2024/07/24 更新

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カワサキ ヒロハル
川崎 仁晴
KAWASAKI HIROHARU
所属
総合理工学研究院 連携融合理工学部門 教授
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学位

  • 博士(工学)

研究テーマ・研究キーワード

  • 研究テーマ:粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる機能性薄膜の作製

    研究キーワード:粉体ターゲット、プラズマプロセス、スパッタリング、傾斜機能性薄膜

    研究期間: 2024年4月

受賞

  • 2021年第82回応用物理学会秋期学術講演会 Poster Award

    2021年10月   公益社団法人 日本応用物理学会   粉体ターゲットプラズマプロセスによる傾斜機能性膜の作製I

  • 第10回JSAP Photo&illustration Contest 優秀賞

    2017年11月   応用物理学会  

  • 第4回リバネス教育応援助成金Honda賞

    2016年9月   教育応援プロジェクト ティーチア  

  • 「FOOMA AP賞(アカデミックプラザ賞)」

    2016年6月   一般社団法人 日本食品機械工業会  

  • The 63th JSAP Spring Meeting Poster Award

    2016年4月  

  • 電気科学技術奨励賞

    2014年10月   電気科学技術奨励会  

  • 文部科学大臣賞

    2014年8月   国立高等専門学校教員顕彰  

  • 応用物理学会ポスター賞

    2014年4月   応用物理学会  

  • 第18回日本工学教育協会業績賞

    2009年8月   日本工学教育協会  

  • 第11回九州工学教育協会賞

    2009年2月   九州工学教育協会  

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論文

  • Crystal Al-Doped ZnO Thin-Film Preparation by Sputtering Deposition using a Mixed-Powder Target 査読

    Takahiko Satake, Tamiko Ohshima, Shin ichi Aoqui, Hiroharu Kawasaki

    International Journal of Recent Development in Engineering and Technology   13 ( 3 )   1 - 7   2024年3月

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    記述言語:その他   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.54380/ijrdetv13i301

  • Preparation of Ti and Fe Composition Gradient Thin Films by Sputtering with Mixed Powder Targets 査読

    Takahiko Satake, Hiroharu Kawasaki, Shin-ichi Aoqui

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology   21   2023年2月

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    記述言語:その他   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1380/ejssnt.2023-021

  • Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets 査読

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko OHSHIMA, Yoshihito YAGYU, Takeshi Ihara, Kazuhiko Mitsuhashi, Hiroshi Nishiguchi, Yoshiaki Suda

    Jpn. J. Appl. Phys   60 ( SF )   2021年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 簡易型空間電位変動検出による自然災害予測とその教育への応用可能性の検討 査読

    川崎 仁晴, 須田 義昭

    電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌)/141   141 ( 8 )   458 - 463   2021年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejfms.141.458

  • 高専における放電プラズマネットワーク (小特集 高専における核融合および原子力に関する人材育成) 査読

    川崎仁晴

    プラズマ・核融合学会誌   97 ( 6 )   313 - 318   2021年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Preparation of Ni-doped stainless steel thin films on metal to prevent hydrogen entry via sputter deposition with a powder target 査読

    Hiroharu Kawasaki, Hiroshi Nishiguchi, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara

    Japanese Journal of Applied Physics   60 ( SA )   SAAB10 - SAAB10   2021年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abba10

  • Preparation of two-dimensional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition method using powder target 査読

    Jpn. J. Appl. Phys   59   SAAC01   2019年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Preparation of two-dimensional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition method using powder target

  • IR absorption spectroscopy of deposition process of amorphous carbon film due to ethylene plasma 査読

    Masanori Shinohara, Taisuke Tominaga, Hayato Shimomura, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki

    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN   102 ( 4 )   10 - 17   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ecj.12159

  • Deposition of hydrophilic amorphous carbon film with ether as a source molecule and analysis of its deposition reaction 査読

    Masanori Shinohara, Taisuke Tominaga, Hayato Shimomura, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki

    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN   102 ( 4 )   3 - 9   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ecj.12157

  • エーテルを原料に用いた親水性アモルファス炭素膜の堆積と堆積反応の赤外分光解析 査読

    川崎 仁晴

    電気学会論文誌A   138 ( 11 )   538 - 543   2018年11月

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    記述言語:その他  

  • Sterilization for Bacillus Subtilis var. natto by Low Pressure Sputtering and Laser Ablation Plasma using Metal Powder Target 査読

    Trans. Mat. Res. Soc. Japan   43 ( 5 )   293 - 296   2018年11月

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    記述言語:その他  

    Sterilization for Bacillus Subtilis var. natto by Low Pressure Sputtering and Laser Ablation Plasma using Metal Powder Target

  • Electrode temperature measurement of low temperature gliding arc discharge device 査読

    Keita Shuto, Koki Eto, Fumiaki Mitsugi, Hiroharu Kawasaki, Shin-Ichi Aoqui

    2017 International Conference on Electromagnetic Devices and Processes in Environment Protection with Seminar Applications of Superconductors, ELMECO and AoS 2017   2018-   1 - 4   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.1109/ELMECO.2017.8267744

  • Coating of inner surface of cylindrical pipe for hydrogen entry prevention using plasma process 査読

    Hiroharu Kawasaki, Hiroshi Nishiguchi, Takumi Furutani, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Masanori Shinohara, Yoshiaki Suda

    Japanese Journal of Applied Physics   57 ( 1 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.01AB02

  • Thin Film Preparation by Backside Irradiation Pulsed Laser Deposition Method Using Metal Powder Targets 査読

    Jpn. J. Appl. Phys.   56 ( 1 )   01AB06   2016年12月

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    記述言語:英語  

    Thin Film Preparation by Backside Irradiation Pulsed Laser Deposition Method Using Metal Powder Targets
    Several kinds of functional thin films were deposited using a new thin-film preparation method named the back-surface irradiation pulsed laser deposition (BIPLD) method. In this BIPLD method, powder targets were used as the film source placed on a transparent target holder, and then a visible-wavelength pulsed laser was irradiated from the holder side to the substrate. Using this new method, titanium oxide and boron nitride thin films were deposited on the silicon substrate. Surface scanning electron microscopy (SEM) images suggest that all of the thin films were deposited on the substrate with some large droplets irrespective of the kind of target used. The deposition rate of the films prepared by using this method was calculated from film thickness and deposition time to be much lower than that of the films prepared by conventional PLD. X-ray diffraction (XRD) measurement results suggest that rutile and anatase TiO<inf>2</inf>crystal peaks were formed for the films prepared using the TiO<inf>2</inf>rutile powder target. Crystal peaks of hexagonal boron nitride were observed for the films prepared using the boron nitride powder target. The crystallinity of the prepared films was changed by annealing after deposition.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.01AB06

  • Preparation of Er2O3 and TiO2 Multilayer Films as Optical Filter Using Magnetron Sputtering Deposition 査読

    Hiroharu Kawasaki, Yoshiaki Suda, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   44 ( 12 )   3066 - 3070   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TPS.2016.2575864

  • Strength of plasma coating and effect of a plasma coating on hydrogen entry 査読

    Hiroshi Nishiguchi, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Takayuki Fukuda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 1 )   01AF05   2016年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AF05

  • Preparation of mixed bismuth and iron thin films by pulsed laser deposition using powder targets 査読

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yuki Tanaka, Yoshiaki Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 1 )   01AA14   2016年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AA14

  • Sputtering deposition of Al-doped zinc oxide thin films using mixed powder targets 査読

    Tamiko Ohshima, Takashi Maeda, Yuki Tanaka, Hiroharu Kawasaki, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yoshiaki Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 1 )   01AA08   2016年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AA08

  • High-Speed Camera and Fibered Optical Wave Microphone Measurements on Surface Dielectric Barrier Discharges 査読

    J. Adv. Oxid. Technol.   17   18 - 21   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    High-Speed Camera and Fibered Optical Wave Microphone Measurements on Surface Dielectric Barrier Discharges

  • Fostering Practical Young Engineers through Overseas Internship Program from 2005 to 2014

    Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Yoshihito Yagyu, Toshinobu Shigematsu, Koji Morishita, Mitsuhiro Nakao

    9th International Symposium on Advances Technology Education   2015年9月

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    記述言語:その他  

    Fostering Practical Young Engineers through Overseas Internship Program from 2005 to 2014

  • High-Speed Camera and Fibered Optical Wave Microphone Measurements on Surface-Dielectric-Barrier Discharges 査読

    Fumiaki Mitsugi, Toshiyuki Nakamiya, Yoshito Sonoda, Hiroharu Kawasaki

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   43 ( 8 )   2642 - 2648   2015年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TPS.2015.2447009

  • スクミリンゴガイ研究の進展状況と防除技術の展望 電気的手法によるスクミリンゴガイ防除の試み 査読

    柳生義人, 大島多美子, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭

    植物防疫   69 ( 3 )   169 - 174   2015年3月

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    記述言語:日本語  

  • Kinetics of the thin film preparation by sputtering deposition using metal based powder target 査読

    Trans. Mat. Res. Soc. Japan   40 ( 1 )   7 - 10   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Kinetics of the thin film preparation by sputtering deposition using metal based powder target

    DOI: 10.14723/tmrsj.40.7

  • Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using Ti and TiO2 Powder Target 査読

    Trans. Mat. Res. Soc. Japan   40 ( 1 )   21 - 24   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using Ti and TiO2 Powder Target

    DOI: 10.14723/tmrsj.40.21

  • Gas Flow Dependence on Dynamic Behavior of Serpentine Plasma in Gliding Arc Discharge System 査読

    Fumiaki Mitsugi, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Toshiyuki Kawasaki, Shin-Ichi Aoqui, Tetsuro Baba, Shigeru Kinouchi

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   42 ( 12 )   3681 - 3686   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TPS.2014.2363653

  • Langmuir Probe Measurement for Sputtering Deposition Using Several Size of Metal Powder Target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Daichi Taniyama, Satoshi Takeichi, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda

    Proceedings of the 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)   2014年3月

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    記述言語:その他   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.7566/jpscp.1.015065

  • Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using a Powder Target 査読

    Trans. Mat. Res. Soc. Japan   38 ( 1 )   69 - 72   2013年11月

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    記述言語:英語  

    Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using a Powder Target
    Titanium oxide thin films were prepared by a pulsed laser deposition method using a Ti powder material target. Atomic force microscopy images of the films appeared to be nearly same as those of films prepared using a Ti bulk target. X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy measurements suggested that polycrystalline titanium dioxide (TiO2) thin films can be prepared using a Ti powder target, and that their properties depend on substrate temperature and the argon and oxygen gas mixture. These results suggest that titanium oxide thin films can be prepared using a Ti powder target and their quality was almost the same as those of compared with the films prepared using a Ti bulk target.

    DOI: 10.14723/tmrsj.38.69

  • Plasma processing of functional thin films by sputtering deposition using metal-based powder target 査読

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Kento Arafune, Daichi Taniyama, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 11 )   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.11NB07

  • Observation of dynamic behavior of gliding arc discharge 査読

    Fumiaki Mitsugi, Jin Furukawa, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Toshiyuki Kawasaki, Shin-Ichi Aoqui, Henryka D. Stryczewska

    EPJ Applied Physics   61 ( 2 )   24308   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.1051/epjap/2012120408

  • 佐世保高専における国際性に富む実践的若年技術者育成 招待 査読

    須田 義昭, 川崎 仁晴

    工学教育   第61巻 ( 第1号 )   164 - 168   2013年1月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4307/jsee.61.1_164

  • 異文化交流による国際的若年技術者育成事業とその効果 査読

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 西口 廣志, 柳生 義人, 森下 浩二

    電気学会論文誌   Vol. 132-A ( No.12 )   1086 - 1091   2012年12月

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    記述言語:日本語  

    International cooperative work has been paid much attention in the industry, because once they can combine European and American innovative ideas, Japanese advanced technology, and Chinese manufacturing capacity together, they can produce high quality products with less cost. Therefore, many Japanese companies have concluded cooperative research agreements with European and American companies, and have made inroads into foreign countries such as China, Korea, India, and East European countries, with many Japanese factories already operating there. Under such circumstances, it is likely that these companies need young Japanese engineers who can play an active part in the factory or research center in the foreign countries, as well as young foreign engineers who can understand the view of Japanese companies, including their goals and policies. Sasebo National College of Technology (SNCT) in Japan started a mutual exchange internship program in 2005 in partnership with Xiamen University of Technology (XUT) in China. By deepening mutual understanding between Japan and China through this program, young Japanese and Chinese engineers can work toward their common goal of economic prosperity in their respective countries, while building partnerships based on mutual trust and respect. Then, in 2009, SNCT started the next program with broad scopes including Korean and Swedish universities. This new program aims to educate and train young Japanese engineers who can apply their knowledge and skills fully to their work in the factories in foreign countries, not only China but also other countries. At the same time, the new program also aims to educate and train young engineers who will acquire not only technological knowledge and skills but also an understanding of the organizational structure and cultural background of global companies.

    DOI: 10.1541/ieejfms.132.1086

  • Structural Properties of Metallic Nanostructures Prepared Using Organ-Metal Solutions 査読

    Tamiko Ohshima, Takeru Kanazawa, Shin-Ichi Aoqui, Hiroharu Kawasaki, Fumiaki Mitsugi, Takahiko Uematsu

    JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY   12 ( 11 )   8770 - 8774   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1166/jnn.2012.6817

  • Fostering Practical Engineers having Global Viewpoints through Problem-Based Learning with Foreign Students

    K. Morishita, Y. Suda, H. Kawasaki, F. Matsuyama, T. Shigematsu, T. Yamasaki, H. Nakao

    2012年9月

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    記述言語:その他  

    Fostering Practical Engineers having Global Viewpoints through Problem-Based Learning with Foreign Students

  • EDUCATIONAL EFFECTS OF OVERSEAS FACTORY TOUR BASED ON INTERNATIONAL COLLABORATIVE ACTIVITIES

    Y. Yagyu, K. Shimoo, T.Mogi, H. Kawasaki, Y. Suda, M. Nakao

    2012年9月

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    記述言語:その他  

    EDUCATIONAL EFFECTS OF OVERSEAS FACTORY TOUR BASED ON INTERNATIONAL COLLABORATIVE ACTIVITIES

  • Synthesis of Platinum Nanodots Using Organ-Metal Solutions 査読

    Tamiko Ohshima, Ryota Tanaka, Hiroharu Kawasaki, Yoshiaki Suda, Yoshihito Yagyu, Shin-ichi Aoqui

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 8 )   08HF08   2012年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.08HF08

  • Preparation of a titanium thin film using a sputtering deposition process with a powder material target 査読

    Kawasaki Hiroharu, Ohshima Tamiko, Arafune Kento, Yagyu Yoshihito, Suda Yoshiaki

    Trans. Mat. Res. Soc. Japan   37 ( 2 )   147 - 150   2012年6月

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    記述言語:英語  

    Preparation of a titanium thin film using a sputtering deposition process with a powder material target
    Titanium (Ti) thin films were produced using a high frequency magnetron sputtering method with a Ti powder material target, and the processing plasma was analyzed via an optical emission method. Atomic force microscopic images of the films prepared using Ti powder targets show nearly the same images as the film prepared using Ti bulk target. XRD and XPS measurements suggest that titanium oxide thin films can be prepared using Ti powder targets, and their properties depend on the substrate temperature and the argon and oxygen gas mixture. Mono-atomic neutral tungsten atoms and ions were identified by optical emission spectroscopy.

    DOI: 10.14723/tmrsj.37.147

  • Effect of Oxygen Gas Pressure on Electrical, Optical, and Structural Properties of Al-Doped ZnO Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition for Use as Transparent Electrodes in All-Solid-State Electrochromic Devices 査読

    Tamiko Ohshima, Yuuki Murakami, Hiroharu Kawasaki, Yoshiaki Suda, Yoshihito Yagyu

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 8 )   08JD09   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.08JD09

  • Optical Emission Spectroscopy of Low-Discharge-Power Magnetron Sputtering Plasmas Using Pure Tungsten Target 査読

    Takeaki Matsunaga, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Tatsuya Kaneko, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 8 )   2010年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.49.08JF04

  • Effects of Surface Coating on Cylinder Rods Prepared Using Sputtering Deposition Method with Modulated Magnetic Field 査読

    Hiroharu Kawasaki, Katsuki Shibahara, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 8 )   2010年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.49.08JF01

  • 変調磁界を用いたスパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁成膜

    川崎 仁晴, 柴原 克樹, 須田 義昭, 大島 多美子, 柳生 義人

    佐世保工業高等専門学校研究報告   46   5 - 8   2009年12月

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    記述言語:日本語  

  • Pulsed laser deposited TiO2 films: Tailoring optical properties 査読

    D. Dzibrou, A. M. Grishin, H. Kawasaki

    THIN SOLID FILMS   516 ( 23 )   8697 - 8701   2008年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2008.05.010

  • Experiments of Creating Carbon Nanomaterials in liquid Helium (Proceedings)

    T.Shigematsu, T.Nishimoto, H.Kawasaki, Y.Johno, T.Ohshima, S.Suetake, K.Nakashima, K.Nakashima, Y.Yagyuu, Y.Suda

    Internatinal Congress on Plasema Physics   2008年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Experiments of Creating Carbon Nanomaterials in liquid Helium (Proceedings)

  • Characteristics of tungsten oxide thin films prepared on the flexible substrates using pulsed laser deposition 査読

    Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyuu

    THIN SOLID FILMS   516 ( 13 )   4397 - 4401   2008年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2007.10.023

  • Forstering young practical engineers through mutual student exchange program between Japan and China

    K. Morishita, Y. Suda, H. Kawasaki, B. Ono, T. Shigematsu, T. Watanabe, S. Odahara, S. Hirayama, M. Inoue

    International Symposium on Advances in Technology Education 2007   2007年9月

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    記述言語:その他  

    Forstering young practical engineers through mutual student exchange program between Japan and China

  • 980 nm Bi3Fe5O12/Sm3Ga5O12 magneto-optical photonic crystal 査読

    A. M. Grishin, S. I. Khartsev, H. Kawasaki

    APPLIED PHYSICS LETTERS   90 ( 19 )   191113   2007年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.2737933

  • 液体ヘリウム中でのナノ物質創製実験

    重松利信, 川崎仁晴, 西元琢郎, 渡辺謙一郎, 大島多美子, 須田義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   43 ( 43 )   13 - 17   2007年1月

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    記述言語:日本語  

  • Research on waste water purification by ozone treatment and pulsed discharge treatment 査読

    Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima

    JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES   9 ( 2 )   198 - 201   2006年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Laser ablated plasma plume characteristics for photocatalyst TiO2 thin films preparation 査読

    T Ohshima, S Nakashima, T Ueda, H Kawasaki, Y Suda, K Ebihara

    THIN SOLID FILMS   506   106 - 110   2006年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2005.08.042

  • Hydroxyapatite coatings on titanium dioxide thin films prepared by pulsed laser deposition method 査読

    Y Suda, H Kawasaki, T Ohshima, S Nakashima, S Kawazoe, T Toma

    THIN SOLID FILMS   506   115 - 119   2006年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2005.08.125

  • 電気工学基礎実験用ビデオ教材の作成とその成果

    川崎 仁晴, 池田 祐二, 大島 多美子, 須田 義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   42   13 - 18   2005年12月

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    記述言語:日本語  

  • Preparation of nitrogen-doped titanium oxide thin film using a PLD method as parameters of target material and nitrogen concentration ratio in nitrogen/oxygen gas mixture 査読

    Y Suda, H Kawasaki, T Ueda, T Ohshima

    THIN SOLID FILMS   475 ( 1-2 )   337 - 341   2005年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • デュアルパルスレーザを用いたSiC薄膜の作製

    川崎仁晴, 茂木貴之, 熊井悠城, 須田義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   ( 第41号 )   5 - 10   2005年1月

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    記述言語:その他  

  • Properties of metal doped tungsten oxide thin films for NOx gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process 査読

    H Kawasaki, T Ueda, Y Suda, T Ohshima

    SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   100 ( 1-2 )   266 - 269   2004年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.snb.2003.12.052

  • 放電プラズマを用いた電子挙動体感システムの開発 査読

    川崎 仁晴, 山口 英明, 茂木 貴之, 熊井 悠城

    応用物理教育   28 ( 1 )   79 - 84   2004年5月

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    記述言語:日本語  

  • Preparation of high quality nitrogen doped TiO2 thin film as a photocatalyst using a pulsed laser deposition method 査読

    Y Suda, H Kawasaki, T Ueda, T Ohshima

    THIN SOLID FILMS   453   162 - 166   2004年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2003.11.185

  • 放電・プラズマを用いた電子工学公開講座 1

    川崎 仁晴, 茂木 貴之, 熊井 悠城, 須田 義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   40   13 - 18   2004年3月

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    記述言語:日本語  

  • Properties of palladium doped tin oxide thin films for gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process 査読

    Y Suda, H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, K Doi, K Wada

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   174   1293 - 1296   2003年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/S0257-8972(03)00530-9

  • アブレーションプラズマプルーム中に発生する微粒子の挙動

    川崎 仁晴, 須田 義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   39   49 - 54   2002年12月

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    記述言語:日本語  

  • NOx gas sensing properties of tungsten oxide thin films synthesized by pulsed laser deposition method 査読

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda, K Wada, K Ebihara, T Ohshima

    APPLIED SURFACE SCIENCE   197   547 - 551   2002年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of new preparation system for highly sensitive flammable gas sensor 査読

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   41 ( 8 )   5390 - 5391   2002年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.41.5390

  • Preparation of crystalline TiC thin films grown by pulsed Nd : YAG laser deposition using Ti target in methane gas 査読

    Y Suda, H Kawasaki, K Doi, J Nanba, T Ohshima

    MATERIALS CHARACTERIZATION   48 ( 2-3 )   221 - 228   2002年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Characterization of tantalum nitride thin films fabricated by pulsed Nd : YAG laser deposition method 査読

    H Kawasaki, K Doi, J Namba, Y Suda, T Ohshima, K Ebihara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 4A )   2391 - 2394   2001年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Formation and properties of TiC thin films by pulsed Nd/YAG laser deposition 査読

    Y Suda, H Kawasaki, K Doi, S Hiraishi

    THIN SOLID FILMS   374 ( 2 )   282 - 286   2000年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effects of cross-magnetic field on thin film preparation by pulsed Nd/YAG laser deposition 査読

    H Kawasaki, K Doi, S Hiraishi, Y Suda

    THIN SOLID FILMS   374 ( 2 )   278 - 281   2000年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effects of ion beam energy on the formation of cubic boron nitride thin films by pulsed Nd : YAG laser deposition 査読

    H Kawasaki, K Doi, S Hiraishi, Y Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   39 ( 7B )   4525 - 4527   2000年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Characterization of crystalline TiC films grown by pulsed Nd : YAG laser deposition 査読

    Y Suda, H Kawasaki, CR Cho, A Grishin, KV Rao

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   39 ( 7B )   4575 - 4576   2000年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 短ギャップ大気圧放電を用いたオゾナイザの作製

    川崎 仁晴, 平石 智嗣, 宝亀 紀正, 須田 義昭

    佐世保工業高等専門学校研究報告   36   21 - 26   1999年12月

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    記述言語:日本語  

  • Silicon carbide thin films synthesized by using pulsed YAG laser deposition 査読

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura, K Baba, H Abe, H Yoshida, K Ebihara, S Aoqui

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   35   S88 - S91   1999年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Chromium carbide thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition 査読

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   38 ( 6A )   3619 - 3621   1999年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Plasma-enhanced metal organic chemical vapor deposition of high purity copper thin films using plasma reactor with the H atom source 査読

    HJ Jin, M Shiratani, T Kawasaki, T Fukuzawa, T Kinoshita, Y Watanabe, H Kawasaki, M Toyofuku

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A   17 ( 3 )   726 - 730   1999年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Transition of particle growth region in SiH4 RF discharges 査読

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   37 ( 10 )   5757 - 5762   1998年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Study on initial growth of particles in low-pressure and low-pourer GeH4 RF discharges using the high-sensitivity photon-counting laser-light-scattering method 査読

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   37 ( 10B )   L1264 - L1267   1998年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Similarities in spatial distributions of absolute GeH2 density, radical production rate and particle amount in GeH4 RF discharges 査読

    H Kawasaki, J Kida, K Sakamoto, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   37 ( 4B )   L475 - L477   1998年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Roles of SiH3 and SiH2 radicals in particle growth in rf silane plasmas 査読

    H Kawasaki, H Ohkura, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe, Y Yamamoto, S Suganuma, M Hori, T Goto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   36 ( 7B )   4985 - 4988   1997年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Detection of particles in rf silane plasmas using photoemission method 査読

    T Fukuzawa, K Obata, H Kawasaki, M Shiratani, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   80 ( 6 )   3202 - 3207   1996年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Contribution of short lifetime radicals to the growth of particles in SiH4 high frequency discharges and the effects of particles on deposited films 査読

    Y Watanabe, M Shiratani, T Fukuzawa, H Kawasaki, Y Ueda, S Singh, H Ohkura

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS   14 ( 3 )   995 - 1001   1996年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • In situ polarization-sensitive laser-light-scattering method for simultaneous measurements of two-dimensional spatial size and density distributions of particles in plasmas 査読

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS   14 ( 2 )   603 - 607   1996年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Growth processes of particles in high frequency silane plasmas 査読

    Y Watanabe, M Shiratani, H Kawasaki, S Singh, T Fukuzawa, Y Ueda, H Ohkura

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS   14 ( 2 )   540 - 545   1996年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Two-dimensional spatial profiles of size and density of particulates grown in RF silane plasmas 査読

    M Shiratani, N Kishigaki, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   24 ( 1 )   99 - 100   1996年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Production of size-controlled Si fine particles using pulsed RF discharge 査読

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    SURFACE REVIEW AND LETTERS   3 ( 1 )   75 - 78   1996年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Simultaneous in situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive laser-light-scattering method 査読

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, T Yoshioka, Y Ueda, S Singh, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   79 ( 1 )   104 - 109   1996年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Discharge frequency dependence of particulate growth in high frequency silane plasmas 査読

    H Kawasaki, Y Ueda, T Yoshioka, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    APPLIED PHYSICS LETTERS   67 ( 26 )   3880 - 3882   1995年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • STUDY ON GROWTH-PROCESSES OF PARTICULATES IN HELIUM-DILUTED SILANE RF PLASMAS USING SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY 査読

    M SHIRATANI, H KAWASAKI, T FUKUZAA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, Y WATANABE

    APPLIED PHYSICS LETTERS   65 ( 15 )   1900 - 1902   1994年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effects of particles on He-SiH(4) modulated RF discharges 査読

    Yukio Watanabe, Masaharu Shiratani, Tsuyoshi Fukuzawa, Hiroharu Kawasaki

    PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY   3 ( 3 )   355 - 358   1994年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • STUDY ON GROWTH-PROCESSES OF SUBNANOMETER PARTICLES IN EARLY PHASE OF SILANE RF DISCHARGE 査読

    T FUKUZAWA, H KAWASAKI, M SHIRATANI, Y WATANABE

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   33 ( 7B )   4212 - 4215   1994年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • DYNAMICS OF SILICON PARTICLES IN DC SILANE PLASMAS TRANSPORTED BY A MODULATED MAGNETIC-FIELD 査読

    H FUJIYAMA, H KAWASAKI, SC YANG, Y MATSUDA

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   33 ( 7B )   4216 - 4220   1994年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • INVESTIGATION OF PARTICULATE GROWTH-PROCESSES IN RF SILANE PLASMAS USING LIGHT-ABSORPTION AND SCANNING ELECTRON-MICROSCOPIC METHODS 査読

    H KAWASAKI, T FUKUZAWA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, M SHIRATANI, Y WATANABE

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   33 ( 7B )   4198 - 4201   1994年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • SPUTTER COATING ON HIGH-SPEED STEEL TUBE USING A HYBRID PLASMA PRODUCED BY COAXIAL ECR AND MAGNETRON DISCHARGES 査読

    H FUJIYAMA, H KAWASAKI, T FUJIYAMA, S TAKAGI

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   59 ( 1-3 )   140 - 143   1993年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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書籍等出版物

  • プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

    川崎 仁晴

    サイエンス&テクノロジー  2018年9月 

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    担当ページ:総ページ数:328   記述言語:その他  

  • プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

    川崎 仁晴

    サイエンス&テクノロジー  2018年9月 

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    担当ページ:総ページ数:328   記述言語:その他  

  • 美しく幻想的なプラズマによる教育システムの構築

    川崎 仁晴

    電気評論  2015年8月 

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    記述言語:その他  

  • 美しく幻想的なプラズマによる教育システムの構築

    川崎 仁晴

    電気評論  2015年8月 

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    記述言語:その他  

  • 冷却アブレーションによる有機EL薄膜の作製

    川崎 仁晴( 担当: 共著)

    月刊ディスプレイ  2013年9月 

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    記述言語:その他  

  • 冷却アブレーションによる有機EL薄膜の作製

    川崎 仁晴( 担当: 共著)

    月刊ディスプレイ  2013年9月 

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    記述言語:その他  

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講演・口頭発表等

  • ELEMENTAL GRADIENT FUNCTIONAL THIN FILM PREPARATION BY SPUTTERING WITH MIXED POWDER TARGETS 招待

    The 5th International Symposium on Hybrid Materials and Processing(HyMap2021)  2021年8月 

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    開催年月日: 2021年8月

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    ELEMENTAL GRADIENT FUNCTIONAL THIN FILM PREPARATION BY SPUTTERING WITH MIXED POWDER TARGETS

  • ELEMENTAL GRADIENT FUNCTIONAL THIN FILM PREPARATION BY SPUTTERING WITH MIXED POWDER TARGETS 招待

    The 5th International Symposium on Hybrid Materials and Processing(HyMap2021)  2021年8月 

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    開催年月日: 2021年8月

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    ELEMENTAL GRADIENT FUNCTIONAL THIN FILM PREPARATION BY SPUTTERING WITH MIXED POWDER TARGETS

  • Trial of elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with mixed powder targets II

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiro Satake, Yoshiaki Suda

    ISPlasma/IC-PLANTS  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いた3次元の元素空間分布を持つ傾斜膜の作製

    川崎仁晴, 佐竹卓彦, 青木振一

    2023 応用物理学会 春  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 電磁気的な視点から考えた異常気象予知装置の開発II

    川崎仁晴, 須田義昭

    2023年応用物理学会春期講演会18a-A404-7  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin film production for hydrogen entry prevention using powder target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with NiO and SUS304 mixed powder targets

    Keitaro Kojima, Hiroharu Kawasaki

    7th STI-Gigaku 2022  2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin film production for hydrogen entry prevention using powder target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    ICRP-11 / GEC 2022  2022年10月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Multi-elements mixture thin film preparation process by sputtering deposition using mixture powder target I

    Takahiko Satake, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Shinichi Aoqui

    ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Ni and SUS mixture thin film preparation using NiO and SUS powder mixture target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Yoshiaki Suda, Takahiko Satake, Shin-ichi Aoqui

    2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Ni and SUS mixture thin film preparation by sputteringusing NiO and SUS powder mixture target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, Y. Hibino, Y. Suda, T. Satake, S. Aoqui

    ELMECO-2022  2022年5月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Niをドープした金属表面への水素侵入防止傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 西口廣志, 佐竹卓彦, 青木振一

    プラズマプロセシング研究会(SPP)/プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM)(SPP-39/SPSM34)  2022年1月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • PVを用いたエネルギー再利用に関する研究

    川崎仁晴

    教育フロンティア2022  2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Preparation of elemental gradient functional thin films by using mixture powder targets III

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    MRSJ  2022年12月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Trial of elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with mixed powder targets I

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake

    ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた傾斜機能性薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦

    プラズマ核融合学会年会  2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦, 青木振一

    2022応用物理学会全国秋  2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ni, Ti混合傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦, 青木振一

    2022年応用物理学会春期講演会  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Multi-elements mixture thin film preparation process by sputtering deposition using mixture powder target

    Hiroharu Kawasaki

    2021年11月 

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    記述言語:英語  

    国名:その他  

  • Preparation of elemental gradient functional thin films by using mixture powder targets

    Hiroharu Kawasaki

    2021年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットスパッタリングによる傾斜機能性膜の作製II

    須本航輝

    2021年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスによる傾斜機能性膜の作製I

    川崎仁晴

    第82回応用物理学会秋期講演会  2021年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いたスパッタリング法による水素脆化防止膜の作製

    川崎仁晴

    2020年度共同研究成果報告会プログラム  2021年8月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いた傾斜機能性薄膜の作製I

    川崎仁晴

    第66回応用物理学会春季講演会  2021年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスによる水素脆性防止膜の試作II

    川崎仁晴

    第58回プラズマプロセッシングシンポジウム  2021年1月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • Trial of Thin film preparation for preventing hydrogen embrittlement using sputtering deposition method using powder target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda, H.Nishiguchi

    ISPlasma2020  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Trial of Thin film preparation for preventing hydrogen embrittlement using sputtering deposition method using powder target

  • プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典, 西口廣志

    第66回応用物理学会春季講演会  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 地球をコンデンサとして捉えた地震予知装置の開発II

    川崎仁晴

    第81回 日本応用物理学会秋季大会  2020年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 地球をコンデンサとして捉えた地震予知装置の開発I

    川崎仁晴, 須田義昭

    第66回応用物理学会春季講演会  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 気液混相流内ナノ秒パルス放電を用い た水素生成における生成エネルギー効率

    猪原武士

    応用物理学会九州支部学術講演会  2020年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 電磁気的な視点から考えた異常気象予知装置の開発I

    川崎仁晴

    令和2年 応用物理学会九州支部  2020年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria II

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    MRSJ2019  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria II

  • Method for preventing hydrogen embrittlement using plasma process

    H. Kawasaki, H.Nishiguchi, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    Material Research Meeting 2019  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Method for preventing hydrogen embrittlement using plasma process

  • Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets IV

    41st International Symposium on Dry Process (DPS2019)  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets IV

  • Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    APSPT-11  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder target

  • Trial of the two-dimentional functional thin film preparation by sputtering method using powder targets 国際会議

    ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Trial of the two-dimentional functional thin film preparation by sputtering method using powder targets

  • Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    Material Research Meeting 2019  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

  • Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

    4th STI-Gigaku  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

  • 新しい応用を見据えた高専-大学連携によるプラズマの教育・研究

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    令和元年度高専フォーラムOS  2019年8月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いた2次元機能性薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    2019年プラズマ核融合学会九州支部大会  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた2次元薄膜作製の試作I 招待

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    プラズマ核融合学会年会  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットによる2次元薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    令和元年第80回日本応用物理学会秋季大会  2019年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットによる2次元薄膜の作製I

    川崎 仁晴

    2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会(東京工業大学)  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 高専生はどのような幼少期を過ごしてきたのかII~入試成績と学業成績に及ぼす影響~

    川崎 仁晴

    電気学会教育フロンティア研究会  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 高専生へのアンケートを基にした理科離れ防止策の検討II

    川崎仁晴

    プラズマ核融合学会年会  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 佐世保高専におけるプラズマプロセスを用いた薄膜作製研究 招待

    川崎 仁晴

    2018年プラズマ核融合学会年会  2018年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    開催地:大阪大学   国名:その他  

  • Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria III

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Takahiko Satake, S. Aoqui

    ISNTP-14 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Trial of elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with mixed powder targets II

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiro Satake, Yoshiaki Suda

    ISPlasma/IC-PLANTS  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いた3次元の元素空間分布を持つ傾斜膜の作製

    川崎仁晴, 佐竹卓彦, 青木振一

    2023 応用物理学会 春  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 電磁気的な視点から考えた異常気象予知装置の開発II

    川崎仁晴, 須田義昭

    2023年応用物理学会春期講演会18a-A404-7  2023年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin film production for hydrogen entry prevention using powder target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with NiO and SUS304 mixed powder targets

    Keitaro Kojima, Hiroharu Kawasaki

    7th STI-Gigaku 2022  2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Elemental gradient functional thin film production for hydrogen entry prevention using powder target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    ICRP-11 / GEC 2022  2022年10月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Multi-elements mixture thin film preparation process by sputtering deposition using mixture powder target I

    Takahiko Satake, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Shinichi Aoqui

    ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Ni and SUS mixture thin film preparation using NiO and SUS powder mixture target

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Yoshiaki Suda, Takahiko Satake, Shin-ichi Aoqui

    2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Ni and SUS mixture thin film preparation by sputteringusing NiO and SUS powder mixture target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, Y. Hibino, Y. Suda, T. Satake, S. Aoqui

    ELMECO-2022  2022年5月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Niをドープした金属表面への水素侵入防止傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 西口廣志, 佐竹卓彦, 青木振一

    プラズマプロセシング研究会(SPP)/プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM)(SPP-39/SPSM34)  2022年1月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • PVを用いたエネルギー再利用に関する研究

    川崎仁晴

    教育フロンティア2022  2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Preparation of elemental gradient functional thin films by using mixture powder targets III

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake, Yoshiaki Suda

    MRSJ  2022年12月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Trial of elemental gradient functional thin films preparation by sputtering with mixed powder targets I

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yusuke Hibino, Takahiko Satake

    ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた傾斜機能性薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦

    プラズマ核融合学会年会  2022年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦, 青木振一

    2022応用物理学会全国秋  2022年9月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ni, Ti混合傾斜機能性膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦, 青木振一

    2022年応用物理学会春期講演会  2022年3月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • Multi-elements mixture thin film preparation process by sputtering deposition using mixture powder target

    Hiroharu Kawasaki

    2021年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

  • Preparation of elemental gradient functional thin films by using mixture powder targets

    Hiroharu Kawasaki

    2021年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットスパッタリングによる傾斜機能性膜の作製II

    須本航輝

    2021年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスによる傾斜機能性膜の作製I

    川崎仁晴

    第82回応用物理学会秋期講演会  2021年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いたスパッタリング法による水素脆化防止膜の作製

    川崎仁晴

    2020年度共同研究成果報告会プログラム  2021年8月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットを用いた傾斜機能性薄膜の作製I

    川崎仁晴

    第66回応用物理学会春季講演会  2021年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスによる水素脆性防止膜の試作II

    川崎仁晴

    第58回プラズマプロセッシングシンポジウム  2021年1月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • Trial of Thin film preparation for preventing hydrogen embrittlement using sputtering deposition method using powder target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda, H.Nishiguchi

    ISPlasma2020  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Trial of Thin film preparation for preventing hydrogen embrittlement using sputtering deposition method using powder target

  • プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典, 西口廣志

    第66回応用物理学会春季講演会  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 地球をコンデンサとして捉えた地震予知装置の開発II

    川崎仁晴

    第81回 日本応用物理学会秋季大会  2020年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 地球をコンデンサとして捉えた地震予知装置の開発I

    川崎仁晴, 須田義昭

    第66回応用物理学会春季講演会  2020年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 気液混相流内ナノ秒パルス放電を用い た水素生成における生成エネルギー効率

    猪原武士

    応用物理学会九州支部学術講演会  2020年11月 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

  • 電磁気的な視点から考えた異常気象予知装置の開発I

    川崎仁晴

    令和2年 応用物理学会九州支部  2020年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria II

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    MRSJ2019  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria II

  • Method for preventing hydrogen embrittlement using plasma process

    H. Kawasaki, H.Nishiguchi, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    Material Research Meeting 2019  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Method for preventing hydrogen embrittlement using plasma process

  • Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets IV

    41st International Symposium on Dry Process (DPS2019)  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets IV

  • Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder target

    H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara, M. Shinohara, Y. Suda

    APSPT-11  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder target

  • Trial of the two-dimentional functional thin film preparation by sputtering method using powder targets 国際会議

    ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Trial of the two-dimentional functional thin film preparation by sputtering method using powder targets

  • Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

    4th STI-Gigaku  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    国名:その他  

    Two-dimentional functional thin film preparation by sputtering deposition using powder targets

  • 粉体ターゲットを用いた2次元機能性薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    2019年プラズマ核融合学会九州支部大会  2019年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた2次元薄膜作製の試作I 招待

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    プラズマ核融合学会年会  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットによる2次元薄膜の作製II

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 篠原正典

    令和元年第80回日本応用物理学会秋季大会  2019年9月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 粉体ターゲットによる2次元薄膜の作製I

    川崎 仁晴

    2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会(東京工業大学)  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 高専生はどのような幼少期を過ごしてきたのかII~入試成績と学業成績に及ぼす影響~

    川崎 仁晴

    電気学会教育フロンティア研究会  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 高専生へのアンケートを基にした理科離れ防止策の検討II

    川崎仁晴

    プラズマ核融合学会年会  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    国名:その他  

  • 佐世保高専におけるプラズマプロセスを用いた薄膜作製研究 招待

    川崎 仁晴

    2018年プラズマ核融合学会年会  2018年12月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

    開催地:大阪大学   国名:その他  

  • Effects of Laser Ablation Plasma Irradiation on the Sterilization of Bacteria III

    Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Takahiko Satake, S. Aoqui

    ISNTP-14 

     詳細を見る

    記述言語:その他  

    国名:その他  

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MISC

  • プラズマ技術を用いた農産物殺菌装置の開発及び実用化の検討

    荒木裕太, 柳生義人, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 篠原正典, 三沢達也, 作道章一

    電気設備学会全国大会講演論文集   2019年8月

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    記述言語:日本語  

  • 水面上パルス放電における水の導電率が水素生成特性に与える影響 (プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会 環境浄化技術)

    猪原 武士, 井手 裕介, 長田 秀夫, 柳生 義人, 大島 多美子, 篠原 正典, 川崎 仁晴

    電気学会研究会資料. PPT = The papers of technical meeting on pulsed power technology, IEE Japan   2017年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • Nd:YAGレーザを用いたPLD法による酸化タングステン(WO₃)薄膜ガスセンサの作製

    川崎 仁晴, 大島 多美子, 柳生 義人, 猪原 武士, 須田 義昭

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   2016年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • ベルトコンベア型プラズマ連続殺菌装置の開発および殺菌特性

    柳生義人, 宮本大毅, 山口充洋, 作道章一, 猪原武士, 大島多美子, 林信哉, 川崎仁晴

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価 I

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 西口廣志

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • プラズマ技術を用いた農産物殺菌装置の開発及び実用化の検討

    山口充洋, 宮元大毅, 柳生義人, 猪原武士, 大島多美子, 川崎仁晴, 林信哉, 作道章一

    電気設備学会全国大会講演論文集   2016年8月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 酵母の遺伝子発現にFE‐DBDプラズマが与える影響―マイクロアレイ法を用いた解析―

    柳生義人, 林信哉, 山崎隆志, 田中眞子, 大島多美子, 越村匡博, 宮本大毅, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 大気圧プラズマによる農産物連続殺菌装置の開発

    柳生義人, 宮本大毅, 作道章一, 三島朋子, 西岡輝美, 大島多美子, 猪原武士, 川崎仁晴, 林信哉, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 混合粉体ターゲットを用いたAZOのスパッタリング成膜

    大島多美子, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 裏面照射型粉体PLDによる機能性薄膜の作製 I

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 山内真紀子, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2016年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 誘電体バリア放電が酵母Saccharomyces cerevisiaeの遺伝子発現に与える影響―マイクロアレイ法を用いた解析―

    柳生義人, 山崎隆志, 畑山雄大, 大島多美子, 越村匡博, 宮本大毅, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭, 林信哉

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)   2015年12月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 誘電体バリア放電が酵母Saccharomyces cerevisiaeの遺伝子発現に与える影響―マイクロアレイ法を用いた解析―

    柳生義人, 山崎隆志, 畑山雄大, 大島多美子, 越村匡博, 宮本大毅, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭, 林信哉

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)   2015年12月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  • 大気圧パルス放電プラズマを用いた香辛料の殺菌

    宮本大毅, 畑山雄大, 柳生義人, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 須田義昭, 林信哉, 作道章一

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)   2015年12月

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    記述言語:日本語  

  • 電界放出による初期電子が大気圧準平等電界下ナノ秒パルス放電の時間遅れに与える影響

    寺平拓真, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2015年9月

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    記述言語:日本語  

  • 電界放出による初期電子が大気圧準平等電界下ナノ秒パルス放電の時間遅れに与える影響

    寺平拓真, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2015年9月

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    記述言語:日本語  

  • パルス放電による水を原料とした水素生成―電極配置の影響―

    松永拓也, 猪原武士, 長田秀夫, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2015年9月

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    記述言語:日本語  

  • パルス放電による水を原料とした水素生成―印加パルス極性の影響―

    井手裕介, 猪原武士, 長田秀夫, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2015年9月

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    記述言語:日本語  

  • 誘電体バリア放電によるかんきつ類殺菌装置の開発

    畑山雄大, 宮本大毅, 柳生義人, 猪原武士, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭, 林信哉, 作道章一

    電気設備学会全国大会講演論文集   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 複数元素の粉体ターゲットによる機能性薄膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 誘電体バリア放電によるかんきつ類殺菌装置の開発

    畑山雄大, 宮本大毅, 柳生義人, 猪原武士, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭, 林信哉, 作道章一

    電気設備学会全国大会講演論文集   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧プラズマを用いた粒状農作物殺菌装置の開発

    宮本大毅, 畑山雄大, 柳生義人, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 須田義昭, 林信哉, 作道章一

    電気設備学会全国大会講演論文集   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 浮遊電極型誘電体バリア放電により生成したプラズマが酵母Saccharomyces cerevisiaeの遺伝子発現に与える影響

    柳生義人, 林信哉, 山崎隆志, 畑山雄大, 大島多美子, 越村匡博, 宮本大毅, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 複数元素の粉体ターゲットによる機能性薄膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング法によるEr2O3/TiO2誘電体多層膜の作製

    大島多美子, 山田創介, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年8月

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    記述言語:日本語  

  • 若手研究者を中心とした研究・技術開発の取り組み 美しく幻想的なプラズマによる教育システムの構築 : 変調磁界を用いた疑似的なオーロラ状プラズマとそれを利用した電子工学教育および産業応用

    川崎 仁晴, 大島 多美子, 柳生 義人

    電気評論   2015年6月

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    記述言語:日本語  

  • 若手研究者を中心とした研究・技術開発の取り組み 美しく幻想的なプラズマによる教育システムの構築 : 変調磁界を用いた疑似的なオーロラ状プラズマとそれを利用した電子工学教育および産業応用

    川崎 仁晴, 大島 多美子, 柳生 義人

    電気評論   2015年6月

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    記述言語:日本語  

  • 気液界面パルス放電プラズマによる効率的な水素生成法の開発

    猪原武士, 長田秀夫, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)   2015年3月

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    記述言語:日本語  

  • ナノ構造電極を有する大気圧準平等電界下サブマイクロ秒パルス放電の統計的評価

    寺平拓真, 黒崎奈菜子, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)   2015年3月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧パルス放電プラズマを用いたカーボンナノチューブの機能化

    川口佑磨, 猪原武士, 田中泰彦, 大島多美子, 柳生義人, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)   2015年3月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットプロセスによる機能性薄膜作製~成膜速度~

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年2月

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    記述言語:日本語  

  • 異なる粒子サイズのTi粉体ターゲットを用いたスパッタリング堆積

    大島多美子, 前田尭, 田中雪, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年2月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットプロセスによる機能性薄膜作製~成膜速度~

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年2月

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    記述言語:日本語  

  • 大腸菌コロニーへのFEDBD照射が遺伝子発現に与える影響

    柳生義人, 畑山雄大, 松本直樹, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 山崎隆志, 須田義昭, 林信哉

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年2月

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    記述言語:日本語  

  • 異なる粒子サイズのTi粉体ターゲットを用いたスパッタリング堆積

    大島多美子, 前田尭, 田中雪, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2015年2月

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    記述言語:日本語  

  • 高気圧アーク放電電極に対する紫外線照射の効果

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年9月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧準平等電界下におけるカーボンナノチューブ電極のパルス放電特性

    黒崎奈菜子, 寺平拓真, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2014年9月

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    記述言語:日本語  

    パルス放電において、放電有効領域中の初期電子の存在が破壊開始電圧に大きく影響することが知られている。この初期電子を過度に供給できれば、放電開始電圧の安定化が期待される。ここで本研究は、電界放出源として期待されているカーボンナノチューブ(CNT)を電極に応用することにより、パルス放電の安定化を試みた。 本論では、大気圧空気中において準平等電界を形成する球対平板電極を用いた。また、CNTは導電性のテープで平板電極に取り付けた。これらの電極を用いて放電試験を行い、CNTの有無による破壊開始電圧特性を比較・検討した。その結果、CNT電極によって、パルス放電の開始電圧が低下することが確認された。

    DOI: 10.11527/jceeek.2014.0_40

  • 高気圧アーク放電電極に対する紫外線照射の効果

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年9月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧準平等電界下におけるカーボンナノチューブ電極のパルス放電特性

    黒崎奈菜子, 寺平拓真, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2014年9月

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    記述言語:日本語  

    パルス放電において、放電有効領域中の初期電子の存在が破壊開始電圧に大きく影響することが知られている。この初期電子を過度に供給できれば、放電開始電圧の安定化が期待される。ここで本研究は、電界放出源として期待されているカーボンナノチューブ(CNT)を電極に応用することにより、パルス放電の安定化を試みた。 本論では、大気圧空気中において準平等電界を形成する球対平板電極を用いた。また、CNTは導電性のテープで平板電極に取り付けた。これらの電極を用いて放電試験を行い、CNTの有無による破壊開始電圧特性を比較・検討した。その結果、CNT電極によって、パルス放電の開始電圧が低下することが確認された。

    DOI: 10.11527/jceeek.2014.0_40

  • 3A05 太陽光発電施設の劣化状況調査 : 全国33都道府県における劣化比較((09)ものつくり教育-IV,口頭発表)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 嶋田 英樹, 森下 浩二, 小野 文慈

    工学教育研究講演会講演論文集   2014年8月

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    記述言語:日本語  

  • 3A05 太陽光発電施設の劣化状況調査 : 全国33都道府県における劣化比較((09)ものつくり教育-IV,口頭発表)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 嶋田 英樹, 森下 浩二, 小野 文慈

    工学教育研究講演会講演論文集   2014年8月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットスパッタプロセスの高速度成膜機構解明

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年3月

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    記述言語:日本語  

  • 柑橘類に付着したミドリカビ病菌胞子の誘電体バリア放電による不活化

    柳生義人, 松本直樹, 猪原武士, 山崎隆志, 林信哉, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年3月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットスパッタプロセスの高速度成膜機構解明

    川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年3月

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    記述言語:日本語  

  • 柑橘類に付着したミドリカビ病菌胞子の誘電体バリア放電による不活化

    柳生義人, 松本直樹, 猪原武士, 山崎隆志, 林信哉, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2014年3月

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    記述言語:日本語  

  • 紫外線を併用した大気圧グライディングアーク放電による滅菌

    嶋田雅広, 川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集   2013年11月

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    記述言語:日本語  

  • 紫外線を併用した大気圧グライディングアーク放電による滅菌

    嶋田雅広, 川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集   2013年11月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスの電子密度計測

    竹市悟志, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 柳生義人, 須田義昭

    電気学会プラズマ研究会資料   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング法を用いた誘電体多層膜の作製

    村田一磨, 須田義昭, 大島多美子, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2013年9月

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    記述言語:日本語  

    屈折率が異なる誘電体材料の積層構造を持つ誘電体多層膜は、光ファイバの波長多重通信(WDM)方式において、波長の異なる複数の光信号を合波・分波する機能を持っている。そこで本研究では、高品質な誘電体多層膜の作成を目的とし、高屈折率材料に酸化チタン(TiO2)、低屈折材料に酸化エルビウム(Er2O3)を用いて、RFマグネトロンスパッタリング法による[Er2O3/TiO2]6/[Er2O3]2/[TiO2/Er2O3]6薄膜の作製を行った。各層の膜厚を制御することで特定波長の光を透過する誘電体多層膜を作成し、膜厚の設計や光学的特性について検討した。

    DOI: 10.11527/jceeek.2013.0_133

  • 冷却アブレーションによる有機EL薄膜の作製 (特集 市場本格化に向けた有機EL最新技術)

    須田 義昭, 大島 多美子, 川崎 仁晴

    ディスプレイ   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧ガスプラズマを用いた農作物の殺菌特性

    松本直樹, 柳生義人, 林信哉, 山崎隆志, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 須田義昭

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2013年9月

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    記述言語:日本語  

    農作物や生鮮食品などの流通および加工過程において,殺菌・消毒技術は,豊かで安心できる食生活の実現のために必要不可欠である。我が国では,農作物へのポストハーベスト農薬の使用が禁止されていることや加工食品における消費者の無添加志向の高まりから,我々は,ガスプラズマを用いた殺菌・消毒法の開発を目的に研究を遂行している。プラズマは,低温およびドライ・低湿プロセスでの処理が可能であり,それぞれの食品に適したプラズマを利用することで,従来法に変わる新規的な殺菌・消毒処理法となり得る。本稿では,大気圧バリア放電により生成したプラズマによる農作物や生鮮加工食品の殺菌特性について調査したので報告する。

    DOI: 10.11527/jceeek.2013.0_456

  • 粉休ターゲットを用いたレーザアブレーション法による薄膜作製

    谷山 大地, 大島 多美子, 川崎 仁晴, 須田 義昭, 柳生 義人, 猪原 武士

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスの電子密度計測

    竹市悟志, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 柳生義人, 須田義昭

    電気学会プラズマ研究会資料   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング法を用いた誘電体多層膜の作製

    村田一磨, 須田義昭, 大島多美子, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2013年9月

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    記述言語:日本語  

    屈折率が異なる誘電体材料の積層構造を持つ誘電体多層膜は、光ファイバの波長多重通信(WDM)方式において、波長の異なる複数の光信号を合波・分波する機能を持っている。そこで本研究では、高品質な誘電体多層膜の作成を目的とし、高屈折率材料に酸化チタン(TiO2)、低屈折材料に酸化エルビウム(Er2O3)を用いて、RFマグネトロンスパッタリング法による[Er2O3/TiO2]6/[Er2O3]2/[TiO2/Er2O3]6薄膜の作製を行った。各層の膜厚を制御することで特定波長の光を透過する誘電体多層膜を作成し、膜厚の設計や光学的特性について検討した。

    DOI: 10.11527/jceeek.2013.0_133

  • 冷却アブレーションによる有機EL薄膜の作製 (特集 市場本格化に向けた有機EL最新技術)

    須田 義昭, 大島 多美子, 川崎 仁晴

    ディスプレイ   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • 大気圧ガスプラズマを用いた農作物の殺菌特性

    松本直樹, 柳生義人, 林信哉, 山崎隆志, 川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 須田義昭

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2013年9月

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    記述言語:日本語  

    農作物や生鮮食品などの流通および加工過程において,殺菌・消毒技術は,豊かで安心できる食生活の実現のために必要不可欠である。我が国では,農作物へのポストハーベスト農薬の使用が禁止されていることや加工食品における消費者の無添加志向の高まりから,我々は,ガスプラズマを用いた殺菌・消毒法の開発を目的に研究を遂行している。プラズマは,低温およびドライ・低湿プロセスでの処理が可能であり,それぞれの食品に適したプラズマを利用することで,従来法に変わる新規的な殺菌・消毒処理法となり得る。本稿では,大気圧バリア放電により生成したプラズマによる農作物や生鮮加工食品の殺菌特性について調査したので報告する。

    DOI: 10.11527/jceeek.2013.0_456

  • 粉休ターゲットを用いたレーザアブレーション法による薄膜作製

    谷山 大地, 大島 多美子, 川崎 仁晴, 須田 義昭, 柳生 義人, 猪原 武士

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   2013年9月

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    記述言語:日本語  

  • プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測

    川崎仁晴, 谷山大地, 竹市悟志, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2013年8月

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    記述言語:日本語  

  • プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測

    川崎仁晴, 谷山大地, 竹市悟志, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2013年8月

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    記述言語:日本語  

  • 有機金属溶液を用いて作製したナノ微粒子に関する研究

    川崎仁晴, 大島多美子, 田中涼太, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    ナノ学会大会講演予稿集   2013年6月

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    記述言語:日本語  

  • 有機金属溶液を用いて作製したナノ微粒子に関する研究

    川崎仁晴, 大島多美子, 田中涼太, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    ナノ学会大会講演予稿集   2013年6月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体スパッタプロセスにおけるプラズマの特性

    川崎仁晴, 谷山大地, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2013年3月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体スパッタプロセスにおけるプラズマの特性

    川崎仁晴, 谷山大地, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 田中雪, 須田義昭

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2013年3月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体スパッタリング法を用いた機能性薄膜作製と評価

    荒舩健人, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集   2012年12月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体スパッタリング法を用いた機能性薄膜作製と評価

    荒舩健人, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 川崎仁晴, 須田義昭

    応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集   2012年12月

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    記述言語:日本語  

  • 超臨界状態を含む加圧二酸化炭素中におけるナノ秒パルス放電現象

    猪原武士, 川崎仁晴, 柳生義人, 大島多美子, 須田義昭, 勝木淳, 原雅則, 秋山秀典

    電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング法によるヒートミラー用TiN薄膜の作製

    竹市悟志, 大島多美子, 須田義昭, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • 有機金属溶液を用いたPtナノドット作製

    田中涼太, 大島多美子, 須田義昭, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットを用いたレーザアブレーション法による機能性薄膜の作製

    谷山大地, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

    プラズマプロセスを用いた薄膜の作製においては、一般的にバルク(固体)ターゲットを用いられ、これは材料粉末を高温で焼き固める焼結法を用いて作製される。しかし、加熱により変質する有機材料ではバルクターゲットの作製が困難であることや、精密な組成比を有する磁性体材料では組成比の組み合わせを変化させる毎に新しいターゲットが必要となるため、材料利用効率や経済面の問題がある。これらの問題を解決するために本研究では、材料粉末をそのままターゲットとして用いて薄膜の作製を行った。本研究では、酸化チタン(TiO2)粉末を用いてレーザアブレーション法による成膜を行い、バルクターゲット使用時との比較検討を行った。

    DOI: 10.11527/jceeek.2012.0_500

  • 超臨界状態を含む加圧二酸化炭素中におけるナノ秒パルス放電現象

    猪原武士, 川崎仁晴, 柳生義人, 大島多美子, 須田義昭, 勝木淳, 原雅則, 秋山秀典

    電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング法によるヒートミラー用TiN薄膜の作製

    竹市悟志, 大島多美子, 須田義昭, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • 有機金属溶液を用いたPtナノドット作製

    田中涼太, 大島多美子, 須田義昭, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体ターゲットを用いたレーザアブレーション法による機能性薄膜の作製

    谷山大地, 大島多美子, 川崎仁晴, 須田義昭, 柳生義人, 猪原武士

    電気関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)   2012年9月

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    記述言語:日本語  

    プラズマプロセスを用いた薄膜の作製においては、一般的にバルク(固体)ターゲットを用いられ、これは材料粉末を高温で焼き固める焼結法を用いて作製される。しかし、加熱により変質する有機材料ではバルクターゲットの作製が困難であることや、精密な組成比を有する磁性体材料では組成比の組み合わせを変化させる毎に新しいターゲットが必要となるため、材料利用効率や経済面の問題がある。これらの問題を解決するために本研究では、材料粉末をそのままターゲットとして用いて薄膜の作製を行った。本研究では、酸化チタン(TiO2)粉末を用いてレーザアブレーション法による成膜を行い、バルクターゲット使用時との比較検討を行った。

    DOI: 10.11527/jceeek.2012.0_500

  • 粉体PLD法を用いたTiOx薄膜の作製

    川崎仁晴, 荒舩健人, 谷山大地, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2012年8月

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    記述言語:日本語  

  • 粉体PLD法を用いたTiOx薄膜の作製

    川崎仁晴, 荒舩健人, 谷山大地, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   2012年8月

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    記述言語:日本語  

  • Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 柳生義人, 須田義昭

    電気学会プラズマ研究会資料   2012年5月

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    記述言語:日本語  

  • Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製

    川崎仁晴, 大島多美子, 猪原武士, 柳生義人, 須田義昭

    電気学会プラズマ研究会資料   2012年5月

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    記述言語:日本語  

  • 国際的技術者育成のための少人数英語教育の試み

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 西口 廣志, 重松 利信, 山崎 隆志, 森下 浩二

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2011年9月

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    記述言語:日本語  

  • 国際的技術者育成のための少人数英語教育の試み

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 西口 廣志, 重松 利信, 山崎 隆志, 森下 浩二

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2011年9月

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    記述言語:日本語  

  • P-06 共同調査を通した異文化交流力を持つ国際的技術者の育成((08)工学教育に関するGood Practice(文部科学省GP採択案件),ポスター発表)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 森下 浩二, 山崎 隆志, 森田 英俊, 須田 義昭

    工学教育研究講演会講演論文集   2011年8月

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    記述言語:日本語  

  • P-06 共同調査を通した異文化交流力を持つ国際的技術者の育成((08)工学教育に関するGood Practice(文部科学省GP採択案件),ポスター発表)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 森下 浩二, 山崎 隆志, 森田 英俊, 須田 義昭

    工学教育研究講演会講演論文集   2011年8月

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    記述言語:日本語  

  • P-21 海外の学生との共同作業を通した国際的技術者の育成((08)工学教育に関するGood Practice,ポスター発表論文)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 中島 賢治, 山崎 隆志, 森下 浩二, 須田 義昭

    工学・工業教育研究講演会講演論文集   2010年8月

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    記述言語:日本語  

  • P-21 海外の学生との共同作業を通した国際的技術者の育成((08)工学教育に関するGood Practice,ポスター発表論文)

    重松 利信, 川崎 仁晴, 中島 賢治, 山崎 隆志, 森下 浩二, 須田 義昭

    工学・工業教育研究講演会講演論文集   2010年8月

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    記述言語:日本語  

  • 共同研究を通した異文化交流力を持つ国際的技術者の育成

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 中島 賢治, 重松 利信, 山崎 隆志, 森下 浩二, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2010年3月

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    記述言語:日本語  

  • 共同研究を通した異文化交流力を持つ国際的技術者の育成

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 中島 賢治, 重松 利信, 山崎 隆志, 森下 浩二, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2010年3月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁コーティングの試み

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 大島 多美子, 柳生 義人

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   2009年6月

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    記述言語:日本語  

  • スパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁コーティングの試み

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 大島 多美子, 柳生 義人

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   2009年6月

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    記述言語:日本語  

  • 日中両国における実践的若年技術者育成事業II

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 小野 文慈, 重松 利信, 柳生 義人, 森下 浩二, 小田原 悟, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2009年3月

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    記述言語:日本語  

  • 日中両国における実践的若年技術者育成事業II

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 小野 文慈, 重松 利信, 柳生 義人, 森下 浩二, 小田原 悟, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2009年3月

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    記述言語:日本語  

  • 液体ヘリウム中でのカーボンナノチューブの生成実験

    重松 利信, 川崎 仁晴, 城野 祐生, 中島 賢治, 小野 文慈, 須田 義昭, 末竹 章吾, 中島 幸輔

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2008年11月

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    記述言語:日本語  

  • 液体ヘリウム中でのカーボンナノチューブの生成実験

    重松 利信, 川崎 仁晴, 城野 祐生, 中島 賢治, 小野 文慈, 須田 義昭, 末竹 章吾, 中島 幸輔

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2008年11月

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    記述言語:日本語  

  • 日中両国における実践的若年技術者育成事業

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 小野 文慈, 重松 利信, 柳生 義人, 森下 浩二, 小田原 悟, 井上 雅弘, YAMASAKI Takashi

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2008年3月

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    記述言語:日本語  

  • B311 電気刺激を用いたジャンボタニシ(Pomacea canaliculata)の産卵防止効果

    柳生 義人, 宮岡 佳美, 松本 千春, 川崎 仁晴, 大島 多美子, 須田 義昭

    日本応用動物昆虫学会大会講演要旨   2008年3月

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    記述言語:日本語  

  • 日中両国における実践的若年技術者育成事業

    川崎 仁晴, 須田 義昭, 小野 文慈, 重松 利信, 柳生 義人, 森下 浩二, 小田原 悟, 井上 雅弘, YAMASAKI Takashi

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2008年3月

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    記述言語:日本語  

  • B311 電気刺激を用いたジャンボタニシ(Pomacea canaliculata)の産卵防止効果

    柳生 義人, 宮岡 佳美, 松本 千春, 川崎 仁晴, 大島 多美子, 須田 義昭

    日本応用動物昆虫学会大会講演要旨   2008年3月

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    記述言語:日本語  

  • 日中相互インターンシップ事業を通した実践的技術者の育成と効果

    重松 利信, 陳 越, 川崎 仁晴, 柳生 義人, 須田 義昭, 井上 雅弘

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2007年11月

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    記述言語:日本語  

  • 日中相互インターンシップ事業を通した実践的技術者の育成と効果

    重松 利信, 陳 越, 川崎 仁晴, 柳生 義人, 須田 義昭, 井上 雅弘

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2007年11月

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    記述言語:日本語  

  • 19pXJ-7 実践的な若年技術者教育を目指したインターンシップ事業(物理教育,領域13,物理教育,物理学史,環境物理)

    重松 利信, 小野 文慈, 柳生 義人, 小田原 悟, 森下 浩二, 平山 俊一, 川崎 仁晴, 須田 義昭, 井上 雅弘

    日本物理学会講演概要集   2007年2月

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    記述言語:日本語  

  • 18aRJ-2 液中放電法によるカーボンナノ物質の探索(ナノチューブ・構造・物性,領域7,分子性固体・有機導体)

    重松 利信, 西本 琢朗, 大島 多美子, 川崎 仁晴, 柳生 義人, 須田 義昭

    日本物理学会講演概要集   2007年2月

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    記述言語:日本語  

  • 19pXJ-7 実践的な若年技術者教育を目指したインターンシップ事業(物理教育,領域13,物理教育,物理学史,環境物理)

    重松 利信, 小野 文慈, 柳生 義人, 小田原 悟, 森下 浩二, 平山 俊一, 川崎 仁晴, 須田 義昭, 井上 雅弘

    日本物理学会講演概要集   2007年2月

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    記述言語:日本語  

  • 18aRJ-2 液中放電法によるカーボンナノ物質の探索(ナノチューブ・構造・物性,領域7,分子性固体・有機導体)

    重松 利信, 西本 琢朗, 大島 多美子, 川崎 仁晴, 柳生 義人, 須田 義昭

    日本物理学会講演概要集   2007年2月

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    記述言語:日本語  

  • 中国の現場で活躍できる実践的な若年技術者の育成事業

    須田 義昭, 小野 文慈, 川崎 仁晴, 重松 利信, 渡辺 哲也, 森下 浩二, 小田原 悟, 平山 俊一, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2006年8月

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    記述言語:日本語  

  • 中国の現場で活躍できる実践的な若年技術者の育成事業

    須田 義昭, 小野 文慈, 川崎 仁晴, 重松 利信, 渡辺 哲也, 森下 浩二, 小田原 悟, 平山 俊一, 井上 雅弘

    電気学会研究会資料. FIE, 教育フロンティア研究会 = The papers of Technical Meeting on Frontiers in Education, IEE Japan   2006年8月

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    記述言語:日本語  

  • 液体ヘリウム中でのナノ物質創生実験

    重松 利信, 川崎 仁晴, 武富 隆二, 渡辺 謙一郎, 西元 琢郎, 坂田 義和, 大島 多美子, 須田 義昭

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2006年5月

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    記述言語:日本語  

  • 液体ヘリウム中でのナノ物質創生実験

    重松 利信, 川崎 仁晴, 武富 隆二, 渡辺 謙一郎, 西元 琢郎, 坂田 義和, 大島 多美子, 須田 義昭

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity   2006年5月

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    記述言語:日本語  

  • 放電を用いた電子工学学習装置の開発とその評価

    川崎 仁晴, 茂木 貴之, 熊井 悠城

    電気学会研究会資料 FIE   2004年12月

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    記述言語:日本語  

  • 放電を用いた電子工学学習装置の開発とその評価

    川崎 仁晴, 茂木 貴之, 熊井 悠城

    電気学会研究会資料 FIE   2004年12月

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    記述言語:日本語  

  • 二酸化チタン光触媒薄膜を用いた水処理効果

    川崎 仁晴, 大島 多美子, 上田 剛, 中島 将太, 須田 義昭

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会   2003年10月

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    記述言語:日本語  

  • 二酸化チタン光触媒薄膜を用いた水処理効果

    川崎 仁晴, 大島 多美子, 上田 剛, 中島 将太, 須田 義昭

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会   2003年10月

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    記述言語:日本語  

  • Properties of palladium doped tin oxide thin films for gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process

    Y Suda, H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, K Doi, K Wada

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   2003年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0257-8972(03)00530-9

  • Properties of palladium doped tin oxide thin films for gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process

    Y Suda, H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, K Doi, K Wada

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   2003年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0257-8972(03)00530-9

  • 複合PLD法による可視光応答型窒素・金属ドープTiO2薄膜の作製

    川崎仁晴, 須田義昭

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   2003年7月

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    記述言語:その他  

  • 複合PLD法による可視光応答型窒素・金属ドープTiO2薄膜の作製

    川崎仁晴, 須田義昭

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   2003年7月

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    記述言語:その他  

  • NOx gas sensing properties of tungsten oxide thin films synthesized by pulsed laser deposition method

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda, K Wada, K Ebihara, T Ohshima

    APPLIED SURFACE SCIENCE   2002年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00333-1

  • NOx gas sensing properties of tungsten oxide thin films synthesized by pulsed laser deposition method

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda, K Wada, K Ebihara, T Ohshima

    APPLIED SURFACE SCIENCE   2002年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00333-1

  • Development of new preparation system for highly sensitive flammable gas sensor

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   2002年8月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.41.5390

  • Development of new preparation system for highly sensitive flammable gas sensor

    H Kawasaki, J Namba, K Iwatsuji, Y Suda

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   2002年8月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.41.5390

  • PLD法による小型・高感度SnO2薄膜ガスセンサーの開発

    須田義昭, 和田憲治, 川崎仁晴

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   2002年7月

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    記述言語:その他  

  • PLD法による小型・高感度SnO2薄膜ガスセンサーの開発

    須田義昭, 和田憲治, 川崎仁晴

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   2002年7月

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    記述言語:その他  

  • Preparation of crystalline TiC thin films grown by pulsed Nd:YAG laser deposition using Ti target in methane gas

    Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Kazuya Doi, Jun Nanba, Tamiko Ohshima

    Materials Characterization   2002年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S1044-5803(02)00243-7

  • Preparation of crystalline TiC thin films grown by pulsed Nd:YAG laser deposition using Ti target in methane gas

    Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Kazuya Doi, Jun Nanba, Tamiko Ohshima

    Materials Characterization   2002年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S1044-5803(02)00243-7

  • NOx Gas Sensor Using Tungsten Oxide(WO3) Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

    Suda Yoshiaki, Kawasaki Hiroharu, Namba Jun

    Proceedings of the Chemical Sensor Symposium   2001年12月

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    記述言語:英語  

    NOx Gas Sensor Using Tungsten Oxide(WO3) Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

  • Characteristics of Tin Oxide Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition Using SnO2 Targets (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

    Kawasaki Hiroharu, Suda Yoshiaki, Namba Jun

    Proceedings of the Chemical Sensor Symposium   2001年12月

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    記述言語:英語  

    Characteristics of Tin Oxide Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition Using SnO2 Targets (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

  • NOx Gas Sensor Using Tungsten Oxide(WO3) Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

    Suda Yoshiaki, Kawasaki Hiroharu, Namba Jun

    Proceedings of the Chemical Sensor Symposium   2001年12月

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    記述言語:英語  

    NOx Gas Sensor Using Tungsten Oxide(WO3) Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

  • Characteristics of Tin Oxide Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition Using SnO2 Targets (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

    Kawasaki Hiroharu, Suda Yoshiaki, Namba Jun

    Proceedings of the Chemical Sensor Symposium   2001年12月

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    記述言語:英語  

    Characteristics of Tin Oxide Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition Using SnO2 Targets (Proceedings of The 5Th East Asian Conference on Chemical Sensors: The 33RD Chemical Sensor Symposium)

  • Formation and properties of TiC thin films by pulsed Nd/YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, K Doi, S Hiraishi

    THIN SOLID FILMS   2000年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01166-4

  • Effects of cross-magnetic field on thin film preparation by pulsed Nd/YAG laser deposition

    Hiroharu Kawasaki, Kazuya Doi, Satoshi Hiraishi, Yoshiaki Suda

    Thin Solid Films   2000年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01165-2

  • Formation and properties of TiC thin films by pulsed Nd/YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, K Doi, S Hiraishi

    THIN SOLID FILMS   2000年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01166-4

  • Effects of cross-magnetic field on thin film preparation by pulsed Nd/YAG laser deposition

    Hiroharu Kawasaki, Kazuya Doi, Satoshi Hiraishi, Yoshiaki Suda

    Thin Solid Films   2000年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01165-2

  • 炭化シリコン薄膜のパルスレーザデポジション法による作製

    川崎仁晴, 須田義昭, 阿部久雄

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   1999年7月

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    記述言語:その他  

  • Silicon carbide thin films synthesized by using pulsed YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura, K Baba, H Abe, H Yoshida, K Ebihara, S Aoqui

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   1999年7月

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    記述言語:英語  

  • 炭化シリコン薄膜のパルスレーザデポジション法による作製

    川崎仁晴, 須田義昭, 阿部久雄

    長崎先端技術開発協議会研究成果報告書   1999年7月

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    記述言語:その他  

  • Silicon carbide thin films synthesized by using pulsed YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura, K Baba, H Abe, H Yoshida, K Ebihara, S Aoqui

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   1999年7月

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    記述言語:英語  

  • Chromium carbide thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1999年6月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.38.3619

  • Chromium carbide thin films synthesized by pulsed Nd : YAG laser deposition

    Y Suda, H Kawasaki, R Terajima, M Emura

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1999年6月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.38.3619

  • Plasma-enhanced metal organic chemical vapor deposition of high purity copper thin films using plasma reactor with the H atom source

    HJ Jin, M Shiratani, T Kawasaki, T Fukuzawa, T Kinoshita, Y Watanabe, H Kawasaki, M Toyofuku

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A   1999年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1116/1.581692

  • Plasma-enhanced metal organic chemical vapor deposition of high purity copper thin films using plasma reactor with the H atom source

    HJ Jin, M Shiratani, T Kawasaki, T Fukuzawa, T Kinoshita, Y Watanabe, H Kawasaki, M Toyofuku

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A   1999年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1116/1.581692

  • Transition of particle growth region in SiH4 RF discharges

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1998年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.37.5757

  • Ge微粒子の発生・成長機構に関する研究

    川崎 仁晴

    山陽放送学術文化財団リポ-ト   1998年10月

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    記述言語:日本語  

  • Study on initial growth of particles in low-pressure and low-pourer GeH4 RF discharges using the high-sensitivity photon-counting laser-light-scattering method

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   1998年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/jjap.37.L1264

  • Transition of particle growth region in SiH4 RF discharges

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1998年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.37.5757

  • Ge微粒子の発生・成長機構に関する研究

    川崎 仁晴

    山陽放送学術文化財団リポ-ト   1998年10月

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    記述言語:日本語  

  • Study on initial growth of particles in low-pressure and low-pourer GeH4 RF discharges using the high-sensitivity photon-counting laser-light-scattering method

    H Kawasaki, K Sakamoto, S Maeda, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   1998年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/jjap.37.L1264

  • Study on growth processes of particles in germane radio frequency discharges using laser light scattering and scanning electron microscopic methods

    H Kawasaki, J Kida, K Sakamoto, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   1998年6月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.367420

  • Study on growth processes of particles in germane radio frequency discharges using laser light scattering and scanning electron microscopic methods

    H Kawasaki, J Kida, K Sakamoto, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   1998年6月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.367420

  • Similarities in spatial distributions of absolute GeH2 density, radical production rate and particle amount in GeH4 RF discharges

    H Kawasaki, J Kida, K Sakamoto, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   1998年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/jjap.37.L475

  • Similarities in spatial distributions of absolute GeH2 density, radical production rate and particle amount in GeH4 RF discharges

    H Kawasaki, J Kida, K Sakamoto, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   1998年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/jjap.37.L475

  • Roles of SiH3 and SiH2 radicals in particle growth in rf silane plasmas

    H Kawasaki, H Ohkura, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe, Y Yamamoto, S Suganuma, M Hori, T Goto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1997年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.36.4985

  • Roles of SiH3 and SiH2 radicals in particle growth in rf silane plasmas

    H Kawasaki, H Ohkura, T Fukuzawa, M Shiratani, Y Watanabe, Y Yamamoto, S Suganuma, M Hori, T Goto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1997年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.36.4985

  • GeH_4およびSiH_4 rfプラズマ中微粒子の形成機構

    川崎 仁晴, 大倉 寛, 木田 淳一郎, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1997年3月

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    記述言語:日本語  

  • GeH_4およびSiH_4 rfプラズマ中微粒子の形成機構

    川崎 仁晴, 大倉 寛, 木田 淳一郎, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1997年3月

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    記述言語:日本語  

  • Diagnostics of plasma for metal-organic chemical vapour deposition of Cu and fabrication of Cu thin films using the plasma

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, T Kinoshita, Y Watanabe

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   1996年11月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/0022-3727/29/11/005

  • Diagnostics of plasma for metal-organic chemical vapour deposition of Cu and fabrication of Cu thin films using the plasma

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, T Kinoshita, Y Watanabe

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   1996年11月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/0022-3727/29/11/005

  • 光脱離・電離法によるシランプラズマ中微小微粒子成長過程観測

    宮原 弘臣, 福澤 剛, 川崎 仁晴, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1996年10月

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    記述言語:日本語  

  • プラズマ中微粒子の帯電と挙動

    松永 啓, 川崎 仁晴, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1996年10月

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    記述言語:日本語  

  • 光脱離・電離法によるシランプラズマ中微小微粒子成長過程観測

    宮原 弘臣, 福澤 剛, 川崎 仁晴, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1996年10月

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    記述言語:日本語  

  • プラズマ中微粒子の帯電と挙動

    松永 啓, 川崎 仁晴, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会   1996年10月

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    記述言語:日本語  

  • Growth processes of particles in high frequency silane plasmas

    Y Watanabe, M Shiratani, H Kawasaki, S Singh, T Fukuzawa, Y Ueda, H Ohkura

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS   1996年3月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1116/1.580141

  • Growth processes of particles in high frequency silane plasmas

    Y Watanabe, M Shiratani, H Kawasaki, S Singh, T Fukuzawa, Y Ueda, H Ohkura

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS   1996年3月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1116/1.580141

  • Two-dimensional spatial profiles of size and density of particulates grown in RF silane plasmas

    M Shiratani, N Kishigaki, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   1996年2月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/27.491731

  • Production of size-controlled Si fine particles using pulsed RF discharge

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    SURFACE REVIEW AND LETTERS   1996年2月

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    記述言語:英語  

  • Two-dimensional spatial profiles of size and density of particulates grown in RF silane plasmas

    M Shiratani, N Kishigaki, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   1996年2月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/27.491731

  • Production of size-controlled Si fine particles using pulsed RF discharge

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, Y Watanabe

    SURFACE REVIEW AND LETTERS   1996年2月

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    記述言語:英語  

  • Simultaneous in situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive laser-light-scattering method

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, T Yoshioka, Y Ueda, S Singh, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   1996年1月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.360916

  • Simultaneous in situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive laser-light-scattering method

    M Shiratani, H Kawasaki, T Fukuzawa, T Yoshioka, Y Ueda, S Singh, Y Watanabe

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   1996年1月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.360916

  • 銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性

    白谷 正治, 柴田 憲治, 川崎 仁晴, 福澤 剛, 木下 年夫, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. EP, プラズマ研究会   1995年2月

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    記述言語:日本語  

  • 微粒子発生を伴う高周波シランガスプラズマに及ぼす放電周波数の影響

    川崎 仁晴, 上田 佳央, 吉岡 貴, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. EP, プラズマ研究会   1995年2月

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    記述言語:日本語  

  • 銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性

    白谷 正治, 柴田 憲治, 川崎 仁晴, 福澤 剛, 木下 年夫, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. EP, プラズマ研究会   1995年2月

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    記述言語:日本語  

  • 微粒子発生を伴う高周波シランガスプラズマに及ぼす放電周波数の影響

    川崎 仁晴, 上田 佳央, 吉岡 貴, 福澤 剛, 白谷 正治, 渡辺 征夫

    電気学会研究会資料. EP, プラズマ研究会   1995年2月

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    記述言語:日本語  

  • STUDY ON GROWTH-PROCESSES OF PARTICULATES IN HELIUM-DILUTED SILANE RF PLASMAS USING SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

    M SHIRATANI, H KAWASAKI, T FUKUZAA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, Y WATANABE

    APPLIED PHYSICS LETTERS   1994年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.112833

  • STUDY ON GROWTH-PROCESSES OF PARTICULATES IN HELIUM-DILUTED SILANE RF PLASMAS USING SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

    M SHIRATANI, H KAWASAKI, T FUKUZAA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, Y WATANABE

    APPLIED PHYSICS LETTERS   1994年10月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1063/1.112833

  • Effects of particles on He-SiH(4) modulated RF discharges

    Yukio Watanabe, Masaharu Shiratani, Tsuyoshi Fukuzawa, Hiroharu Kawasaki

    PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY   1994年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/0963-0252/3/3/018

  • Effects of particles on He-SiH(4) modulated RF discharges

    Yukio Watanabe, Masaharu Shiratani, Tsuyoshi Fukuzawa, Hiroharu Kawasaki

    PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY   1994年8月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/0963-0252/3/3/018

  • INVESTIGATION OF PARTICULATE GROWTH-PROCESSES IN RF SILANE PLASMAS USING LIGHT-ABSORPTION AND SCANNING ELECTRON-MICROSCOPIC METHODS

    H KAWASAKI, T FUKUZAWA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, M SHIRATANI, Y WATANABE

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1994年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.33.4198

  • INFLUENCE OF HEAVY-PARTICLE COLLISION ON OPTICAL-EMISSION IN CATHODE FALL OF DC ARGON SILANE GLOW-DISCHARGE

    Y MATSUDA, K ANO, H KAWASAKI, H FUJIYAMA

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1994年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.33.4357

  • INVESTIGATION OF PARTICULATE GROWTH-PROCESSES IN RF SILANE PLASMAS USING LIGHT-ABSORPTION AND SCANNING ELECTRON-MICROSCOPIC METHODS

    H KAWASAKI, T FUKUZAWA, H TSURUOKA, T YOSHIOKA, M SHIRATANI, Y WATANABE

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1994年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.33.4198

  • INFLUENCE OF HEAVY-PARTICLE COLLISION ON OPTICAL-EMISSION IN CATHODE FALL OF DC ARGON SILANE GLOW-DISCHARGE

    Y MATSUDA, K ANO, H KAWASAKI, H FUJIYAMA

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   1994年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1143/JJAP.33.4357

  • HIGH-SPEED PIPE INNER COATING USING MAGNETRON HOLLOW-CATHODE DISCHARGE IN A MAGNETIC-FIELD

    H KAWASAKI, T NAKASHIMA, H FUJIYAMA

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   1991年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/0921-5093(91)90496-A

  • AVERAGING EFFECT OF RADICAL PARTICLE PROFILE BY THE SCANNING PLASMA METHOD IN SIH4-AR PLASMAS

    H FUJIYAMA, H KAWASAKI, Y MATSUDA, N OHNO

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   1991年7月

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    記述言語:英語  

  • HIGH-SPEED PIPE INNER COATING USING MAGNETRON HOLLOW-CATHODE DISCHARGE IN A MAGNETIC-FIELD

    H KAWASAKI, T NAKASHIMA, H FUJIYAMA

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   1991年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/0921-5093(91)90496-A

  • AVERAGING EFFECT OF RADICAL PARTICLE PROFILE BY THE SCANNING PLASMA METHOD IN SIH4-AR PLASMAS

    H FUJIYAMA, H KAWASAKI, Y MATSUDA, N OHNO

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING   1991年7月

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    記述言語:英語  

  • 2-DIMENSIONAL PROFILE OF EMISSIVE SPECIES IN A MAGNETIZED SIH4/AR GLOW-DISCHARGE FOR THE SCANNING-PLASMA CVD METHOD

    H KAWASAKI, Y MATSUDA, H FUJIYAMA

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   1991年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/27.106844

  • 2-DIMENSIONAL PROFILE OF EMISSIVE SPECIES IN A MAGNETIZED SIH4/AR GLOW-DISCHARGE FOR THE SCANNING-PLASMA CVD METHOD

    H KAWASAKI, Y MATSUDA, H FUJIYAMA

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   1991年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/27.106844

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産業財産権

特許権   出願件数: 0件   登録件数: 1件
実用新案権   出願件数: 0件   登録件数: 0件
意匠権   出願件数: 0件   登録件数: 0件
商標権   出願件数: 0件   登録件数: 0件

所属学協会

  • 日本工学教育協会

  • 表面技術協会

  • 電気学会

  • 日本MRS

  • 日本表面真空学会

  • プラズマ核融合学会

  • 応用物理学会

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委員歴

  • プラズマ核融合学会 九州沖縄山口支部   支部長   国内

    2024年5月 - 2026年5月   

  • 応用物理学会   代議員   国内

    2022年4月 - 2026年4月   

  • 日本表面真空学会九州支部   企画・研究会担当   国内

    2017年5月 - 2024年5月   

学術貢献活動

  • 現地実行委員長

    電気学会教育フロンティア研究会  2019年3月

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    種別:大会・シンポジウム等 

その他

  • 大学改革推進等補助金大学教育・学生支援推進事業【テーマA】大学教育推進プログラム「国際的協業による実践的若年技術者の育成」

    2011年3月

     詳細を見る

    佐世保高専が行っている海外との交流事業において、その主たる委員として事業推進の立案、計画、実行に尽力した。海外との交流、特に国際協業を行った経験のある高専に対して全国調査を行いその内容や規模、継続状況の調査を行った。

  • 大学改革推進等補助金大学教育・学生支援推進事業【テーマA】大学教育推進プログラム「国際的協業による実践的若年技術者の育成」

    2011年3月

     詳細を見る

    佐世保高専が行っている海外との交流事業において、その主たる委員として事業推進の立案、計画、実行に尽力した。海外との交流、特に国際協業を行った経験のある高専に対して全国調査を行いその内容や規模、継続状況の調査を行った。

  • 平成17-20年度大学改革推進等補助金現代的教育ニーズ取組支援プログラム「日中相互交流による実践的若年技術者の育成」

    2008年3月

     詳細を見る

    佐世保高専が行っている海外との交流事業において、その主たる委員として事業推進の立案、計画、実行に尽力した。中国の教育機関との交流を行った経験のある高専に対して全国調査を行いその内容や規模、継続状況の調査を行った。

  • 平成17-20年度大学改革推進等補助金現代的教育ニーズ取組支援プログラム「日中相互交流による実践的若年技術者の育成」

    2008年3月

     詳細を見る

    佐世保高専が行っている海外との交流事業において、その主たる委員として事業推進の立案、計画、実行に尽力した。中国の教育機関との交流を行った経験のある高専に対して全国調査を行いその内容や規模、継続状況の調査を行った。

共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 安全・安心・経済的な水素社会を目指した複合微粒子コーティング法による水素脆化防止に向けた研究開発

    2023年 - 2025年

    公益財団法人 高橋産業経済研究財団 高橋産業経済研究財団助成金

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    担当区分:研究代表者  資金種別:受託研究

  • 1) 安全・安心・経済的な水素社会を目指した複合微粒子コーティング法による水素脆化防止に向けた研究開発

    2023年 - 2024年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 1) 安全・安心・経済的な水素社会を目指した複合微粒子コーティング法による水素脆化防止に向けた研究開発

    2023年 - 2024年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 粉体ターゲットを用いた傾斜機能性薄膜の作製

    2022年 - 2025年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 粉体ターゲットを用いた傾斜機能性薄膜の作製

    2022年 - 2025年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 粉体ターゲットを用いた傾斜機能性薄膜の作製

    2022年 - 2025年

    日本板硝子材料工学助成会

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    担当区分:研究代表者  資金種別:受託研究

  • コロナ禍で「いつでもどこでも繰り返し」体験できる遠隔実験実習教育装置の開発

    研究課題/領域番号:22K02995  2022年 - 2024年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • コロナ禍で「いつでもどこでも繰り返し」体験できる遠隔実験実習教育装置の開発

    研究課題/領域番号:22K02995  2022年 - 2024年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 放電ブラシを用いたリアクタンスによる出力限界をなくすモーターの試作

    2022年 - 2023年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 放電ブラシを用いたリアクタンスによる出力限界をなくすモーターの試作

    2022年 - 2023年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 放電ブラシを用いたリアクタンスによる出力限界をなくすモーターの試作

    2022年 - 2023年

    公益財団法人津川モーター研究財団 公益財団法人津川モーター研究財団研究助成金

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    担当区分:研究代表者  資金種別:受託研究

  • 四元素混合粉体ターゲットを用いた薄膜の作製

    2020年4月 - 2025年3月

    共同研究

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    担当区分:研究代表者  資金種別:その他産学連携による資金

  • 全国高専における自然災害時の地表電位変動計測システムと防災教育への応用

    2020年 - 2022年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 全国高専における自然災害時の地表電位変動計測システムと防災教育への応用

    2020年 - 2022年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 放電を用いた原理のわかりやすい直流モーターの試作と教育応用

    2020年 - 2021年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 放電を用いた原理のわかりやすい直流モーターの試作と教育応用

    2020年 - 2021年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

      詳細を見る

    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 四元素混合粉体ターゲットを用いた薄膜の作製

    2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 四元素混合粉体ターゲットを用いた薄膜の作製

    2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • スパッタ法による変調磁界を用いた高速均一薄膜作製

    2019年4月 - 2024年3月

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    担当区分:研究代表者  資金種別:その他産学連携による資金

  • 地域特産品へのプラズマ応用:高専プラズマネットワークによる地域貢献

    2019年 - 2021年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 地域特産品へのプラズマ応用:高専プラズマネットワークによる地域貢献

    2019年 - 2021年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 地震時の地表面電位変化計測システムの構築と評価

    2019年 - 2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • スパッタ法による変調磁界を用いた高速均一薄膜作製

    2019年 - 2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 地震時の地表面電位変化計測システムの構築と評価

    2019年 - 2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • スパッタ法による変調磁界を用いた高速均一薄膜作製

    2019年 - 2020年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 転位遮蔽理論に基づく水素脆化の階層的モデリングとその実験的検証

    2018年 - 2022年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 転位遮蔽理論に基づく水素脆化の階層的モデリングとその実験的検証

    2018年 - 2022年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 水素エネルギー社会実現のための安価な水素脆性防止膜の作製

    2016年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 水素エネルギー社会実現のための安価な水素脆性防止膜の作製

    2016年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 裏面照射粉体PLD法による3次元構造を持つ多層多元素薄膜の作製

    2014年 - 2018年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 裏面照射粉体PLD法による3次元構造を持つ多層多元素薄膜の作製

    2014年 - 2018年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 微粒子とプラズマプロセスを用いた安価な水素脆性防止用膜作製による水素エネルギー社会 の実現

    2014年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 微粒子とプラズマプロセスを用いた安価な水素脆性防止用膜作製による水素エネルギー社会 の実現

    2014年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 裏面照射粉体PLD法による薄膜作製プロセスの開発

    2013年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 太陽光発電施設のフィールド調査および日本全土を網羅する観測システムの構築

    2013年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 太陽光発電施設のフィールド調査および日本全土を網羅する観測システムの構築

    2013年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 裏面照射粉体PLD法による薄膜作製プロセスの開発

    2013年 - 2015年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 裏面照射型パルスレーザデポジション法による機能性薄膜作製

    2013年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 裏面照射型パルスレーザデポジション法による機能性薄膜作製

    2013年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 粉体ターゲットスパッタリング機構による新規な機能性薄膜の試作とその機構解明

    2011年 - 2013年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 粉体ターゲットスパッタリング機構による新規な機能性薄膜の試作とその機構解明

    2011年 - 2013年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 極低温電子アブレーションによる有機EL薄膜作製

    2010年 - 2012年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 極低温電子アブレーションによる有機EL薄膜作製

    2010年 - 2012年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作成の試み

    2010年 - 2011年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作成の試み

    2010年 - 2011年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • プラズマを利用したCO2ガス分解によるカーボンナノチューブの作製

    2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • プラズマを利用したCO2ガス分解によるカーボンナノチューブの作製

    2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • マイクロ~ナノギャップ電極高感度小型ガスセンサの試作

    2009年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • マイクロ~ナノギャップ電極高感度小型ガスセンサの試作

    2009年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 三相変調交流磁界を用いた円筒外壁均一コーティング

    2008年 - 2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 三相変調交流磁界を用いた円筒外壁均一コーティング

    2008年 - 2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 「共創的環境」下での実践的若年技術者「共育」体制構築

    2007年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 「共創的環境」下での実践的若年技術者「共育」体制構築

    2007年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • フレキシブルエレクトロクロミック薄膜の作製

    2006年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • フレキシブルエレクトロクロミック薄膜の作製

    2006年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 超流動He液中放電によるナノ物質創製機構の解明

    2005年 - 2007年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 超流動He液中放電によるナノ物質創製機構の解明

    2005年 - 2007年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しい可視光応答型光触媒薄膜作製プロセスの開発

    2004年 - 2005年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しい可視光応答型光触媒薄膜作製プロセスの開発

    2004年 - 2005年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • ナノ構造高感度薄膜ガスセンサを用いた室内環境改善システムの開発

    2002年 - 2006年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • ナノ構造高感度薄膜ガスセンサを用いた室内環境改善システムの開発

    2002年 - 2006年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 新ナノ微粒子創製用ツインレーザ成膜装置の開発

    2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新ナノ微粒子創製用ツインレーザ成膜装置の開発

    2002年 - 2004年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • PLD法による二酸化チタン(TiO2)ナノクラスター光触媒作製プロセスの開発

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • オーロラシミュレータによる電子挙動学習遊具の開発

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 複合PLD法による可視光応答型窒素・金属ドープTiO2薄膜の作製

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 複合PLD法による可視光応答型窒素・金属ドープTiO2薄膜の作製

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • PLD法による二酸化チタン(TiO2)ナノクラスター光触媒作製プロセスの開発

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • オーロラシミュレータによる電子挙動学習遊具の開発

    2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • PLD法による環境保護用高選択性・高感度薄膜ガスセンサの開発

    2001年 - 2003年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • PLD法による環境保護用高選択性・高感度薄膜ガスセンサの開発

    2001年 - 2003年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 環境適応型高効率自動ごみ燃焼処理手法の開発

    2001年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 環境適応型高効率自動ごみ燃焼処理手法の開発

    2001年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • PLD法による小型・高感度SnO2薄膜ガスセンサーの開発

    2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • PLD法による小型・高感度SnO2薄膜ガスセンサーの開発

    2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • レーザピンセットを用いたプラズマ中単一微粒子の形状および作用力の解明

    2000年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 薄膜誘電体を用いた超高効率オゾナイザの開発

    2000年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 薄膜誘電体を用いた超高効率オゾナイザの開発

    2000年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • レーザピンセットを用いたプラズマ中単一微粒子の形状および作用力の解明

    2000年 - 2002年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 磁界中パルスレーザデポジション法を用いた銅配線用窒化タンタル(TaN)薄膜の作製

    2000年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 磁界中パルスレーザデポジション法を用いた銅配線用窒化タンタル(TaN)薄膜の作製

    2000年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 外部変調電磁界を用いた新方式パルスレーザデポジション法による大面積薄膜作製法の開発

    2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • Tantalum Nitride Thin Films Synthesized By Pulsed Nd:YAG Laser Deposition Method

    2000年

    Japan Society for the Promotion of Science  Grants-in-Aid for Scientific Research  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 外部変調電磁界を用いた新方式パルスレーザデポジション法による大面積薄膜作製法の開発

    2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • Tantalum Nitride Thin Films Synthesized By Pulsed Nd:YAG Laser Deposition Method

    2000年

    Japan Society for the Promotion of Science  Grants-in-Aid for Scientific Research  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 交差電磁界制御型パルスレーザデポジション法による大面積均一薄膜の作製

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • アブレーションプルーム中微粒子の外部電磁界による発生・成長・挙動の制御

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • ノート型小型計算機を用いた可搬型多機能情報教育システムの開発

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による炭化シリコン(SiC)薄膜作製プロセスの開発

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 交差電磁界制御型パルスレーザデポジション法による大面積均一薄膜の作製

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • アブレーションプルーム中微粒子の外部電磁界による発生・成長・挙動の制御

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • ノート型小型計算機を用いた可搬型多機能情報教育システムの開発

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による炭化シリコン(SiC)薄膜作製プロセスの開発

    1999年 - 2001年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による炭化シリコン薄膜の作製

    1999年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による炭化シリコン薄膜の作製

    1999年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発

    1998年 - 2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • パルスレーザデポジション法による窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発

    1998年 - 2000年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 炭化シリコン薄膜のパルスレーザデポジション法による作製

    1998年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • ホトンカウンティングレーザ散乱法によるゲルマンRFプラズマ中微粒子成長過程の研究

    1998年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 炭化シリコン薄膜のパルスレーザデポジション法による作製

    1998年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • ホトンカウンティングレーザ散乱法によるゲルマンRFプラズマ中微粒子成長過程の研究

    1998年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しいその場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する実験的研究

    1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • Ge微粒子の発生・成長機構に関する研究

    1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しいその場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する実験的研究

    1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • Ge微粒子の発生・成長機構に関する研究

    1997年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しいその場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する実験的研究

    1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 新しいその場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する実験的研究

    1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

    1995年 - 1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

    1995年 - 1996年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 量子効果により可視発光するナノ微粒子の作製と構造制御に関する研究

    1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 量子効果により可視発光するナノ微粒子の作製と構造制御に関する研究

    1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場測定法の開発

    1994年 - 1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

    1994年 - 1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場測定法の開発

    1994年 - 1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

    1994年 - 1995年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    資金種別:科研費

  • 液晶ディスプレイ用アモルファスシリコンの高速度・高歩留まり作製法に関する研究

    1994年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • プラズマCVD法による銅薄膜形成機構に関する研究

    1994年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • 液晶ディスプレイ用アモルファスシリコンの高速度・高歩留まり作製法に関する研究

    1994年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

  • プラズマCVD法による銅薄膜形成機構に関する研究

    1994年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

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    担当区分:研究代表者  資金種別:科研費

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教育活動概要

  • 工学部融合基礎工学科の九大工・九州沖縄9高専連携教育プロ グラムに所属している連携生の教育指導・学生支援を担当

海外渡航歴

  • 2006年10月 - 2007年9月

    滞在国名1:スウェーデン王国   滞在機関名1:スウェーデン王立工科大学

学内運営に関わる各種委員・役職等

  • 2024年5月   その他 工学部附属高専連携教育センター教員会議委員