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092-802-3734

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工学博士（九州大学，日本）

なし

プラズマ理工学

0000-0002-4103-3939

01ヶ年00ヶ月

１）研究活動概要
プラズマプロセスは，半導体産業をはじめ様々な分野で広く使われている．今後さらに，有機，無機の様々な機能性薄膜材料や新しいデバイスの作製に応用されると考えられており，高精度のプロセス制御技術が求められている．当研究室では，新しいプラズマプロセス技術の開発とその応用について研究している．特に，長期的視野で重要なものを研究課題として選定している．主な課題として，次のような研究を行っている．

1.太陽光発電材料製造技術の研究
経済の発展と人口増加に伴う，エネルギー消費の増大と環境破壊の問題の解決が21世紀の最重要課題である．この解決には，クリーンな発電技術である太陽光発電が大きな役割を果たすと期待されており，太陽電池の高効率化と低コスト化が求められている．当研究室では，21世紀に主流となると考えられるアモルファスシリコン太陽電池の高効率化と低コスト化を実現する製造技術の研究を行っている．これまでに，種々の新しい製造技術の提案を行ってきており，その成果は国内外の研究者から注目されている．

2.微粒子を用いた新しいナノ構造デバイスの研究
　ナノメートルサイズの微粒子は，サイズ効果，量子効果の発現が可能なため，これらの効果を利用した新しいナノ構造デバイスの創製が期待されている．この課題に対して，微粒子の結晶性・サイズ・位置の制御技術の開発を行っている．これまでに，青色発光を示すナノシリコン結晶微粒子の作製に成功している．

3.次世代大規模集積回路内配線技術の開発
　高集積化が進むにつれて，集積回路内の配線長は長くなり21世紀初頭には，配線総延長は数kmを越えると予想されている．このため今後は，トランジスタより配線が集積回路の性能，歩留まり，信頼性を決めるようになる．このような観点から，プラズマCVD法による銅配線形成技術を開発中であり，既に高純度の銅をサブミクロン幅の溝に埋め込むことに成功している．

これまでの研究成果に対して，1991，1996年度に電気学会優秀論文発表賞を，1998年度には日本学術振興会プラズマ材料科学賞を受賞した．

２）教育活動
　学内においては学部では，プラズマエレクトロニクス，電磁気学I，電気情報工学卒業研究を，大学院では，プラズマプロセス基礎特論，ナノ集積システム工学演習，電子デバイス工学演習第一，電子デバイス工学演習第二，電子デバイス工学演習第三，電子デバイス工学特別研究を担当している．また，学外においてはサマースクール，講習会等の講師として，全国の大学院生，および社会人を対象とした教育も行っている．