宍戸奨励賞

2016年9月   静電気学会  

優秀論文発表賞（基礎・材料・共通部門表彰）

2016年9月   電気学会  

静電気学会 宍戸奨励賞受賞

2016年9月   静電気学会  

The 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) and the 28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28) Oral Presentation Award

2015年12月  

Oral Presentation Award

2015年12月   APSPT-9/ SPSM-28  

赤崎奨学金

2013年10月  

Excellent Student Award

2011年3月   IEEE Nagoya Section  

IEEE Nagoya Section Excellent Student Award

2011年3月  

電気学会優秀論文発表賞

2011年1月   電気学会  

2009 Student Best Paper Presentation Award in International Conferences

2010年3月   IEEE DEIS Japan Chapter  

2009 IEEE DEIS Japan Chapter Student Best Paper Presentation Award in International Conferences

2010年3月  

Influence of humidity on the plasma-assisted CO2 conversion 査読 国際誌

P. Attri, T. Okumura, N. Takeuchi, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Plasma Process Polym   2023年10月

Prediction by a hybrid machine learning model for highmobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method 査読 国際誌

K. Kamataki, H. Ohtomo, N. Itagaki, C. F. Lesly, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

J. Appl. Phys.   134   2023年10月

Health assessment of rice cultivated and harvested from plasma-irradiated seeds 査読 国際誌

T. Okumura, H. Tanaka, T. Nakao, T. Anan, R. Arita, M. Shiraki, K. Shiraki, T. Miyabe, D. Yamashita, K. Matsuo, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Hosoda, A. Tanaka, Y. Ishibashi, K. Koga

Sci. Rep.   13   2023年10月

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 査読

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2023年10月

Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Sasaki, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mater Sci Semicond Process   164   2023年9月

Influence of Electric Potential-Induced by Atmospheric Pressure Plasma on Cell Response 査読 国際誌

T. Okumura, C. H. Chang, K. Koga, M. Shiratani, T. Sato

Sci. Rep.   13   2023年9月

Control of Inhomogeneity and Magnetic Properties of ZnO:Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 査読 国際誌

M. N. Agusutrisno, R. Narishige, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

Mater Sci Semicond Process   162   2023年8月

Reaction kinetics studies for phenol degradation under the impact of different gas bubbles and pH using gas–liquid discharge plasma 査読 国際誌

62   2023年8月

Contribution of active species generated in plasma to CO2 methanation 査読 国際誌

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   62   2023年7月

Plasma-assisted CO2 and N2 conversion to plant nutrient 査読 国際誌

P. Attri, T. Okumura, N. Takeuchi, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Front. Phys.   11   2023年7月

Optical emission spectroscopy study in CO2 methanation with plasma 査読 国際誌

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   62   2023年4月

Role of insoluble atoms in the formation of a three-dimensional buffer layer in inverted Stranski–Krastanov mode 査読 国際誌

2023年1月

One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges 査読 国際誌

I. Nagao, K. Kamataki, A. Yamamoto, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   7   2022年12月

Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO–InN alloy films on ZnO substrates(Invited) 査読 国際誌

2022年11月

Role of short-lived nitrogen species generated at low-pressure RF plasma on the germination and seedling growth 査読

K. Koga, P. Attri, T. Okumura, T. Anan, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Simple tactic polycondensation synthesis of Z-scheme quasi-polymeric g-C3N4/CaFe2O4 composite for enhanced photocatalytic water depollution via p-n heterojunction 査読 国際誌

S. Shenoy, C. Chuaicham, T. Okumura, K. Sekar, K. Sasaki

Chem. Eng. J   453   2022年10月

Plasma irradiation-introduced RONS amount into plant seeds and their response analysis 査読

T. Okumura, T. Anan, P. Attri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Process analysis of cracking aC: H/CNP/aC: H sandwich films under stress using nanoindentation 査読

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Plasma induced conversion of CO2 with water to useful compounds 査読

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Takeuchi

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Effect of plasma irradiation on germination of lettuce seeds with fluctuating dormancy 査読

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Reproducibility in plasma agriculture 査読

M. Shiratani, T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Koga

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Pressure dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 査読

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Effects of amplitude modulation discharge on behavior of oxygen ions in Ar/O2 capacitively coupled plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision model 査読

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis 査読

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 査読

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Effects of amplitude modulated capacitively coupled discharge Ar plasma on kinetic energy and angular distribution function of ions impinging on electrodes:particle-in-cell/Monte Carlo collision model simulation 査読 国際誌

K. Abe, K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K . Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   61 ( 10 )   2022年9月

Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, D. Nagamatsu, T. Yang, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, T. Arima, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AIP Adv   12 ( 8 )   2022年8月

Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, D. Nagamatsu, T. Yang, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, T. Arima, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AIP Adv.   12   2022年8月

Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma 査読 国際誌

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   2022年7月

Detection of NO3− introduced in plasma-irradiated dry lettuce seeds using liquid chromatography-electrospray ionization quantum mass spectrometry (LC-ESI QMS) 査読 国際誌

12   2022年7月

Raman spectral analysis of the as-deposited aC: H films prepared by CH4+ Ar plasma CVD 査読 国際誌

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS Adv.   7   2022年7月

Treatment of organic wastewater by a combination of non-thermal plasma and catalyst: a review 査読 国際誌

P. Attri, K. Koga, T. Okumura, F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Rev. Mod. Plasma Phys   6   2022年7月

Outcomes of Pulsed Electric Fields and Nonthermal Plasma Treatments on Seed Germination and Protein Functions 査読 国際誌

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, D. Wang, K. Takahashi, K. Takaki

Agronomy 2022   12 ( 2 )   2022年2月

Epitaxial Growth of Zn1-xMgxO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode Using Magnetron Sputtering 査読 国際誌

D. Takahashi, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS Adv.   2022年2月

Effect of gas flow rate and discharge volume on CO2 methanation with plasma catalysis 査読 国際誌

S. Toko, M. Ideguchi, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K.Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   2022年1月

Plasma Treatment Effect on the Paramagnetic Species of Barley Seed Radical’s Intensity: An EPR study 査読 国際誌

10 ( 3 )   2021年12月

Green route for ammonium nitrate synthesis: fertilizer for plant growth enhancement 査読 国際誌

P.Attri, K. Koga, T. Okumura, N. Takeuchi, M. Shiratani

RSC Adv.   11 ( 46 )   2021年8月

Comparison between Ar+CH4 Cathode and Anode Coupled Capacitively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon Films 査読 国際誌

S. H. Hwang, R. Iwamoto, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

Thin Solid Films   729   2021年7月

Impact of atmospheric pressure plasma treated seeds on germination, morphology, gene expression and biochemical responses 査読 国際誌

P.Attri, K. Koga, T.Okumura, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   60 ( 4 )   2021年3月

Alterations of DNA Methylation Caused by Cold Plasma Treatment Restore Delayed Germination of Heat-Stressed Rice (Oryza sativa L.) Seeds 査読 国際誌

C. Suriyasak, K. Hatanaka, H. Tanaka, T. Okumura, D. Yamashita, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, N. Hamaoka, Y. Ishibashi

ACS Agric. Sci. Technol.   1 ( 1 )   2021年2月

Impact of seed color and storage time on the radish seed germination and sprout growth in plasma agriculture 査読 国際誌

P. Attri, K. Ishikawa, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, V. Mildaziene

Sci. Rep.   11 ( 1 )   2021年1月

Size and flux of carbon nanoparticles synthesized by Ar+CH4 multi-hollow plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Diam Relat Mater   109   2020年11月

Low stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles fabricated by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   59 ( 10 )   2020年10月

Plasma agriculture from laboratory to farm: A review 査読 国際誌

P. Attri, K. Ishikawa, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

Processes   8 ( 8 )   2020年8月

Simple tactic polycondensation synthesis of Z-scheme quasi-polymeric g-C3N4/CaFe2O4 composite for enhanced photocatalytic water depollution via p-n heterojunction 査読 国際誌

Sulakshana Shenoy, Chitiphon Chuaicham, Takamasa Okumura, Karthikeyan Sekar, Keiko Sasaki

Chemical Engineering Journal   453 ( 2 )   2023年2月

Detection of NO3− introduced in plasma-irradiated dry lettuce seeds using liquid chromatography-electrospray ionization quantum mass spectrometry (LC-ESI QMS) 査読 国際誌

12 ( 12525 )   2022年7月

Green route for ammonium nitrate synthesis: fertilizer for plant growth enhancement 査読 国際誌

P. Attri, K. Koga, T. Okumura, N. Takeuchi, M. Shiratani

RSC Advances   46   2021年8月

Time of Flight Size Control of Carbon Nanoparticles Using Ar+CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition Method

Sung Hwa Hwang, Kazunori Koga, Yuan Hao, Pankaj Attri, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Jun-Seok Oh, Susumu Takabayashi, Tatsuyuki Nakatani

Processes   9 ( 1 )   2 - 2   2020年12月

Development of automatically controlled corona plasma system for inactivation of pathogen in hydroponic cultivation medium of tomato 査読

Katsuyuki Takahashi, Yoshinori Saito, Rikuya Oikawa, Takamasa Okumura, Koichi Takaki, Takuya Fujio

Journal of Electrostatics   91   61 - 69   2018年2月

Electric potential developed by single-pulse needle-water discharge 査読

Takamasa Okumura, Chaoyi Zhou, Eijiro Kubo, Tetsuji Shimizu, Tomoki Nakajima, Takehiko Sato

Applied Physics Express   11   2017年12月

Alternating current breakdown voltage of ice electret 査読

Yoshiko Oshika, Yudai Tsuchiya, Takamasa Okumura, Yuji Muramoto

Journal of Physics: Conference Series   897   2017年9月

External AC Electric Field-Induced Conformational Change in Bovine Serum Albumin 査読

Takamasa Okumura, Kazuki Yamada, Taro Yaegashi, Katsuyuki Takahashi, Bunei Syuto, Koichi Takaki

IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   45 ( 3 )   489 - 494   2017年3月

Dependency of Arabidopsis thaliana Growth on DC Electric Field Intensity 査読

Takamasa Okumura, Yuji Muramoto, Noriyuki Shimizu

IEEE TRANSACTIONS ON DIELECTRICS AND ELECTRICAL INSULATION   21 ( 2 )   913 - 917   2014年4月

Influence of DC Electric Field on Growth of Daikon Radish (Raphanus sativus) 査読

Takamasa Okumura, Yuji Muramoto, Noriyuki Shimizu

IEEE TRANSACTIONS ON DIELECTRICS AND ELECTRICAL INSULATION   19 ( 6 )   2237 - 2241   2012年12月

放電プラズマおよび電界のバイオ応用 招待

奥村賢直

Satellite meeting of AAPPS-DPP2020：Workshop on cutting-edge of plasma applications  2020年8月 

Large-Scale Fabrication of Tm3 Fe5 O12 Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy Using Magnetron Sputtering 国際会議

A. M. Nurut, S. Obinata, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Yamashita

ISPlasma  2024年3月 

ソルガム種子への空気プラズマ照射による発芽・生育促進効果

柳川由紀, 蒔田由布子, 奥村賢直, 藤田美紀, 栗山朋子, 河内正治, 松井南, 古閑一憲

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

CxHy+ArプラズマCVDを用いた水素化アモルファスカーボン膜の堆積特性に対するガス圧力の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル

鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

大気圧プラズマを用いた窒素固定における電極温度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマを用いた CO2 のメタン化におけるモレキュラーシーブの活用

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

モデル植物ゼニゴケを用いた低温プラズマ照射の初発反応と成長に対する影響の解析

坪山祥子, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津和幸

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマ照射によるシロイヌナズナ種皮の物質透過性変化

奥村賢直, 古閑一憲, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 南原英司

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

イネ種皮のプラズマ起因化学種透過性の二次元分布解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

Molecular structure analysis of DBD plasma irradiated DMPO by LC-MS 国際会議

T. Okumura, H. Shi, P.Attri, D. Yamasita, K. Kamataki, N.Yamasita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratan

ISPlasma  2024年3月 

Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films 国際会議

Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ISPlasma  2024年3月 

Nitrogen Fixation to Leaf Mold Using Air Plasma and Evaluation of Phenotype Response of Sugarcane to Nitrogen-Fixed Fertilizer 国際会議

T.Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Koga

ISPlasma  2024年3月 

Influence of CO and H2O2 in plasma agriculture 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPlasma  2024年3月 

Deposition of carbon nanoparticles fabricated by multi-hollow discharge plasma CVD on DC biased substrates 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

ISPlasma  2024年3月 

プラズマスパッタによる高品質アモルファスITO薄膜形成のためのハイブリッド機械学習モデル（招待講演） 招待

鎌滝晋礼，板垣 奈穂，山下 大輔, 奥村 賢直，山下 尚人, 古閑 一憲, 白谷 正治

2024年1月 

Induction of plant responses by plasma irradiation to seeds and their quantitative evaluation (Invited) 招待 国際会議

T. Okumura, P. Attri, Y. Ishibashi, K.Koga, M. Shiratani

ICTS  2024年1月 

Predictions for High Quality Amorphous ITO(In2O3:Sn) Film Formation via Hybrid Machine Learning Model (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

ICTS  2024年1月 

Enhancement of The Coercivity and Blocking Temperature of Co doped ZnO films by RF sputtering Using Nitrogen 国際会議

M. N. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Effects of Carbon Nanoparticle Interposed between Two Hydrogenated Amorphous Carbon Films on Surface Morphology of a-C:H Film

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2023年12月 

Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis 国際会議

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization 国際会議

N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Hybrid machine learning model prediction for high mobility amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Evaluation of Elastic Parameters of a-C:H Film with Carbon Nanoparticles Using Nanoindentation Method 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

PECVD を用いた a-C:H 成膜における添加希ガス種における成膜機構の違い

池田築, 大高真寛，大友洋，脇田大地，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

クメンを用いた二周波容量結合プラズマ CVD 法による a-C:H 膜の製膜特性

恵利眞人, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

TEOS-PECVD における発光分光計測を用いたSiO2 薄膜膜質推定についての研究

佐藤優志, 山本祐馬, F. W. Sukuma, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

水と大気圧プラズマの相互作用による二酸化炭素分解

乙部響, P. Attri，奥村賢直, 史合平, 中尾匠，日高直哉, 鎌滝晋礼，山下大輔，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

放電電圧変調波形が高周波容量結合プラズマに与える影響：PIC-MCC シミュレーション

長尾伊織，山本祐馬，佐藤優志，鎌滝晋礼，山下尚人, 奥村賢直，木山治樹，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響

畑昌太朗，中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

リアルタイム蛍光イメージングによる非熱プラズマ照射に対するゼニゴの初発応答解析

奥村賢直, 坪山祥子, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津和幸

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月 

空気プラズマを用いた窒素固定に対する放電電力密度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月 

任意電圧波形放電による容量結合プラズマにおける重畳周波数の効果：PIC-MCCモデル

頼 建勳, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 奥村 賢直, 山下 尚人, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

TEOS-PECVD によるSiO2成膜におけるプラズマ発光強度と膜質の関係

山本祐馬, 佐藤優志, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

プラズマ中に浮遊する微粒子の帯電量の新評価法

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, P. Yiming, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 富田健太郎

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

Effect of the plasma-generated reactive species on protein folding

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023年11月 

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer

H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

2023年11月 

Combining machine learning of classification and regression models for predicting high quality amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Comparative study of deposition characteristics of different precursors for plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kunihiro, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Quantitative Analysis of Electric Field Intensity Generated by Scalable Dielectric Barrier Discharge Electrodes for Irradiating to Plant Seeds 国際会議

K. Koga, T. Okumura, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

低温プラズマによる植物の成長制御の分子メカニズム: 植物における活性酸素種の生理的役割

朽津和幸,坪山祥子,橋本貴史,橋本研志,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における分子修飾解析

史 合平,奥村 賢直,パンカジ アトリ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマを照射したDMPOの質量分析

乙部 響,史 合平,奥村 賢直,阿南 輝樹,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

液体クロマトグラフィー質量分析法を用いたプラズマ被照射物からの亜硝酸塩および硝酸塩の同時検出法の開発

日高 直哉,奥村 賢直,アタリ パンカジ,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

大量処理のためのプラズマ照射による土壌への窒素固定化の最適化

中尾 匠,奥村 賢,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,白谷 正治,古閑 一憲

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

水分存在下の大気圧プラズマ誘起CO2変換

古閑一憲,アタリパンカジ,史合平,中尾匠,奥村賢直,白谷正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

持続可能世界へのプラズマ農業の可能な貢献

白谷正治,アトリパンカジ,奥村賢直,古閑一憲

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

種子への誘電体バリア放電プラズマ照射による植物の応答誘導

奥村賢直,アタリパンカジ,古閑一憲,白谷正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

Plasma effect on the enzyme structure: Experimental and simulation studies

P. Attri,T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023年11月 

Predictions for High Mobility Amorphous ITO(In2O3:Sn) Films via Hybrid Machine Learning Model 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023  2023年11月 

Impact of plasma irradiation on plant seeds metabolism 国際会議

T. Okumura, P. Attri, Y. Ishibashi, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023  2023年11月 

Catalase enzyme inhibition's effect on plasma medicine 国際会議

P. Attri, T. Okumura1, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023  2023年11月 

Controlling the synthesis, transport, and surface coverage of carbon nanoparticles using plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of carbon nanoparticle adhesion on substrate surface deposited by plasma CVD 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N.Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

GEC  2023年10月 

ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果：ZnON膜の結晶化度の影響

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(4)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 井口恒聖, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射DMPOの分子修飾解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

プラズマ照射による窒素固定肥料へのサトウキビの表現型応答解析

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長

成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成：3次元島バッファー層の形成温度の影響

矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長：MgOバッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔,　奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における変動分子の組織別解析

史合平, 奥村賢直, A. Pankaj, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

大気圧空気プラズマによる硝酸態窒素固定量に対する放電電力密度依存性

中尾匠, 奥村賢直, A. Pankaj, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

Deposition characteristics of cumene plasma CVD for high-speed deposition of high-density a-C:H films 国際会議

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges 国際会議

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Measurement of electric field, UV photons, and long-lifetime reactive species generated by atmospheric pressure air plasma for plasma bio applications 国際会議

T. Okumura, S. Tsuboyama, Y. Tagawa, T. Nakao, T. Anan, H. Tanaka, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kuchitsu

ICPIG2023  2023年7月 

Coverage control of carbon nanoparticles on substrate using capacitively coupled plasma chemical vapor deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Control of ion trajectory in high aspect ratio trenches by using amplitude modulated rf discharges 国際会議

I. Nagao, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of lower discharge frequency on ion energy distribution function in dual frequency plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo method 国際会議

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, K. Ikeda, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization 国際会議

Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges 国際会議

R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges 国際会議

T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of Ne mixing on plasma enhanced chemical vapor deposition of a-C:H films using CH4/Ar/Ne capacitively coupled discharges 国際会議

K. Ikeda, M. Otaka, H. Otomo, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Relation between Spatial Distribution of Optical Emission Intensity and SiO2 Film Property in TEOS-PECVD 国際会議

Y. Yamamoto, I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of tailored voltage waveform discharges on deposition of hydrogenated amorphous carbon films by CH4/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

M. Otaka, H. Otomo, K. Ikeda, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Stress reduction of a-C:H films by nano-structuring of inter-layer of films deposited by plasma CVD (Invited) 招待 国際会議

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, M. Shiratani

Thermec'2023  2023年7月 

ナノ粒子を用いた膜界面の形状ゆらぎによる膜応力低減

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

プラズマ中帯電微粒子の相互作用に関する研究

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

Prediction of Plasma CVD Process Data of a-Si:H Films via Machine Learning 国際会議

K. Kamataki, F. L. Chawarambwa, D. Yamashita, N. Yamashita, T.Okumura, N. Itagaki, K.Koga, M. Shiratani

ISPC25  2023年5月 

Effects of sputtering of a-C:H films on the chemical composition 国際会議

M. Shiratani, K. Ikeda, M. Otaka, S. Ono, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki

ISPC25  2023年5月 

Plasma-induced CO2 conversion: Experimental and Computational study 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, N. Takeuchi, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPC25  2023年5月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

プラズマ照射によるレタス種子表面および内部の分子変動

阿南輝樹, 奥村賢直, アトリパンカジ, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

Non-off Axis Sputtering Deposition of Ferrimagnetic Insulator Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy

2023年3月 

プラズマCVD法で堆積した2層a-C:Hの機械的強度に対するカーボンナノ粒子挿入の効果

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

プラズマおよび電界を用いた農産物の生産法，加工・保存法の新展開

奥村賢直, P. Attri, 古閑一憲, 白谷正治

令和５年電気学会全国大会  2023年3月 

Molecular Structure Change in Phenol by Gas-Liquid Discharge Plasma 国際会議

A. Khalil, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月 

Impact of Plasma Irradiation on Plant Seeds Metabolism (Invited) 招待 国際会議

T. Okumura

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月 

種子へのプラズマ照射量の定量解析最前線 (招待講演) 招待

奥村賢直, 古閑一, 白谷正治

プラズマ種子科学研究会  2023年2月 

種子へのプラズマ照射量定量解析 (招待講演) 招待

奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治

東北プラズマフォーラム 令和4年度 東北大学 電気通信研究所 共同プロジェクト研究会  2023年2月 

Contribution of non-thermal plasma in agriculture: Focus on pre-harvest treatment 招待 国際会議

P. Attri, T. Okumura, Y. Ishibashi, K. Koga, M. Shiratani

SAPP XXIV  2023年1月 

Structural Characteristics of Carbon Sphere Composite Deposited by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor Deposition Method 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. 0kumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Developing Prediction of Key Process Parameters and Sputtering Conditions for Amorphous and high Mobility ITO/In2O3 Films via Machine Learning 国際会議

K. Kamataki, Y. Mido, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N.Yamashita, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films 国際会議

Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of lower discharge frequency on plasma parameters in capacitively coupled plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision method 国際会議

T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode 国際会議

N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputtering 国際会議

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of Gas Pressure on Deposition Characteristics of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Produced by Ar + CH4 Capacitively Coupled Plasma 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Masaharu

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of Amplitude Modulation Discharge on Ion Energy and Angular Distributions studied by PIC-MCC method 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Fluctuation of plasma and amount of nanoparticles in TEOS amplitude modulated rf discharge 国際会議

A. Yamamoto, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar and Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasma. 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate 国際会議

K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Measurement of fluctuation of electric field in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 国際会議

T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

プラズマ照射を用いて窒素リッチ化した肥料で栽培したサトウキビの生育評価

中尾匠，小野晋二郎，山本小龍，内野泰祐，奥村賢直，P. Attri，古閑一憲, 山下大輔，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー：ZnON/MgO バッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

ナノインデンテーションを用いた a-C:H/CNP/a-C:H サンドイッチ構造膜の機械的強度評価

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

Ar/Ne/CH4 プラズマ CVD による a-C:H 成膜への Ne 混合効果

池田築，大高真寛，大友洋，有馬聡明，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治, 進藤崇央，田中諭志，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

水への CO₂プラズマ照射による選択的 CO 生成

内野泰佑, アタリ パンカジ, 奥村賢直, 古閑一憲，山下大輔, 鎌滝普礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

Mechanism of homogeneous nucleation of ZnO in N2 and Ar plasma 国際会議

N. Yamashita, R. Mitsuishi, Y. Nakamura, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Discharge frequency dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 国際会議

K. Ikeda, M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Measurement of the charge on single fine particles in plasma 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, Y. Pan, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Investigation of dual frequency method in capacitively coupled plasmas using particle-in-cell/Monte Carlo method 国際会議

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Effects of Amplitude Modulated Discharge on SiO2 film qualities in TEOS Plasma CVD 国際会議

Y. Yamamoto, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Formation of Graphene Nanoribbon-like Structure in Carbon Nanoparticles Fabricated by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

2022年12月 

Role of reactive nitrogen species on the radish seeds 国際会議

P. Attri, T. Okumura, T.E. Putri, F. L. Chawarambwa, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2022年12月 

Influence of Seed Dormancy on Plasma Irradiation Effects on their Germination 国際会議

K. Koga, T. Okumura, P. Attri, T. Anan, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Kuchitsu, K. Ishikawa, M. Hori

2022年12月 

Study on biomolecules extracted from plasma-irradiated plant seeds using quadrupole mass spectrometer 国際会議

T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Plasma Irradiation-induced Molecular Modification of Quercetin as Plant Antioxidant 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

2022年12月 

Improvement of Germination Characteristics of Sorghum bicolor Seeds Irradiated by Surface Discharge Plasma 国際会議

S. Yamamoto, T. Nakao, T. Anan, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Yanagawa, S. Shimada

2022年12月 

Electric fields measurement using an optically trapped charged particle in Ar plasma 招待 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, k. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

2022年11月 

Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films

Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki

2022年11月 

二周波重畳容量結合並行平板放電の PIC-MCC シミュレーション:駆動周波数の効果

有馬聡明, 頼建勲, 大高真寛, 池田築, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 山下尚人, 板垣奈穂, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治

2022年(令和４年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 7th Asian Applied Physics Conference  2022年11月 

One-dimensional particle-in-cell / Monte Carlo collision model simulation of the effects of amplitude modulation discharge on ion/electron energy distribution functions 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2022  2022年11月 

Effects of plasma activ ated lact ate solution administration to seeds of Arabidopsis thaliana on germination characteristics 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Hashimoto, K. Kuchitsu, H. Hashizume, K. Ishikawa, M. Hori

DPS2022  2022年11月 

Detection of ­NO3 − introduced in plasma‑irradiated dry lettuce seeds using liquid chromatography‑electrospray ionization quantum mass spectrometry (LC‑ESI QMS）

奥村賢直

第38回 九州･山口プラズマ研究会  2022年11月 

Role of short-lived nitrogen species generated at low-pressure RF plasma on the germination and seedling growth 国際会議

K. Koga, P. Attri, T. Okumura, T. Anan, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Plasma irradiation-introduced RONS amount into plant seeds and their response analysis 国際会議

T. Okumura, T. Anan, P. Attri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Process analysis of cracking aC: H/CNP/aC: H sandwich films under stress using nanoindentation 国際会議

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Plasma induced conversion of CO2 with water to useful compounds 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Takeuchi

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Effect of plasma irradiation on germination of lettuce seeds with fluctuating dormancy 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Reproducibility in plasma agriculture 国際会議

M. Shiratani, T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Koga

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Pressure dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 国際会議

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Effects of amplitude modulation discharge on behavior of oxygen ions in Ar/O2 capacitively coupled plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision model 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis 国際会議

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 招待 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

振幅変調放電法を用いたTEOSプラズマCVDへの効果

山本晃大, 長尾伊織, 山本祐馬, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

Role of plasma treatment on radish seeds affects germination, morphology, and biochemical responses

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, Y. Tsukada, N. Itagaki, M. Shiratani

2022年9月 

サファイア基板上の単結晶ZnO薄膜作製におけるバッファー層評価指標

山下尚人, 中村優太, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜：固相結晶化温度の影響

沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜

成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果

三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

異なるMg組成を有する単結晶Zn­­1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果

矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションのためのゼロ次元シミュレーション

都甲将, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原 裕一

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

大気圧空気プラズマを用いた肥料への窒素固定と圃場試験

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアトリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

モデル植物ゼニゴケの成長に対する低温プラズマ照射解析実験系の確立と初発反応の解析

坪山祥子, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 朽津 和幸

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

休眠状態を考慮したレタス種子発芽へのプラズマ照射効果

奥村賢直, 阿南輝樹, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

Impact of amplitude modulated discharge on suppression of nanoparticle growth in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IVC-22  2022年9月 

Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperature 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Eff ects of Modifi cation of Film Interface by Nanoparticles on Mechanical Properties of Films 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Eff ects of Amplitude Modulated RF Discharge on Properties of SiO2 Films Deposited by TEOS/O2/Ar Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 国際会議

2022年9月 

Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 国際会議

A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Particle Fluxes to Seeds Irradiated from Scalable DBD Plasma 国際会議

M. Shiratani, H. Tanaka, T. Anan, T. Nakao, Y. Tagawa, T. Okumura, P. Attri, K. Koga

2022年8月 

Stability of a quasi-solid DSSC under low-concentrated light soaking 国際会議

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, A. Pankaj, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Magnetic properties of Co-doped ZnO films fabricated by sputtering using mediated crystallization. 国際会議

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Ion energy and angular distribution functions in amplitude modulated capacitively coupled Ar discharge plasma obtained using particle-in-cell Monte Carlo collision model simulation 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasma 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu1, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Spatio-temporal structures of plasma density in lower driving rf frequency plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision method 国際会議

T. Arima, M.Otaka, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Thermoplastic Polymer Electrolytes for DSSCs Performance Under V-Shape Low-Concentrated Light 国際会議

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, A. Pankaj, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Effect of reactive nitrogen species mainly nitric oxide on the germination of radish seeds 国際会議

A. Pankaj, T. Okumura, F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, N. Takeuti, K. Koga, K. Ishikawa, K. Kamataki, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Increase of Blocking Temperature in Co-doped ZnO by Using NitrogenMediated Crystallization 国際会議

N. Yamashita, A. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMFS-2022  2022年7月 

大気圧空気プラズマで生成した硝酸態窒素の水表面への輸送評価

中尾匠、奥村賢直、P. Attri、古閑一憲、山下大輔、鎌滝晋礼、山下尚人、板垣奈穂、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

TEOSプラズマSiO2成膜に及ぼす振幅変調放電の効果

山本晃大、長尾伊織、山本祐馬、大高真寛、山下大輔、鎌滝晋礼、奥村賢直、山下尚人、板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響

三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov mode 国際会議

N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Development of Measurement of Two-Dimensional Distribution of Strength of Electrical Field with High Spatial Resolution Using Optical Trapped Particle in Plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Okunaga,T. Sato,K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Growth of Nanoparticles in TEOS rf Plasma with Amplitude Modulation 国際会議

A. Yamamoto, K. Abe, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M.Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Structural Control of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Substrate Position and Gas Pressure in Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron Sputtering 国際会議

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Stress Relaxation of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Incorporating Carbon Nanoparticles Using Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, J-S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Time Resolved Optical Emission Spectroscopy in Ar and Ar/Ne Capacitively Coupled Radio Frequency Plasma 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Effects of rf Frequency on Plasma Density in Capacitively Coupled Plasmas at Low Pressure Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision Method 国際会議

T. Arima , T. Yang, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Quantitative Evaluation through LC-QqQ MS/MS for RONS Induced into Dry Seeds by Non-Thermal Plasma Irradiation 国際会議

T. Okumura , K. Koga , P. Attri , K. Kamataki , N. Yamashita , N. Itagaki, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Position Fluctuation of a Fine Particle Trapped with Laser Tweezers in Ar Plasma 国際会議

T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Amplitude Modulation Frequency Dependence of Ion Energy Distribution in Capacitively Coupled Discharge Plasma Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision Method 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

プラズマ CVD 法を用いた a-C:H 薄膜製膜特性に対するガス圧力・基板位置の効果

小野晋次郎, 吉川大智, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 呉準席, 鷹林将, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーションにおける振動回転励起CO分子の役割

都甲 将, 出口 雅志, 長谷川 大樹, 奥村 賢直, 鎌滝 晋礼, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

調湿レタス種子のラジカル量に与えるプラズマ照射の効果

奥村賢直，阿南輝樹，パンカジアタリ, 古閑一憲, 鎌滝晋礼，山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 石橋勇

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測

鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人,奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

CNP 層を挿入した a-C:H 膜の応力低減に対する CNP 被覆率の効果

吉川大智, 小野晋次郎, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 鷹林将，呉準席, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

植物へのプラズマ照射効果解明に向けたゼニゴケ実験系の確立

古閑一憲, 坪山祥子，田川雄大, 中尾匠，田中颯，阿南輝樹，奥村賢直 ，P. Attri，鎌滝晋礼，山下尚人 ，板垣奈穂 ，白谷正治 ，朽津和幸

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

プラズマCVDを用いて堆積した薄膜のナノ構造化による機械的特性制御

古閑一憲，黄成和，小野晋次郎，吉川大智, 奥村賢直，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

日本物理学会 第77回年次大会（2022年）  2022年3月 

Effects of Concentration of Plasma Activated Lactate on Germination of Arabidopsis thaliana Seeds 国際会議

H. Tanaka, T. Okumura, P. Attri, T. Anan, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi, M. Nakano, K. Namiki, S. Tsuboyama, K. Hashimoto, K. Kuchitsu, H. Hashizume, K. Ishikawa, M. Hori, K. Koga

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

Deposition of Carbon Nanoparticles of 5 nm in Size on Positively Biased Substrates using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

プラズマ照射肥料を用いて栽培した植物の成長解析

奥村 賢直, アタリバンカジ，中尾匠， 田中颯, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 古閑ー憲, 板垣奈穂, 白谷正治, 竹内希

2022年1月 

プラズマ触媒を用いたCO2メタン化のためのプラズマシミュレーシンョン

都甲将，出口雅志, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲，白谷正治, 節原裕一

2022年1月 

AM変調放電を圧いたTEOS プラズマにおけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係についての研究

鎌滝晋礼, 阿部滉平, 山本晃大, 長尾伊織, 大高真寛, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑ー憲, 白谷正治

2022年1月 

プラズマ照射による酸化還元反応に対する種子内水分量の効果

阿南 輝樹, 田中颯，奥村賢直, アタリパンカジ, 中尾匠, 鎌滝晋礼，山下尚人, 板垣奈穂，古閑ー憲, 白谷 正治

2022年1月 

Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides

Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

2021年12月 

平行平板容量結合高周波プラズマ発光の時空間分解計測

大高真寛, 有馬聡明, 永松大樹, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

PIC-MCCM を用いた平行平板容量結合プラズマに対する放電周波数依存性に関する研究

陶陽, 阿部滉平, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

平行平板容量結合高周波放電プラズマの AM 変調周波数依存性に関する PICMCC シミュレーション

長尾伊織, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した単結晶 ZnMgO 薄膜のスパッタリング成膜

矢髙功太郎, 山下尚人, 髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

Effect of rf bias on the film property of amorphous silicon oxide films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition 国際会議

A. Yamamoto, K. Abe, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Developing Prediction of Key Process Parameters of Plasma CVD for Fabricating a-Si:H Solar Cells through Boosting Technique 国際会議

F. Chen, K. Kamataki, Y. Tao, S. Okunaga, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Possible plasma oxidation effect on the binding of C-terminal Domain of SARS-CoV-2 Spike Protein with Human Angiotensin-Converting Enzyme 2 (hACE2): A computational study 国際会議

K. Koga, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, P. Attri

2021年12月 

Measurements of Radial and Vertical Electric Field in Capacitively Coupled Plasma 国際会議

Y.Tao, D. Nagamatsu, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Structural analysis of carbon nanoparticle composite films prepared by Ar+CH4 multi-hollow plasma chemical vapor deposition 国際会議

S. H. Hwang, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

2021年12月 

Calibration of force acting on an optically trapped particle in Ar plasma 国際会議

S. Okunaga, T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N.Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Investigation of 2D electric field measurements in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 国際会議

K. Kamataki, S. Okunaga, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Ion Energy Distribution Function in DC Pulse biased Capacitively Coupled Plasma Discharge by using Particle-In-Cell/Monte Carlo Collision Model 国際会議

K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2021年12月 

Effect of intraseed moisture and plasma irradiation on lettuce seed surface 国際会議

T. Okumura, T. Anan, H. Tanaka, D. Yamashita, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi, Y. Fujimoto, M. Kumauchi, H. Matsui

2021年12月 

Green route for ammonium nitrate synthesis: Fertilizer for plant growth enhancement 国際会議

P. Attri, K. Koga, T. Okumura, N. Takeuchi, M. Shiratani

2021年12月 

Structural Analysis of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Deposited by Capacitively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani, M. Shiratani

2021年12月 

ポッケルスセルを用いたスケーラブル誘電体バリア放電により生じる電界の測定

田川雄大, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, A. Pankaj, 山下大輔, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

Plasma treatment causes structural modifications in proteins, result in increased cytotoxicity towards cancer cells

P.Attri, K. Koga, T. Okumura, M. Shiratani

2021年12月 

プラズマ照射された植物種子に関する物理的、化学的および分子生物学的研究(招待講演) 招待

奥村賢直, アトリ パンカジ,石橋勇志, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

イネ種子へのプラズマ照射がDNAメチル化レベルに及ぼす影響

田中颯, 阿南輝樹, 奥村賢直, A. Pankaj, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, S. Chetphilin, 石橋勇志, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

電子常磁性共鳴法を用いたレタス種子内ラジカル量のプラズマ照射時間依存性

阿南輝樹, 田中颯, 奥村賢直, A. Pankaj, 山下大輔, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 石橋勇志, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

水素と触媒を用いない低圧窒素プラズマを用いた窒素肥料作製

古閑一憲, アタリ パンカジ, 奥村賢直, 竹内希, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

スケーラブル誘電体バリア放電による対象物への活性酸素窒素種暴露量の評価

中尾匠, 阿南輝樹, 田中颯, 奥村賢直, 山下大輔, A. Pankaj, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治

第31回日本MRS年次大会  2021年12月 

Oxidation of Catalase by Plasma Treatment: A Probable Mechanism of Cancer Treatment 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

the 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)  2021年12月 

Investigation of Growth Suppression Mechanism of Nanoparticles through Amplitude Modulation Discharge Method in TEOS Plasma 国際会議

K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

the 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)  2021年12月 

High-temperature Growth of Amorphous In O :Sn Films by Magnetron Sputtering using Nitrogen 国際会議

Y. Mido, K. Takeda, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, M. Hori, N. Itagaki

MRS fall meeting 2021  2021年12月 

Inverted Stranski-Krastanov Growth of Single-Crystalline Zn Mg O Films on Sapphire Substrates using Magnetron Sputtering 国際会議

D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS fall meeting 2021  2021年12月 

Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS fall meeting 2021  2021年12月 

Effects of Plasma Irradiation to Moistened Seeds on Radical Amount 国際会議

T. Anan, H. Tanaka,T. Okumura, P. Attri,D. Yamashita,K. Kamataki,K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani, Y.Ishibashi

The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2021年12月 

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of RF power 国際会議

R. Mitsuishi, D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2021年12月 

植物照射用スケーラブル誘電体バリア放電の生成粒子の計測

古閑一憲，田川雄大，中尾匠，阿南輝樹，田中颯，奥村賢直，P. Attri，鎌滝晋礼，板垣奈穂，白谷正治，坪山祥子，橋本研志，朽津和幸

プラズマ・核融合学会　第38回年会  2021年11月 

種子に導入された大気圧空気プラズマ起因活性種の高感度微量定量測定法の創成

奥村賢直，パンカジアトリ，古閑一憲，鎌滝晋礼，板垣奈穂，白谷正治

プラズマ・核融合学会　第38回年会  2021年11月 

Better step coverage of TEOS-PECVD SiO2 films realized by amplitude modulation of RF discharge voltage 国際会議

K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, S. Tahara, Y. Mizokami, Y. Miyata, K. Tabuchi, T. Tanikuni, S. Hiyama, K. Nagahata

42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)  2021年11月 

Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma 国際会議

M. Shiratani, K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga

42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)  2021年11月 

Reduction of compressive stress of hydrogenated amorphous carbon films by inserting carbon nanoparticle layer using plasma CVD 国際会議

S. H. Hwang, S. Ono, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, J.-S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)  2021年11月 

乾燥種子内に導入されたプラズマ照射起因活性窒酸素窒素種の微量分析法の創成

奥村賢直

第37回九州・山口プラズマ研究会  2021年11月 

Low-stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles produced by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition 国際会議

S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

Japan-RUB Workshop  2021年11月 

Molecular Analysis of Plasma-Induced Germination Improvement of Rice Seeds With High-Temperature Stress Damage 国際会議

K. Koga, Y. Ishibashi, C. Suriyasak, T. Okumura, H. Tanaka, P. Attri, K. Matsuo, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani

AVS67  2021年10月 

Effect of plasma treatment on MDM2 and p53 expression in cancer cells 国際会議

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics  2021年9月 

Suppression of nanoparticle growth in TEOS plasma by amplitude modulation discharge method 国際会議

K. Abe, A.Yamamoto, I.Nagao, M.Otaka, D.Yamashita, K.Kamataki, T.Okumura, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics  2021年9月 

Study on measurement of strength and fluctuation of electrical field using optical trapped particle in Ar plasma 国際会議

K. kamataki, S. Okunaga, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics  2021年9月 

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマで発生した活性種量評価

中尾匠, 阿南輝樹, 田中颯, 奥村賢直, P. Attri, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治

第74回電気・情報関係学会九州支部連合大会  2021年9月 

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマの特性評価

田川雄大, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, P. Attri, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治

第74回電気・情報関係学会九州支部連合大会  2021年9月 

液体クロマトグラフ-トリプル四重極質量分析計を用いたプラズマ照射種子内植物ホルモンの定量分析

奥村賢直, アトリ パンカジ, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

Cold Plasma induced structural modification of NADPH oxidase activator (Noxa 1) by oxidative stress

P. Attri, T. Okumura. K. Koga, M. Shiratani

2021年9月 

窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜の高温成膜

御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

ZnONバッファー層を用いたサファイア基板上への単結晶Zn1-xMgxO薄膜の成長

高橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

マグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表面モフォロジーに及ぼす基板極性の影響

成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣 奈穂

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

Effects of Carbon Nanoparticles Inserted between Two Diamond Like Carbon Layers Films on Residual Stress of Films Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. H. Hwang, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

INTERFINISH 2020  2021年9月 

Production of Hollow Carbon Nanoparticles using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD 招待 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani, M. Shiratani

INTERFINISH 2020  2021年9月 

容量結合型プラズマ化学気相堆積法を用いて製膜された水素化アモルファスカーボン膜(a-C:H)の構造解析

小野晋次郎, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第15回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール  2021年9月 

Comparative study on the decontamination of water using non-thermal atmospheric pressure plasma and gamma irradiation(Invited) 招待 国際会議

P.Attri, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

APA Bioforum2021: Polymeric Biomaterials & Bioengineering  2021年8月 

レタス種子表面状態に対する種子内水分およびプラズマ照射の影響

阿南輝樹, 田中颯, 山下大輔, 奥村賢直, Pankaj Attri, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志, 藤本祉史, 熊内雅人, 松井英享

令和３年度日本表面真空学会九州支部学術講演会  2021年6月 

スパッタ法によるサファイア基板上への原子平坦なZnMgO薄膜の作製

髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和３年度日本表面真空学会九州支部学術講演会  2021年6月 

(ZnO)x (InN)1-x 膜のスパッタエピタキシーに及ぼす基板表面極性の影響

成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和３年度日本表面真空学会九州支部学術講演会  2021年6月 

窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファス In2 O3 :Sn 薄膜の作製

御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和３年度日本表面真空学会九州支部学術講演会  2021年6月 

Particle-In-Cell モンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション

阿部滉平, 山本晃大, 長尾伊織, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和３年度日本表面真空学会九州支部学術講演会  2021年6月 

High Throughput Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon Films using High-Pressure Ar+CH4 Plasmas 国際会議

ICMCTF2021  2021年4月 

マグネトロンスパッタリング法による(ZnO)x(InN)1-x膜のエピタキシャル成長:基板の面極性の影響

成重椋太, 金島健太郎, 浦川 聖一, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム  2021年3月 

プラズマを用いてカーボンナノ粒子層を含むミルフィーユ型 a-C:H 膜の機械的特性

古閑一憲, 黄成和, Y.Hao, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 白谷正治

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

ナノ粒子取り込みによる SiNx の低温プラズマ CVD 製膜

佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム  2021年3月 

プラズマCVD中飛行時間によるカーボンナノ粒子サイズ制御

古閑一憲, S. H. Hwang, Y. Hao, P. Attir, 奥村賢直，鎌滝晋礼，板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会第76回年次大会  2021年3月 

Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-x films 国際会議

R. Narishige, K. Kaneshima, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Sputter deposition of ZnAlO films with tunable bandgaps from 3.4 to 6.1 eV 国際会議

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Growth of high-quality (ZnO)x(InN)1-x films by RF magnetron sputtering using a two-step growth process 国際会議

K. Kaneshima, S. Urakawa, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Impact of surface morphologies of 3D island layers on the single crystal growth of magnetron sputtered ZnO films 国際会議

Y. Nakamura, M. Kikuchi, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagak

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Applications of Low Temperature Plasma to Agriculture in Preharvest Stage (Invited) 招待 国際会議

M. Shiratani, P.Attri, T. Okumura, K. Koga

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Structural and Optical Properties of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy 国際会議

D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen mediate amorphization method: Effects of nitrogen flow rate 国際会議

Y. Mido, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Low temperature fabrication of SiO2 films using capacitively coupled TEOS plasma 国際会議

Y. Sasaki, T. Yoshida, K. Abe, K. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 21st Workshop on Fine Particle Plasmas  2020年12月 

PIC-MCCMを用いたCCPにおけるIEDに関する研究

阿部滉平, 陶陽, 岩本亮介, 佐々木勇輔, 吉田知晃, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

容量結合プラズマCVD法によるSiO2膜の低温製膜

佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

TEOSプラズマCVDを用いたSiO2膜の形成:基板バイアス電圧依存性

山本晃大, 吉田智晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係

吉田知晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山本晃大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Ar+CH4 マルチホロー放電プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子のフラックスに対する熱泳動力の効果

郝源, 𠮷川大智, 黄成和, 古閑一憲, 白谷正治, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 奥村賢直

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Ar/N2スパッタリングによるサファイア基板上へのZnO単結晶成長：O-poorバッファー層の効果

松本翔剛, 髙橋大智, 中村優太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

スパッタエピタキシー法による(ZnO)X(InN)1-X膜の作製: 高温バッファー層の効果

寺澤寛, 金島健太郎, 成重椋太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

CCPにおける径方向電場Eyの計測の試み

陶陽, 岩本亮介, 阿部滉平, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

レタス種子の発芽特性に及ぼす調湿・プラズマ照射時間依存性

阿南輝樹, 田中颯, 有田涼, 山下大輔, 奥村賢直, アトリ パンカジ, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志, 藤本祉史, 熊内雅人, 松井英享

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Nitric Acid Generation by Pulsed Needle-water Discharge Plasma 国際会議

H. Tanaka, R. Kogawa, Y. Oba, M. Fujita, T. Okumura, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kamataki, N. Itagaki

2020年12月 

Impact of Plasma Treatment on the binding of C-terminal Domain of SARS-CoV-2 Spike Protein with Human Angiotensin-Converting Enzyme 2 (hACE2) 国際会議

P. Attri, K. Koga, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

2020年12月 

Impact of Plasma Treatment Time on the Barley Seeds using Electron Paramagnetic Resonance 国際会議

K. Koga, P. Attri, T. Anan, R. Arita, H. Tanaka, T. Okumura, D. Yamashita, K. Matsuo, K. Kanataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi

2020年12月 

Effects of substrate surface polarity on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-xfilms 国際会議

R. Narishige, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki,T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 5t h Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2020年11月 

Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature 国際会議

Y. Midou, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 5t h Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2020年11月 

Bandgap Tuning of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy 国際会議

D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita,T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 5t h Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2020年11月 

Role of seed coat color and harvest year on growth enhancement by plasma irradiation to seeds 国際会議

K. Koga, P. Attri, K. Ishikawa, T. Okumura, K. Matsuo, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, V. Mildaziene

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月 

Information on electric field deduced using a fine particle trapped with laser tweezers in Ar plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Okunaga, K. Tomita, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月 

マルチホロー放電プラズマ CVDを用いて作製したカーボンナノ粒子輸送量に対する電極基板間距離の効果

古閑一憲,　S. H. Hwang,　奥村賢直,　Y. Hao,　山下大輔,　松尾かよ,　板垣奈穂,　鎌滝晋礼,　白谷正治

2020年度(第73回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2020年9月 

メタンプラズマCVDを用いたホローカーボンナノ粒子のワンステップ作製

Y. Hao, S. H. Hwang, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 中谷達行, 白谷正治

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月 

プラズマCVD技術文献のテキストマイニングを用いた単語のインパクトの解析

古閑一憲, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治, 谷口雄太, 池田大輔

第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月 

低温環境下におけるプラズマCVDによる高品質保護膜の作製

鎌滝晋礼, 吉田知晃, 佐々木勇輔, 阿部滉平, 岩本亮介, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

日本物理学会 2020年秋季大会  2020年9月 

プラズマCVDを用いたa-Si：H堆積薄膜中のSi-H/Si-H2結合形成の活性化エネルギー

古閑一憲, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会 2020年秋季大会  2020年9月 

Biological effect of atmospheric-pressure plasma irradiation and electric field stimulation 招待 国際会議

T. Okumura, T. Sato, K. Takahashi, K. Takaki, Y. Muramoto, Y. Nakagawa, C. Yuan

Sixteenth International Conference on Flow Dynamics  2019年11月 

Inactivation of Bacteria Using Discharge Plasma under Liquid Fertilizer in Hydroponic Culture System 招待 国際会議

T. Okumura, K. Takano, Y. Saito, K. Takahashi, K. Takaki, N. Satta, T. Fujio

The 22nd International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water, Air and Soil  2016年11月 

Potential Formation in Water by Cold Atmospheric Plasma 国際会議

T. Okumura, C. Zhou, E. Kubo, T. Shimizu, T. Nakajima, T. Sato

Fourteenth International Conference on Flow Dynamics  2017年11月 

Optimum D.C. Electric Field Strength for Growth Acceleration of Thale Cress 国際会議

T. Okumura, S. Iwata, Y. Muramoto, N. Shimizu

2011 IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena  2009年10月 

Influence of Electric Field on Plant Weight 国際会議

T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

2009 IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena  2009年10月 

Influence of Electric Field on Plant Growth 国際会議

T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

2010 IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena  2010年7月 

Influence of AC Electric Field on Plant Growth 国際会議

S. Iwata, T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

2011 IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena  2011年10月 

Improvement of seed germination and seedling growth of Arabidopsis thaliana by D.C. Electric Field 国際会議

T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

Bioelectronics 2012  2012年9月 

Dependency of Growth of Arabidopsis thaliana on Intensity of D.C. Electric Field 国際会議

T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

2012 IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena  2012年10月 

Polarity Effect on Growth Acceleration of Arabidopsis Thaliana by DC Electric Field 国際会議

T. Okumura, Y. Muramoto, N. Shimizu

11th IEEE International Conference on Solid Dielectrics  2013年7月 

Effect of AC Electric Field on Gonad of Sea Urchin 国際会議

T. Yaegashi, K. Yamada, T. Okumura, T. Ito, S. Yamazaki, S. Aisawa, B. Syuto, K. Takaki

The 2nd Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology  2014年7月 

Conformational change in bovine serum albumin by AC electric field 国際会議

K. Yamada, T. Yaegashi, T. Okumura, T. Ito, S. Yamazaki, S. Aisawa, B. Syuto, K. Takaki

The 2nd Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology  2014年7月 

Conformational Change of Bovine Serum Albumin by AC Electric Field for Keeping Freshness of Marine Products 国際会議

T. Okumura, T. Ito, K. Takahashi, S. Aisawa, S. Yamazaki, B. Syuto, K. Takaki, K. Urashima

3rd International Symposium on New Plasma and Electrical Discharge Applications and on Dielectric Materials 2015  2015年10月 

Conformational Change of Protein with AC Electric Field for Keeping Freshness of Marine Products 国際会議

T. Okumura, K. Yadama, T. Yaegashi, T. Ito, S. Aisawa, S. Yamazaki, K. Takahashi, S. Bunei, K. Takaki

7th International Workshop on Plasma Scientech for All Something  2015年11月 

AC Electric Field-Induced Conformational Change in Bovine Serum Albumin 国際会議

T. Okumura, K. Yadama, T. Yaegashi, T. Ito, S. Aisawa, S. Yamazaki, K. Takahashi, S. Bunei, K. Takaki

The joint symposium of the 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology / the 28th Symposium on Plasma Science for Materials  2015年12月 

Inactivation of Bacteria Using Discharge Plasma under Liquid Fertilizer in Hydroponic Culture System 招待 国際会議

T. Okumura, K. Takano, Y. Saito, K. Takahashi, K. Takaki, N. Satta, T. Fujio

The 22nd International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water, Air and Soil  2016年11月 

Development and Pilot Test of Sterilization System Using Discharge Reactor for Hydroponics Solution 国際会議

T. Okumura, K. Takano, Y. Saito, K. Takahashi, K. Takaki, N. Satta, T. Fujio

43rd IEEE International Conference on Plasma Science  2016年6月 

A.C. breakdown voltage of ice electret 国際会議

Y. Oshika, Y. Tsuchiya, T. Okumura, Yuji Muramoto

1st Asian ICMC and CSSJ 50th Anniversary Conference  2016年11月 

Potential formation in water by plasma discharge between needle and water 国際会議

T. Okumura, C. Zhou, E. Kubo, T. Shimizu, T. Nakajima, T. Sato

4th Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology  2017年6月 

Potential Formation in Water by Cold Atmospheric Plasma 国際会議

T. Okumura, C. Zhou, E. Kubo, T. Shimizu, T. Nakajima, T. Sato

Fourteenth International Conference on Flow Dynamics  2017年11月 

Influence of Pulsed Electric Field Application on Enzyme Activity in Unpasteurized Sake (Namazake) 国際会議

T. Fujiwara, T. Yaegashi, T. Okumura, K. Takahashi, K. Takaki, T. Kudo

The 15th International Conference on Advanced Materials  2017年8月 

Inactivation ‎Ralstonia ‎solanacearum ‎pulse ‎discharge ‎hydroponics 国際会議

2017年6月 

Inactivation of Ralstonia solanacearum Using Discharge under Culture Solution in Hydroponics 国際会議

Y. Saito, K. Takano, T. Okumura, K. Takahashi, K. Takaki, N. Satta, T. Fujio

The 15th International Conference on Advanced Materials  2017年8月 

Formation of Electric Potential in Liquid by Needle-Water Discharge 国際会議

T. Okumura, C. Zhou, E. Kubo, T. Shimizu, T. Nakajima, T. Sato

10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology  2017年12月 

高繰り返しパルス気液界面放電による誘電加熱の可視化

田村 秀斗, 奥村 賢直

平成30年度 高専-技大 プラズマネットワーク研究会  2018年10月 

歯ブラシ殺菌に向けたDBDプラズマリアクタの設計開発

平賀 涼, 奥村 賢直

平成30年度 高専-技大 プラズマネットワーク研究会  2018年10月 

Visualization of Dielectric Heating by High-Frequency Pulsed Gas-Liquid Phase Discharge 国際会議

Shuto Tamura, Takamasa Okumura

3rd International Conference of Science of Technology Innovation 2018  2018年10月 

R&D of DBD Plasma Reactor for Sterlizing Toothbrush 国際会議

Ryo Hiraka, Takamasa Okumura

3rd International Conference of Science of Technology Innovation 2018  2018年10月 

Cell Response to Pulsed Current Modeled after Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

Chia-Hsing Chang, Ken-ichi Yano, Takamasa Okumura, Takehiko Sato

7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7)  2018年6月 

Conformational change of bovine serum albumin by atmospheric-pressure plasma and electric field 招待 国際会議

T. Okumura, Y. Nakagawa, C. Yuan, K. Takahashi, K. Takaki

The 6th Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life 2019  2019年7月 

R&D of DBD Plasma Reactor for Sterilizing Toothbrush 国際会議

R. Hiraka, T. Okumura

3rd International Conference of Science of Technology Innovation 2018  2018年10月 

Visualization of Dielectric Heating by High-Frequency Pulsed Gas-Liquid Phase Discharge 国際会議

S. Tamura, T. Okumura

3rd International Conference of Science of Technology Innovation 2018  2018年10月 

Cell Response to Pulsed Current Modeled after Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

C. Chang, K. Yano, T. Okumura, T. Sato

7th International Conference on Plasma Medicine  2018年6月 

Formation of Electric Potential in Liquid by Needle-Water Discharge 国際会議

T. Okumura, C. Zhou, E. Kubo, T. Shimizu, T. Nakajima, T. Sato

10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology  2017年12月