Updated on 2025/06/12

Information

 

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HIROTA MASAKI
 
Organization
Faculty of Engineering Professor
Graduate School of Integrated Frontier Sciences Department of Automotive Science(Concurrent)
Title
Professor
Profile
Research Activities: My research focuses on devices and applied systems that contribute to enhanced safety and convenience in the context of vehicle electrification and intelligentization. The main research topics include: 1. Sensing systems of preventinga collision accident at an intersection 2. Far-infrared image sensors and their applied systems 3. Optical wireless power transfer technologies 4. Research on visualizing “time geography maps” indicating feasible stay durations at destinations 5. Research on the value of mobility Educational Activities: At the Graduate School of Integrated Frontier Sciences, Department of Automotive Science, Kyushu University, I am in charge of the following courses: 1. Advanced Automotive Electronic Devices 2. Seminar on Automotive Information Measurement and Control 3. Exercise in Automotive Information Measurement and Control 4. Introduction to Automotive Informatics 5. Automotive Sensor Systems

Research Areas

  • Nanotechnology/Materials / Optical engineering and photon science

  • Manufacturing Technology (Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering) / Electron device and electronic equipment

  • Nanotechnology/Materials / Nano/micro-systems

Degree

  • Doctor of Engineering

Research History

  • Nissan Motor Co., Ltd.

    1987.4 - 2017.3

      More details

    Country:Japan

Education

  • Tokyo Institute of Technology   Graduate School of Science and Engineering   Department of Physical Electronics

    2003.10 - 2006.9

      More details

    Country:Japan

    Notes:Doctor of Engineering

  • Tokyo Institute of Technology   Graduate School of Science and Engineering   Department of Physical Electronics

    1985.4 - 1987.3

      More details

    Country:Japan

    Notes:Master of Engineering

  • Waseda University   School of Science and Engineering   Department of Electrical Engineering

    1981.4 - 1985.3

Research Interests・Research Keywords

  • Research theme: Study for crossing collision prevention systems

    Keyword: crossing collision prevention system

    Research period: 2018.6

  • Research theme: Study of mobility value

    Keyword: Mobility value

    Research period: 2018.4

  • Research theme: Research on infrared sensors and automotive applications

    Keyword: infrared automotive sensor sensing system

    Research period: 2018.4

  • Research theme: Study of maximum staying time for day trips

    Keyword: stay trip time day trip

    Research period: 2017.4

  • Research theme: Optical wireless power transmission

    Keyword: optical wireless power laser solar

    Research period: 2017.4

  • Research theme: Li ion battery using whisper electrodes of iron oxide or copper oxide

    Keyword: whisker lithium ion battery  iron copper oxide

    Research period: 2017.4

Papers

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Books

  • 自動車用センサの最新動向 Reviewed

    廣田正樹(Role:ContributorChapter 10, " Infrared imaging sensors and Automotive Applications ")

    CMC Publishing Co. Ltd.  2009.2    ISBN:9784781300979

     More details

    Total pages:329   Responsible for pages:259-267   Language:Japanese   Book type:Textbook, survey, introduction

  • 超五感センサの開発最前線 Reviewed

    Masaki Hirota(Role:ContributorChapter 2.1.5, Development of infrared sensors)

    NTS INC.  2005.11    ISBN:978-4-86043-100-6

     More details

    Total pages:544   Responsible for pages:57-65   Language:Japanese   Book type:Textbook, survey, introduction

  • 【最新】車載用センサ/カメラ技術全集、技術情報協会編 Reviewed

    廣田正樹(Role:ContributorChapter 2, Section No.6, "Infrared sensors")

    Technical Information Initiative Co. Ltd.  2005.10    ISBN:9784861040801

     More details

    Total pages:427   Responsible for pages:312-321   Language:Japanese   Book type:Textbook, survey, introduction

  • Advanced Microsystems for Automotive Applications 2004 Reviewed

    Masaki Hirota(Role:ContributorLow-Cost Infrared Imaging Sensors for Automotive Applications)

    Springer  2004.3    ISBN:978-3540205869

     More details

    Total pages:359   Responsible for pages:63-83   Language:English   Book type:Scholarly book

Presentations

  • Sensors for advanced safety, comfort and convenience in future transportation systems Invited International conference

    Masaki Hirota

    IEEE Sensors 2024  2024.10  IEEE Sensors Council

     More details

    Event date: 2024.10

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (keynote)  

    Venue:Kobe   Country:Japan  

  • Low-cost thermo-electric infrared FPAs and their automotive applications Invited International conference

    masaki Hirota, Yoshimi Ohta, Yasuhiro Fukuyama

    Infrared Technology and Applications XXXIV  2008.6  SPIE

     More details

    Event date: 2008.3

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:Orlando, FL   Country:United States  

    This paper describes three low-cost infrared focal plane arrays (FPAs) having a 1,536, 2,304, and 10,800 elements and experimental vehicle systems. They have a low-cost potential because each element consists of p-n polysilicon thermocouples, which allows the use of low-cost ultra-fine micro-fabrication technology commonly employed in the conventional semiconductor manufacturing processes. To increase the responsivity of FPA, we have developed a precisely patterned Au-black absorber that has high infrared absorptivity of more than 90%. The FPA having a 2,304 elements achieved high resposivity of 4,300 V/W. In order to reduce package cost, we developed a vacuum-sealed package integrated with a molded ZnS lens. The camera aiming the temperature measurement of a passenger cabin is compact and light weight devices that measures 45 × 45 × 30 mm and weighs 190 g. The camera achieves a noise equivalent temperature deviation (NETD) of less than 0.7°C from 0 to 40°C. In this paper, we also present a several experimental systems that use infrared cameras. One experimental system is a blind spot pedestrian warning system that employs four infrared cameras. It can detect the infrared radiation emitted from a human body and alerts the driver when a pedestrian is in a blind spot. The system can also prevent the vehicle from moving in the direction of the pedestrian. Another system uses a visible-light camera and infrared sensors to detect the presence of a pedestrian in a rear blind spot and alerts the driver. The third system is a new type of human-machine interface system that enables the driver to control the car's audio system without letting go of the steering wheel. Uncooled infrared cameras are still costly, which limits their automotive use to high-end luxury cars at present. To promote widespread use of IR imaging sensors on vehicles, we need to reduce their cost further.

  • Thermoelectric Infrared Imaging Sensors, Sensors on the move Invited International conference

    Masaki Hirota

    2006 IEEE International Solid-State Circuits Conference, ISSCC  2006.2  IEEE

     More details

    Event date: 2006.2

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:San Francisco, CA   Country:United States  

  • Analysis of crossing accidents focusing on intersection density and intersection environment International conference

    Kozono Hosei, Hirota Masaki

    ITS Symposium 2024  2024.12  ITS Japan

     More details

    Event date: 2024.12

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:Kumamoto-jo Hall   Country:Japan  

    his study investigated 5,745 crossing accidents that occurred in Fukuoka City from 2015 to 2017. We focused on the number of intersections per habitable area (intersection density) to identify preventive measures for each region. The analysis revealed that intersection density has characteristics in each ward, and that generally the higher the intersection density, the higher the number of accidents. It was found that Higashi-ward, Sawara-ward and Nishi-ward have many points with low intersection density, while Minami-ward and Jonan-ward have many points with high intersection density. In Higashi Ward, Sawara Ward, and Nishi Ward, improving visibility at small-scale intersections (small lanes, no traffic
    lights) is considered to be effective.

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/7359934

  • 交差点事故発生数を考慮した経路案内 International conference

    可知 岳,廣田 正樹

    第 21 回 ITS シンポジウム 2023  2023.12 

     More details

    Event date: 2023.12

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:富山国際会議場   Country:Japan  

    Traffic accidents are decreasing year by year, but intersection accidents, such as collisions, remain common and have a high fatality rate. Intersection accidents are more common at specific intersections, with only about 14.8% of all intersections having intersection accidents in Fukuoka City in the three years. It is believed that the occurrence of intersection accidents could be reduced by avoiding those intersections. This study surveyed the around Hakata Ward, Fukuoka City, where many intersection accidents occur, and created route guidance that considered the number of past accidents in intersection and verified its effectiveness by comparing it with the shortest-distance route.

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/7237135

  • 表面粗さに着目した遠赤外線ミラーを用いた人体画像取得

    #永野貴寛, 廣田正樹

    第32回(2023年度)日本赤外線学会研究発表会  2023.11 

     More details

    Event date: 2023.11

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:関西大学梅田キャンパス ミライズ(大阪)   Country:Japan  

    アルミ箔の光沢面と非光沢面では表面粗さと反射特性が異なり、可視光線では表面粗さRa=0.15mの光沢面で反射像が得られなかったが、表面粗さRa=0.31mの非光沢面では遠赤外線は反射像を得ることが出来た。これは波長が短い可視光線は表面粗さの影響を受けやすいことによる。交差点近傍の塀などの一部を遠赤外線のみ鏡面反射するミラーに置き換えることで死角の歩行者の存在を検知でき、出会い頭事故の抑制に役立てることが期待される。

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/7237134

  • 福岡市の交通事故が増えた交差点の発生要因分析 International conference

    ロヒット シヴ プラサド, 廣田正樹

    第 20 回 ITS シンポジウム 2022  2022.12 

     More details

    Event date: 2022.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:柏の葉カンファレンスセンター   Country:Japan  

    Although the number of traffic accidents across Japan has been decreasing year by year, there are some intersections in Fukuoka City where traffic accidents have increased from the year 2019 to 2020, i.e. before and after the pandemic. Our results show that, there are 34,464 intersections in Fukuoka City, and traffic accidents have occurred at 6,569 intersections (19%), while at 463 intersections (1.3%), traffic accidents have increased. Among these 463 intersections, car-to- pedestrian and car-to-bicycle accidents are relatively higher and most of these intersections have road width more than 5.5m and have a footpath. The reasons for the high number of car-to-pedestrian and car-to-bicycle accidents are the pedestrians and cyclists entering the intersection from both directions, and measures for pedestrians and cyclists may be necessary to reduce the number of accidents.

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/6792829

  • 二次元グラフを用いた交通事故の主成分分析のための統計的アプローチ International conference

    #プラサド ロヒット シヴ, 廣田正樹

    第 19 回 ITS シンポジウム 2021  2021.12 

     More details

    Event date: 2021.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Online   Country:Japan  

    With increase in vastly available accident data, visualizing and studying the characteristics illustrated by the data becomes significantly challenging. In this paper, we used RStudio to generate biplots using Principal Component Analysis (PCA) technique to analyze the data. We studied 128,059 accidents occurred in Fukuoka prefecture from the year 2016 to 2019 and established the relation between the attributes and variables in the data. Resulting plots facilitate ease of interpretably, macroscopic overview of data and ability of verifying all the dimensions at the same time. Hence, we propose using biplots for analyzing characteristics of traffic accidents at a glance.

  • 福岡市内での出会い頭事故を防ぐための交差点環境分析 International conference

    #有薗勇希, 廣田正樹

    第 19 回 ITS シンポジウム 2021  2021.12 

     More details

    Event date: 2021.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Online   Country:Japan  

    This paper shows the characteristics of crossing collisions based on actual accident data of crossing collisions and intersection data. Fukuoka is a prefecture with third highest crossing collision. We surveyed Fukuoka City, which has the highest number of accidents, and analyzed 7,330 crossing collisions and 10,436 intersections in the city. The roads in Fukuoka City are composed of 41% crossroads, 57.9% junctions, and 1.1% a five-forked road, but since 65.3% of accident intersections are crossroads, crossing collisions is likely to occur at crossroads. It was also found that the type of traffic light and the stop line position influences on the occurrence of the accident.

  • 都市部と郊外部における出会い頭事故の発生要因分析 International conference

    #有薗勇希, 廣田正樹, #董嘉コウ, #野村拓未, #佐藤潤弥

    第 18 回 ITS シンポジウム 2020  2020.12 

     More details

    Event date: 2020.12

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:オンライン   Country:Japan  

    We clarified the differences in the causes of crossing accidents between urban and suburban areas. We selected Hakata Ward and Nishi Ward in Fukuoka City as urban and suburban areas respectively. Based on the data of 1,348 accidents that occurred from the year 2015 to 2017, we analyzed the environment factors of 1,997 intersections that included the intersection where the accident occurred and the surrounding intersections. Our results show that accidents occurred at the crossroads of Nishi Ward were found to be approximately 15% more than that occurred at crossroads in Hakata Ward. Furthermore, it was found that the number of intersections with no traffic signal, no stop line and with stop line drawn before the usual in Nishi Ward was more when compared to Hakata Ward.

  • 事故当事者による出会い頭事故の特徴分析 International conference

    #董嘉コウ, 廣田正樹, #野村拓未, #佐藤潤弥

    第 18 回 ITS シンポジウム 2020  2020.12 

     More details

    Event date: 2020.12

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:オンライン   Country:Japan  

    This paper shows the characteristics of crossing collision accident by accident party. As Fukuoka Prefecture has the third most accidents in Japan, we selected Hakata and Chuo Ward in Fukuoka city as the target of the investigation. We investigated 1,810 crossing collision accidents and 2,662 intersections' environmental factors such as traffic lights and intersection shape. In addition, we classified the accidents into car to car accidents and car to bicycle accidents according to the type of accident parties involved. Characteristics of car to car accidents tending to occur at crossroads and car to bicycle accidents occurring regardless of the traffic regulations have been clarified.

  • 実事故データによる自転車が絡む出会い頭事故の要因分析 International conference

    #董嘉コウ, 廣田正樹, #野村拓未, #佐藤潤弥

    第 18 回 ITS シンポジウム 2020  2020.12 

     More details

    Event date: 2020.12

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:オンライン   Country:Japan  

    Car-to-bicycle accidents account for 40% of all crossing collisions, hence preventive measures are required. We analyzed 1,367 car-to-bicycle accidents that occurred in Fukuoka City from 2015 to 2017. According to the analysis, accidents occurred more frequently at 8:00 am and 5:00 pm, and tend to occur more frequently during the day than at night. It was also found that the rate of accidents by teenagers and female cyclists was high, when analyzed by parties involved and attributes such as age and gender. On further research, focusing on the intersections with frequent accidents, we found that bicycle colliding to the car from left contributed to about 60% of accidents, Hence, it is necessary to reduce the traffic approaching from right side to the bicycle from the sidewalk.

  • 日帰り旅行における現地滞在可能時間の都市比較 ―現地滞在可能時間地図―

    廣田正樹

    日本観光研究学会 第33回全国大会  2018.12 

     More details

    Event date: 2019.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:跡見学園女子大学(東京都)   Country:Japan  

    Maximum staying time comparison of day trips between major cities in Japan -A map of maximum staying time of day trips -

    Repository Public URL: http://hdl.handle.net/2324/2235322

  • 出会い頭事故防止に向けた交差点環境の分析

    #佐藤潤弥, 廣田正樹, #野村拓未

    第16回 ITS シンポジウム 2018  2018.12 

     More details

    Event date: 2019.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:同志社大学 今出川校地 室町キャンパス 寒梅館   Country:Japan  

    This paper shows the analytical results of the relation between crossing environments and traffic accidents for preventing collision accidents. There was 1,447 accidents in Hakata ward, Fukuoka city from 2015 to 2017. We investigated the information of 1,297 intersections such as a crossroad and traffic lights. The number of accidents in crossroad is as twice as that of T junctions. This is why crossing collisions occur between parties going straight on frequently. In addition, many accidents occurred in crossroads which there are less than three lanes in subsidiary roads.

    Repository Public URL: http://hdl.handle.net/2324/2235324

  • 出合い頭事故に影響を及ぼすドライバーの可視性評価

    #野村拓未, 廣田正樹, #佐藤潤弥

    第17回 ITS シンポジウム 2019  2019.12 

     More details

    Event date: 2019.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:石川県地場産業振興センター 本館   Country:Japan  

    Crossing collision accidents are greatly influenced by environmental factors. We investigated the relationship between the environmental factors at the 1,629 intersection in Hakata-ku, Fukuoka City and the situation of the accident, and found that there were many accidents caused by straight traffic on the crossroads. In this study, we tried to clarify the cause of the accidents by investigating the mutual effects of multiple environmental factors. As a result of the analysis, it became clear that the reverse of the stop line increased the accident frequency by about 1.7 times regardless of the presence or absence of traffic lights. In addition, it was found that the frequency of accidents can be reduced by about 10% by improving the outlook by installing curved mirrors, and it was also revealed that there is a possibility of suppressing accidents by the outlook improvement measures.

  • 出合い頭事故防止にむけた交差点環境の相互影響分析

    #野村拓未, 廣田正樹, #佐藤潤弥

    第17回 ITS シンポジウム 2019  2019.12 

     More details

    Event date: 2019.12

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:石川県地場産業振興センター 本館   Country:Japan  

    Crossing collision accidents are greatly influenced by environmental factors. We investigated the relationship between the environmental factors at the 1,629 intersection in Hakata-ku, Fukuoka City and the situation of the accident, and found that there were many accidents caused by straight traffic on the crossroads. In this study, we tried to clarify the cause of the accidents by investigating the mutual effects of multiple environmental factors. As a result of the analysis, it became clear that the reverse of the stop line increased the accident frequency by about 1.7 times regardless of the presence or absence of traffic lights. In addition, it was found that the frequency of accidents can be reduced by about 10% by improving the outlook by installing curved mirrors, and it was also revealed that there is a possibility of suppressing accidents by the outlook improvement measures.

    Repository Public URL: http://hdl.handle.net/2324/2551026

  • 自動車関連MEMSを中心とするICT技術動向 Invited

    廣田正樹

    MEMS Market Agenda for 2020  2017.10 

     More details

    Event date: 2018.10 - 2017.10

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (public)  

    Venue:幕張メッセ   Country:Japan  

    自動車は、MEMSセンサを利用した電子制御システムにより、排出ガス規制への対応、燃料消費量の低減、交通事故の減少など社会からの要請へ答えてきた。今後、燃費規制の強化や自動運転の普及拡大によりMEMS技術およびICT技術の重要性が増すと考えられる。本発表では、これまでの事例と今後の展望について紹介する。

  • Wireless power transmission between a NIR VCSEL array and silicon solar cells International conference

    masaki Hirota, Shiichi Iio, Yoshimi Ohta, Yuusuke Niwa, Tomoyuki Miyamoto

    20th Microoptics Conference, MOC 2015  2015.10 

     More details

    Event date: 2015.10

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Fukuoka   Country:Japan  

    Aiming widespread use of wireless power transmission, optical wireless power transmission at wavelength of 975 nm between vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays and a single crystalline Si solar cell was studied. The power generation efficiency of the cell was measured as high as 33% which was higher than the efficiency of 18% at the time of irradiation with sunlight. This is because the transmission loss is mainly eliminated. However, further reduction of the electrical resistance of the solar cell is necessary because the efficiency decreases with increasing incident energy.

  • Observation of light scattering properties of silicon nanowire arrays International conference

    Yasuyoshi Kurokawa, Yuya Watanabe, Shinya Kato, Yasuharu Yamada, Akira Yamada, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, masaki Hirota

    39th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2013  2013.1 

     More details

    Event date: 2013.6

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Tampa, FL   Country:United States  

    Silicon nanowire (SiNW) arrays were pre metal assisted chemical etching (MAE) method for the ap to solar cells. The SiNW arrays were mechanically peeled the Si substrate to obtain the optical properties of SiNW themselves. The absorptance of the SiNW array with the 10 μm is much higher than theoretical absorptance of 10 flat Si wafer. The angular distribution function (transmittance of SiNW arrays was also measured. It was that the Mie-related scattering plays an important ro strong optical confinement of the SiNW arrays.

  • Influence of surface recombination on the performance of SiNW solar cells and the preparation of a passivation film International conference

    Shinya Kato, Yuya Watanabe, Yasuyoshi Kurokawa, Akira Yamada, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, masaki Hirota

    2012 MRS Fall Meeting  2012.1 

     More details

    Event date: 2012.11

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Boston, MA   Country:United States  

    Al2O3 was deposited on silicon nanowire (SiNW) arrays by atomic layer deposition (ALD) as a passivation layer to reduce surface recombination velocity. As a result, effective minority carrier lifetime was improved from 1.82 to 26.2 μs. From this result, the relative low-surface recombination rate of 2.73 cm/s was obtained from a calculation using one-dimensional device simulation (PC1D). The performance of SiNW solar cells was also simulated by considering the surface recombination velocity on the side of SiNWs using two-dimensional device simulation. It was found that Al 2O3 deposited by ALD can improve open-circuit voltage of SiNW solar cells even if the structure has a high-aspect ratio and large surface area. Therefore, improvement in the performance of SiNW solar cells can be expected.

  • Effect of the quantum size effect on the performance of solar cells with a silicon nanouwire array embedded in SiO2 International conference

    Yasuyoshi Kurokawa, Shinya Kato, Yuya Watanabe, Akira Yamada, Makoto Konagai, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, masaki Hirota

    2012 MRS Spring Meeting  2012.12 

     More details

    Event date: 2012.4

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:San Francisco, CA   Country:United States  

    The electrical characteristics of silicon nanowire (SiNW) solar cells with p-type hydrogenated amorphous silicon oxide (Eg=1.9 eV)/n-type SiNWs embedded in SiO2/n-type hydrogenated amorphous silicon (E g=1.7 eV) structure have been investigated using a two-dimensional device simulator with taking the quantum size effects into account. The average bandgap of a SiNW embedded in SiO2 increased from 1.15 eV to 2.71 eV with decreasing the diameter from 10 nm to 1 nm due to the quantum size effect. It should be noted that under the sunlight with AM1.5G the open-circuit voltage (Voc) of SiNW solar cells also increased to 1.54 V with decreasing the diameter of the SiNWs to 1 nm. This result suggests that it is possible to enhance the Voc by the quantum size effect and a SiNW is a promising material for the all silicon tandem solar cells.

  • サーモパイル型赤外線イメージセンサ

    Masaki Hirota

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」  2010.10  電気学会

     More details

    Event date: 2010.10

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:松江、島根県  

    波長10μm帯の遠赤外線( Long Wavelength Infrared ray、 LWIR )センサアレイは、(1)照明光不要で昼夜を問わず検知が可能、(2)室温付近の温度測定が可能であり、自動車用途に非常に有効である。我々は、1991年より運輸省(現国土交通省)提唱の第一期及び第二期ASV(Advanced Safety Vehicle、先進安全自動車)プロジェクトにおいて、非冷却2次元赤外線センサアレイを用いた夜間歩行者警報システムや死角内歩行者警報システムの研究に取り組んできた。一方、米国を中心に高性能非冷却赤外線センサが開発されているがコスト面で自動車用デバイスとして広く普及するには至っていない。そこで我々は、汎用CMOSプロセスと両立する構造及び材料を用いて低コスト赤外線センサアレイの実現を目指して研究を行ってきた。
     今回我々は、画素ピッチ100μmの120×90=10800画素サーモパイル型赤外線センサアレイの実現に成功した。PSG犠牲層を用いたリフトオフ法によるAu-black膜パターン化技術が微細センサアレイにも十分適用可能なことを初めて実証した。さらに、CMOSデコーダー回路の内蔵化にも成功している。製作したセンサアレイの顕微鏡写真を図1、1画素の顕微鏡写真を図2に示す。各画素は、2点支持梁構造で2対のp型ポリシリコン及びn型ポリシリコンからなる。画素ピッチは、100μm、Au-black赤外線吸収膜サイズは、64μm角、内部抵抗が90kΩである。えられた平均感度はR=3900V/Wである。また、チップサイズは、14.4mm × 11.0mm、走査速度を低減しジョンソンノイズ低減するために画素を10列毎に12ブロックに分割しており12の並列信号出力を有し、アドレスデコーダーを内蔵している。Au-black赤外線吸収膜は、蒸着時圧力266 Paの低圧真空蒸着で形成し、厚さが約3μm、吸収率が波長範囲8-13μmで90%以上と高い値を得ている。
     本センサは、自動車用赤外線センサとし車内外の人体検知などに有効な感度及び解像度を実現している。

  • イメージセンサと生体センサの自動車応用

    福山 康弘, 太田 最実, 福本 貴文, 三浦 宏明, 廣田正樹

    電気学会 交通・電気鉄道およびフィジカルセンサ 合同研究会  2010.2  電気学会

     More details

    Event date: 2010.2

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:東京   Country:Japan  

  • サブ波長構造吸収膜を持つ赤外線センサの作製

    太田 最実, 新川 吉和, 福本 貴文, 福山康弘, 廣田正樹

    第26回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」  2009.10  電気学会

     More details

    Event date: 2009.10

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:川崎  

    波長10μm帯の遠赤外線( Long Wavelength Infrared ray、 LWIR )センサアレイは、(1)照明光不要で昼夜を問わず検知が可能、(2)室温付近の温度測定が可能であり、自動車用途に非常に有効である。我々は、1991年より運輸省(現国土交通省)提唱の第一期及び第二期ASV(Advanced Safety Vehicle、先進安全自動車)プロジェクトにおいて、非冷却2次元赤外線センサアレイを用いた夜間歩行者警報システムや死角内歩行者警報システムの研究に取り組んできた。一方、米国を中心に高性能非冷却赤外線センサが開発されているがコスト面で自動車用デバイスとして広く普及するには至っていない。そこで我々は、汎用CMOSプロセスと両立する構造及び材料を用いて低コスト赤外線センサアレイの実現を目指して研究を行ってきた。
     今回我々は、画素ピッチ100μmの120×90=10800画素サーモパイル型赤外線センサアレイの実現に成功した。PSG犠牲層を用いたリフトオフ法によるAu-black膜パターン化技術が微細センサアレイにも十分適用可能なことを初めて実証した。さらに、CMOSデコーダー回路の内蔵化にも成功している。製作したセンサアレイの顕微鏡写真を図1、1画素の顕微鏡写真を図2に示す。各画素は、2点支持梁構造で2対のp型ポリシリコン及びn型ポリシリコンからなる。画素ピッチは、100μm、Au-black赤外線吸収膜サイズは、64μm角、内部抵抗が90kΩである。えられた平均感度はR=3900V/Wである。また、チップサイズは、14.4mm × 11.0mm、走査速度を低減しジョンソンノイズ低減するために画素を10列毎に12ブロックに分割しており12の並列信号出力を有し、アドレスデコーダーを内蔵している。Au-black赤外線吸収膜は、蒸着時圧力266 Paの低圧真空蒸着で形成し、厚さが約3μm、吸収率が波長範囲8-13μmで90%以上と高い値を得ている。
     本センサは、自動車用赤外線センサとし車内外の人体検知などに有効な感度及び解像度を実現している。

  • ZnS基板に対するスルーホールフィリングめっき

    岡本尚樹, 宮本めぐみ, 齊藤丈, 近藤和夫, 福本貴文, 廣田正樹

    化学工学会 第41回秋季大会  2009.9  化学工学会

     More details

    Event date: 2009.9

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:広島   Country:Japan  

  • 赤外線センサの自動車応用

    廣田 正樹

    電気学会 全国大会 「21世紀の鉄道とセンサ技術」シンポジウム」  2009.3  電気学会

     More details

    Event date: 2009.3

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:札幌   Country:Japan  

  • 最近の自動車における赤外線利用技術 Invited

    廣田 正樹

    新技術セミナー 赤外線利用技術  2009.2  東京都立産業技術研究所

     More details

    Event date: 2009.2

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:Tokyo   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • Thermal imaging technology using a thermoelectric infrared sensor International conference

    masaki Hirota, Yoshimi Ohta, Yasuhiro Fukuyama, Masafumi Tsuji, Masanori Saito

    2008 SAE World Congress  2008.4 

     More details

    Event date: 2008.4

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Detroit, MI   Country:United States  

    This paper describes a low-cost 48 × 48 element thermal imaging camera intended for use in measuring the temperature in a car interior for advanced air conditioning systems. The compact camera measures 46 × 46 × 60 mm. It operates under a program stored in the central processing unit and can measure the interior temperature distribution with an accuracy of ±0.7°C in range from 0 to 40°C. The camera includes a thermoelectric focal plane array (FPA) housed in a low-cost vacuum-sealed package. The FPA is fabricated with the conventional IC manufacturing process and micromachining technology. The chip is 6.5 × 6.5 mm in size and achieves high sensitivity of 4,300 V/W, which is higher than the performance reported for any other thermopile. This high performance has been achieved by optimizing the sensor's thermal isolation structure and a precisely patterned Au-black absorber that attains high infrared absorptivity of more than 90%. The package incorporates a wide-angle zinc sulfide (ZnS) lens that is fabricated using moulding technology. The field of view is 60 deg. by 60 deg. The performance of the sensor is suitable for measuring car interior temperatures.

  • サーモパイル型遠赤外線センサを用いた熱画像取得技術

    福山康弘, 太田最美, 廣田正樹

    自動車技術会 2007年秋季大会学術講演会  2007.10  自動車技術会

     More details

    Event date: 2007.10

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:京都   Country:Japan  

    We have developed a small, low-cost 48x48 element thermopile type far-infrared sensor. Low cost and high reliability have been achieved because the detecting elements are fabricated using a conventional IC process and micromachining technologies and are assembled into a vacuum package integrated with a ZnS lens. And we have developed a far-inferared camera with the sensor and it can measure temperatures on the black body surface to within ±0.7°C accuracy at a frame rate of two frames per second in ambient temperature from 10 to 40°C.

  • 自動車用赤外線センサ Invited

    廣田 正樹

    第8回SEMIマイクロマシンセミナー 「自動車産業への応用と進化する実装技術」  2006.6  SEMI

     More details

    Event date: 2006.6

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:Osaka   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • サーモパイル型二次元IRセンサ

    太田最実, 福山康弘, 岩島誠, 辻正文, 上田太郎, 廣田正樹

    第12回画像センシングシンポジウム  2006.6  画像センシング技術研究会

     More details

    Event date: 2006.6

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Yokohama   Country:Japan  

  • 自動車用IRセンサ Invited

    廣田 正樹

    センサ・アクチュエータ・マイクロマシン/ウィーク2006 総合シンポジウム  2006.4  次世代センサ協議会

     More details

    Event date: 2006.4

    Language:Japanese   Presentation type:Symposium, workshop panel (nominated)  

    Venue:Tokyo   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • 自動車のセンサとMEMS技術 Invited

    廣田 正樹

    自動車の変化と機能系焼結セミナー ~ 自動車の変化とそれに伴う機能性粉末・焼結部品の動向  2006.3  粉体粉末冶金協会

     More details

    Event date: 2006.3

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:東京   Country:Japan  

  • 最近の自動車における赤外線利用技術 Invited

    廣田 正樹

    新技術セミナー 赤外線利用技術  2006.2  東京都立産業技術研究所

     More details

    Event date: 2006.2

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:Tokyo   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • パーソナルエアコンシステムのための乗員表面温度検出の研究

    辻正文, 大久保直子, 斎藤誠則, 浅岡昭, 廣田正樹

    自動車技術会 2005年秋季大会学術講演会  2005.9  自動車技術会

     More details

    Event date: 2005.9

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:福岡   Country:Japan  

    We have developed an algorithm for detecting an occupant's face position based on occupant movement information and profile information obtained from a thermal image of the car interior. This technology makes it possible to detect the surface temperature of an occupant's face by using a prototype infrared camera. We have confirmed that an air conditioner can be controlled as desired in terms of air temperature, air volume and blower mode by using the results obtained with this detection method.

  • 赤外線センサと可視化技術

    廣田 正樹

    電気学会 全国大会 「車載用センサの開発動向と課題」シンポジウム』  2005.3  電気学会

     More details

    Event date: 2005.3

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:東京   Country:Japan  

  • Low-cost infrared imaging sensors for automotive applications Invited International conference

    Masaki Hirota, Yasushi Nakajima, Masanori Saito, Makoto Uchiyama

    8th International Forum on Advanced Microsystems for Automotive Applications  2004.3  VDI/VDE Innovation + Technik GmbH

     More details

    Event date: 2004.3

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Berlin   Country:Germany  

    This paper describes two newly developed low-cost thermoelectric infrared imaging sensors, having a 48 x 32 element thermoelectric focal plane array (FPA) and a 120 x 90 element thermoelectric FPA, respectively, and two experimental vehicle systems. The FPAs provide high responsivity of 2,100 V/W and 3,900 V/W, respectively. The FPAs are basically fabricated with a conventional IC process and micromachining technologies and have a low cost potential. One experimental system incorporated in the Nissan ASV-2 is a blind spot pedestrian warning system that employs four infrared imaging sensors. This system helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a blind spot by detecting the infrared radiation emitted from the person’s body. The system can also prevent the vehicle from moving in the direction of the pedestrian. The other is a rearview camera system with an infrared detection function. This system consists of a visible camera and infrared sensors, and it helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a rear blind spot. The sensor performance is suitable for use in various safety and occupant comfort systems.

  • Thermoelectric Infrared Imaging Sensors for Automotive Applications Invited International conference

    M. Hirota, Y. Nakajima, M. Saito, F. Satou, and M. Uchiyama

    Quantum Sensing and Nanophotonic Devices, Photonics West 2004  2008.6  SPIE

     More details

    Event date: 2004.2

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:San Jose, CA   Country:United States  

    This paper describes three low-cost thermoelectric infrared imaging sensors having a 1,536, 2,304, and 10,800 element thermoelectric focal plane array (FPA) respectively and two experimental automotive application systems. The FPAs are basically fabricated with a conventional IC process and micromachining technologies and have a low cost potential. Among these sensors, the sensor having 2,304 elements provide high responsivity of 5,500 V/W and a very small size with adopting a vacuum-sealed package integrated with a wide-angle ZnS lens. One experimental system incorporated in the Nissan ASV-2 is a blind spot pedestrian warning system that employs four infrared imaging sensors. This system helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a blind spot by detecting the infrared radiation emitted from the person’s body. The system can also prevent the vehicle from moving in the direction of the pedestrian. The other is a rearview camera system with an infrared detection function. This system consists of a visible camera and infrared sensors, and it helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a rear blind spot. Various issues that will need to be addressed in order to expand the automotive applications of IR imaging sensors in the future are also summarized. This performance is suitable for consumer electronics as well as automotive applications.

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/7360348

  • Human Body Detection Technology by Thermoelectric Infrared Imaging Sensor Invited International conference

    Masaki Hirota, Yasushi Nakajima, Masanori Saito, Makoto Uchiyama

    18th International Technical Conference on the Enhanced Safety of Vehicles  2003.5  NHTSA

     More details

    Event date: 2003.5

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (invited, special)  

    Venue:Nagoya   Country:Japan  

    This paper describes a newly developed thermoelectric infrared imaging sensor, having a 48 x 32 element thermoelectric focal plane array (FPA), and two experimental vehicle systems. One is a blind spot pedestrian warning system that employs four infrared imaging sensors. This system helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a blind spot by detecting the infrared radiation emitted from the person’s body. The system can also prevent the vehicle from moving in the direction of the pedestrian. The other is a rearview camera system with an infrared detection function. This system consists of a visible camera and infrared sensors, and it helps alert the driver to the presence of a pedestrian in a rear blind spot. The FPA is basically fabricated with a conventional IC process and has the potential for low cost.

    Repository Public URL: https://hdl.handle.net/2324/7361477

  • 自動車用赤外線センサ及びセンシングシステム Invited

    廣田 正樹

    自動車電子部品技術フォーラム  2003.1  神奈川県産業技術総合研究所

     More details

    Event date: 2003.1

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:海老名, 神奈川県   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • 120×90画素サーモパイル型赤外線センサアレイ

    廣田正樹, 中島靖志, 齋藤誠則, 佐藤文紀

    映像情報メディア学会 情報センシング研究会  2002.7  映像情報メディア学会

     More details

    Event date: 2002.7

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:豊橋、愛知県   Country:Japan  

  • サーモパイル型二次元IRセンサ

    廣田正樹, 齋藤誠則, 中島靖志

    第8回画像センシングシンポジウム  2002.7  画像センシング技術研究会

     More details

    Event date: 2002.7

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Yokohama   Country:Japan  

  • 120×90 element Thermoelectric Infrared Sensor Array fabricated with CMOS Technology Invited International conference

    Masaki Hirota, Fuminori Satou, Masanori Saito, Youichi Kishi

    Infrared Technology and Applications XXVIII  2002.7 

     More details

    Event date: 2002.7

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Seattle, WA   Country:United States  

    This paper presents the first-ever 120×90 element thermoelectric IR focal plane array (FPA) fabricated wiht CMOS technology. The device has a high repsonsivity of 3,900 V/W and a low cost potential. The overall chip size is 14.4 mm × 11.0 mm with a 12.0 mm × 9.0 mm imaging area. The device structure was optimzed for a vacuum-sealed package. Each detector consists of two pairs of p-n polysilicon thermocouples and an NMOS transistor and has external dimensions of 100μm x 100μm and an internal electrical resistance of 90kΩ. The precisely patterned Au-black IR absorbing layer was achieved by both a low-pressure vapor deposition technique and a lift-off technique utilizing a PSG sacrificial layer. These techniques make it possible to obtain a Au-black pattern with the same degree of accuracy as with the CMOS process. The Au-black layer showed high absorpitivty of more than 90 percent to the light source with a wavelength of from 8 to 13μm. This performance is suitable for consumer electronics as well as automotive applications.

  • 120×90 element Thermoelectric Infrared Sensor Array by Precisely Patterned Au-black Absorber

    Masaki Hirota, Yasushi Nakajima, Yoshie Hiose, Masanori Saito, Fuminori Satou, Makito Uchiyama

    第19回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」  2002.5  電気学会

     More details

    Event date: 2002.5

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:川崎  

    波長10μm帯の遠赤外線( Long Wavelength Infrared ray、 LWIR )センサアレイは、(1)照明光不要で昼夜を問わず検知が可能、(2)室温付近の温度測定が可能であり、自動車用途に非常に有効である。我々は、1991年より運輸省(現国土交通省)提唱の第一期及び第二期ASV(Advanced Safety Vehicle、先進安全自動車)プロジェクトにおいて、非冷却2次元赤外線センサアレイを用いた夜間歩行者警報システムや死角内歩行者警報システムの研究に取り組んできた。一方、米国を中心に高性能非冷却赤外線センサが開発されているがコスト面で自動車用デバイスとして広く普及するには至っていない。そこで我々は、汎用CMOSプロセスと両立する構造及び材料を用いて低コスト赤外線センサアレイの実現を目指して研究を行ってきた。
     今回我々は、画素ピッチ100μmの120×90=10800画素サーモパイル型赤外線センサアレイの実現に成功した。PSG犠牲層を用いたリフトオフ法によるAu-black膜パターン化技術が微細センサアレイにも十分適用可能なことを初めて実証した。さらに、CMOSデコーダー回路の内蔵化にも成功している。製作したセンサアレイの顕微鏡写真を図1、1画素の顕微鏡写真を図2に示す。各画素は、2点支持梁構造で2対のp型ポリシリコン及びn型ポリシリコンからなる。画素ピッチは、100μm、Au-black赤外線吸収膜サイズは、64μm角、内部抵抗が90kΩである。えられた平均感度はR=3900V/Wである。また、チップサイズは、14.4mm × 11.0mm、走査速度を低減しジョンソンノイズ低減するために画素を10列毎に12ブロックに分割しており12の並列信号出力を有し、アドレスデコーダーを内蔵している。Au-black赤外線吸収膜は、蒸着時圧力266 Paの低圧真空蒸着で形成し、厚さが約3μm、吸収率が波長範囲8-13μmで90%以上と高い値を得ている。
     本センサは、自動車用赤外線センサとし車内外の人体検知などに有効な感度及び解像度を実現している。

  • Thermoelectric Infrared Imager and Automotive Applications Invited International conference

    Masaki Hirota, Fuminori Satou, Masanori Saito, Youichi Kishi

    Infrared Technology and Applications XXIV  2001.4 

     More details

    Event date: 2001.4

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Orlando, FL   Country:United States  

    This paper describes a newly developed thermoelectric infrared imager having a 48 X 32 element thermoelectric focal plane array (FPA) and an experimental vehicle featuring a blind spot pedestrian warning system, which employs four infrared imagers. The imager measures 100 mm in width, 60 mm in height and 80 mm in depth, weighs 400 g, and has an overall field of view (FOV) of 40 deg X 20 deg. The power consumption of the imager is 3 W. The pedestrian detection program is stored in a CPU chip on a printed circuit board (PCB). The FPA provides high responsivity of 2,100 V/W, a time constant of 25 msec, and a low cost potential. Each element has external dimensions of 190 μm x 190 μm, and consists of six pairs of thermocouples and an Au-black absorber that is precisely patterned by low-pressure evaporation and lift-off technologies. The experimental vehicle is called the Nissan ASV-2 (Advanced Safety Vehicle-2), which incorporates a wide range of integrated technologies aimed at reducing traffic accidents. The blind spot pedestrian warning system alerts the driver to the presence of a pedestrian in a blind spot by detecting the infrared radiation emitted from the person's body. This system also prevents the vehicle from moving in the direction of the pedestrian.

  • 最近の自動車における赤外線利用技術 Invited

    廣田 正樹

    新技術セミナー 赤外線・紫外線利用技術  2000.12  東京都立産業技術研究所

     More details

    Event date: 2000.12

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:Tokyo   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • 赤外線イメージセンサの自動車応用

    Masaki Hirota, Shinichi Morita

    電気学会 「光応用・視覚研究会」LAV-00-19  2000.10  電気学会

     More details

    Event date: 2000.10

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:東京   Country:Japan  

  • Thermoelectric Infrared Sensors with High Responsivity for Automotive Applications

    Masaki Hirota, Fuminori Satou, Shinichi Morita

    第17回「センサの基礎と応用シンポジウム」  2000.5  電気学会

     More details

    Event date: 2000.5

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:川崎  

    間が得る情報の90%前後は視覚からであるといわれており、太陽光の照射がない夜間では人間が得られる情報量は著しく制限されるため、昼間に比較して運転中の死亡事故率が高くなっている。我々は、夜間の視覚補助システムの一つとして赤外線を利用した視覚補助システムをASVプロジェクト(Advanced Safty Vehicle,1991-1995)で提案した。一方、半導体技術の発展により相転移利用の非常に高性能な熱型赤外線検出素子が開発され冷却型にほぼ匹敵する性能を実現するまでにいたっているが、自動車用デバイスとして広く普及させるにはさらに一層の低コスト化が必要となっている。
     そこで我々は、広く普及しているCMOSプロセスとの両立性を重視し、プロセス工程数の少ないモノリシック構造による赤外線センサ及びFocal Plane Array(FPA)の実現を目指して、サーモパイルを選択してその特性改善を行ってきた。従来、サーモパイルは低感度、応答速度が遅いという問題点を抱えていたが、サーモパイル高速化に関する手法は既に発表し、感度R=60V/W、応答時定数τ=0.27msecを達成している。
     今回我々は、残された課題であるサーモパイルの高感度化に取り組み、サーモパイル長と開口率を両立可能な構造の採用、微細化プロセスやAu-black膜の微細なパターニングによって、圧力7.33Paにおいて感度R=2100V/W、応答時定数τ=25msecを達成した。本講演では、サーモパイルの高感度化に必要な設計手法及びシミュレーション、PSG犠牲層を用いたリフトオフ法によってAu-black膜の微細なパターニングを実現したサーモパイル構造、製造プロセスに言及する。
     サーモパイルが高感度化には(1)温点と冷点間の大きな熱抵抗、(2)大きな開口率、(3)高い赤外線吸収率を実現しなくてはならない。(1)では (サーモパイル長)/(サーモパイル幅)を大きくする必要があるがメンブレンの残留応力によって限界があった。さらに(2)の実現には本センサ(図1)のような対称性の低いセンサ構造を採用せねばならずこの点でも残留応力の低減が必須となる。我々は既存プロセスとの互換性を重視しLP-CVD法で成膜したSiNメンブレンへイオン注入による残留応力の低減を行いセンサ構造の実現に成功した。また、(3)に関しては、PSG犠牲層を用いたリフトオフ法によってAu-black膜の微細なパターニングを採用したが本センサ (図1)ような比較的脆弱な構造にも適用可能なことを新たに示した。
     今回作成した素子は図1に示すもので外寸160μm角、Au-black赤外線吸収膜が116μm角、開口率52%であり、低応力化した100nm厚のSiNメンブレン上にp型ポリシリコン及びn型ポリシリコンを交互に配置しAl薄膜によって接続された6対のサーモパイルを形成した。さらに、最表面にはパターン化したAu-black赤外線吸収膜を形成した。

  • 48×32画素サーモパイル型赤外線アレイセンサ Invited

    廣田正樹, 佐藤文紀, 齊藤誠則, 森田信一

    神奈川県産学公交流研究発表会  1999.10  神奈川県産業技術総合研究所

     More details

    Event date: 1999.10

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:海老名、神奈川県   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • 低コスト赤外線センサの弾薬への応用 Invited

    柴田奈巳, 安井英己, 廣田正樹, 森田信一, 佐藤文紀

    第8回弾道学研究会  1999.6  弾道学研究会

     More details

    Event date: 1999.6

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:海老名、神奈川県   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • Linear thermopile array for fast searching Invited International conference

    Nami. Shibata, Masaki Hirota, Fuminori Satou, Hidemi Yasui, Shinichi Morita

    Infrared Technology and Applications XXV  1999.4  SPIE

     More details

    Event date: 1999.4

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:Orlando, FL   Country:United States  

    A linear thermopile array with characteristics of high responsivity, fast response and low cost has been developed for use in searching for and detecting heat-radiating objects. The thermopile is fabricated by means of a silicon surface micromachining, compatible Si CMOS process and a lift-off technique, which results in a precisely patterned Au black absorption layer. The dynamic signal-to-noise ratio is proposed as a new figure of merit for evaluating thermal infrared sensors and is used to design the thermopile configuration so as to obtain optimum responsivity and thermal time constant. The newly fabricated thermopile array is composed of a zigzag arrangement of two rows of seven infrared sensing elements and achieves responsivity of 230 V/W and a thermal time constant of 0.5 msec. The array, incorporating an optical system with a 30-mm-diameter lens and an focal ratio (F/#) of 0.74, provides a dynamic S/N ratio of 6.9 at a scanning speed of 1,000 m/s and a distance of 80 m for a target with a background temperature difference of 25 °C.

  • 自動車用サーモパイル素子

    Masaki Hirota, Shinichi Morita

    日本赤外線学会第22回定例研究会  1999.2  日本赤外線学会

     More details

    Event date: 1999.2

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:東京   Country:Japan  

  • Infrared Sensor with Precisely Patterned Au-Black Absorption Layer Invited International conference

    Masaki Hirota, Shinichi Morita

    Infrared Technology and Applications XXIV  1998.7 

     More details

    Event date: 1998.7

    Language:English   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:San Diego, CA   Country:United States  

    Thermoelectric infrared sensors has been fabricated by adding to the CMOS process a surface micromachining technique and a highly accurate process for forming an infrared radiation absorbing layer. The sensor, or thermopile, consists of alternating areas of p-type and n-type polysilicon connected in series on a Si3N4 layer. An anisotropic etching technique using hydrazine is employed to form a thermally isolated membrane. While a Au-black layer for infrared radiation absorption provides the best absorption efficiency over a broad infrared wavelength region, it has been difficult to pattern the layer precisely. Patterning is accomplished by forming the Au-black layer by a low-pressure vapor deposition technique on amorphous Si and a PSG sacrificial layer and then removing it on PSG by the lift-off technique or wet etching PSG. This technique makes it possible to obtain a Au-black pattern with the same degree of accuracy as with the CMOS process. As a result, sensor performance has been improved and a device array has also been achieved. A simple sensor design method has been established by which simulations are easily conducted using a thermal equivalent circuit based on the CMOS process. Prototype sensors, having external dimensions of 160 mm x 160 mm, achieved responsivity of 300, 149 and 60 V/W and a time constant of 2.0, 0.46 and 0.27 msec in the air, respectively. These performance figures surpass the performance reported to date for thermoelectric infrared sensors

  • A High Speed Thermoelectric Infrared Sensor by CMOS Technology

    Masaki Hirota, Shinichi Morita

    第14回「センサの基礎と応用シンポジウム」  1996.6  電気学会

     More details

    Event date: 1996.6

    Language:Japanese   Presentation type:Oral presentation (general)  

    Venue:川崎  

  • 複合反射鏡を用いたGaAs/AlGaAs面発光レーザアレー

    廣田正樹, 坂口孝浩, 小山二三夫, 伊賀健一

    第40回応用物理学関係連合講演会  1993.3  応用物理学会

     More details

    Event date: 1993.3

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:福岡   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

  • Intelligent power device having large immunity from transients in automotive applications International conference

    T. Matsushita, T. Mihara, H. Ikeda, masaki Hirota, Y. Hirota

    Proceedings of the 2nd International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs - ISPSD '90  1990.12 

     More details

    Event date: 1990.4

    Language:English  

    Venue:Tokyo, Jpn   Country:Other  

    A novel IPD (intelligent power device) technology for an automotive high-side switch has been developed which is applicable to devices up to the 60-V range. The fabrication process includes only one-time epitaxial growth. A new vertical DMOS FET with built-in cellular Zener diodes has also been developed. The avalanche capability of the DMOS is about 10 times greater than that of the conventional one. The control circuits of the developed IPD are protected against battery line transients by a 60-V Zener diode between the VDD and VSS terminals and two voltage limiters.

  • RTA+低温FA法により形成した浅いP+拡散層の評価

    廣田正樹, 押川圭宏, 志智雄之, 井上靖秀, 松清健二, 長谷川政弘

    第50回応用物理学会学術講演会  1989.10  応用物理学会

     More details

    Event date: 1989.10

    Language:Japanese   Presentation type:Public lecture, seminar, tutorial, course, or other speech  

    Venue:福岡   Country:Japan  

    近年、カーエレクトロニクス技術の進歩によって自動車には、エンジン制御、ABS(Anti-lock Brake System)、エアバッグ等を電子制御システムあるいはナビゲーションシステムなどの情報機器が搭載されており、排気ガス浄化、省燃費、快適性や安全性向上などの社会的な要請に応えてきている。さらに、レーザレーダー式車間自動制御システムや夜間暗視装置などの新しい赤外線応用システムの実用化も始まっている。本稿では、最近の自動車応用例を中心に赤外線技術の利用状況を紹介する。

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MISC

  • Report on OPIC2019 the 1st Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2019)

    @Tomoyuki Miyamoto, @Noriyuki Yokouchi, Masaki Hirota, and @Takeo Maruyama

    レーザー学会誌  レーザー研究   2019.8

     More details

    Language:English   Publishing type:Internal/External technical report, pre-print, etc.  

    Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT) is an international conference on optical wireless power transmission, optical fiber power transmission, and related technologies. The 1st Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2019)†1 was held on April 23 (Tue.) - 25 (Thu.), 2019 at PACIFICO Yokohama in Yokohama, Japan as one of conferences of the OPTICS & PHOTONICS International Congress 2019 (OPIC2019)†2. OWPT2019 was intended to provide a central forum for the update and review of scientific and technical information on optical wireless power transmission and optical fiber power transmission covering a wide range of fields from fundamental research to systems and applications. This conference was sponsored by Optical Wireless Power Transmission Committee, The Laser Society of Japan in cooperation with several academic societies and associations.
    Optical wireless power transmission and optical fiber power transmission, which are power transmission methods using light, are attractive compared with existing wireless power transmission using electromagnetic wave because method using light has various advantages such as long-distance transmission, small size, no-electromagnetic interference, etc. The methods may lead to improvement of convenience of electrical equipment, application to a system in where power supply becomes a problem, and creation of a new system. Though this system has high feasibility based on light source and solar cell, there are only limited research and development application cases until now. Therefore, there has been no appropriate place to discuss the related devices, systems, and applications, and the first international conference was decided to be held in order to support the future extension of this field and to activate it. In this conference, there is the significance of strengthening the intensive discussion of various themes as well as the networking of the optical power supply related researchers.

  • サーモパイル型二次元IRセンサ Invited Reviewed

    Masaki Hirota

    IMAGE LAB   Vo. 16 ( No.7 )   5 - 8   2005.7   ISSN:0915-6755

     More details

    Authorship:Lead author, Last author, Corresponding author   Language:Japanese   Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (trade magazine, newspaper, online media)   Publisher:JAPAN INDUSTRIAL PUBLISHING CO., LTD.  

    人体放射遠赤外線を検知する48×32画素及び120×90画素サーモパイル型二次元IRセンサを開発した.本センサは、汎用CMOSプロセスとマイクロマシニング技術を融合して作製したもので低コスト化が容易であり、自動車用途に加えて民生品応用にも有望である.さらに、本センサ使った死角内歩行者警報システムを開発し日産ASV-2に搭載した.本システムは車両発進時に歩行者存在方向への発進を抑止し死角事故低減を目的とするものである.

  • 二次元IRセンサと死角内歩行者警報システム Invited

    Masaki Hirota

    Journal of Society of Automotive Engineers of Japan   56 ( 4 )   59 - 63   2002.4

     More details

    Authorship:Lead author, Last author, Corresponding author   Language:Japanese   Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal)   Publisher:Society of Automotive Engineers of Japan  

    This paper describes a newly developed 48×32 element two-dimensional termoelectric infrared sensor array with responsivity of 2 100 V/W and a blind spot pedestrian warning system developed in Nissan ASV-2 program. This system alerts the driver to pay attention to the presence of a pedestrian in the blind spot of the driver when it detects infrared radiation emitted from a human body, and also prevents the vehicle from moving ahead toward the pedestrian. The present status of two-dimensional uncooled IR sensors is also mentioned.

  • 夜間歩行者警報システムと熱型赤外線技術 Invited

    廣田正樹、齋藤誠則、森田信一、福原裕成

    Journal of Society of Automotive Engineers of Japan   50 ( 11 )   59 - 63   1996.11

     More details

    Language:Japanese   Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal)   Publisher:Society of Automotive Engineers of Japan  

    Nighttime pedestrian monitoring system using thermal infrared technology,which is one of the promising technology of foreknowing and detecting pedestrians in advance for preventing a fatal traffic accident at nighttime,was announced in Advanced Safety Vehicle project.This system detected and discriminated pedestrians from other thermal sources at a distance of 50 meters ahead through procedures of taking far infrared image,processing image signal at a rate of real time,selecting related temperature and occupation rate in the given box and shape of pedestrians' faces,and judging the relation between face size and presetted distance area.

Industrial property rights

Patent   Number of applications: 122   Number of registrations: 82
Utility model   Number of applications: 1   Number of registrations: 1
Design   Number of applications: 0   Number of registrations: 0
Trademark   Number of applications: 0   Number of registrations: 0

Committee Memberships

  • 一般社団法人 電気学会   センサ・マイクロマシン部門役員会 研究調査担当役員   Domestic

    2009.5 - 2011.5   

  • 一般社団法人 レーザー学会   光無線給電技術専門委員会  副主査   Domestic

    2018.4 - 2021.3   

  • 一般社団法人 電気学会   センサ・マイクロマシン幹事会 役員   Domestic

    2010.5 - 2011.8   

  • 一般社団法人 電気学会   Steering committee member   Domestic

    2009.5 - 2011.5   

Academic Activities

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( Japan ) 2023.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:1,185

  • 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員会 委員 International contribution

    Role(s): Peer review

    The Institute of Electrical Engineers of Japan  ( Japan ) 2023.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:1,185

  • プログラム委員長、司会(Moderator) International contribution

    赤外線アレイセンサーフォーラム  ( Japan ) 2023.7 - 2024.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:276

  • Program Committee International contribution

    The 5th Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2023)  ( Pacifico Yokohama Japan ) 2023.4

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:90

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Future Technologies from TOKUSHIMA Japan ) 2022.11 - 2023.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:1,020

  • プログラム委員長、司会(Moderator) International contribution

    赤外線アレイセンサフォーラム2022(IRASF2022)  ( Japan ) 2022.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:500

  • プログラム委員 International contribution

    The 4th Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2022)  ( Pacifico Yokohama Japan ) 2022.4

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:80

  • Screening of academic papers

    Role(s): Peer review

    2022

     More details

    Type:Peer review 

    Number of peer-reviewed articles in foreign language journals:1

    Number of peer-reviewed articles in Japanese journals:0

    Proceedings of International Conference Number of peer-reviewed papers:72

    Proceedings of domestic conference Number of peer-reviewed papers:0

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Japan ) 2021.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:838

  • プログラム委員長、司会(Moderator) International contribution

    赤外線アレイセンサフォーラム2021(IRASF2021)  ( Japan ) 2021.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:2,080

  • プログラム委員 International contribution

    The 3rd Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2021)  ( Pacifico Yokohama Japan ) 2021.4

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:70

  • Screening of academic papers

    Role(s): Peer review

    2021

     More details

    Type:Peer review 

    Number of peer-reviewed articles in foreign language journals:2

    Number of peer-reviewed articles in Japanese journals:1

    Proceedings of International Conference Number of peer-reviewed papers:39

    Proceedings of domestic conference Number of peer-reviewed papers:17

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Japan ) 2020.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:820

  • プログラム委員 International contribution

    The 2nd Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2020)  ( Pacifico Yokohama Japan ) 2020.4 - 2021.4

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:50

  • 副主査

    第6回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2020.2 - 2018.12

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:18

  • Screening of academic papers

    Role(s): Peer review

    2020

     More details

    Type:Peer review 

    Number of peer-reviewed articles in foreign language journals:2

    Number of peer-reviewed articles in Japanese journals:0

    Proceedings of International Conference Number of peer-reviewed papers:41

    Proceedings of domestic conference Number of peer-reviewed papers:20

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Japan ) 2019.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:1,037

  • 副主査

    第5回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2019.10

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:20

  • プログラム委員長、司会(Moderator) International contribution

    赤外線アレイセンサフォーラム2019(IRASF2019)  ( Japan ) 2019.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:600

  • 副主査

    第4回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2019.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:20

  • Program chair International contribution

    The 1st Optical Wireless and Fiber Power Transmission Conference (OWPT2019)  ( Pacifico Yokohama Japan ) 2019.4

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:90

  • Screening of academic papers

    Role(s): Peer review

    2019

     More details

    Type:Peer review 

    Number of peer-reviewed articles in foreign language journals:2

    Proceedings of International Conference Number of peer-reviewed papers:57

    Proceedings of domestic conference Number of peer-reviewed papers:20

  • 副主査

    第3回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2018.12

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:21

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Japan ) 2018.10 - 2017.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:1,005

  • 委員

    第5回電気学会 パワー光源及び応用システム調査専門委員会  ( Japan ) 2018.10

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:15

  • 副主査

    第2回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2018.9

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:18

  • プログラム委員、司会(Moderator) International contribution

    赤外線アレイセンサフォーラム2018  ( Japan ) 2018.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:500

  • 副主査

    第1回 レーザー学会光無線給電技術専門委員会  ( Japan ) 2018.6

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:20

  • 幹事

    第14回光無線給電検討会  ( Japan ) 2018.2

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:21

  • Screening of academic papers

    Role(s): Peer review

    2018

     More details

    Type:Peer review 

    Number of peer-reviewed articles in foreign language journals:1

    Number of peer-reviewed articles in Japanese journals:0

    Proceedings of International Conference Number of peer-reviewed papers:58

    Proceedings of domestic conference Number of peer-reviewed papers:15

  • 幹事

    第13回光無線給電検討会  ( Japan ) 2017.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:17

  • 論文委員会 委員 International contribution

    第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム  ( Japan ) 2017.10 - 2017.11

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:777

  • 企画補佐、運営補佐(司会) International contribution

    赤外線アレイセンサフォーラム 2017  ( Japan ) 2017.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:500

  • 委員

    第8回パワー光源産業技術調査専門委員会  ( Japan ) 2017.7

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:12

  • 幹事

    第11回光無線給電検討会  ( Japan ) 2017.5

     More details

    Type:Competition, symposium, etc. 

    Number of participants:15

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Educational Activities

  • Graduate School of Integrated Frontier Sciences / The department of Automotive Science :  
    1. Automotive Electronic Devices  
    2. Automotive Sensor System  
    3. Introduction to Automotive Informatics and Control  
    4. Seminar on Automotive Informatics  
    5. Practice on Automotive Informatics  
    6. Seminar of Integrated Frontier Science

Class subject

  • 融合・越境型PTL I

    2025.4 - 2025.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2024.10 - 2025.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2024.10 - 2025.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2024.10 - 2025.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2024.10 - 2025.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2024.4 - 2025.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2024.4 - 2025.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2024.4 - 2025.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 2

    2024.4 - 2024.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2024.4 - 2024.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2024.4 - 2024.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2023.10 - 2024.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2023.10 - 2024.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2023.4 - 2024.3   Full year

  • 自動車センサーシステム特論

    2023.4 - 2023.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2023.4 - 2023.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2023.4 - 2023.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2023.4 - 2023.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2023.4 - 2023.9   First semester

  • 統合新領域最先端セミナー

    2023.4 - 2023.6   Spring quarter

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2022.10 - 2023.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2022.10 - 2023.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • International Communication Seminar 1

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • International Communication Seminar 2

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • インターンシップI

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • インターンシップII

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • インターンシップIII

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • インターンシップIV

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2022.4 - 2023.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 4

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • 自動車センサーシステム特論

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2022.4 - 2022.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2021.10 - 2022.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2021.10 - 2022.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2021.10 - 2022.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2021.10 - 2022.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • インターンシップI

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • インターンシップII

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • インターンシップIII

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • インターンシップIV

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • インターンシップ

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2021.4 - 2022.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 4

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • 自動車センサーシステム特論

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2021.4 - 2021.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2020.10 - 2021.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップI

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップI

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップII

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップIII

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップIV

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップ

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • インターンシップ

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2020.4 - 2021.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 4

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • 自動車センサーシステム特論

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2020.4 - 2020.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2019.10 - 2020.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップI

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップII

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップIII

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップIV

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップI

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップII

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップIII

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップIV

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • インターンシップ

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2019.4 - 2020.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 4

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2019.4 - 2019.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 3

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • Automotive Science Seminar 1

    2018.10 - 2019.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップI

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップII

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップIII

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップIV

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップ

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップI

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップII

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップIII

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップIV

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • インターンシップ

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2018.4 - 2019.3   Full year

  • Automotive Science Seminar 4

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • 統合新領域最先端セミナー

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • 自動車情報計測制御演習

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • 統合新領域最先端セミナー

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2018.4 - 2018.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習IV

    2017.10 - 2018.3   Second semester

  • オートモーティブサイエンス演習II

    2017.10 - 2018.3   Second semester

  • 自動車計測制御実習

    2017.10 - 2018.3   Second semester

  • Seminar Advanced Automotive Science3

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • インターンシップI

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • インターンシップII

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • インターンシップIII

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • インターンシップIV

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • インターンシップ

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • オートモーティブサイエンス特別研究C

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science1

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • Seminar Advanced Automotive Science2

    2017.4 - 2018.3   Full year

  • 自動車情報計測制御演習

    2017.4 - 2017.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習III

    2017.4 - 2017.9   First semester

  • 自動車電子デバイス特論

    2017.4 - 2017.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 2

    2017.4 - 2017.9   First semester

  • Automotive Science Seminar 4

    2017.4 - 2017.9   First semester

  • オートモーティブサイエンス演習I

    2017.4 - 2017.9   First semester

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FD Participation

  • 2022.6   Role:Participation   Title:【シス情FD】若手教員による研究紹介④「量子コンピュータ・システム・アーキテクチャの研究~道具になることを目指して~」

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2022.5   Role:Participation   Title:【シス情FD】若手教員による研究紹介④「量子コンピュータ・システム・アーキテクチャの研究~道具になることを目指して~」

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2021.3   Role:Participation   Title:オンライン授業におけるアクティブラーニングの科目の実施状況:アクティブラーニングの今後を考える

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2021.3   Role:Participation   Title:学習支援システム(M2B)講習会(オンライン開催)◇初級編・中・上級編◇13:00~15:00

    Organizer:University-wide

  • 2020.7   Role:Participation   Title:アフターコロナの大学はどうあるべきか

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2020.5   Role:Participation   Title:オンサイト授業 vs. オンライン授業:分かったこと,変わったこと

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2020.4   Role:Participation   Title:Moodleを利用したe-Learning実例報告(九州大学電気情報において)

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2019.10   Role:Participation   Title:留学生に対する授業について

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2019.7   Role:Participation   Title:AMS専攻の授業改善に関するFD

    Organizer:Undergraduate school department

  • 2019.3   Role:Participation   Title:第3回全学FD 平成33年度入学者選抜改革 【一般選抜における主体性等評価について】

    Organizer:University-wide

  • 2018.8   Role:Participation   Title:統合新領域学府FDワークショップ 異文化共生が創り出す学びの機会を最大限にいかせていますか?

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2018.6   Role:Participation   Title:第2回全学FD_新入試QUBE説明会

    Organizer:University-wide

  • 2017.12   Role:Participation   Title:平成29年度 第4回全学FD(自殺防止メンタルヘルス研修会)

    Organizer:University-wide

  • 2017.12   Role:Participation   Title:全学FD(電子教材著作権講習会)

    Organizer:University-wide

  • 2017.9   Role:Participation   Title:M2B(みつば)学習支援システム講習会

    Organizer:University-wide

  • 2017.8   Role:Participation   Title:平成29年度工学研究院・システム情報科学研究院FD(学術研究・産学官連携本部における研究支援等について、教育・研究に関する東北大学工学研究科・工学部の取組)

    Organizer:[Undergraduate school/graduate school/graduate faculty]

  • 2017.4   Role:Participation   Title:平成29年度 第1回全学FD(新任教員の研修)

    Organizer:University-wide

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Visiting, concurrent, or part-time lecturers at other universities, institutions, etc.

  • 2017  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期(集中授業)

  • 2016  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期(集中授業)

  • 2015  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2014  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2014  京都工芸繊維大学大学院 工芸科学研究科 機械システム工学部門  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:前期

  • 2013  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2012  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2011  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2010  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2009  横浜国立大学大学院 工学府 物理情報工学専攻  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:前期(集中授業)

  • 2009  東京電機大学・工学部・電気電子工学科  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:後期

  • 2008  横浜国立大学大学院 工学府 物理情報工学専攻  Classification:Part-time lecturer  Domestic/International Classification:Japan 

    Semester, Day Time or Duration:前期(集中授業)

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Teaching Student Awards

  • 統合新領域学府賞

    Year and month of award:2025.3

    Classification of award-winning students:Postgraduate student   Name of award-winning student:小薗邦生

      More details

    提出した修士論文(題目:出会い頭事故防止に関する研究ー交差点密度と交差点環境に着目した分析および対策の提案ー)が優秀な論文として認められた

Social Activities

  • 福岡県警察本部交通部交通企画課と連携して交差点での交通事故が多く発生している福岡市博多区の交通事故分析を行い、独自視点による詳細な分析結果を交通企画課に提供した。交差点事故防止の基礎データになると同交通企画課統計分析係より高い評価を得ている。

    2018

     More details

    Type:Other

    researchmap

Media Coverage

  • 2022年9月25日、「電気自動車の普及」の記事が掲載された(西日本新聞、第20面 オピニオン欄) Newspaper, magazine

    西日本新聞  西日本新聞  第20面 オピニオン欄  2022.9

     More details

    2022年9月25日 第20面 オピニオン欄に「電気自動車の普及」の記事が掲載された。また、西日本新聞me(WEB版)にも「電気自動車の普及 残る課題、近距離移動に適性」と題して掲載・配信された。

  • 2022年9月25日、「電気自動車の普及 残る課題、近距離移動に適性」と題して掲載・配信された。(西日本新聞me、WEB版) Newspaper, magazine

    西日本新聞  西日本新聞me  Web版  2022.9

     More details

    2022年9月25日 第20面 オピニオン欄に「電気自動車の普及」の記事が掲載された。また、西日本新聞me(WEB版)にも「電気自動車の普及 残る課題、近距離移動に適性」と題して掲載・配信された。

  • 2017年11月10日「電気自動車の普及に向けて」の記事が掲載された(西日本新聞、第14面 オピニオン欄) Newspaper, magazine

    西日本新聞  西日本新聞  第14面 オピニオン欄  2017.11

     More details

    2017年11月10日 第14面 オピニオン欄に「電気自動車の普及に向けて」の記事が掲載された

  • 2017年10月25日 CEATEC(MEMSセンシングネットワーク展特別シンポジウム)での講演内容が掲載された(電波新聞 九州・山口版 第一面) Newspaper, magazine

    電波新聞  電波新聞  九州・山口版 第一面  2017.10

     More details

    2017年10月25日 九州・山口版 第一面 CEATEC(MEMSセンシングネットワーク展特別シンポジウム)での講演内容が掲載された

  • 2009年12月02日、新型インフルエンザの予防対策として遠赤外線イメージセンサによる発熱している人を自動で検出する「従業員入館管理システム」の開発と導入に関する報道(日本テレビ「ズームインSUPER」、放映時間 12分) TV or radio program

    日本テレビ  ズームインSUPER  2009.12

     More details

    Author:Myself 

    2009年12月02日、新型インフルエンザの予防対策として遠赤外線イメージセンサによる発熱している人を自動で検出する「従業員入館管理システム」の開発と導入に関する報道が紹介された(日本テレビ「ズームインSUPER」、放映時間 12分)

  • 2009年12月02日、新型インフルエンザの予防対策として遠赤外線イメージセンサによる発熱している人を自動で検出する「従業員入館管理システム」の開発と導入に関する報道(TBS「イブニングワイド ホリおこしっ!」) TV or radio program

    TBS  イブニングワイド ホリおこしっ!  2009.12

     More details

    Author:Myself 

    2009年12月02日、新型インフルエンザの予防対策として遠赤外線イメージセンサによる発熱している人を自動で検出する「従業員入館管理システム」の開発と導入に関する報道が紹介された((TBS「イブニングワイド ホリおこしっ!」、放映時間 8分)

  • 2003年01月26日、遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム開発に関する報道(フジテレビ「おしえて!イワダス」 ) TV or radio program

    フジテレビ  おしえて!イワダス  放映時間 3分  2003.1

     More details

    Author:Myself 

    2002年12月11日、フジテレビ「おしえて!イワダス」 で開発中の「遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム」が紹介された(放映時間 3分)

  • 2002年12月11日、「遠赤外線センサー 低価格化に成功 一万円前後 04年、新車に搭載」の記事が掲載された(日刊工業新聞 第14面)  Newspaper, magazine

    日刊工業新聞  日刊工業新聞  第14面  2002.12

  • 2002年12月11日、遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム開発に関する報道(日本テレビ「ズームインSUPER」) TV or radio program

    日本テレビ  ズームインSUPER  2002.12

     More details

    Author:Myself 

    2002年12月11日、日本テレビ「ズームインSUPER」 で開発中の「遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム」が紹介された(放映時間 31秒)

  • 2002年12月11日、遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム開発に関する報道(テレビ朝日「やじうまプラス」 ) TV or radio program

    テレビ朝日  やじうまプラス  2002.12

     More details

    Author:Myself 

    2002年12月11日、テレビ朝日「やじうまプラス」 で開発中の「遠赤外線イメージセンサによる歩行者警報システム」が紹介された(放映時間 50秒)

  • 2002年12月11日、「死角に人が! 「遠赤」で体温感知 〜事故防止センサー「低コスト化」 日産開発〜」の記事が掲載された(朝日新聞 第3面) Newspaper, magazine

    朝日新聞  朝日新聞  第3面  2002.12

  • 2002年12月11日、「日産 低価格 人体センサー 夜間歩行者検知など利用」の記事が掲載された(日本経済新聞 第13面)  Newspaper, magazine

    日本経済新聞  日本経済新聞  第13面  2002.12

  • 2002年12月11日、「衝突時の傷害を軽減 2種類の安全装置 日産が新技術確立」の記事が掲載された(日刊工業新聞 第23面)  Newspaper, magazine

    日刊工業新聞  日刊工業新聞  第23面  2002.12

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