profile Reviewed International journal

MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI, Takashi TERAOKA

Proc. of the Second International Conference on Robot, Vision and Signal Processing   1 - 5   2013.12

Camera Based Precision Measurement in Improving Measurement Accuracy Reviewed International journal

MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

Measurement   49   138 - 147   2013.12

Proposal of New Polishing Mechanicam Based on Feret’s Diameter of Contact Area between Polishing Pad and Wafer Reviewed International journal

52 ( 12 )   126503-1 - 126503-6   2013.11

Removal Rate Improvement in SiC-CMP Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Takateru EGASHIRA, Zhe TAN, Tao YIN, Toshiro Karaki Doi

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013   271 - 276   2013.11

Diamond Substrate Planarization Polishing Technique Reviewed International journal

Koki OYAMA, Toshiro Karaki Doi, Hideo AIDA, Syuhei Kurokawa, Yasuhisa SANO, Hidetoshi TAKEDA, Koji KOYAMA, Tsutomu YAMAZAKI, Kunimitsu TAKAHASHI

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013   307 - 309   2013.11

Control Strategy of Developed Mechanical Actuator in Measuring Hole-Surface Parameter Reviewed International journal

MD. Hazrat ALI, Akio KATSUKI, Takao Sajima, Hiroshi MURAKAMI, Syuhei Kurokawa

International Journal of Advanced Manufacturing Technology   69 ( 5-8 )   1 - 10   2013.11

Mechanisms of Local Planarization Improvement Using Solo Pad in Chemical Mechamical Polishing Reviewed International journal

Akira ISOBE, Toshiyuki YOKOYAMA, Takashi KOMIYAMA, Syuhei Kurokawa

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 12 )   126501-1 - 126501-6   2013.11

New Model of Defect Formation Caused by Retainer Ring in Chemical Mechanical Polishing Reviewed International journal

Akira ISOBE, Takashi KOMIYAMA, Syuhei Kurokawa

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 12 )   126502-1 - 126502-5   2013.11

Development of a Laser-Guided Deep-Hole Measurement System --- Adjustment to a Small Size --- Reviewed International journal

Akio KATSUKI, M.D. Hazrat ALI, Takao Sajima, Hiroshi MURAKAMI, Osamu OHNISHI, Syuhei Kurokawa

Proc. of the the Twenty-Eighth Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE2013   431 - 436   2013.10

Experimental Estimation for Wear Resistance of Coating Films on High-speed Steel Hob and the Effect of Oxidization of Coating Films on Crater Wear Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Yoji Umezaki, Yoshiyuki FUNAKI

Proc. of the International Conference on Gears VDI-Berichte 2199.2   917 - 929   2013.10

Influence of Manufacturing Error on Transmission Error of a Face Gear with Controlled Curve and Proposal of Improved Manufacturing Process Reviewed International journal

Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa

Proc. of the International Conference on Gears VDI-Berichte 2199.2   1043 - 1054   2013.10

Formation and Evaluation of Quasi-radical Site Induced by Femtosecond Laser on the Surface of Diamond Reviewed International journal

Chengwu WANG, Syuhei Kurokawa, Shin-ichi KOMAI, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI, Yasuhisa SANO, Keiichi TSUKAMOTO, Toshiro Karaki Doi

Proc. of the 13th International Symposium on Aerospace Technoloy   49 - 51   2013.10

Application of MEMS Technique for Micro Gear Metrology Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Yoji Umezaki, Morihisa HOGA, Ryohei ISHIMARU, Osamu OHNISHI, Toshiro Karaki Doi

Proc. of the 4th International Conference on Power Transmissions   457 - 466   2013.9

Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears Including Working Flanks, Tooth Tip and Bottom Profiles Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, M.D. Hazrat ALI, Kensuke UESUGI, Tetsuya TAGUCHI, Yoji Umezaki, Yoji MATSUKAWA

Proc. of the 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII2013   1 - 5   2013.7

工具･被削材間接触電気抵抗変化による正面フライス工具摩耗のインプロセス検出 Reviewed

日本機械学会論文集（Ｃ編）   79巻 ( 803号 )   2546 - 2557   2013.7

Autonomous Road Surveillance System: A Proposed Model for Vehicle Detection and Traffic Signal Control Reviewed International journal

M.D. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, A.A. SHAFIE

Proc. of the 3rd International Symposium on Frontiers in Ambient and Mobile Systems   19   963 - 970   2013.6

Vision Based Measurement System for Gear Profile Reviewed International journal

MD. Hazrat Ali, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

Proc. of the International Conference on Informatics, Electronics & Vision 2013, ICIEV13   1 - 6   2013.5

Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel Reviewed International journal

Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

Proc. of the 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013   19   2013.5

Prototype of a Grating Disk of 500 μm in Diameter using Nanoimprint Technique to Evaluate the Micro Gear Engagement Reviewed International journal

74   2013.5

A Study for Damage of Carbide Hobs Reviewed International journal

Ryohei Ishimaru, Isao Sakuragi, Yasuo Yoshitake, Naoshi Izumi, Syuhei Kurokawa

Proc. of the 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013   187   2013.5

Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods Reviewed International journal

Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

Proc. of the 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, CJUMP2013   72 - 76   2013.3

Formation of Organic EL Films by Combination of Precision Spray Deposition Method and Imprinting Technique under Atmospheric Pressure Reviewed International journal

Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Takanori Iwahashi, Koichi Sato, Yoshinori Kobayashi

Proc. of the 12th International Symposium on Advanced Organic Photonics ISAOP-12   2012.12

Development of Mechanical Actuator for Deep-Hole Measurement System Reviewed International journal

Md. Hazrat Ali, Akio Katsuki, Takao Sajima, Hiroshi Murakami, Syuhei Kurokawa

Proc. of the First International Conference for Trends in Intelligent Robotics, Automation, and Manufacturing IRAM2012   280 - 287   2012.11

三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究（第1報 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化） Reviewed

清家 善之, 大坪 正徳, 鳥井 太, 丸山 健治, 山本 浩之, 小林 義典, 宮地 計二, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修

精密工学会   78 ( 11 )   965 - 969   2012.11

Tool Flank Wear Estimation in Face Milling by Holm's Contact Theory Reviewed International journal

Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

Proc. of the International Conference on Manufacturing Process Technology 2012   2 - 3   2012.10

The Effects of Strong Oxidizing Slurry and Processing Atmosphere on Double-sided CMP of SiC Wafer Reviewed International journal

Advanced Materials Research   591-593   1131 - 1134   2012.10

Processing Properties of Strong Oxidizing Slurry and Effect of Processing Atmosphere in SiC-CMP Reviewed International journal

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2012   333 - 338   2012.10

SiC-CMP Processing Characteristics under Different Atmospheres Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant Reviewed International journal

Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   22 - 23   2012.10

Conformal Resist Coating Technique in the Trough-Silicon Via (TSV) with a Rotary Atomizer Aerosol Spray Reviewed International journal

Yoshiyuki Seike, Masanori Ohtsubo, Kenji Maruyama, Futoshi Shimai, Hiroyuki Akenaga, Hiroshi Morishita, Keiji Miyachi, Masahiko Amari, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa

Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   72 - 73   2012.10

Evaluation of Surface Damaged Layer Depth of Si Wafer for TSV Reviewed International journal

Shinichi Iwamoto, Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, MIchio Uneda, Osamu Ohnishi, Toshiyuki Suzuki, Yasuhiro Kawase, Ken Harada

Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   88 - 89   2012.10

Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine Reviewed International journal

Takateru Egashira, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, MIchio Uneda, Isamu Koshiyama, Daizo Ichikawa

Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   90 - 91   2012.10

Real-Time Evaluation of Tool Flank Wear by In-Process Contact Resistance Measurement in Face Milling Reviewed International journal

Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Toshiro Karaki Doi

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 6 )   958 - 970   2012.8

Precision Profile Measurement System for Microholes Using Vibrating Optical Fiber Reviewed International journal

Takao Sajima, Hiroshi Murakami, Akio Katsuki, Daisuke Tabuchi, Osamu Ohnishi, Syuhei Kurokawa, Hiromichi Onikura, Toshiro Karaki Doi

Sensors and Materials   24 ( 7 )   387 - 396   2012.7

研磨パッドにおける各種溝パターンがスラリーフローに及ぼす影響 Reviewed

山崎努，土肥俊郎，畝田道雄，黒河周平，大西修，瀬下清，會田英雄

砥粒加工学会誌   56 ( 6 )   2012.6

Optical Performance of a Laser Point Source Strongly Emitted by an Aspheric Expander Reviewed International journal

Songchon Park, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi

Advanced Materials Research   497   304 - 310   2012.4

Mn2O3 Slurry Achieving Reduction of Slurry Waste Reviewed International journal

Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Japanese Journal of Applied Physics   5１ ( １ )   2012.4

Mn2O3 Slurry Reuse by Circulation Achieving High Constant Removal Rate Reviewed International journal

Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Japanese Journal of Applied Physics   5１ ( 4 )   2012.4

電界トライボケミカル反応を利用した高効率研磨技術の開発（電界下における研磨界面のスラリー挙動がガラス基板の研磨特性に及ぼす影響） Reviewed

池田 洋, 赤上 陽一, 畝田 道雄, 大西 修, 黒河 周平, 土肥 俊郎

精密工学会   78 ( 4 )   316 - 320   2012.4

Development of Novel Groove Pattern for CMP Pad Reviewed International journal

Advanced Materials Research   497   264 - 267   2012.4

Development of In-process Tool Flank Wear Detection System for Intermittent Cutting Process by Face Milling Reviewed International journal

Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Toshiro DOI

Proc. of the 4th International Conference on Advanced Manufacturing   2012.3

The Evaluation of Cylindrical Gear Measurement on Teeth Roots and Bottom Profiles in Different Sections Reviewed International journal

Sung-Min MOON, Jae-Hwa KANG, Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, and Sung-Ki LYU

Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers   11 ( 1 )   2012.2

加工環境コントロール型CMP装置によるガラス基板の研磨特性（CeO2スラリー使用量の低減を指向した加工雰囲気の効果） Reviewed

山崎努，土肥俊郎，黒河周平，大西修，畝田道雄，梅崎洋二，尹涛，會田英雄

精密工学会誌   78 ( 2 )   2012.2

Wear Resistance of Coating Films on Hob Teeth --- Intermittent Cutting Tests with a Flytool --- Reviewed International journal

Yoji UMEZAKI, Yoshiyuki FUNAKI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 2 )   2012.2

Fast Diffusion of Water Molecules into Chemically Modified SiO2 Films Formed by Chemical Vapor Deposition Reviewed International journal

Atsushi OHTAKE, Kinya KOBAYASHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Chemistry Letters   41 ( １ )   2012.1

Nanomanufacturing of Radial Grating Patterns by Nanoimprint with a Silicon Mold for Rotational Angle Measurement of Microgears Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Morihisa Hoga, and Toshiro DOI

International Journal of Nanomanufacturing   8 ( 1-2 )   2012.1

Dielectric SiO2 Planarization Using MnO2 Slurry Reviewed International journal

Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Japanese Journal of Applied Physics   5１ ( １ )   2012.1

Derivation of Path of Contact and Tooth Flank Modification by Minimizing Transmission Error on Face Gear Reviewed International journal

Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( １ )   2012.1

空間移動平均法とMUSIC 法の併用による強相関複数騒音源の位置同定に関する研究（小型マイクロホンアレーシステムを指向した高精度位置同定法） Reviewed

畝田道雄，近藤容章，石川憲一，大西修，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   77 ( 12 )   2011.12

電界砥粒制御技術を適用したガラス基板の高効率研磨技術の開発（電界がスラリー挙動とガラスの研磨特性に及ぼす影響） Reviewed

池田洋，赤上陽一，畝田道雄，大西修，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   77 ( 12 )   2011.12

Research on the electrochemical process (E-CMP) for aluminum alloy-Polishing on inside an aluminum tank for fuel system Reviewed International journal

Toshiro DOI, Kenji YOJIMA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, Tsutomu YAMAZAKI and Takahiro MIURA

Proc. of Fray International Symposium 2011   2011.11

Simplified Method of Evaluation Scratches on the Wafer Polished by Fumed Silica Slurry Reviewed International journal

Satoshi YAMAGUCHI, Toshiro DOI, Hiroyuki KOHNO, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Yoji MATSUKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Investigation into Mechanism of Pre-CMP Electroplated Copper Overgrowth and Various Defects of Cu on Trench and Via Holes Reviewed International journal

Atsushi OHTAKE, Akihiro SANO, Kinya KOBAYASHI, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Processing Characteristics of SiC Wafer by Atmosphere-Controlled CMP Machine Reviewed International journal

Tao YIN, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Zhida WANG, Zhe TAN, and Takateru EGASHIRA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Numerical Discussion of Polishing Mechanism Considering Contact Area of Polishing Pad and that of Polishing Abrasives Reviewed International journal

Akira ISOBE, Shinichi HABA, Hideaki NISHIZAWA, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Removal Mechanism of Oxide Single Crystal in Chemical Mechanical Polishing Reviewed International journal

Shinji KOGA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yoji MATSUKAWA, Keiji MATSUHIRO, and Tsutomu YAMAZAKI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

The High-Efficiency Polishing Technology for Glass Substraight Using Electrical Controlled Slurry Polishing Reviewed International journal

Hiroshi IKEDA, Yoichi AKAGAMI, Michio UNEDA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Development of Novel Pad Groove Design to Achieve High Efficiency CMP --- Designing of Novel Groove Patterns Based on Image Analysis of Slurry Flow Behavior --- Reviewed International journal

Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yoji UMEZAKI, Kiyoshi SESHIMO, and Hideo AIDA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Development of Novel Pad Groove Design to Achieve High Efficiency CMP --- Friction Characteristic for Glass Polishing --- Reviewed International journal

Yu MORIWAKI, Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Michio UNEDA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

Precision Deposition of Organic EL Films under the Atmosphere Pressure by Combined Processing of Spray and Nanoimprinting Reviewed International journal

Takanori IWAHASHI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Koichi SATO, Yoshinori KOBAYASHI, and Masahiko MURATA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011.11

In-process Tool Flank Wear Detection in Intermittent Cutting Process by Face Milling Reviewed International journal

Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Toshiro DOI

Proc. of the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 2011,   2011.11

Study on Formation of Films by a Spray Deposition Method for the Organic Thin Film Solar Cells Reviewed International journal

Masahiko MURATA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Takanori IWAHASHI, Kunihito MIYAKE, Keiji MIYACHI, and Yoshinori KOBAYASHI

Proc. of the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 2011,   2011.11

Development of Novel Groove Pattern for CMP Pad Reviewed International journal

Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Kiyoshi SESHIMO, and Hideo AIDA

Proc. of the 8th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining   2011.11

Optical Performance of a Laser Point Spurxe Strongly Emitted by an Aspheric Expander Reviewed International journal

Song Chon PARK, Sang Ho SEO, Toshiro DOI, Michio UNEDA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Tsutomu YAMAZAKI

Proc. of the 8th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining   2011.11

Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Proc. of Advances in Power Transmission Science and Technology   2011.10

酸化セリウムとその代替を目指す酸化マンガン系スラリーによるガラス基板の研磨特性とその加工メカニズム Reviewed

山崎努，土肥俊郎，黒河周平，大西修，畝田道雄，梅崎洋二，山口靖英，岸井貞浩

精密工学会誌   77 ( 10 )   2011.10

画像処理によるスラリーフローの定量評価研究 Reviewed

畝田道雄，村田慎太郎，成瀬尚，山崎努，大西修，黒河周平，石川憲一，土肥俊郎

日本機械学会論文集（C編）   77 ( 782 )   2011.10

Mn2O3 Slurry Reuse for SiO2 Film CMP Reviewed International journal

Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials   2011.9

同時加熱成形法を用いたCFRPパイプ破裂強度改善に関する研究 Reviewed

三浦崇寛，田淵大介，佐島隆生，大西修，鬼鞍宏猷，土肥俊郎，黒河周平

精密工学会誌   77 ( 9 )   2011.9

Characteristics of Thermo-Electromotive Force, Electric Current and Electric Resistance in Intermittent Cutting Process by Face Milling Reviewed International journal

Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Toshiro DOI, and Michio UNEDA

Advanced Materials Research   314-316   2011.9

Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Applied Mechanics and Materials   86   2011.9

CMP Characteristics of SiC Wafers Using a Simultaneous Double-side CMP Machine ---Effects of Atmosphere and Ultraviolet Light Irradiation --- Reviewed International journal

Osamu OHNISHI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Kei KITAMURA, Tao YIN, Isamu KOSHIYAMA, and Koichiro ICHIKAWA

Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011.9

Development of New Groove Patterns on CMP Pad --- Slurry Flow Analysis using Digital Image Processing --- Reviewed International journal

Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Michio UNEDA, Osamu OHNISHI, Kiyoshi SESHIMO, and Yasunori ASO

Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011.9

Performance Evaluation Method of CMP Pad Conditioner Using Digital Image Correlation (DIC) Processing Reviewed International journal

Michio UNEDA, Tatsunori OMOTE, Ken-ichi ISHIKAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011.9

Micro Radial Grating Disk Manufactured by Nanoimprinting Technique for Transmission Error Measurement of Micro Gears Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, Morihisa HOGA, Yoji MATSUKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Proc. of the 56th International Scientific Colloquium   2011.9

Comparison of Quartz and Silicon as a Master Mold Substrate for Patterned Media UV-NIL Replica Process Reviewed International journal

Morihisa HOGA, Kimio ITOH, Mikio ISHIKAWA, Naoko KUWAHARA, Masaharu FUKUDA, Nobuhito TOYAMA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Microelectronic Engineering   88 ( 8 )   2011.8

ホブコーティング膜の耐摩耗性に関する基礎研究（一本刃舞いツールによる断続切削試験） Reviewed

梅崎洋二，舟木義行，黒河周平，大西　修，土肥俊郎

日本機械学会論文集（C編）   77 ( 779 )   2011.7

Tungsten Film Chemical Mechanical Polishing using MnO2 Slurry Reviewed International journal

Sadahiro KISHII, Akiyoshi HATADA, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 7 )   2011.7

Development of a Filament-Winding Machine Based on Internal Heating by a High-Temperature Fluid for Composite Vessels Reviewed International journal

Daisuke TABUCHI, Takao SAJIMA, Toshiro DOI, Hiromichi ONIKURA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Takahiro MIURA

Sensors and Materials   23 ( 6 )   2011.6

Negative-tone E-beam Resist Patterning for more than 1 Tbit/in.2 Bit-patterned Media NIL Mold Reviewed International journal

Morihisa HOGA, Kimio ITOH, Mikio ISHIKAWA, Nobuhiro TOYAMA, Hiroaki KITAHARA, Tadashi FUJINAWA, Tetsuya IIDA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of the 55th International Conference of Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication   2011.6

Processing Characteristics to Grooving of Brittle Materials with Micro Ni-W Electroplated Diamond Tools ---Influence of Coolant and Tool Runout on Tool Life --- Reviewed International journal

Hironori NISHI, Osamu OHNISHI, Hiromichi ONIKURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Michio UNEDA, Weichen KUO, and Toshihiko EGUCHI

Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011.5

Gear Metrology and Nanomanufacturing Application for Micro Gear Measurement Invited International journal

Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Morihisa HOGA, Toshiro DOI, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Yoji MATSUKAWA

Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011.5

High Efficient Processing of Si and SiC Wafer by Atmosphere-Controlled CMP Machine Reviewed International journal

Tao YIN, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Zhida WANG, and Takateru EGASHIRA

Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011.5

CMPにおける材料除去能率向上に向けた研磨抵抗の要因解析 Reviewed

玉井一誠，安井晃仁, 芹川雅之, 森永　均, 土肥俊郎, 黒河周平, 大西　修, 畝田道雄

先端加工学会誌   29 ( 1 )   2011.4

タングステンCMPスラリーのリサイクルに関する基礎的研究 Reviewed

船越考雄，小島泉里，石井慶一郎，土肥俊郎，黒河周平，大西　修

精密工学会誌   77 ( 4 )   2011.4

Derivation of Path of Contact and Tooth Flank Modification by Minimizing Transmission Error on Face Gear Reviewed International journal

Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 4th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   2011.4

Development of a Nonperiodic Boundary Practical Simulator for Oxide and Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing Processes Reviewed International journal

Atsushi OHTAKE, Toshiyuki ARAI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Journal of the Electrochemical Society   158 ( 2 )   2011.2

Analysis of Chemical and Mechanical Factors in CMP Processes for Improving Material Removal Rate Reviewed International journal

Kazusei TAMAI, Hitoshi MORINAGA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

Journal of the Electrochemical Society   158 ( 3 )   2011.1

Development of U-anchor CFRP Rod Manufacturing Machine Reviewed International journal

Daisuke TABUCHI, Takao SAJIMA, Hiromichi ONIKURA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, and Toshiaki OHTA

Advanced Materials Research   168-170   2010.12

Preparation of Optically Transparent Anti-static Films Reviewed International journal

Yuki KUGIMOTO, Atsumi WAKABAYASHI, Toshiaki DOBASHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Toshiro DOI

Proc. of 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering   2010.12

Detection of Large-Sized Foreign Particles in CMP Slurry and Reduction of Micro-Scratches (II) Reviewed International journal

Takao FUNAKOSHI, Senri OJIMA, Yohei YAMADA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, and Yoji MATSUKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010.11

Factorial Analysis of Friction Energy for Material Removal Rate Improvement in CMP Processing Reviewed International journal

Kazusei TAMAI, Akihito YASUI, Masayuki SERIKAWA, Hitoshi MORINAGA, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010.11

Chemical Mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC) with Manganese Oxide Slurry ---Polishing Characteristics under High Pressure Gas Atmosphere Inside the Bell-Jar (Chamber) Shaped CMP Machine--- Reviewed International journal

Tadashi HASEGAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Yasuhiro KAWASE, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010.11

Quantification of Asperity’s Conditions on Pad Surface with Diamond Conditioner Reviewed International journal

2010.10

Study on the Development of Resource-Saving High Performance Slurry ---Polishing/CMP for Glass Substrates in a Radical Polishing Environment, Using Manganese Oxide Slurry as an Alternative for Ceria Slurry--- Reviewed International journal

Toshiro K. DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoichi AKAGAMI, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

Advances in Science and Technology   64   2010.10

SiC-CMP Characteristics under High Pressure Gas Atmospheres using Manganese Slurry Reviewed International journal

Tadashi HASEGAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Yasuhiro KAWASE, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010.10

Characteristics of Silicon CMP Performed in Various High Pressure Atmospheres ---Development of a New Double-side Simultaneous CMP Machine Housed in a High Pressure Chamber--- Reviewed International journal

Kei KITAMURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji MATSUKAWA, Tadashi HASEGAWA, Isamu KOSHIYAMA, and Koichi ICHIKAWA

Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010.10

CMP Characteristic on Crystal Orientations of Single-Crystal Si and High-Precision Planarization CMP of Poly-Si Reviewed International journal

Shinichi YOSHIURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Naofumi SHINYA

Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010.10

Semiconductor Device Cleaning with Liquid Aerosol Nozzle using Rotary Atomizer Method Reviewed International journal

Yoshiyuki SEIKE, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010.10

CMPにおける高圧マイクロジェットによる不織布系パッドの非破壊コンディショニング Reviewed

宮地計二，黒河周平，土肥俊郎，清家善之，泉川晋一，赤間太郎，大西　修

精密工学会誌   76 ( 9 )   2010.9

高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究（ノズル形状の違いが洗浄力に与える影響） Reviewed

宮地計二，黒河周平，川島早由里，明永裕樹，清家善之，小林義典，大西　修，土肥俊郎

精密工学会誌   76 ( 8 )   2010.8

Polishing Mechanism of Glass Substrates with Its Processing Characteristics by Cerium Oxide and Manganese Oxide Slurries Reviewed International journal

Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Sho ISAYAMA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Hiroyuki KONO, Youichi AKAGAMI, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasuhiro KAWASE

Key Engineering Materials   447-448   2010.7

Removal Rate Simulation of Dissolution-Type Electrochemical Mechanical Polishing Reviewed International journal

Akira FUKUDA, Akira KODERA, Yasushi TOMA, Tsukuru SUZUKI, Hirokuni HIAMA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 7 )   2010.7

Basic Characteristics of a Simultaneous Double-side CMP Machine, Housed in a Sealed, Pressure-Resistance Container Reviewed International journal

Kei KITAMURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Yota OOKI, Tadashi HASEGAWA, Isamu KOSHIYAMA, Koichiro ICHIKAWA, and Yoshio NAKAMURA

Key Engineering Materials   447-448   2010.7

Improvement in Drilling Performance of Micro Compound Tool Reviewed International journal

Osamu OHNISHI, Hiromichi ONIKURA, Toshihiko EGUCHI, Muhammad AZIZ, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

Key Engineering Materials   447-448   2010.7

STI-CMP性能に及ぼすウェーハエッジ形状の影響（FEM解析を用いたウェーハ面圧分布計算による考察） Reviewed

福田　明，福田哲生，檜山浩國，辻村　学，土肥俊郎，黒河周平，大西　修

日本機械学会論文集 C編   76 ( 766 )   2010.6

Silicon Wafer Cleaning Using New Liquid Aerosol with Controlled Droplet Velocity and Size by Rotary Atomizer Method Reviewed International journal

Yoshiyuki SEIKE, Keiji MIYACHI, Tatsuo SHIBATA, Yoshinori KOBAYASHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 6 )   2010.6

Impact of High-Speed Image Recognition of Transition Phenomenon of Chip Formation and Chip Flow in Gear Hobbing Process Reviewed International journal

Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Key Engineering Materials   437   2010.3

Surface Durability of Austempered Ductile Iron (ADI) Rollers under Minimal Quantity Lubrication (MQL) Conditions International journal

Ryohei ISHIMARU, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, and Yoji MATSUKAWA

Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010.3

Nano Manufacturing of a Micro Rotary Grating Disk for Measurement of Rotational Accuracy of Micro-Machine Elements International journal

Syuhei KUROKAWA, Shinya IMAMURA and Yasutsune ARIURA

Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010.3

Influence of Oxidization Resistance of TiAlN Coating Film on the Wear Resistance of High-Speed Steel Hobs International journal

Kei KITAMURA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji MATSUKAWA, and Yoshiyuki FUNAKI

Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010.3

Characteristics of Micro Fiber Pads in Electro-Chemical Mechanical Polishing (E-CMP) of Copper Substrates International journal

Tadashi HASEGAWA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Ryohei ISHIMARU, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010.3

Influence of Oxidization Resistance and Aluminum Concentrations of TiAlN Coating Film on the Wear Resistance of High-Speed Steel Hobs Reviewed International journal

Kei KITAMURA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji Matsukawa, and Yoshiyuki FUNAKI

Proc. of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture   2010.2

Simulation of Electrochemical Mechanical Polishing Reviewed International journal

Akira FUKUDA, Akira KODERA, Yasushi TOMA, Tsukuru SUZUKI, Hirokuni HIYAMA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Silicon CMP Characteristics and Pad Conditioning Using a High Pressure Micro Jet (HPMJ) Reviewed International journal

Taro AKAMA, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Sho ITONAGA, Yoshiyuki SEIKE, and Osamu OHNISHI

Proc. of the 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   2009.11

Effect of Particle-Substrate Interaction on the Polishing Rate Reviewed International journal

Kazusei TAMAI, Akihito YASUI, Hitoshi MORINAGA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

CMP Technique for CNT/SOD Composite Using Ceria Slurry Reviewed International journal

Takashi HYAKUSHIMA, Toshiro K. DOI, Motonobu SATO, Syuhei KUROKAWA, Mizuhisa NIHEI, and Yuji AWANO

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Precision Deposition of Organic EL films applying a CMP Technology Combined with Spraying under the Atmosphere Pressure Reviewed International journal

Kazuasa KURIZUKA, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Koichi SATO, Yoshinori KOBAYASHI, Yoshihiko TSUCHIDA, and Keiji MIYACHI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Development of a Revolution Atomizing Two Fluid Cleaning Nozzle (RAC nozzle) for Post-CMP Cleaning Reviewed International journal

Yoshiyuki SEIKE, Tatsuo SHIBATA, Yoshinori KOBAYASHI, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Study on Micro-Scratches Generated in Oxide Film CMP with Fumed Silica Slurry (Effect of Slurry Dispersion Condition on Micro-Scratch Defect Generation) Reviewed International journal

Yoshihiko ITO, Toshiro K. DOI, Hroyuki KOHNO, Syuhei KUROKAWA, and Yoji UMEZAKI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Detection of Large-Sized Foreign Particles in CMP Slurry and Reduction of Micro-scratches Reviewed International journal

Takao FUNAKOSHI, Senri OJIMA, Yohei YAMADA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro K. DOI, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, and Yoji MATSUKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Impact of SiO2 Agglomeration on surface Defectivity during CMP Process Reviewed International journal

Kazusei TAMAI, Tomohiko AKATSUKA, Hitoshi MORINAGA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Quantification of Pad Surface Conditions with Diamond Conditioners and Polishing Characteristics in CMP Process Reviewed International journal

Kazunori KADOMURA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro K. DOI, Taro AKAMA, Yohei YAMADA, Yukio OKANISHI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Osamu OHNISHI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Electro-Chemical Mechanical Polishing (E-CMP) of Copper Substrates with Micro Fiber Pad Reviewed International journal

Tadashi HASEGAWA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Ryohei ISHIMARU, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro K. DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Cu-CMP Characteristics by Controlled Atmosphere Polishing Machine and Effect of High Pressure CO2 Gas Reviewed International journal

Yota OKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Kei KITAMURA, and Isamu KOSHIYAMA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009.11

Cu/Low-k配線対応CMPプロセスの開発（低選択バリアメタル研磨による表面段差是正の検討） Reviewed

山田洋平，小西信博，大嶽　敦，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   75 ( 9 )   2009.9

Stress Analysis of Dielectrics Using FEM for Analyzing the Cause of Cracking Observed After W-CMP Reviewed International journal

Akira FUKUDA, Yoshihiro MOCHIZUKI, Hirokuni HIYAMA, Manabu TSUJIMURA, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

Journal of the Electrochemical Society   156 ( 9 )   2009.7

CMP of SiC Wafers as a Post-Si Power-Device (Bell-Jar shaped CMP machine assisted by photocatalitic reactions under high pressure oxygen gas and CMP characteristics of functional materials) International journal

Toshiro DOI and Syuhei KUROKAWA

Proc. of the 1st International Conference on Surface and Interface Fabrication Techonologies (ICSIF)   2009.7

Impact of high-speed image recognition of transition phenomenon of chip formation and chip flow in gear hobbing process Reviewed International journal

Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA

Proceedings of the 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments ISMTII2009   2009.6

CuCMPプロセスに起因した銅残渣発生の研究（配線間の銅残渣の低減） Reviewed

山田洋平，小西信博，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   75 ( 5 )   2009.5

Transient Phenomenon of Chip Generation and Its Movement in Hobbing ---Jamming of Chip Formed in Generating of Finished Surface in Flytool Simulation Tests--- Reviewed International journal

Yoji UMEZAKI, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, and Yuho IJIMA

Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009.5

A Fundamental Study on the Surface Durability of Austempered Ductile Iron (ADI) Gears in Long Life Region Reviewed International journal

Ryohei ISHIMARU, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, Yoji MATSUKAWA, and Masahito GOKA

Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009.5

研磨砥粒を含まないスラリを用いたCuCMP技術の開発（不均一発砲ポリウレタンパッドを用いたCu残渣の低減） Reviewed

山田洋平，小西信博，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   2009.4

シリコンウェーハ製造研磨におけるウェーハエッジ形状の影響評価 Reviewed

福田　明，福田哲生，檜山浩國，辻村　学，土肥俊郎，黒河周平

砥粒加工学会誌   2009.2

酸化膜CMPにおけるマイクロスクラッチ低減の検討（CMPプロセスにおけるスクラッチの発生要因調査） Reviewed

山田洋平，菅谷貴浩，小西信博，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   2008.12

CMP characteristics of silicon wafer with a micro-fiber pad, and pad conditioning with high pressure micro jet (HPMJ) International journal

Keiji Miyachi, Taro Akama, Syuhei Kurokawa, Toshiro Doi, Kimio Nakayama, Yoshiyuki Seike, Yoji Matsukawa, Yoji Umezaki

Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials (JSPS Si Symposium)   2008.11

Analysis of Chemical and Mechanical Factors in CMP Process Reviewed International journal

Kazusei Tamai, Hitoshi Morinaga, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008.11

E-CMP of Cu Substrates with Unwoven Fabric Pads Reviewed International journal

Yusuke Shimoda, Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, Ryohei Ishimaru, Yoji Matsukawa, Tadashi Hasegawa, and Toshiro DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008.11

Pad Conditioning with Electrodeposited Diamond Conditioners and Polishing Characteristics in Cu-CMP Reviewed International journal

Kazumasa Kurizuka, Kazunori Kazomura, Toshio Fukunishi, Yoji Umezaki, Yoji Matsukawa, Syuhei KUROKAWA, Yuhei Nishimori, and Toshiro DOI

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008.11

CMP of SiC Wafers as a Post-Si Power-Device -Photocatalitic reaction assisted Bell-Jar shaped CMP Machine under high pressure oxygen gas- Reviewed International journal

Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008.11

硬質パッドを用いた高平坦化CMP技術の開発(CMPプロセスにおけるウエーハ面内研磨均一性の改善) Reviewed

山田洋平，菅谷貴浩，小西信博，黒河周平，土肥俊郎

精密工学会誌   2008.11

Si CMP with a sealed 'Bell-Jar' type CMP machine -Processing characteristics of Si-CMP, influenced by the processing atmosphere and additives dispersed in the slurry - International journal

Takeharu Kihara, Toshiro Doi, Syuhei KUROKAWA, Yota Oki, Yoji Umezaki, Yoji Matsukawa, Koichiro Ichikawa, Isamu Koshiyama, and Hiroyuki Kono

Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials (JSPS Si Symposium)   2008.11

Frictional Characterization of Chemical-Mechanical Polishing Pad Surface and Diamond Conditioner Wear Reviewed International journal

Yohei YAMADA, Masanori KAWAKUBO, Osamu HIRAI, Nobuhiro KONISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Japanese Hournal of Applied Physics   2008.8

Study on Factors in Time-Dependent Dielectric Breakdown Degradation of Cu/Low-k Integration Related to Cu Chemical-Mechanical Polishing Reviewed International journal

Yohei YAMADA, Nobuhiro KONISHI, Junji NOGUCHI, Tomoko JIMBO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Japanese Journal of Applied Physics   2008.6

Tribological Behavior of Metal CMP and Detection of Process Abnormality Reviewed International journal

Yohei YAMADA, Masanori Kawakubo, Osamu Hirai, Nobuhiro KONISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

Journal of The Electrochemical Society   2008.6

加工環境を制御するベルジャー型密閉研磨装置による高能率CMP技術 Reviewed

土肥俊郎，黒河周平

砥粒加工学会誌   2008.3

Impact of a High Pressure Micro Jet (HPMJ) on the conditioning and cleaning of unwoven fabric polyester pads in silicon polishing International journal

Keiji MIYACHI, Yoshiyuki SEIKE, Shinichi HABA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology   2007.10

Conditioning of CMP Pad to Reinstate Pad Surface Functions International journal

Kazunori KADOMURA, Toshio FUKUNISHI, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology   2007.10

A Fundamental Study on Surface Durability of High Strength Spheroidal Graphite Cast Iron Gears Reviewed International journal

Ryohei ISHIMARU, Syuhei KUROKAWA, Yoji MATSUKAWA and Masashito GOKA

Proc. of the International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2007, CD-ROM   2007.7

Evaluation of Peak-to-Vally Values of Transmission Error with Gear Eccentricity by Measurement and Analysis Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the International Symposium of Technology of Mechanical Engineering Design, ISTMED'2007   2007.1

Prediction of Sidebands of Mesh Frequency with Frequency Modulation Caused by Gear Eccentricity Reviewed International journal

Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

Proc. of the International Symposium of Technology of Mechanical Engineering Design, ISTMED'2007   2007.1

希土類の材料技術ハンドブック　研磨の加工メカニズムと研磨剤（スラリー）－ガラス，半導体，CMP－

足立吟也，土肥俊郎，黒河周平他（ Role： Joint author）

（株）エヌ・ティー・エス  2008.5 

薄膜ハンドブック（第２版）

日本学術振興会薄膜第131委員会編，吉田貞史，土肥俊郎，黒河周平他（ Role： Joint author）

（株）オーム社  2008.3 

歯車の歯当たりとかみ合い評価法について（可展円筒歯車歯面の図式展開について）

黒河周平，有浦泰常，梅崎洋二，土肥俊郎

日本機械学会2009年度年次大会  2009.9 

Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement--- International conference

Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI

The JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, MPT2009  2009.5 

大局的形状パラメータを用いた三次歯面修正の新しい評価法

黒河周平

日本機械学会 第６回機素潤滑設計部門講演会  2006.5 

三⾓測量⽅式レーザープローブ測定誤差予測のための反射光強度推定⼿法 ~度数分布に基づく評価関数の改善~

#⼭本航太郎，@⿊河周平，@林照剛，#池⽥蓮，#村⽥将哉

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

ワイヤ放電加⼯を⽤いたマルチスケールテクスチャリングに関する研究 −細胞の成⻑に影響を及ぼす⽔・油仕様ワイヤ放電加⼯テクスチャの調査−

#出野佑，@⿊河周平，@林照剛，@藏⽥耕作，#久積翔

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

蛍光光⼦相関法を⽤いたナノ粒⼦粒径計測に関する研究〜蛍光異⽅性の測定誤差要因の検討〜

#吉岡慶⼤，@林照剛，@⿊河周平

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

新しい⻭⾞加⼯法による加⼯表⾯性状と運転性能に関する研究 ―弾性ブラスト処理を施したポリッシュ研削⻭⾞の加⼯痕に着⽬した加⼯表⾯性状―

#池⽥蓮，@⿊河周平，@林照剛，#⼩⻄優輝，#⼭本航太郎，@松川洋⼆

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

⻭⾞の加⼯表⾯性状と運転性能に関する研究 ―ポリッシュ研削⻭⾞の低粘度潤滑油での疲労寿命試験における表⾯性状―

#小西優輝，@⿊河周平，@林照剛，@松川洋⼆，#池⽥蓮

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

超⾼速ホブ切りによる⾼精度⻭⾞の加⼯に関する研究 ー焼⼊れを施した⻭⾞に対する仕上げホブ切り―

#井上魁⽃，@⿊河周平，@林照剛，@⽯津和幸，@櫻井則之，@髙⽊達朗

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

CMPにおける研磨パッドに着⽬した研磨機構の解明 -三次元形状測定によるパッド表⾯形状モデルの検討-

#髙橋冬也，@⿊河周平，@林照剛，@檜⼭浩國，@和⽥雄⾼，@安⽥穂積，@半⽥直廉，@林俊太郎

日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024.3 

静電霧化技術による医療用ワイヤへの塗装 ―塗布膜厚の均一性の評価―

#隈元凜，@黒河周平，@林照剛，@加藤幹大

日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024.3 

ナノ粒子チップを用いた液中の多分散粒子の高精度粒度分布測定に関する研究

#賀数弘啓，@林照剛，＠黒河周平

日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024.3 

指先における振動知覚に関する研究　～指の違いによる振動知覚感度の調査と考察～

#岩永寛生，@黒河周平，@林照剛

日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024.3 

高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 ーかさ歯車の形状測定アルゴリズムおよびスキャニング測定の試行ー

#村田将哉，@黒河周平，@林照剛

日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024.3 

ELID 研削を用いたマルチスケールテクスチャリングの細胞成長に及ぼす影響 -一方向テクスチャを施した試料表面の調査-

#久積翔，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#出野佑

日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024.3 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 －細胞の成長に影響を及ぼす水・油仕様ワイヤ放電加工テクスチャの調査－

#出野佑，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#久積翔

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―ポリッシュ研削歯車の疲労寿命試験における油膜厚さと表面性状―

#小西優輝，@黒河周平，@林照剛，#池田蓮，@松川洋二

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 ―ブラスト処理により鏡面加工を施した歯車性状の観察と測定―

#池田蓮，@黒河周平，@林照剛，#小西優輝，#山本航太郎，@松川洋二

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

超高速ホブ切りによる歯車加工に関する研究 ー焼入れを施した歯車の仕上げ加工―

#井上魁斗，@黒河周平，@石津和幸，@髙木達朗，@櫻井則之

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

CMPにおける研磨パッドに着目した研磨機構の解明 -パッド表面形状の定量化および突起とポアの関係の調査-

#髙橋冬也，@黒河周平，@林照剛，@和田雄高，@檜山浩國，@安田穂積，@半田直廉，@林俊太郎

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

蛍光プローブを用いたナノ粒子の高精度粒径計測に関する研究 ～第11報 蛍光異方性の測定誤差要因の検討～

#吉岡慶大，@林照剛，@黒河周平

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる 励起状態面の表面加工に関する研究 （第十五報） ―光照射強度と遅延時間が加工閾値に及ぼす影響についての検証―

#武智昭久，@林照剛，@黒河周平

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

三角測量方式ラインレーザプローブ検出誤差予測のための反射光強度推定手法 ~法線分布関数の導入による反射光強度評価の改善~

#山本航太郎，@黒河周平，@林照剛，#池田蓮，#村田将哉

2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023.12 

三角測量方式ラインレーザプローブ検出誤差予測のための反射光強度分布推定 －表面微細高さ情報を用いた幾何光学的シミュレーションによる解析－

#山本航太郎，@黒河周平，@林照剛，#池田蓮，#村田将哉

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023.9 

CMP における研磨パッドに着目した研磨機構の解明 −ポア縁辺に形成されるパッド表面形状が研磨性能に与える影響の調査−

#髙橋冬也，@黒河周平，@林照剛，@和田雄高，@檜山浩國，@安田穂積，@林俊太郎，@半田直廉

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023.9 

歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 −ポリッシュ研削歯車の低粘度潤滑油での疲労寿命試験−

#小西優輝，@黒河周平，@林照剛，#池田蓮，@松川洋二

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023.9 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 −水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の初期 動態について−

#出野佑，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#久積翔

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023.9 

超高速ホブ切りによる歯車加工に関する研究 －加工精度と表面粗さ－

#井上魁斗，@黒河周平，@林照剛，@石津和幸，@髙木達朗，@櫻井則之

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023.9 

新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 －高硬度材へのエンドミル仕上げ加工を施した加工表面性状の調査－

#池田蓮，@黒河周平，@林照剛，#小西優輝，#山本航太郎，@松川 洋二

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023.9 

ダブルパルスビームを用いたフェムト秒レーザ加工についての研究 －低照度光照射時の加工閾値の評価－

#武智昭久，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023.9 

蛍光光子相関法を用いたナノ粒子計測に関する研究 －正弦波変調照明を用いた蛍光異方性の計測－

#吉岡慶太，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023.9 

低照度フェムト秒レーザーによるSiCの加工表面組成変化（第二報）-マルチショット加工における初期段階の構造変化-

#村上萌恵，@林照剛，@黒河周平

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

ELID研削を用いた細胞成長に影響を及ぼすマルチスケールテクスチャリングに関する研究　―一方向テクスチャとクロステクスチャについてー

#小里信広，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，@大森整，#出野佑

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響　―歯面研削歯車の疲労寿命試験における歯面状態の推移とポリッシュ研削との比較―

#小西優輝，@黒河周平，@林照剛，@松川洋二，#池田蓮

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 ーエンドミル加工におけるスワーフ加工とボール部加工の加工痕性状の調査ー

#池田蓮，@黒河周平，@林照剛，#小西優輝，@松川洋二

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

CNC三次元歯車専用測定機の開発（三次元形状かさ歯車のスキャニング測定のための歯面推定手法の開発と実測定の試行）

#安玄俊，@黒河周平，@林照剛，@松川洋二，#谷澤健太，@田口哲也，@堀内雅史，@楊迪

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

非接触レーザプローブを用いた歯車測定に関する研究 ―共焦点方式レーザプローブによる基準位置同定とピッチ測定の試行―

#山本邦晴，@黒河周平，@林照剛，@松川洋二，#山本航太郎，#アンヒョンジュン

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

CMPにおける研磨パッドに着目した研磨機構の解明 -研磨性能に影響を与えるパッド表面形状の調査-

#髙橋冬也，@黒河周平，@林照剛，@檜山浩國，@和田雄高，@安田穂積，@半田直廉，@林俊太郎

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

ワイヤ放電加工を用いた細胞成長に影響を及ぼすマルチスケールテクスチャリングに関する研究 －水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の動態に及ぼす影響について－

#出野佑，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#小里信広

日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023.3 

蛍光光子相関法を用いたナノ粒子計測に関する研究 ～正弦波強度変調照明を用いた蛍光異方性の計測～

#吉岡慶太，@林照剛，@黒河周平，#朱家慶

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

異なる周波数振動刺激に対する指先の知覚に関する研究 ～階段法，上昇法および下降法による知覚閾値の測定とその考察～

#藤井 省伍，＠黒河 周平，＠林 照剛

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

超高速ホブ切りによる高精度歯車の加工に関する研究 ―歯面形状誤差と表面粗さ―

#井上 魁斗，@黒河 周平，＠林 照剛，＠石津 和幸，＠櫻井 則之，＠髙木 達朗

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

高速・高精度CNC 三次元歯車測定機の開発 －平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定の高速化と評価－

#谷澤 健太，＠黒河 周平，＠林 照剛，#安 玄俊，@堀内雅史，@楊迪，@田口哲也

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

三角測量方式レーザープローブ測定誤差予測のための反射光分布解析 ～表面粗さ情報を用いた幾何光学に基づくレーザー反射光強度分布推定～

#山本 航太郎，@黒河 周平，@林 照剛，#山本 邦晴，#池田 蓮

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

ダブルパルスビームを用いたダメージフェムト秒レーザ加工について研究－低照度光照射時の加工閾値の評価－

#武智昭久，@林照剛，@黒河周平，#村上萌恵

日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023.3 

非接触レーザプローブを用いた歯車全周の測定に関する研究　―共焦点方式レーザプローブによる基準位置同定の試行―

#山本邦晴，@黒河周平，@林照剛，@松川洋二，#山本航太郎，#アン・ヒョンジュン

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

エンドミル加工歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究　―高硬度材を対象としたエンドミル仕上げ加工―

#池田蓮，@黒河周平，@林照剛，#小西優輝

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究　―ポリッシュ研削歯車と通常研削歯車の運転性能の比較―

#小西優輝，@黒河周平，@林照剛，#池田蓮

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

結晶基板を工具とする窒化ガリウムの平坦化中仕上げ加工

#リ ホンリン，@黒河周平，@林照剛，#AO XUEMEI

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

フェムト秒レーザーを用いたSiCに対するダブルパルス表面加工(第二報) 〜マルチショット時の加工表面構造の検討〜

#村上萌恵，@林照剛，@黒河周平

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究　―細胞の成長に影響を及ぼす一方向テクスチャの調査―

#小里信広，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#出野佑，@大森整

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究　―水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の動態に及ぼす影響について―

#出野佑，@黒河周平，@林照剛，@藏田耕作，#小里信広

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明　―研磨性能に影響を与えるパッド表面形状の調査―

#髙橋冬也，@黒河周平，@林照剛，@檜山浩國，@和田雄高，@半田直廉

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

高速・高精度CNC三次元歯車専用測定機の開発 ―歯車の測定前処理のための歯面推定―

#安玄俊，@黒河周平，@林照剛，@松川洋二，#谷澤健太，@田口哲也

2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022.12 

ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究（第４報） -粒子の高さ相当径の評価-

#朱家慶，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2022年度秋季大会学術講演会  2022.9 

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究―第10報　溶媒粘度と拡散係数の関係の評価―

#平野友裕，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2022年度春季大会学術講演会  2022.3 

ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究（第三報）―AFMを用いた高さ相当径の評価―

#朱家慶，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2022年度春季大会学術講演会  2022.3 

CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明－研磨レートの異なるパッドの負荷曲線の調査と研磨モデルの提案－

#林俊太郎，@黒河 周平，@林 照剛，@檜山 浩國，@和田 雄高，@半田 直廉

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響―ポリッシュ研削された歯車の疲労寿命試験における歯面状況の推移―

#小金丸 高志，@黒河 周平，@林 照剛，@松川洋二，#後藤 愛実

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

CNC三次元歯車専用測定機の開発（校正結果異常値の原因分析）

#安 玄俊，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#山本 邦晴，#桐原 修平，@田口 哲也，@堀内 雅史，@楊 迪

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

低照度フェムト秒レーザーによるSiCの加工表面組成変化

#村上萌恵，@林 照剛，@黒河 周平

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

非接触レーザプローブを用いた歯車全周の測定に関する研究―基準位置の同定とレーザプローブの測定精度の把握―

#山本 邦晴，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#山本 航太郎，#アン ヒョンジュン

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究―超高速加工による歯面への影響について―

#後藤愛実，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#小金丸 高志，#池田蓮，@吉川啓祐，@石津 和幸

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究―ELID研削を用いたクロステクスチャリングと細胞の初期動態について―

#小里　信広，@黒河　周平，@林　照剛，@藏田　耕作，@大森　整，#出野　佑

日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022.3 

三角測量方式レーザプローブ測定誤差予測のための反射光分布解析~幾何光学に基づく表面粗さ情報を用いたレーザー反射光分布シミュレータの開発~

#山本 航太郎，@黒河 周平，@林 照剛，#山本 邦晴，#池田 蓮

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したワイヤ放電加工によるマルチスケールテクスチャリングと細胞の初期動態に関する研究

#出野　佑，@黒河　周平，@林　照剛，@藏田　耕作，#小里　信広

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響―エンドミル加工歯車の歯形・歯すじ偏差の発生原因とその改善―

#池田 蓮，@黒河 周平，#小金丸 高志，#後藤 愛実，@林 照剛

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

静電霧化技術による医療用ワイヤーへの均一な表面薄膜形成とその評価方法及び適切な条件の判定に関する研究

#谷村 智，@黒河 周平，@林 照剛，@宮地 計二，@加藤 幹大

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

蛍光光子相関法を用いた並進ブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測に関する研究

#井上 創太，@林 照剛，@黒河 周平，#平野 友裕

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

高速・高精度のCNC 三次元歯車測定機の開発−歯すじ測定の高速化及びスキャン速度と測定精度の評価−

#桐原 修平，@黒河 周平，@林 照剛

日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022.3 

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究～第９報　周波数領域蛍光法を用いた回転ブラウン運動の計測～

#平野 友裕，@林 照剛，@黒河 周平，#井上創太

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

フェムト秒レーザーを用いたSiCに対するダブルパルス表面加工～顕微レーザーラマン分光装置によるレーザー加工痕の表面構造分析～

#村上萌恵，@林照剛，@黒河周平

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

超高速切削による浸炭焼入歯車の仕上げホブ切りに関する研究- 歯車加工精度と歯面性状について-

#後藤 愛実，@黒河 周平，@林 照剛，@松川洋二，#小金丸高志，#池田連，@石津和幸，@吉川啓二

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究―ポリッシュ研削された歯車の疲労寿命に及ぼす表面粗さの影響―

#小金丸高志，@黒河周平，@林照剛，#後藤愛実，#池田蓮，@松川洋二

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究―ELID研削を用いた一方向テクスチャリング及びクロステクスチャリングと細胞の接着性についてー

#小里 信広，@黒河 周平，@林 照剛，@大森 整，@藏田 耕作，#出野 佑

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明－研磨レートの異なるパッドの表面形状の調査－

#林 俊太郎，@黒河 周平，@林 照剛，@檜山浩國，@和田雄高，@半田直廉

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

CNC三次元歯車専用測定機の開発―かさ歯車測定に向けた校正動作の安定性調査―

#安 玄俊，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#山本 邦晴，@田口 哲也，@堀内 雅史，@楊 迪

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

非接触レーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究―歯車全周のプロファイル取得における基準位置の同定―

#山本 邦晴，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#山本航 太郎，#アン・ヒョンジュン

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究（第二報）ーAFMを用いた一次粒子の粒径評価および誤差分析ー

#朱 家慶，@林 照剛，@黒河 周平

2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021.11 

ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究（第一報） ―AFMを用いた一次粒子の粒度分布評価―

#朱家慶，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2021年度春季大会学術講演会  2021.3 

超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究 －切削速度2000ｍ/minを超える切削領域での歯面性状－

#後藤 愛実，@黒河周平，@林 照剛，@松川 洋二，#小金丸 高志，@西村 幸久，@藤村宜孝，@吉川 啓祐，@石津 和幸

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響 ―表面粗さから考察される疲労寿命の予測と運転試験の経緯―

#小金丸 高志，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#後藤 愛実

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

高精度三次元歯車測定機の開発 -平歯車の三次元形状測定における端面エッジ及び面取り形状測定・評価-

#須藤 優，@黒河 周平，#安 玄俊，@林 照剛，@松川 洋二，#山本 邦晴，@田口 哲也，@堀内 雅史，@楊 迪

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 －被測定物の表面粗さ変化に起因する検出誤差－

#加治木 奨紀，@黒河 周平，@林 照剛，#山本邦晴

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒度分布計測 －偏光蛍光光子相関法を用いた並進・回転拡散係数測定による溶媒粘性評価－

#平野 友裕，@林 照剛，@黒河 周平

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

ELID研削を前加工としたCVD多結晶SiCのP-CVM/CMP融合加工

#大高下 修平，@黒河 周平，@林 照剛，#小里 信広，@大森 整，@上原 嘉宏

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる難加工性基板の光励起加工（第二報） ～合成石英に対するマルチショット加工による加工条件の検討～

#水町 遼祐，@林 照剛，@黒河 周平，#村上 萌恵，@錦野将元，@長谷川 登，@ヂン タンフン

一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021.3 

高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 （被測定物とスタイラスの干渉を回避するためのスタイラス姿勢検出）

#安 玄俊，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#須藤 優，@田口 哲也，@堀内 雅史，@楊 迪

一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021.3 

カーボン膜付きSiC 基板のフェムト秒レーザ加工

#村上 萌恵，@林 輝剛，@黒河周平，#水町遼祐

一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021.3 

非接触レーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 ―歯車全周のプロファイル取得とその測定値の評価―

#山本邦晴，@黒河周平，@林照剛，#加治木奨紀，#須藤優

一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021.3 

細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 －ELID 研削を用いた表面テクスチャリングと細胞の初期接着性について－

#小里 信広，@黒河 周平，@林 照剛，@大森 整，@上原 嘉宏，@藏田 耕作，#大高下 修平

一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021.3 

外部電極を用いた静電誘引形スプレーのパターン制御によるワイヤーへの塗着効率の向上に関する研究

#ペ ジンソク，@黒河 周平，@林 照剛，@宮地 計二，@加藤 幹大

一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021.3 

触覚応答遅れ時間を仮定した指先の振動知覚メカニズムの解明 ―ヒトの指先の振動強度の検出可能閾値と等振動触覚曲線の調査―

#福澤真知子，@黒河周平，@林 照剛，@井上 徹夫

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究 （第十三報） ～合成石英における光励起効果の検討～

#水町遼祐，@林照剛，@黒河周平，#村上萌恵，@錦野将元，@長谷川登

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

ELID 研削を用いた生体適合材料の微細凹凸付加加工に関する研究

#小里 信広，@黒河 周平，@林 照剛，#大高下 修平

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明 －研磨レートの異なる研磨パッドのポア部面積の定量化－

#林 俊太郎，@黒河 周平，@林 照剛，@檜山浩國，@和田雄高，@半田直廉

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

ELID 研削を前加工としたCVD 多結晶SiC のP-CVM による酸化状態評価

#大高下修平，@黒河周平，@林照剛，#小里信広

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

静電誘引形スプレーによる医療用ワイヤーへの高効率・高能率成膜に関する研究

#ペジンソク，@黒河周平，@林照剛，@宮地計二，@加藤幹大

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

超高速切削による浸炭焼入歯車の仕上げホブ切りに関する研究 - 歯車加工精度と加工限界について-

#後藤 愛実，@黒河 周平，@林 照剛，#小金丸高志，@松川洋二，@西村幸久，@藤村宜孝，@吉川啓祐

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

非接触ポイントレーザプローブを用いた三次元形状測定に関する研究 ―歯車の歯面・歯先・歯底を含む全周測定の試行とその問題点について―

#山本 邦晴，@黒河 周平，@林 照剛，#加治木 奨紀

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 ―任意角度スタイラスの傾き角度検出―

#安 玄俊，@黒河 周平，@林 照剛，@松川 洋二，#須藤 優，@田口 哲也，@堀内 雅史，@楊 迪

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 －検出誤差と表面粗さパラメータとの関係－

#加治木 奨紀，@黒河 周平，@林 照剛，#山本邦晴

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―表面粗さから考察される疲労寿命の予測と運転試験―

#小金丸高志，@黒河 周平，@林 照剛，#後藤愛実，@松川洋二

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

回転ブラウン運動測定のための周波数領域蛍光法装置の開発

#平野友裕，@林照剛，@黒河周平

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

高速・高精度CNC三次元歯車測定機の開発 平歯車の歯すじ方向スキャニング測定による立体形状の取得と歯形・歯すじ誤差の抽出・評価

#須藤 優，@黒河 周平, @林照剛, @松川 洋二，#安 玄俊，#山本 邦晴，@田口 哲也, @堀内 雅史，@楊 迪

2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020.12 

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ～第8報 ナノ粒子の粒径と並進拡散係数の関係の評価～

#平野友裕 ，@林照剛，@黒河周平

公益社団法人精密工学会2020年度秋季大会学術講演会  2020.9 

高速・高精度CNC三次元測定機の開発 －測定誤差成分の分類とその要因の調査－

#梶谷 優人, #須藤 優, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, @田口 哲也, @松岡 良太

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 －過大な検出誤差の原因となりうる表面粗さと反射率の関係－

#加治木 奨紀, @黒河 周平, @林 照剛

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

ELID研削を前工程とするP-CVD多結晶SiCの平坦化加工

#大高下 修平, @黒河 周平, @林 照剛, #若松 海斗

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

薄膜付き透明材料のフェムト秒レーザ加工についての研究（第二報） －くり返し照射パルスによる加工形態－

#廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #水町 遼祐

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる難加工性基板の光励起加工

#水町 遼祐, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, #津波古 康平

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定における表面形状の算出とその評価

#須藤 優, @黒河 周平, #梶谷 優人, @林 照剛, @田口 哲也, @松岡 良太, @松川 洋二

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨 ～添加剤の濃度変化における研磨効率と凝集状態の調査～

#若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #大高下 修平

日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020.3 

超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究 ―詳細測定による歯面形状誤差に関する調査―

#後藤 愛実, @黒河 周平, #小金丸 高志, @林 照剛

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響 ―ポリッシュ研削された歯車の加工表面性状と運転試験―

#小金丸 高志, @黒河 周平, @林 照剛, #後藤 愛実, @松川 洋二

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

外部電極を用いた静電誘引形スプレーのパターン制御に関する研究

#山下 悠人, @黒河 周平, @林 照剛, @加藤 幹大, @宮地 計二

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

低照度フェムト秒レーザを用いた半導体基板の加工痕形状の評価

#津波古 康平, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, #水町 遼祐

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

研磨パッド－ウェーハ接触界面における砥粒挙動の定量化

#入船 聡太, @黒河 周平, @林 照剛, @檜山 浩國, @和田 雄高, @高東 智佳子, @嶋 昇平, @半田 直廉

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

蛍光プローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測に関する研究

#平野 友裕, @林 照剛, @黒河 周平, #赤星 圭将

日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020.3 

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究（第十二報） ー照射回数と加工形態変化の関係についての検討ー

#水町 遼祐, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, @長谷川 登, @錦野 将元, @ヂンタンフン

2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019.12 

ナノパーティクルマイクロアレイを用いたナノ粒子粒度分布計測（第二報） ―粒子の個数ベースサイズ分布とDLS測定結果の比較―

#朱 家慶, @林 照剛, @黒河 周平

2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019.12 

ELID研削とP-CVMを組み合わせたCVD多結晶SiCの平坦化加工

#大高下 修平, @黒河 周平, @林 照剛, #若松 海斗

2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019.12 

凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨 ~pH 調整によるスラリー性状の調査~

#若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #大高下 修平

2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019.12 

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ー第6報　溶媒粘度による並進拡散係数のバラツキ評価ー

#赤星 圭将, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二, #平野 友裕

2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019.12