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https://orcid.org/0000-0002-3642-4249
【研究活動】
IoTの普及などを背景に近年の半導体デバイスの高性能化のために,従来の微細化の進展が鈍化する一方で、3次元スケーリングと呼ばれる積層化が進められている。これらの製作工程を大きく占めるのがプラズマプロセス技術である。
そこで、
プラズマプロセスにおけるプラズマ中の揺らぎ、気相中のイオン、電子やラジカル、ナノ粒子の振る舞いに注目し、高品質な成膜可能な技術開発および、その物理機構の解明の研究に取り組んでいる。
また、機械学習を用いた新規材料開発も行っている。
教育研究として、主に理系学生向け半導体ビジネス戦略に関する講義および
活動性を高める授業づくりを目的として、動機付けに注目し、どのような取り組みが学生に良い影響を与えるのかを明らかにする研究に取り組んでいる。
分野:半導体、機械学習AI、薄膜、ナノ粒子、太陽電池、二次電池、科学教育
【教育活動】
半導体ビジネス戦略概論(学部)、半導体ビジネス戦略特論(大学院)
電気情報工学基礎実験, 工学実験IIを担当。
これまで、サイバーセキュリティ基礎論、基幹教育セミナー、課題協学科目、自然科学総合実験(物理学・地球科学)を担当。
また、文系学生には科学の楽しさを。理系学生には自然の神秘性と実験実践の場を提供という目的で、少人数セミナーを毎回開講してきた。
PBLによる科学授業。