2024/07/28 更新

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クロカワ シユウヘイ
黒河 周平
KUROKAWA SYUHEI
所属
工学研究院 機械工学部門 教授
工学部 機械工学科(併任)
工学府 機械工学専攻(併任)
職名
教授
プロフィール
研究の概要 生体親和性を持つ多結晶材料のマルチスケールテクスチャリングに関する研究 医療用ワイヤーの静電誘引型スプレーによる高能率成膜 触覚応答遅れ時間による指先の振動知覚メカニズムの解明 多結晶材料の平坦化加工に関する研究. 難加工半導体基板の高能率研磨に関する研究. CO2吸収剤の高効率利用に関する研究. コロイダルセリア砥粒による高品位・高能率研磨に関する研究. CMP中の研磨砥粒の挙動観察 超高速断続切削加工に関する研究 歯車の接触問題全般.特に,負荷時の歯当たり,かみ合い伝達誤差の解析および高精度測定. 歯車のエンドミル加工・ポリッシュ研削と運転性能に関する研究. 画像処理を用い知能化精密位置決めを利用した表面粗さ自動測定システムの開発. 工学表面の形状・粗さ測定およびトポグラフィのキャラクタリゼーション. 微小径ロータリエンコーダ開発のためのナノマシニング. 微小モジュール歯車の歯面トポグラフィ計測. ホブ切りにおける切りくず生成と切りくず流れの高速過渡現象の観察. 切りくずのかみ込みに関する基礎研究. 高強度球状黒鉛鋳鉄歯車の長寿命域疲労特性に関する研究. 高速・高精度CNC三次元測定機の開発. 未知形状三次元自由曲面の計測・評価. 高圧マイクロジェット(HPMJ)によるCMPパッドの非破壊コンディショニング. CMPパッドのダイヤモンドコンディショニングと加工特性. 有機EL膜の均一平坦化成膜法. 代替砥粒および革新的研磨技術を活用した精密研磨向けセリウム低減技術の開発. 半導体デバイス3次元実装用TSV成型のためのレジスト成膜装置の開発. 1998年3月〜1999年3月まで,ドイツ連邦共和国 Aachen工科大学客員研究員.CMMを用いた三次元自由曲面の測定および実加工工程へのフィードバックのためのパラメータ導出に関する研究に従事. International Conference on Planarization/CMP Technology ICPT2014 Program Chair. International Conference on Planarization/CMP Technology ICPT2023 Conference Chair. International Conference on Planarization/CMP Technology ICPT2015,ICPT2016, ICPT2017, ICPT2018, ICPT2019, ICPT2022, ICPT2023 Executive Committee Member, Vice-President. International Conference on Planarization/CMP Technology ICPT2024 Executive Committee Member, President. 日本機械学会 フェロー. 日本機械学会 代表会員. 日本機械学会 機素潤滑設計部門 ME技術企画委員会 委員. 日本機械学会 機素潤滑設計部門 運営委員. 日本機械学会 RC293 分科会 主査. 日本機械学会 P-SCD407 分科会 幹事. 精密工学会 副会長. 精密工学会 理事. 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 委員長. 精密工学会 超精密加工専門委員会 幹事. 精密工学会 知的ナノ計測専門委員会委員. 教育の概要 機械製作法に関する講義. 加工機器・計測機器に関する講義. 精密加工・計測に関する講義. 技術英語に関する講義. 機械要素に関する設計製図. NC 工作機械による自由曲面を含む加工演習. 歯車の歯切りおよび測定に関する実験. 表面形状・粗さ測定・評価に関する実験. 工学の入門となるべき体験学習. 創造性・アイディアを養う設計製図. 日本語コミュニケーションに関する講義. 創造工房ロボコンチームの顧問団. 1998年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best 8. 2003年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best 8. 2006年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 特別賞受賞. 2007年の知能ロボットコンテスト出場チームの顧問で,テクニカルコース 真田賞受賞. 2009年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best8(7位) および 特別賞受賞. 2011年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best4(3位) およびデザイン賞受賞. 2012年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best 8 および技術賞&特別賞のダブル受賞. 2013年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best8(7位). 2016年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best4(4位) およびデザイン賞&特別賞のダブル受賞. 2018年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best 4(3位)およびアイディア賞&特別賞のダブル受賞. 2019年のNHKロボットコンテスト出場チームの顧問で,全国大会 best 4およびデザイン賞受賞. 機械工学専攻 専攻長. システムLSI研究センター委員会委員. 価値創造型半導体⼈材育成センター 半導体製造研究開発部門教員.
外部リンク

学位

  • 博士(工学)

経歴

  • なし

    なし

  • なし

研究テーマ・研究キーワード

  • 研究テーマ:鍛造歯車の加工性状調査とEV用歯車適用を目指した運転性能に関する研究

    研究キーワード:歯車,鍛造,EV,運転性能

    研究期間: 2024年4月

  • 研究テーマ:パワー半導体材料の研削特性と新コンディショニング法に関する研究

    研究キーワード:パワー半導体,研削,コンディショニング,高圧マイクロジェット

    研究期間: 2024年4月

  • 研究テーマ:静電誘引形スプレーによる医療用ワイヤーのマスクレス高能率成膜に関する研究

    研究キーワード:コーティング, 薄膜,静電誘引,スプレー,マスクレス,医療用ワイヤー

    研究期間: 2019年4月

  • 研究テーマ:ポリッシュ研削を施した歯車の加工面性状と運転性能

    研究キーワード:ポリッシュ研削, 歯車, 表面性状, 運転性能

    研究期間: 2019年4月

  • 研究テーマ:超高速切削加工による歯車の加工面性状と運転性能

    研究キーワード:超高速切削, 歯車, 表面性状, 運転性能, エンドミル

    研究期間: 2019年4月

  • 研究テーマ:生体親和性を持つ多結晶材料の表面マルチスケールテクスチャリングに関する研究

    研究キーワード:生体親和性,多結晶,表面粗さ,テクスチャリング,加工

    研究期間: 2018年4月

  • 研究テーマ:触覚応答遅れ時間による指先の振動知覚メカニズムの解明

    研究キーワード:振動,知覚,触覚,指先,遅れ時間

    研究期間: 2018年4月

  • 研究テーマ:プラズマ融合CMPによるCVD多結晶SiCの平坦化加工

    研究キーワード:平坦化, CMP, プラズマ, SiC

    研究期間: 2017年4月

  • 研究テーマ:非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究

    研究キーワード:レーザー, プローブ,非接触,三次元形状計測

    研究期間: 2016年4月

  • 研究テーマ:CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明

    研究キーワード:CMP, スラリー,砥粒挙動,メカニズム

    研究期間: 2016年4月

  • 研究テーマ:凝集コロイダルセリア砥粒を用いた酸化膜の高品位・高能率CMPに関する研究

    研究キーワード:CMP, コロイダルセリア,凝集,酸化膜

    研究期間: 2015年4月

  • 研究テーマ:CO2吸収剤の高効率利用に関する研究

    研究キーワード:CO2,吸収剤,スプレー,微細加工

    研究期間: 2015年4月

  • 研究テーマ:静電誘引形スプレーを利用した薄膜塗布膜厚制御に関する研究

    研究キーワード:コーティング, 薄膜,静電誘引,スプレー

    研究期間: 2014年4月

  • 研究テーマ:CMP研磨パッドの清浄度評価に関する研究

    研究キーワード:CMP(Chemical Mechanical Polishing),クリーニング,コンディショニング,ポリシングパッド,スラリー

    研究期間: 2014年4月

  • 研究テーマ:難加工材料ワイドギャップ半導体基板の高能率精密研磨に関する研究

    研究キーワード:CMP(Chemical Mechanical Polishing),難加工材料,パワーデバイス

    研究期間: 2012年4月

  • 研究テーマ:有機薄膜太陽電池製造法に関する研究

    研究キーワード:有機薄膜,太陽電池,噴霧,塗布,成膜,CMP(Chemical Mechanical Polishing)

    研究期間: 2010年4月

  • 研究テーマ:希少金属代替材料プロジェクト/精密研磨向けセリウム量低減技術開発及び代替材料開発/代替砥粒及び革新的研磨技術を活用した精密研磨向けセリウム低減技術の開発

    研究キーワード:セリウム,セリア,レアメタル,ガラス,研磨,代替,CMP

    研究期間: 2009年7月 - 2014年3月

  • 研究テーマ:ホブコーティング膜の耐摩耗性向上に関する研究

    研究キーワード:歯車,切削,ホブ,コーティング,耐摩耗性

    研究期間: 2008年4月

  • 研究テーマ:未知形状三次元自由曲面の測定・評価.

    研究キーワード:未知形状,自由曲面,三次元測定機,測定,精度,評価

    研究期間: 2008年4月

  • 研究テーマ:有機EL膜の均一平坦化成膜法に関する研究

    研究キーワード:有機EL, 噴霧,塗布,成膜,CMP(Chemical Mechanical Polishing)

    研究期間: 2008年4月

  • 研究テーマ:CMPパッドのダイヤモンドコンディショニングと加工特性に関する研究.

    研究キーワード:ダイヤモンド砥石, CMP(Chemical Mechanical Polishing),コンディショニング,ポリシングパッド,カットレート,スラリー

    研究期間: 2007年4月

  • 研究テーマ:高圧マイクロジェットによるCMPパッドの非破壊コンディショニングに関する研究

    研究キーワード:HPMJ, CMP(Chemical Mechanical Polishing),コンディショニング,ポリシングパッド,スラリー

    研究期間: 2007年4月

  • 研究テーマ:高速・高精度CNC三次元測定機の開発.

    研究キーワード:CNC,三次元測定機,精度,アルゴリズム

    研究期間: 2006年4月

  • 研究テーマ:微小径ロータリエンコーダ開発のためのナノマシニング

    研究キーワード:計測,ロータリエンコーダ,ナノマシニング

    研究期間: 2004年4月

  • 研究テーマ:微小モジュール歯車の歯面トポグラフィ計測

    研究キーワード:微小モジュール,トポグラフィ,計測

    研究期間: 2004年4月

  • 研究テーマ:工学表面の形状・粗さ測定およびトポグラフィのキャラクタリゼーション.

    研究キーワード:表面形状キャラクタリゼーション ,トポグラフィ計測

    研究期間: 1999年4月

  • 研究テーマ:画像処理を用い知能化精密位置決めを利用した表面粗さ自動測定システムの開発.

    研究キーワード:表面粗さ,自動測定,制御,画像処理 ,知能化精密位置決め

    研究期間: 1997年4月

  • 研究テーマ:歯車のかみあい伝達誤差の解析および高精度測定.

    研究キーワード:歯車のかみあい精度,マイクロギヤシステムテクノロジー

    研究期間: 1995年4月

  • 研究テーマ:歯車の接触問題・特に,負荷時の歯当たり計測評価

    研究キーワード:歯車の歯当たり ,接触問題,表面形状キャラクタリゼーション,トポグラフィ計測

    研究期間: 1992年4月

受賞

  • 学会功績賞

    2024年3月   公益社団法人精密工学会   2023年度 公益社団法人精密工学会 功績賞

  • ベストオーガナイザ賞

    2023年9月   公益社団法人精密工学会   2023年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • 第44次 工作機械技術振興賞 奨励賞

    2023年6月   公益財団法人 工作機械技術振興財団   奨励賞「高速・高精度CNC三次元歯車測定機の開発 -平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定の高速化と評価-」

  • 論文賞

    2023年3月   日本トライボロジー学会   2023年度 日本トライボロジー学会論文賞, “Non-Linear Wear Propagation Property and Prediction Method Having Influenceing Pitting Failure of Helical Gears", Tribology Online, Vol.17, No.1 (2022) 44-53

  • 部門功績賞

    2022年4月   一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門   2021年度 部門功績賞

  • 優秀講演論文表彰

    2022年1月   High Speed Precision Dry Hobbing Replacing Conventional Hobbing and Shaving

  • 感謝状

    2021年6月   国立研究開発法人 理化学研究所   IJEM Best Paper Award in 2020 に対して.

  • Best Paper Award in 2020

    2021年3月   International Journal of Extreme Manufacturing  

  • Best Paper Award

    2020年11月   The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)  

  • 一般社団法人日本機械学会 年次大会 機素潤滑設計部門 優秀講演賞

    2019年4月   一般社団法人 日本機械学会   歯面に溝を有する仮想高周波振動フェースギヤの設計

  • 一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門 第18回部門講演会 優秀講演賞

    2019年4月   一般社団法人 日本機械学会   トロコイド干渉によるはすば歯車のピッチング損傷(基礎円付近の歯面損傷観察)

  • 岩木トライボコーティングネットワークアワード IWAKI AWARD優秀賞・事業賞

    2019年2月   一般社団法人 未来生産システム学協会   脱真空回転霧化式二流体スプレー法を用いた三次元スタック構造半導体デバイスへのコンフォーマル成膜技術

  • Best Paper Award

    2017年9月   The Conference Committee of ISMTII2017 (the 13th International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2017)  

  • Excellent Paper Award

    2017年7月   The 10th MIRAI Conference on Microfabricatoin and Green Technology, MIRAI2017 (The Review Committee of MIRAI2017)  

  • 第38次 工作機械技術振興賞 奨励賞

    2017年6月   公益財団法人 工作機械技術振興財団   奨励賞「蛍光観察によるCMP仕上げ研磨用ソフトパッドとウェーハ接触部の調査」

  • ベストオーガナイザ賞

    2017年3月   公益社団法人精密工学会   2017年度春期大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • 工学講義賞

    2016年11月   九州大学工学部   専攻教育科目の中でアンケートを採った結果に基づき,二次資料と合わせて受賞決定.

  • ベストオーガナイザ賞

    2016年9月   公益社団法人精密工学会   2016年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2015年9月   公益社団法人精密工学会   2015年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2015年3月   公益社団法人精密工学会   2015年度春期大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2014年9月   公益社団法人精密工学会   2014年度秋季大会オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2014年4月   公益社団法人精密工学会   2014年度春季大会のオーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2013年9月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • Best Paper Award

    2013年7月   The 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2013 Organizing Committee)   Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel

  • ベストオーガナイザ賞

    2013年5月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • Excellent Paper Award

    2013年3月   The 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, (CJUMP2013 Review Committee of Award)   Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods

  • ベストオーガナイザ賞

    2012年9月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2012年5月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2011年11月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • ベストオーガナイザ賞

    2010年11月   (社)精密工学会   オーガナイズドセッションのベストオーガナイズ

  • 工作機械技術振興賞・奨励賞

    2010年5月   (財)工作機械技術振興財団   ホブコーティング膜TiAlNの耐摩耗性能に関する基礎研究

  • 工作機械技術振興賞・奨励賞

    2010年5月   (財)工作機械技術振興財団   純水のHPMJ(高圧マイクロジェット)による発泡ポリウレタンパッドの非破壊コンディショニング

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論文

  • CMP characteristics of quartz glass substrate by aggregated colloidal ceria slurry 査読

    Kaito Wakamatsu, Syuhei Kurokawa, Takaaki Toyama, Terutake Hayashi

    Precision Engineering   60   458 - 464   2019年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.precisioneng.2019.06.014

  • Evaluation of Pitch Deviations with Comprehensive Representation Suitable for Engagement Evaluation in Different Types of Gears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, and Toshiro DOI

    International Journal of Automation Technology   5 ( 2 )   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Impact of Reduction in CeO2 Slurry Consumption for Oxide CMP ---Approach from Alternative Slurries and Pad Groove Patterns--- 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoji MATSUKAWA, Kiyoshi SESHIMO, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasunori KAWASE

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Characteristics of Sidebands of Mesh Frequency Caused by Gear Eccentricity ---Identification of Indices of Amplitude Modulation under Load by Transmission Error Measurement--- 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of the International Conference on Gears   VDI-Berichte 2108.1   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Comprehensive Representation of Pitch Deviations Suitable for Engagement Evaluation in Different Types of Gears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 10th International Symposium on Measurement and Quality Control   2010年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Systematic Error by Temperature Transition of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears 国際誌

    Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI

    Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Gear Measuring Machine and Measurement of Tooth Root and Bottom Profiles of Cylindrical Gears 査読 国際誌

    Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, Tetsuya TAGUCHI, Nagisa KOYAMA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture   2010年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of a grating disk of a microrotary encoder for measurement of meshing accuracy of microgears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA and Yasutsune ARIURA

    The International Journal of Advanced Manufacturing Technology   46 ( 9 )   2010年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Evaluation of gear engagement accuracy by Transmission Error with sub-microradian resolution 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI

    International Journal of Surface Science and Engineering   2009年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement--- 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI

    Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • スプレー式洗浄の粒子解析と洗浄力に関する考察(二流体スプレーと高圧マイクロジェットの洗浄力比較) 査読

    宮地計二,黒河周平,清家善之,小林義典,山本浩之,土肥俊郎

    精密工学会誌   2009年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Pad Conditioning Using a High Pressure Micro Jet (HPMJ) to Improve Life Span of Unwoven Fabric Pads in CMP for Silicon Wafers 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Keiji Miyachi, Yoshiyuki Seike, Shinichi Izumikawa, Shinichi Haba, and Toshiro Doi

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究(粒子挙動解析と洗浄実験による考察) 査読

    宮地計二,黒河周平,清家善之,山本浩之,小林義典,土肥俊郎

    精密工学会誌   2008年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Application of Angle Measurement with Sub-micro Radian Resolution to Detect Nanometer Engagement of a Gear Pair 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Bekki Atsushi, Yoji Matsukawa, Toshiro Doi

    Proc. of the International Conference on Precision Measurement, ICPM2008   2008年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Automatic leveling procedure by use of the spring method in measurement of three-dimensional surface roughness 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Yasutsune Ariura, Tatsuyuki Yamamoto

    Proc. of the 4th International Symposium on Precision Mechanical Measurements, ISPMM2008   2008年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of a Grating Disk of a Micro Rotary Encoder for Measurement of Meshing Accuracy of Micro Gears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2007)   2007年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • ホブ切り過渡現象の観察と切りくず生成機構の解明 (第4報,舞いツール基礎試験における切りくず生成時の形態とかみ込みの関係) 査読

    梅崎洋二,有浦泰常,黒河周平,井島有朋

    日本機械学会論文集C編   2007年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Measurement of Tooth Pair Deflections With Ultra High Resolution Encoders and Prediction of Transmission Error Under Load in High Precision 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the ASME 2007 International Design Engineering Technical Conferences & Computers and Information in Engineering Conference, IDETC/CIE 2007, DVD-ROM   2007年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • インボリュート円筒歯車の偏心を考慮したかみ合い伝達誤差解析 (偏心を伴う歯車かみ合い伝達誤差厳密解の導出) 査読

    黒河周平,有浦泰常,中西拓也

    日本機械学会論文集C編   2007年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Nano Manufacturing of a Small-tipped Stylus for Measurement of Micro-Machine Elements with Concave Surfaces 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA and Shinya IMAMURA

    Proc. of the 35th International MATADOR Conference   2007年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Identification of the Parameters of Gear Eccentericity by Using Measured Transmission Error Curves 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA and Akio KAWAMOTO

    Proc. of the International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2007, CD-ROM   2007年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Topography measurement of gear tooth flanks with CMM and evaluation of pitch deviations with the new definition 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA

    The Journal of Chinese Society of of Mechanical Engineers   2006年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Influence of gear eccentricity on the characteristics of noise spectrum (Frequency modulation and sidebands of mesh frequency) 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the International Conference on Mechanical Transmissions, ICMT'2006   2006年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Evaluation of shot peened surfaces using characterization technique of three-dimensional surface topography 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Journal of Physics   13   9 - 12   2005年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1742-6596/13/1/003

  • Evaluation of Transmission Error with Gear Eccentricity by Measurement and Approximate Formula 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   2005年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Polishing Mechanisms in CMP through Slurry Particle Behavior and Pad Surface Topography Observation Affecting Polishing Performance 査読 国際誌

    @Syuhei KUROKAWA, #Toya TAKAHASHI, @Terutake HAYASHI, @Shuntaro HAYASHI, @Yutaka WADA, @Hozumi YASUDA and @Hirokuni HIYAMA

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2023)   2023年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Non-Linear Wear Propagation Property and Prediction Method Having Influencing Pitting Failure of Helical Gears 査読 国際誌

    @Koji KUMAGAI, @Hanlin LIU and @Syuhei KUROKAWA

    Tribology Online   17 ( 1 )   44 - 53   2022年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.2474/trol.17.44

  • Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip 査読 国際誌

    #Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)   1 - 4   2021年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • High Speed Precision Dry Hobbing Replacing Conventional Hobbing and Shaving 査読 国際誌

    @Tatsuro TAKAGI, @Noritaka FUJIMURA, @Keisuke YOSHIKAWA, @Kazuyuki ISHIZU, #Manami GOTO, and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)   1 - 4   2021年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Clarification of polishing mechanism focusing on abrasive particle behavior in CMP -Quantification of abrasive particles retained in the contact area of polishing pads with different removal rates- 査読 国際誌

    #Syuntaro HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Naoyuki HANDA, @Yutaka WADA, and @Hirokuni HIYAMA

    Proc. of Asian Workshop on Planarization/CMP Technology 2021   5 - 8   2021年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Measurement of Molar Concentration Spectrum Based on Number-weighted Particle Size Distribution for Poly-dispersed Particles Using Nanoparticle Chip 査読 国際誌

    #Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 23th IMEKO World Congress   1 - 4   2021年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Measurement of molar concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip 査読 国際誌

    #Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

    Precision Engineering   74   460 - 468   2021年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.08.008

  • Characteristic of SiC Slurry in Ultra Precision Lapping of Sapphire Substrates 査読

    Tao TIN, ZhiDa WANG, Toshiro DOI, @Syuhei KUROKAWA, Zhe TAN, XiaoKang DING, Huan LIN

    International Journal of Precision Engineering and Manufacturing   22 ( 6 )   1021 - 1029   2021年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1007/s12541-021-00521-1

    その他リンク: https://link.springer.com/article/10.1007/s12541-021-00521-1

  • A high quality surface finish grinding process to produce total reflection mirror for x-ray fluorescence analysis 査読

    Hitoshi OHMORI, Shinjiro UMEZU, Yunji KIM, Yoshihiro UEHARA, Hiroshi KASUGA, Teruko KATO, Nobuhide ITOH, @Syuhei KUROKAWA, Takayuki KUSUMI, Yugo SUGAWARA, and Shinsuke KUNIMURA

    International Journal of Extreme Manufacturing   2 ( 1 )   1 - 7   2021年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1088/2631-7990/ab7a29

  • In-process tool wear detection by measuring the slip of AC induction motor in intermittent cutting process 査読

    Mitsuaki MURATA, Naoki HARADA, Amine GOUARIR and @Syuhei KUROKAWA

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   15 ( 1 )   1 - 9   2021年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1299/jamdsm.2021jamdsm0011

  • Measurement of molar concentration spectrum for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip 査読

    #Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI, and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)   1 - 2   2020年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • ナノ粒子チップを用いた多分散ナノ粒子の粒度分布計測 査読

    #朱 家慶,@林 照剛,@黒河 周平

    日本機械学会論文集   86 ( 892 )   1 - 19   2020年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    For poly-dispersed nanoparticles, which have more than two peaks on their particle size distribution (PSD), it is important to determine the mean particle diameter and their dispersion at each peak in a liquid. Dynamic Light Scattering (DLS), that is one of a typical nanoparticle sizing method, has difficulty to determine the several peaks in the PSD for the poly-dispersed particles. On the other hand, Image analysis methods (IA) can distinguish the peak for both the primary particle and secondary particle in the PSD of poly-dispersed particles accurately. However, IA is a time-consuming method and it is difficult to apply the measurement of the PSD due to the requirement of measuring the large number of particles, one by one. The particles in the liquid are transferred to a substrate in air when observing the particle to measure their size and the size distribution. In this procedure, some particles usually aggregate with surrounding particles. It causes the difference between the PSD for dispersed particles in liquid and that of the particles on the substrate. In this study, we suggest a novel particle sizing method using “Nanoparticle chip”, that is nanoparticles grid on the substrate to maintain the poly-dispersed condition in the liquid, to develop IA for measuring the poly-dispersed particles in liquid. The dispersed condition of the particle on Nanoparticle chip can be kept from the condition in liquid when the particles are transferred to the substrate in air. Therefore, measuring the PSD on Nanoparticle chip is equal to measure the PSD in the liquid. In this paper, in order to verify the feasibility of the nanoparticle sizing using Nanoparticle chip to measure the PSD for poly-dispersed particles in the liquid, we performed a fundamental experiment to fabricate the Nanoparticle chip and to determine the PSD for poly-dispersed particles. In this report, it is reported that the PSD for the poly-dispersed particles, which is the mixture of 152nm particle and 498nm particle, using Nanoparticle chip.

    DOI: https://doi.org/10.1299/transjsme.20-00220

  • Shear-thickening Polishing Process for the Tungsten-cobalt Carbide Tool 査読

    Min Li, Fangzeng Song, Hitoshi Ohmori, Naohiro Nishikawa, and @Syuhei Kurokawa

    Transactions of MIRAI   8   26 - 30   2020年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Modeling and simulation of multi-materials for additive manufacturing 査読

    Md. Hazrat ALI, Gaziz YERBOLAT, and @Syuhei KUROKAWA

    International Journal on Interactive Design and Manufacturing   14   1057 - 1069   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1007/s12008-020-00678-5

  • Modelling of functionally graded materials using thermal loads 査読

    Assetbek Ashirbekob, Anuar Abilgaziyev, @Syuhei Kurokawa, Md Hazrat Ali

    Journal of Engineering Science and Technology   15 ( 3 )   1719 - 1730   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Pitting failure of helical gears induced by trochoidal interference and multidirectional, interacting wear 査読

    #Koji KUMAGAI, Yuta NAITO, @Syuhei KUROKAWA

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   14 ( 4 )   1 - 13   2020年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1299/jamdsm.2020jamdsm0060

  • Hybrid effect study of PAD-conditioning/slurry-supply by high-pressure-micro-jet (HPMJ) method during CMP process 査読

    Chengwu Wang, Toshiro Doi, Keiji Miyachi, Keiichi Tsukamoto, Tadakazu Miyashita, Syuhei Kurokawa, Li Fan, Yu Zhang, Wei Hang

    ECS Journal of Solid State Science and Technology   9 ( 3 )   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/2162-8777/ab7a0d

  • Numerical and experimental analysis of the 3D printed multi-material ankle-foot orthosis 査読

    Temirlan Otepbergenov, Zhalgas Smagulov, Anuar Abilgaziyev, Syuhei Kurokawa and Md. Hazrat Ali

    Journal of Physics: Conference Series, Volume 1510, 2019 The 10th Asia Conference on Mechanical and Aerospace Engineering 26-28 December 2019, Bangkok, Thailand   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1742-6596/1510/1/012012

  • Evaluation of Feel of Fishing Reel by Elucidating the Relationship Between Tactile Sensation and Gear Vibration

    Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

    AHFE International Conference on Affective and Pleasurable Design, 2019 Advances in Affective and Pleasurable Design - Proceedings of the AHFE 2019 International Conference on Affective and Pleasurable Design   154 - 164   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.1007/978-3-030-20441-9_17

  • Validity of quantifying sensation of fishing reel using transmission error instead of sensory human evaluation for face gear design 査読

    Tetsuo INOUE, Syuhei KUROKAWA

    Mechanical Engineering Journal   6 ( 6 )   1 - 20   2019年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1299/mej.19-00318

  • Shape optimization technique in 3D printing

    Md Hazrat Ali, Temirlan Otepbergenov, Sagidolla Batay, Syuhei Kurokawa

    3rd International Conference on Automation, Control and Robots, ICACR 2019 Proceedings of 2019 3rd International Conference on Automation, Control and Robots, ICACR 2019   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

    DOI: 10.1145/3365265.3365271

  • Surface Morphology of Femtosecond Laser Induced SiC Substrate and Effective CMP Application 査読

    @Syuhei KUROKAWA, #Chengwu WANG, @Terutake HAYASHI

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.67   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Planarization of CVD polycrystalline SiC by plasma fusion CMP 査読

    #Shuhei OKOGE, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, #Kaito WAKAMATSU

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.69   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Surface Processing for Fused Silica using Multi Shot Femtosecond Laser Beam 査読

    #Ryosuke MIZUMACHI, @Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, #Yuki HIROTSU, @Noboru HASEGAWA, @Masamoto NISHIKINO, @Thanh-hung DINH

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.70   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Accuracy improvement of gear measuring machine with coordinate measuring function -Significant factors that cause scanning errors- 査読

    #Yuto KAJITANI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, @Ryota MATSUOKA

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.120   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Nano particle sizing method based on the analysis of the nano particle diffusional motion 査読

    @Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.121   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Nano particle sizing using nanoparticle chip 査読

    @Terutake HAYASHI, #Jiaqing ZHU, @Syuhei KUROKAWA

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.122   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Polishing of Quartz Glass by Using Colloidal Ceria with Controlled Aggregation State 査読

    #Kaito WAKAMATSU, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.123   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Three-dimensional Shape Measurement using Non-contact Line Laser Probe 査読

    #Masanori KAJIKI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI

    Proceedings of the 19th International Symposium on Aerospace Technology & Manufacturing Process   P.124   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Improving the Estimation Accuracy of Fishing Reel Sensation Caused by Gear Vibration Using Tactile Response Delay Time 査読 国際誌

    @Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the VDI International Conference on Gears 2019   1 - 11   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-11

  • Development of tactile and non-tactile hybrid gear measuring machine - Pre-feasibility study of non-tactile gear measurement - 査読 国際誌

    @Ryota MATSUOKA, @Tetsuya TAGUCHI and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-6

  • Measurement of number based particle sizing distribution using nanoparticle micro array 査読 国際誌

    #Jiaqing ZHU, @Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-6

  • Three-dimensional Shape Measurement using Non-contact Line Laser Probe ‒ An abnormal phenomenon of excessive detection error ‒ 査読 国際誌

    1 - 6   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Three-dimensional coordinate measuring machines (CMMs) have drawn attention as a technique for measuring complex and diverse industrial products. There are two types of coordinate acquisition methods in CMMs, tactile and non-contact methods. We focused on the accuracy in non-contact surface measurement. In the non-contact measurement using the light section method, it is reported that the flat surface having irregularities of only 1 to 3 μm was detected as a surface having irregularities of about 340 μm. Therefore, experiments were conducted to clarify why such an abnormal phenomenon occurs. From examining the findings, it was assumed that the relation between the width of the line laser and the uneven reflection greatly contributed to the abnormal phenomenon. Specifically, to get a correct coordinate of a measured surface in the light section method, it is necessary to make the intensity of reflected light from the laser center as the strongest. However, the reflected light from a position not at the laser center may be the strongest due to the uneven reflection, which may lead to excessive detection error. In this paper, this assumption was shown to be correct by further experiments.

  • Accuracy improvement of gear measuring machine with coordinate measuring function -Significant factors of deviation in measurement- 査読 国際誌

    #Yuto KAJITANI, @Syuhei KUROKAWA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, @Ryota MATSUOKA

    Proc. of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)   1 - 6   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-6

  • Direct observation of slurry particle behavior at the interface of CMP pad and glass substrate 査読 国際誌

    @Syuhei KUROKAWA, #Atsushi WATANABE, @Terutake HAYASHI, @Naoyuki HANDA, @Yutaka WADA, @Chikako TAKATOH, @Shoichi SHIMA, and @Hirokuni HIYAMA

    Proc. of the 2019 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2019)   1 - 2   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-2

  • Acceleration of CO2 absorption rate of temperature-responsive hydrogels by precision machining and spray coating process 査読

    #Syuhei KUROKAWA, #Shuhei YAMAMOTO, @Terutake HAYASHI, and @Yu HOSHINO

    The 40th MATADOR International Conference on Advanced Manufacturing and Design   P.144   2019年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Whole Outline Scanning Measurement of Internal Gear by using CNC Gear Measuring Machine 査読

    #Syuhei KUROKAWA, #Yuuki UTSUNOMIYA, @Terutake HAYASHI, @Tetsuya TAGUCHI, and @Ryota MATSUOKA

    The 6th International BAPT Conference on Power Transmissions 2019   P.1 - P.5   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Machinability of SMART Forging Process Materials in Intermittent Cutting 2nd Report: Machinability in Normal Cutting Region and Selection of Optimum Cutting Condition 査読

    Mitsuaki Murata, Makoto Hino, Ryoichi Kuwano, Syuhei Kurokawa

    3rd International Conference on Power, Energy and Mechanical Engineering, ICPEME 2019 E3S Web of Conferences   95   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1051/e3sconf/20199501001

  • Effects of changes in gas type and partial pressure on chemical mechanical polishing property of Si substrate 査読

    Tao Yin, Kei Kitamura, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Zhaozhong Zhou, Kaiping Feng

    ECS Journal of Solid State Science and Technology   8 ( 4 )   P293 - P297   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/2.0201904jss

  • Influence of Trochoidal Interference near Base Circle of Helical Gears on Pitting Failure 査読

    #Koji KUMAGAI, @Kunihiko MORIKAWA, @Atsushi HAYATA, @Yuta NAITO and @Syuhei KUROKAWA

    The 8th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   ( TH-B-2-1 )   P1 - P2   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  • Influence of coating in square end mill using in-process tool wear detection based on electrical contact resistance 査読

    @Amine Gouarir, @Syuhei Kurokawa, @Takao Sajima, @Mitsuaki Murata

    International Journal of Automation Technology   13 ( 1 )   125 - 132   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.20965/IJAT.2019.P0125

  • Polishing Characteristics of MnO2 Polishing Slurry on the Si-face of SiC Wafer 査読

    @Tao Yin, @Tosiro Doi, @Syuhei Kurokawa, @Zhao zhong Zhou, @Kai ping Feng

    International Journal of Precision Engineering and Manufacturing   19 ( 12 )   1773 - 1780   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s12541-018-0206-9

  • A novel nano particle characterizing method using nano particle micro array 査読 国際誌

    @Terutake Hayashi, @Syuhei KUROKAWA, and #Zhu Jiaqing

    Proc. of the 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)   1 - 2   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-4

  • CMP Characteristics of Quartz Glass Substrate by Aggregated Colloidal Ceria Slurry Slurry 査読 国際誌

    #Kaito WAKAMATSU, @Syuhei KUROKAWA, and @Terutake HAYASHI

    Proc. of the 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)   1 - 4   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-4

  • High Performance CMP of Oxide Film by Controlling Aggregation State of Colloidal Ceria Slurry 査読 国際誌

    @Syuhei Kurokawa, #Takaaki Toyama, @Terutake Hayashi, @Eisaku Suda, and @Jun Tokuda

    Proc. of the 2018 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2018)   1 - 4   2018年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-4

  • Estimation of feel of fishing reel by using the tactile response delay time 査読 国際誌

    @Tetsuo Inoue and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the International Gear Conference 2018   1361 - 1371   2018年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Machinability of SMART Forged Materials in Intermittent Cutting 査読 国際誌

    @Mitsuaki MURATA, @Makoto HINO, @Ryoichi KUWANO, @Syuhei KUROKAWA

    Int. J. of Materials Science and Engineering   Vol.6 ( No.1 )   1 - 9   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.6, No.1, 1-9

    DOI: DOI: 10.17706/ijmse.2018.6.1.1-9

  • Study of Femtosecond Laser Ablation Effect on Micro-Processing for 4H-SiC Substrate 査読 国際誌

    #Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Julong YUAN, @Li FAN, @Huizong LU, @Zhe WU, @Weifeng YAO, @Yu ZHANG, and @Toshiro DOI

    Int. J. of Automation Technology   Vol.12 ( No.2 )   187 - 198   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.12, No.2, 187-198

    DOI: DOI: 10.20965/ijat.2018.p0187

  • SEM, AFM and TEM Studies for Repeated Irradiation Effect of Femtosecond Laser on 4H-SiC Surface Morphology at Near Threshold Fluence 査読 国際誌

    #Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Toshiro DOI, @Julong YUAN, @Masatoshi MITSUHARA, @Weifeng YAO, and @Kehua ZHANG

    ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol.7 ( Issue 2 )   P29 - P34   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.7, Issue 2, P29-P34

    DOI: DOI: 10.1149/2.0421712jss

  • Surface Morphology Evolution Induced by Repeated Femtosecond Laser Ablation on 4H-SiC Substrate and Its Application to CMP 査読 国際誌

    #Chengwu WANG, @Syuhei KUROKAWA, @Toshiro DOI, @Julong YUAN, @Binghai LV, and @Kehua ZHANG

    ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol.6 ( Issue 12 )   P835 - P861   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.6, Issue 12, P853-P861

    DOI: DOI: 10.1149/2.0261712jss

  • Dynamics of Photo-excitation for the Ablation of 4H-SiC Substrate using Femtosecond Laser 査読 国際誌

    #Keigo MATSUNAGA, @Terutake HAYASHI, @Syuhei KUROKAWA, #Hideaki YOKOO, @Noboru HASEGAWA, @Masaharu NISHIKINO, and @Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21   1 - 4   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-4

  • Controllable CMP of Oxide Film by Using Colloidal Ceria Slurry 査読 国際誌

    @Syuhei KUROKAWA, #Takaaki TOYAMA, @Terutake HAYASHI, @Eisaku SUDA, and @Jun TOKUDA

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2017   177 - 182   2017年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    pp.177-182

  • Whole Gear Outline Scanning Measurement of Internal Gear by Using CNC Gear Measuring Machine 査読 国際誌

    @Syuhei KUROKAWA, #Yuki UTSUNOMIYA, @Tetusya TAGUCHI, @Terutake HAYASHI, and @Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the 13th International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2017, ISMTII2017   1 - 6   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    USB-Storage, pp.1-6

  • A Novel Particle Sizing Method for Nano Abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe 査読 国際誌

    @Terutake HAYASHI, #Toshiki SERI, and @Syuhei KUROKAWA

    Int. J. of Automation Technology   Vol.11 ( No.5 )   754 - 760   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.11, No.5, 754-760

    DOI: DOI: 10.20965/ijat.2017.p0754

  • Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reel by Coordinate Measurement and Gear Transmission Error Measurement 査読 国際誌

    @Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

    Applied Mechanics and Materials   Vol.870   185 - 190   2017年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.870 pp.185-190

    DOI: DOI: 10.4028/www.scientific.net/AMM.870.185

  • Influence of Waveform Components Derived from the Transmission Error of a Face Gear Pair on a Fishing Reel based on Tactile Sensibility 査読 国際誌

    @Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA

    Precision Engineering   Vol.51   232 - 243   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Vol.51 pp.232-243

    DOI: DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.08.015

  • SiC研磨技術の現状と新加工法-強酸化剤を添加したスラリーによる加工- 査読

    @黒河周平

    砥粒加工学会誌   Vol.61 ( No.8 )   422 - 425   2017年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Plasma Fusion Chemical Mechanical Polishing as a Next Generation Processing Technology and its Applications to SiC, GaN, and Diamond Substrates 査読 国際誌

    @Hideo AIDA, @Toshiro DOI, @Yasuhisa SANO, and @Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 10th MIRAI Conference on Microfabricatoin and Green Technology, MIRAI2017 (Transaction of MIRAI)   Vol.5   70 - 75   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Vol.5 pp.70-75

  • Whole Outline Scanning Measurement for Helical Gears Including Root and Bottom Profiles 査読 国際誌

    @Syuhei KUROKAWA, #Takashi TERAOKA, #Yuki UTSUNOMIYA, @Tetusya TAGUCHI, @Terutake HAYASHI, and @Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions MPT2017-Kyoto   1 - 4   2017年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Effects of Pinion Gear Pressure Angle and Helix Angle Errors on Transmission Error of a Face Gear Modified with a Transmission Error Controlled Curve 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions MPT2017-Kyoto   1 - 5   2017年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • The Polishing Effect of SiC Substrates in Femtosecond Laser Irradiation Assisted Chemical Mechanical Polishing (CMP) 査読 国際誌

    Chengwu WANG, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Julong YUAN, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Kehua ZHANG, and Qianfa DENG

    ECS Journal of Solid State Science and Technology   Vol. 6 ( Issue 4 )   P105 - P112   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1149/2.0041704jss

  • Proposal of a face gear which generates virtual high mesh frequencyby addition of grooves on the tooth flank, and the investigation viavibration simulator and actual samples 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

    Precision Engineering   Vol. 47   321 - 332   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.09.006

  • 大型鍛鋼品の偏析帯と焼割れ発生の関係 査読

    有川 剛史, 今村 亮祐, 黒河 周平

    日本機械学会論文集   Vol. 83 ( No.845 )   1 - 17   2016年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1299/transjsme.16-00442

  • Study on low power laser processing technique with instant surface excitation using femtosecond double pulse 査読 国際誌

    Terutake HAYASHI, Keigo MATSUNAGA, Syuhei KUROKAWA, Hideaki YOKOO, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Takayuki KUMADA, Tomohiro OTOBE, Yoji MATSUKAWA, and Yasuhiro TAKAYA

    Proc. of 16th International Conference on Precison Engineeering ICPE2016   C305-8183   1 - 4   2016年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 段付厚板の熱間曲げ加工における表面疵の発生挙動および曲げ加工の適正化 ― 大型鍛鋼クランクスローの成形工程に関する研究 ― 査読

    有川 剛史, 堀江 祥平, 野崎 孝彦, 香川 恭徳, 柿本 英樹, 黒河 周平

    塑性と加工   Vol. 57 ( No.670 )   1077 - 1082   2016年11月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.9773/sosei.57.1077

  • Planarization for Translucent Polycrystalline Alumina by Surface Polishing Technique 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Leo HIRASHIMA, Terutake HAYASHI, Keiichiro WATANABE, Hiroyuki TSUJI, and Tomoki NAGAE

    Proc. of 16th International Conference on Precison Engineeering ICPE2016   C111-8207   1 - 2   2016年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Scanning Strategy of Edge Corners in Gear Outline Measurement 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yuki UTSUNOMIYA, Takashi TERAOKA, and Terutake HAYASHI

    Proc. of the International Conference on Power Transmissions 2016   917 - 921   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Gear Metrology for Gear Meshing Accuracy and Nano-Manufacturing Application to Micro Gear Engagement 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Hyomin CHA, Terutake HAYASHI, and Morihisa HOGA

    Proc. of 5th International Conference on Power Transmission BAPT2016   194 - 198   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Particle Size Ddistribution Analysis for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe 査読 国際誌

    Terutake HAYASHI, Toshiki SERI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2016   75 - 78   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMP Characteristics for SiC Substrates Irradiated by Femtosecond Laser 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Chengwu WANG, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Terutake HAYASHI, and Noboru FUKIHARU

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2016   86 - 89   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • In-Process Tool Wear Detection of Uncoated Square End Mill Based on Electrical Contact Resistance 査読 国際誌

    Amine GOUARIR, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, and Mitsuaki MURATA

    International Journal of Automation Technology   Vol. 10 ( No.5 )   767 - 772   2016年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.20965/ijat.2016.p0767

  • 大型鍛鋼品ポリマー焼入れにおける段付き丸棒のフランジ厚みが焼割れ発生に及ぼす影響―大型鍛鋼品のポリマー焼入れに関する研究― 査読

    有川 剛史, 今村 亮祐, 松宮 知朗, 沖田 圭介, 松田 真理子, 黒河 周平

    塑性と加工   Vol. 57 ( No.666 )   648 - 654   2016年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.9773/sosei.57.648

  • Study on Surface Excitation of SiC by Double Pulse Femtosecond Laser Process –Investigation of Surface Irradiation- 査読 国際誌

    2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Removal Rate Improvement in SiC-CMP and its Mechanisms 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA

    Proc. of Cross-Strait and Asia-Pacific Conference on Wafer Planarization/CMP Technology 2016, APWCMP2016   151 - 156   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Real-time evaluation of tool wear detection system under wet machining based on electrical contact resistance 査読 国際誌

    Amine GOUARIR, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, and Mitsuaki MURATA

    P4.12   311 - 312   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • High-efficiency Planarization Method Combining Mechanical Polishing and Atmospheric-pressure Plasma Etching for Hard-to-machine Semiconductor Substrates 査読 国際誌

    Yasuhisa SANO, Kousuke SHIOZAWA, Toshiro DOI, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Tadakazu MIYASHITA, Kazuto YAMAUCHI

    Mechanical Engineering Journal   Vol. 3 ( No.1 )   1 - 9   2016年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1299/mej.15-00527

  • 大型鍛鋼品ポリマー焼入れにおけるポリマー水溶液の劣化が焼割れ発生に及ぼす影響 査読 国際誌

    有川 剛史, 朴 海洋, 松宮 知朗, 今村 亮祐, 沖田 圭介, 松田 真理子, 黒河 周平

    日本機械学会論文集   Vol.82 ( No.833 )   1 - 11   2016年1月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1299/transjsme.15-00456

  • Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reels Using a Bone Conduction Speaker Based on Transmission Error of Gear Pairs and Predication by MT System 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa, Takashi MAENO, Yasutoshi MAKINO

    Mechanical Engineering Journal   Vol. 2 ( No.6 )   1 - 9   2015年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1299/mej.15-00339

  • Consideration of Femtosecond Laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing 査読 国際誌

    Chengwu WANG, Syuhei Kurokawa, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OYAMA, Terutake Hayashi, Ji ZHANG, Eiji ASAKAWA

    Applied Mechanics and Materials   Vols. 799-800   458 - 462   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: doi:10.4028/www.scientific.net/AMM.799-800

  • Proposal of a Face Gear which Generates Virtual High Mesh Frequency by Addition of Grooves on the Tooth Flank 査読 国際誌

    Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

    Proc. of International Conference on Gears, VDI-Berichte Nr.2255, 2015   2015年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • In-process Tool Wear Detection of Square End mill Based on DC Two Terminal Method 査読 国際誌

    Amine Gouarir, Syuhei Kurokawa, Mitsuaki Murata, Takao Sajima, Tetsuya Torii

    Proc. of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21, 2015   2015年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • A Study on Fluorescence Polarization Method for Analyzing Diffusional Movement of Abrasive Grain in CMP Slurry 査読 国際誌

    Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21, 2015   2015年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Optimization of Machining Conditions of Basic-Type CMP/PCVM Fusion Processing Using SiC Substrate 査読 国際誌

    Yasuhisa Sano, Kousuke SHIOZAWA, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Haruo Sumizawa, Kazuto Yamaguchi

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Proposal of Cleanliness Evaluation Method of CMP Pad and Investigation of Cleaning Effect by the High-Pressure Jet 査読 国際誌

    Masashi Kitamura, Syuhei Kurokawa, Yuta Tokumoto, Terutake Hayashi, Hirokuni Hiyama, Yutaka Wada, Chikako Takatoh

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Brownian Diffusion Analysis for Nano-Abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescence Polarization Method 査読 国際誌

    Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on Innovative Plasma Fusion CMP and its Application to Processing of Diamond Substrate 査読 国際誌

    Hideaki Nishizawa, Koki Oyama, Toshiro Karaki Doi, Hideo Aida, Seongwoo Kim, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Chengwu Wang

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • A Novel Measurement Method for Brownian Diffusion of Nano-abrasives in CMP Slurry 査読 国際誌

    Terutake Hayashi, Toshiki Seri, Syuhei Kurokawa

    Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reel by Coordinate Measurement and Gear Transmission Error Measurement 査読 国際誌

    Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

    Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Comprehensive Evaluation for Individual Gear Accuracy by Whole Circumference Scanning Measurement 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Kensuke Uesugi, Takashi Teraoka, Tetsuya Taguchi, Terutake Hayashi, Yoji Matsukawa

    Proc. of International Symposium on Measurement Technology & Intelligent Instruments 2015, ISMTII2015   2015年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of 3D Printer with Integrated Temperature Control System 査読 国際誌

    N. Mir-Nasiri, Md. Hazrat Ali, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the 4th International Conference on Informatics, Electronics & Vision, ICIEV2015   2015年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Evaluation of Handle Rotational Feeling in Fishing Reels Using a Bone Conduction Speaker Based on Transmission Error of Gear Pairs 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa, Takashi MAENO, Yasutoshi MAKINO

    Proc. of the 6th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2015   2015年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Conformal Resist Coating Technique for TSV Manufacturing Process by Electrostatic Spray 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Tomoaki HOTOKEBUCHI, Yusuke UCHIYAMA, Keiji MIYACHI, Yoshinori KOBAYASHI, Terutake Hayashi, Kazuhisa MATSUO

    Proc. of the 38th Internatinal Manufacturing Automation and Systems Technology Applications Design Organisation and Management Research (MATADOR) Conference   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Processing Characteristics of SiC Wafer by Consideration of Oxidation Effect in Different Atmospheric Environment 査読 国際誌

    Ji ZHANG, Syuhei Kurokawa, Terutake Hayashi, Eiji ASAKAWA, Chengwu WANG

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on a Novel CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type B) and Its Basic Characteristics 査読 国際誌

    Koki OYAMA, Toshiro Karaki Doi, Yasuhisa SANO, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Tadakazu MIYASHITA, Seongwoo KIM, Tsutomu YAMAZAKI, Hideaki NISHIZAWA

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type A) and Its Fundamental Characteristics 査読 国際誌

    Kousuke SHIOZAWA, Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Tadakazu MIYASHITA, Haruo SUMIZAWA, Kazuto YAMAUCHI

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2014   2014年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on Diffusion Coefficient Evaluation for Free Abrasives and Chemicals by Using Fluorescent Anisotropy Analysis 査読 国際誌

    Terutake Hayashi, Toshiki SERI, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the 18th International Conference on Mechatronics Technology   2014年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Gear Measuring Machine for Whole Scanning Method of Cylindrical Gear Outline and Evaluation of Tooth Root and Tooth Profile Deviations 査読 国際誌

    Takashi TERAOKA, Kensuke UESUGI, Syuhei Kurokawa, Tetsuya TAGUCHI, Terutake Hayashi, Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the 18th International Conference on Mechatronics Technology   2014年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Rotational Feeling Evaluation in Fishing Reel Using Vibration Simulator (Influence of Transmission Error Component of Gear Pair onTtactile Sensibility) 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the International Gear Conference   2014年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Application of machine vision in improving safety and reliability for gear profile measurement 査読 国際誌

    MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

    Machine Vision and Application   25 ( 6 )   1549 - 1559   2014年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s00138-014-0619-0

  • Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface 査読 国際誌

    Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yu OKADA, Hiroaki NISHIKAWA, Kazuto YAMAUCHI

    Key Engineering Materials   2014年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Identification of Radii of Tooth Root and Pitch Deviations from Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI, Takashi TERAOKA, M.D. Hazrat ALI, Tetsuya TAGUCHI, Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the International Gear Conference   2014年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • The Study of Film Formation Process by Electrospray Method to Manufacture High Productivity Organic Light-Emitting Diode Devices 査読 国際誌

    Yoshiyuki SEIKE, Yasushi Koishikawa, Mikihiro KATO, Keiji MIYACHI, Syuhei Kurokawa, Akinari DOI, Hiroshi MIYAZAKI, CHIHAYA ADACHI

    SID 2014 Digest   2014年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining(CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts 査読 国際誌

    Toshiro Karaki Doi, Yasuhisa SANO, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OHYAMA

    Sensors and Materials   2014年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage 査読 国際誌

    Yasuhisa SANO, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Kousuke SHIOZAWA, Yu OKADA, Kazuto YAMAUCHI

    Sensors and Materials   2014年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Performance Analysis of High Speed Tool Wear Detection System based on DC Two Terminal Methods 査読 国際誌

    Amine GOUARIR, Syuhei Kurokawa, Mitsuaki MURATA, Fujiwara HIROAKI

    Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Control of Industrial Processes   2014年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Approach to High Efficient CMP for Power Device Substrates 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Chengwu W. WANG, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI

    ECS Transactions   2014年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Macromodel for Changes in Polishing Pad Surface Condition Caused by Dressing and Polishing 査読 国際誌

    Akira ISOBE, Kenjiro OGATA, Syuhei Kurokawa

    Japanese Journal of Applied Physics   53 ( 1 )   016501-1 - 016501-7   2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Camera Based 3D Probe Control in Measuring Gear Profile 査読 国際誌

    MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI, Takashi TERAOKA

    Proc. of the Second International Conference on Robot, Vision and Signal Processing   1 - 5   2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Camera Based Precision Measurement in Improving Measurement Accuracy 査読 国際誌

    MD. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

    Measurement   49   138 - 147   2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Proposal of New Polishing Mechanicam Based on Feret’s Diameter of Contact Area between Polishing Pad and Wafer 査読 国際誌

    52 ( 12 )   126503-1 - 126503-6   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Removal Rate Improvement in SiC-CMP Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Takateru EGASHIRA, Zhe TAN, Tao YIN, Toshiro Karaki Doi

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013   271 - 276   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Diamond Substrate Planarization Polishing Technique 査読 国際誌

    Koki OYAMA, Toshiro Karaki Doi, Hideo AIDA, Syuhei Kurokawa, Yasuhisa SANO, Hidetoshi TAKEDA, Koji KOYAMA, Tsutomu YAMAZAKI, Kunimitsu TAKAHASHI

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013   307 - 309   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Control Strategy of Developed Mechanical Actuator in Measuring Hole-Surface Parameter 査読 国際誌

    MD. Hazrat ALI, Akio KATSUKI, Takao Sajima, Hiroshi MURAKAMI, Syuhei Kurokawa

    International Journal of Advanced Manufacturing Technology   69 ( 5-8 )   1 - 10   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Mechanisms of Local Planarization Improvement Using Solo Pad in Chemical Mechamical Polishing 査読 国際誌

    Akira ISOBE, Toshiyuki YOKOYAMA, Takashi KOMIYAMA, Syuhei Kurokawa

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 12 )   126501-1 - 126501-6   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • New Model of Defect Formation Caused by Retainer Ring in Chemical Mechanical Polishing 査読 国際誌

    Akira ISOBE, Takashi KOMIYAMA, Syuhei Kurokawa

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 12 )   126502-1 - 126502-5   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of a Laser-Guided Deep-Hole Measurement System --- Adjustment to a Small Size --- 査読 国際誌

    Akio KATSUKI, M.D. Hazrat ALI, Takao Sajima, Hiroshi MURAKAMI, Osamu OHNISHI, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the the Twenty-Eighth Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE2013   431 - 436   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Experimental Estimation for Wear Resistance of Coating Films on High-speed Steel Hob and the Effect of Oxidization of Coating Films on Crater Wear 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Yoji Umezaki, Yoshiyuki FUNAKI

    Proc. of the International Conference on Gears VDI-Berichte 2199.2   917 - 929   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Influence of Manufacturing Error on Transmission Error of a Face Gear with Controlled Curve and Proposal of Improved Manufacturing Process 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the International Conference on Gears VDI-Berichte 2199.2   1043 - 1054   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Formation and Evaluation of Quasi-radical Site Induced by Femtosecond Laser on the Surface of Diamond 査読 国際誌

    Chengwu WANG, Syuhei Kurokawa, Shin-ichi KOMAI, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI, Yasuhisa SANO, Keiichi TSUKAMOTO, Toshiro Karaki Doi

    Proc. of the 13th International Symposium on Aerospace Technoloy   49 - 51   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Application of MEMS Technique for Micro Gear Metrology 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Yoji Umezaki, Morihisa HOGA, Ryohei ISHIMARU, Osamu OHNISHI, Toshiro Karaki Doi

    Proc. of the 4th International Conference on Power Transmissions   457 - 466   2013年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears Including Working Flanks, Tooth Tip and Bottom Profiles 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, M.D. Hazrat ALI, Kensuke UESUGI, Tetsuya TAGUCHI, Yoji Umezaki, Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII2013   1 - 5   2013年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 工具・被削材間接触電気抵抗変化による正面フライス工具摩耗のインプロセス検出 査読

    日本機械学会論文集(C編)   79巻 ( 803号 )   2546 - 2557   2013年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Autonomous Road Surveillance System: A Proposed Model for Vehicle Detection and Traffic Signal Control 査読 国際誌

    M.D. Hazrat ALI, Syuhei Kurokawa, A.A. SHAFIE

    Proc. of the 3rd International Symposium on Frontiers in Ambient and Mobile Systems   19   963 - 970   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Vision Based Measurement System for Gear Profile 査読 国際誌

    MD. Hazrat Ali, Syuhei Kurokawa, Kensuke UESUGI

    Proc. of the International Conference on Informatics, Electronics & Vision 2013, ICIEV13   1 - 6   2013年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel 査読 国際誌

    Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013   19   2013年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Prototype of a Grating Disk of 500 μm in Diameter using Nanoimprint Technique to Evaluate the Micro Gear Engagement 査読 国際誌

    74   2013年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • A Study for Damage of Carbide Hobs 査読 国際誌

    Ryohei Ishimaru, Isao Sakuragi, Yasuo Yoshitake, Naoshi Izumi, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013   187   2013年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods 査読 国際誌

    Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

    Proc. of the 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, CJUMP2013   72 - 76   2013年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Formation of Organic EL Films by Combination of Precision Spray Deposition Method and Imprinting Technique under Atmospheric Pressure 査読 国際誌

    Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Takanori Iwahashi, Koichi Sato, Yoshinori Kobayashi

    Proc. of the 12th International Symposium on Advanced Organic Photonics ISAOP-12   2012年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Mechanical Actuator for Deep-Hole Measurement System 査読 国際誌

    Md. Hazrat Ali, Akio Katsuki, Takao Sajima, Hiroshi Murakami, Syuhei Kurokawa

    Proc. of the First International Conference for Trends in Intelligent Robotics, Automation, and Manufacturing IRAM2012   280 - 287   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究(第1報 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化) 査読

    清家 善之, 大坪 正徳, 鳥井 太, 丸山 健治, 山本 浩之, 小林 義典, 宮地 計二, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修

    精密工学会   78 ( 11 )   965 - 969   2012年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Tool Flank Wear Estimation in Face Milling by Holm's Contact Theory 査読 国際誌

    Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

    Proc. of the International Conference on Manufacturing Process Technology 2012   2 - 3   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • The Effects of Strong Oxidizing Slurry and Processing Atmosphere on Double-sided CMP of SiC Wafer 査読 国際誌

    Advanced Materials Research   591-593   1131 - 1134   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Processing Properties of Strong Oxidizing Slurry and Effect of Processing Atmosphere in SiC-CMP 査読 国際誌

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2012   333 - 338   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • SiC-CMP Processing Characteristics under Different Atmospheres Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant 査読 国際誌

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   22 - 23   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Conformal Resist Coating Technique in the Trough-Silicon Via (TSV) with a Rotary Atomizer Aerosol Spray 査読 国際誌

    Yoshiyuki Seike, Masanori Ohtsubo, Kenji Maruyama, Futoshi Shimai, Hiroyuki Akenaga, Hiroshi Morishita, Keiji Miyachi, Masahiko Amari, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   72 - 73   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Evaluation of Surface Damaged Layer Depth of Si Wafer for TSV 査読 国際誌

    Shinichi Iwamoto, Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, MIchio Uneda, Osamu Ohnishi, Toshiyuki Suzuki, Yasuhiro Kawase, Ken Harada

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   88 - 89   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine 査読 国際誌

    Takateru Egashira, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, MIchio Uneda, Isamu Koshiyama, Daizo Ichikawa

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2012   90 - 91   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Real-Time Evaluation of Tool Flank Wear by In-Process Contact Resistance Measurement in Face Milling 査読 国際誌

    Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Toshiro Karaki Doi

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 6 )   958 - 970   2012年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Precision Profile Measurement System for Microholes Using Vibrating Optical Fiber 査読 国際誌

    Takao Sajima, Hiroshi Murakami, Akio Katsuki, Daisuke Tabuchi, Osamu Ohnishi, Syuhei Kurokawa, Hiromichi Onikura, Toshiro Karaki Doi

    Sensors and Materials   24 ( 7 )   387 - 396   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 研磨パッドにおける各種溝パターンがスラリーフローに及ぼす影響 査読

    山崎努,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,瀬下清,會田英雄

    砥粒加工学会誌   56 ( 6 )   2012年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Optical Performance of a Laser Point Source Strongly Emitted by an Aspheric Expander 査読 国際誌

    Songchon Park, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi

    Advanced Materials Research   497   304 - 310   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Mn2O3 Slurry Achieving Reduction of Slurry Waste 査読 国際誌

    Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 1 )   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Mn2O3 Slurry Reuse by Circulation Achieving High Constant Removal Rate 査読 国際誌

    Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 4 )   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 電界トライボケミカル反応を利用した高効率研磨技術の開発(電界下における研磨界面のスラリー挙動がガラス基板の研磨特性に及ぼす影響) 査読

    池田 洋, 赤上 陽一, 畝田 道雄, 大西 修, 黒河 周平, 土肥 俊郎

    精密工学会   78 ( 4 )   316 - 320   2012年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of Novel Groove Pattern for CMP Pad 査読 国際誌

    Advanced Materials Research   497   264 - 267   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of In-process Tool Flank Wear Detection System for Intermittent Cutting Process by Face Milling 査読 国際誌

    Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 4th International Conference on Advanced Manufacturing   2012年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • The Evaluation of Cylindrical Gear Measurement on Teeth Roots and Bottom Profiles in Different Sections 査読 国際誌

    Sung-Min MOON, Jae-Hwa KANG, Hiromitsu KIDO, Syuhei KUROKAWA, and Sung-Ki LYU

    Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers   11 ( 1 )   2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 加工環境コントロール型CMP装置によるガラス基板の研磨特性(CeO2スラリー使用量の低減を指向した加工雰囲気の効果) 査読

    山崎努,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,梅崎洋二,尹涛,會田英雄

    精密工学会誌   78 ( 2 )   2012年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Wear Resistance of Coating Films on Hob Teeth --- Intermittent Cutting Tests with a Flytool --- 査読 国際誌

    Yoji UMEZAKI, Yoshiyuki FUNAKI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 2 )   2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Fast Diffusion of Water Molecules into Chemically Modified SiO2 Films Formed by Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

    Atsushi OHTAKE, Kinya KOBAYASHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Chemistry Letters   41 ( 1 )   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Nanomanufacturing of Radial Grating Patterns by Nanoimprint with a Silicon Mold for Rotational Angle Measurement of Microgears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Morihisa Hoga, and Toshiro DOI

    International Journal of Nanomanufacturing   8 ( 1-2 )   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Dielectric SiO2 Planarization Using MnO2 Slurry 査読 国際誌

    Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 1 )   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Derivation of Path of Contact and Tooth Flank Modification by Minimizing Transmission Error on Face Gear 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

    Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 1 )   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 空間移動平均法とMUSIC 法の併用による強相関複数騒音源の位置同定に関する研究(小型マイクロホンアレーシステムを指向した高精度位置同定法) 査読

    畝田道雄,近藤容章,石川憲一,大西修,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   77 ( 12 )   2011年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 電界砥粒制御技術を適用したガラス基板の高効率研磨技術の開発(電界がスラリー挙動とガラスの研磨特性に及ぼす影響) 査読

    池田洋,赤上陽一,畝田道雄,大西修,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   77 ( 12 )   2011年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Research on the electrochemical process (E-CMP) for aluminum alloy-Polishing on inside an aluminum tank for fuel system 査読 国際誌

    Toshiro DOI, Kenji YOJIMA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, Tsutomu YAMAZAKI and Takahiro MIURA

    Proc. of Fray International Symposium 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Simplified Method of Evaluation Scratches on the Wafer Polished by Fumed Silica Slurry 査読 国際誌

    Satoshi YAMAGUCHI, Toshiro DOI, Hiroyuki KOHNO, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Yoji MATSUKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Investigation into Mechanism of Pre-CMP Electroplated Copper Overgrowth and Various Defects of Cu on Trench and Via Holes 査読 国際誌

    Atsushi OHTAKE, Akihiro SANO, Kinya KOBAYASHI, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Processing Characteristics of SiC Wafer by Atmosphere-Controlled CMP Machine 査読 国際誌

    Tao YIN, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Zhida WANG, Zhe TAN, and Takateru EGASHIRA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Numerical Discussion of Polishing Mechanism Considering Contact Area of Polishing Pad and that of Polishing Abrasives 査読 国際誌

    Akira ISOBE, Shinichi HABA, Hideaki NISHIZAWA, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Removal Mechanism of Oxide Single Crystal in Chemical Mechanical Polishing 査読 国際誌

    Shinji KOGA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yoji MATSUKAWA, Keiji MATSUHIRO, and Tsutomu YAMAZAKI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • The High-Efficiency Polishing Technology for Glass Substraight Using Electrical Controlled Slurry Polishing 査読 国際誌

    Hiroshi IKEDA, Yoichi AKAGAMI, Michio UNEDA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Novel Pad Groove Design to Achieve High Efficiency CMP --- Designing of Novel Groove Patterns Based on Image Analysis of Slurry Flow Behavior --- 査読 国際誌

    Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Yoji UMEZAKI, Kiyoshi SESHIMO, and Hideo AIDA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Novel Pad Groove Design to Achieve High Efficiency CMP --- Friction Characteristic for Glass Polishing --- 査読 国際誌

    Yu MORIWAKI, Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Michio UNEDA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Precision Deposition of Organic EL Films under the Atmosphere Pressure by Combined Processing of Spray and Nanoimprinting 査読 国際誌

    Takanori IWAHASHI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Koichi SATO, Yoshinori KOBAYASHI, and Masahiko MURATA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2011   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • In-process Tool Flank Wear Detection in Intermittent Cutting Process by Face Milling 査読 国際誌

    Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 2011,   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on Formation of Films by a Spray Deposition Method for the Organic Thin Film Solar Cells 査読 国際誌

    Masahiko MURATA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Takanori IWAHASHI, Kunihito MIYAKE, Keiji MIYACHI, and Yoshinori KOBAYASHI

    Proc. of the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 2011,   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of Novel Groove Pattern for CMP Pad 査読 国際誌

    Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Kiyoshi SESHIMO, and Hideo AIDA

    Proc. of the 8th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Optical Performance of a Laser Point Spurxe Strongly Emitted by an Aspheric Expander 査読 国際誌

    Song Chon PARK, Sang Ho SEO, Toshiro DOI, Michio UNEDA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Tsutomu YAMAZAKI

    Proc. of the 8th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Proc. of Advances in Power Transmission Science and Technology   2011年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 酸化セリウムとその代替を目指す酸化マンガン系スラリーによるガラス基板の研磨特性とその加工メカニズム 査読

    山崎努,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,梅崎洋二,山口靖英,岸井貞浩

    精密工学会誌   77 ( 10 )   2011年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 画像処理によるスラリーフローの定量評価研究 査読

    畝田道雄,村田慎太郎,成瀬尚,山崎努,大西修,黒河周平,石川憲一,土肥俊郎

    日本機械学会論文集(C編)   77 ( 782 )   2011年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Mn2O3 Slurry Reuse for SiO2 Film CMP 査読 国際誌

    Sadahiro KISHII, Ko NAKAMURA, Kenzo HANAWA, Satoru WATANABE, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 同時加熱成形法を用いたCFRPパイプ破裂強度改善に関する研究 査読

    三浦崇寛,田淵大介,佐島隆生,大西修,鬼鞍宏猷,土肥俊郎,黒河周平

    精密工学会誌   77 ( 9 )   2011年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Characteristics of Thermo-Electromotive Force, Electric Current and Electric Resistance in Intermittent Cutting Process by Face Milling 査読 国際誌

    Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Toshiro DOI, and Michio UNEDA

    Advanced Materials Research   314-316   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Applied Mechanics and Materials   86   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • CMP Characteristics of SiC Wafers Using a Simultaneous Double-side CMP Machine ---Effects of Atmosphere and Ultraviolet Light Irradiation --- 査読 国際誌

    Osamu OHNISHI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Kei KITAMURA, Tao YIN, Isamu KOSHIYAMA, and Koichiro ICHIKAWA

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of New Groove Patterns on CMP Pad --- Slurry Flow Analysis using Digital Image Processing --- 査読 国際誌

    Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Michio UNEDA, Osamu OHNISHI, Kiyoshi SESHIMO, and Yasunori ASO

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Performance Evaluation Method of CMP Pad Conditioner Using Digital Image Correlation (DIC) Processing 査読 国際誌

    Michio UNEDA, Tatsunori OMOTE, Ken-ichi ISHIKAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2011   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Micro Radial Grating Disk Manufactured by Nanoimprinting Technique for Transmission Error Measurement of Micro Gears 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Morihisa HOGA, Yoji MATSUKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Proc. of the 56th International Scientific Colloquium   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Comparison of Quartz and Silicon as a Master Mold Substrate for Patterned Media UV-NIL Replica Process 査読 国際誌

    Morihisa HOGA, Kimio ITOH, Mikio ISHIKAWA, Naoko KUWAHARA, Masaharu FUKUDA, Nobuhito TOYAMA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Microelectronic Engineering   88 ( 8 )   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • ホブコーティング膜の耐摩耗性に関する基礎研究(一本刃舞いツールによる断続切削試験) 査読

    梅崎洋二,舟木義行,黒河周平,大西 修,土肥俊郎

    日本機械学会論文集(C編)   77 ( 779 )   2011年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Tungsten Film Chemical Mechanical Polishing using MnO2 Slurry 査読 国際誌

    Sadahiro KISHII, Akiyoshi HATADA, Yoshihiro ARIMOTO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 7 )   2011年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of a Filament-Winding Machine Based on Internal Heating by a High-Temperature Fluid for Composite Vessels 査読 国際誌

    Daisuke TABUCHI, Takao SAJIMA, Toshiro DOI, Hiromichi ONIKURA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, and Takahiro MIURA

    Sensors and Materials   23 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Negative-tone E-beam Resist Patterning for more than 1 Tbit/in.2 Bit-patterned Media NIL Mold 査読 国際誌

    Morihisa HOGA, Kimio ITOH, Mikio ISHIKAWA, Nobuhiro TOYAMA, Hiroaki KITAHARA, Tadashi FUJINAWA, Tetsuya IIDA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of the 55th International Conference of Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Processing Characteristics to Grooving of Brittle Materials with Micro Ni-W Electroplated Diamond Tools ---Influence of Coolant and Tool Runout on Tool Life --- 査読 国際誌

    Hironori NISHI, Osamu OHNISHI, Hiromichi ONIKURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Michio UNEDA, Weichen KUO, and Toshihiko EGUCHI

    Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Gear Metrology and Nanomanufacturing Application for Micro Gear Measurement 招待 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Morihisa HOGA, Toshiro DOI, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Yoji MATSUKAWA

    Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • High Efficient Processing of Si and SiC Wafer by Atmosphere-Controlled CMP Machine 査読 国際誌

    Tao YIN, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Michio UNEDA, Zhida WANG, and Takateru EGASHIRA

    Proc. of the 1st International Conference on Manufacturing Process Technology   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMPにおける材料除去能率向上に向けた研磨抵抗の要因解析 査読

    玉井一誠,安井晃仁, 芹川雅之, 森永 均, 土肥俊郎, 黒河周平, 大西 修, 畝田道雄

    先端加工学会誌   29 ( 1 )   2011年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • タングステンCMPスラリーのリサイクルに関する基礎的研究 査読

    船越考雄,小島泉里,石井慶一郎,土肥俊郎,黒河周平,大西 修

    精密工学会誌   77 ( 4 )   2011年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Derivation of Path of Contact and Tooth Flank Modification by Minimizing Transmission Error on Face Gear 査読 国際誌

    Tetsuo INOUE and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 4th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of a Nonperiodic Boundary Practical Simulator for Oxide and Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing Processes 査読 国際誌

    Atsushi OHTAKE, Toshiyuki ARAI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Journal of the Electrochemical Society   158 ( 2 )   2011年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Analysis of Chemical and Mechanical Factors in CMP Processes for Improving Material Removal Rate 査読 国際誌

    Kazusei TAMAI, Hitoshi MORINAGA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

    Journal of the Electrochemical Society   158 ( 3 )   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Development of U-anchor CFRP Rod Manufacturing Machine 査読 国際誌

    Daisuke TABUCHI, Takao SAJIMA, Hiromichi ONIKURA, Osamu OHNISHI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, and Toshiaki OHTA

    Advanced Materials Research   168-170   2010年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Preparation of Optically Transparent Anti-static Films 査読 国際誌

    Yuki KUGIMOTO, Atsumi WAKABAYASHI, Toshiaki DOBASHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Toshiro DOI

    Proc. of 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering   2010年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Detection of Large-Sized Foreign Particles in CMP Slurry and Reduction of Micro-Scratches (II) 査読 国際誌

    Takao FUNAKOSHI, Senri OJIMA, Yohei YAMADA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, and Yoji MATSUKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Factorial Analysis of Friction Energy for Material Removal Rate Improvement in CMP Processing 査読 国際誌

    Kazusei TAMAI, Akihito YASUI, Masayuki SERIKAWA, Hitoshi MORINAGA, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Chemical Mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC) with Manganese Oxide Slurry ---Polishing Characteristics under High Pressure Gas Atmosphere Inside the Bell-Jar (Chamber) Shaped CMP Machine--- 査読 国際誌

    Tadashi HASEGAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Tsutomu YAMAZAKI, Yasuhiro KAWASE, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2010   2010年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Quantification of Asperity’s Conditions on Pad Surface with Diamond Conditioner 査読 国際誌

    2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on the Development of Resource-Saving High Performance Slurry ---Polishing/CMP for Glass Substrates in a Radical Polishing Environment, Using Manganese Oxide Slurry as an Alternative for Ceria Slurry--- 査読 国際誌

    Toshiro K. DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoichi AKAGAMI, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

    Advances in Science and Technology   64   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • SiC-CMP Characteristics under High Pressure Gas Atmospheres using Manganese Slurry 査読 国際誌

    Tadashi HASEGAWA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Yasuhiro KAWASE, Yasuhide YAMAGUCHI, and Sadahiro KISHII

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Characteristics of Silicon CMP Performed in Various High Pressure Atmospheres ---Development of a New Double-side Simultaneous CMP Machine Housed in a High Pressure Chamber--- 査読 国際誌

    Kei KITAMURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji MATSUKAWA, Tadashi HASEGAWA, Isamu KOSHIYAMA, and Koichi ICHIKAWA

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMP Characteristic on Crystal Orientations of Single-Crystal Si and High-Precision Planarization CMP of Poly-Si 査読 国際誌

    Shinichi YOSHIURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Naofumi SHINYA

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Semiconductor Device Cleaning with Liquid Aerosol Nozzle using Rotary Atomizer Method 査読 国際誌

    Yoshiyuki SEIKE, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    Proc. of Advanced Metallization Conference 2010   2010年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMPにおける高圧マイクロジェットによる不織布系パッドの非破壊コンディショニング 査読

    宮地計二,黒河周平,土肥俊郎,清家善之,泉川晋一,赤間太郎,大西 修

    精密工学会誌   76 ( 9 )   2010年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究(ノズル形状の違いが洗浄力に与える影響) 査読

    宮地計二,黒河周平,川島早由里,明永裕樹,清家善之,小林義典,大西 修,土肥俊郎

    精密工学会誌   76 ( 8 )   2010年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Polishing Mechanism of Glass Substrates with Its Processing Characteristics by Cerium Oxide and Manganese Oxide Slurries 査読 国際誌

    Tsutomu YAMAZAKI, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Sho ISAYAMA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Hiroyuki KONO, Youichi AKAGAMI, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasuhiro KAWASE

    Key Engineering Materials   447-448   2010年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Removal Rate Simulation of Dissolution-Type Electrochemical Mechanical Polishing 査読 国際誌

    Akira FUKUDA, Akira KODERA, Yasushi TOMA, Tsukuru SUZUKI, Hirokuni HIAMA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, and Osamu OHNISHI

    Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 7 )   2010年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Basic Characteristics of a Simultaneous Double-side CMP Machine, Housed in a Sealed, Pressure-Resistance Container 査読 国際誌

    Kei KITAMURA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Yota OOKI, Tadashi HASEGAWA, Isamu KOSHIYAMA, Koichiro ICHIKAWA, and Yoshio NAKAMURA

    Key Engineering Materials   447-448   2010年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Improvement in Drilling Performance of Micro Compound Tool 査読 国際誌

    Osamu OHNISHI, Hiromichi ONIKURA, Toshihiko EGUCHI, Muhammad AZIZ, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Key Engineering Materials   447-448   2010年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • STI-CMP性能に及ぼすウェーハエッジ形状の影響(FEM解析を用いたウェーハ面圧分布計算による考察) 査読

    福田 明,福田哲生,檜山浩國,辻村 学,土肥俊郎,黒河周平,大西 修

    日本機械学会論文集 C編   76 ( 766 )   2010年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Silicon Wafer Cleaning Using New Liquid Aerosol with Controlled Droplet Velocity and Size by Rotary Atomizer Method 査読 国際誌

    Yoshiyuki SEIKE, Keiji MIYACHI, Tatsuo SHIBATA, Yoshinori KOBAYASHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 6 )   2010年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Impact of High-Speed Image Recognition of Transition Phenomenon of Chip Formation and Chip Flow in Gear Hobbing Process 査読 国際誌

    Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Key Engineering Materials   437   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Surface Durability of Austempered Ductile Iron (ADI) Rollers under Minimal Quantity Lubrication (MQL) Conditions 国際誌

    Ryohei ISHIMARU, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, and Yoji MATSUKAWA

    Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Nano Manufacturing of a Micro Rotary Grating Disk for Measurement of Rotational Accuracy of Micro-Machine Elements 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, Shinya IMAMURA and Yasutsune ARIURA

    Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Influence of Oxidization Resistance of TiAlN Coating Film on the Wear Resistance of High-Speed Steel Hobs 国際誌

    Kei KITAMURA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji MATSUKAWA, and Yoshiyuki FUNAKI

    Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Characteristics of Micro Fiber Pads in Electro-Chemical Mechanical Polishing (E-CMP) of Copper Substrates 国際誌

    Tadashi HASEGAWA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Ryohei ISHIMARU, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of International Symposium on Technology of Mechanical Design and Production 2010   2010年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Influence of Oxidization Resistance and Aluminum Concentrations of TiAlN Coating Film on the Wear Resistance of High-Speed Steel Hobs 査読 国際誌

    Kei KITAMURA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji Matsukawa, and Yoshiyuki FUNAKI

    Proc. of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture   2010年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Simulation of Electrochemical Mechanical Polishing 査読 国際誌

    Akira FUKUDA, Akira KODERA, Yasushi TOMA, Tsukuru SUZUKI, Hirokuni HIYAMA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Impact of SiO2 Agglomeration on surface Defectivity during CMP Process 査読 国際誌

    Kazusei TAMAI, Tomohiko AKATSUKA, Hitoshi MORINAGA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Quantification of Pad Surface Conditions with Diamond Conditioners and Polishing Characteristics in CMP Process 査読 国際誌

    Kazunori KADOMURA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro K. DOI, Taro AKAMA, Yohei YAMADA, Yukio OKANISHI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Osamu OHNISHI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Electro-Chemical Mechanical Polishing (E-CMP) of Copper Substrates with Micro Fiber Pad 査読 国際誌

    Tadashi HASEGAWA, Yoji UMEZAKI, Syuhei KUROKAWA, Ryohei ISHIMARU, Yoji MATSUKAWA, and Toshiro K. DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Cu-CMP Characteristics by Controlled Atmosphere Polishing Machine and Effect of High Pressure CO2 Gas 査読 国際誌

    Yota OKI, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Kei KITAMURA, and Isamu KOSHIYAMA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Detection of Large-Sized Foreign Particles in CMP Slurry and Reduction of Micro-scratches 査読 国際誌

    Takao FUNAKOSHI, Senri OJIMA, Yohei YAMADA, Syuhei KUROKAWA, Toshiro K. DOI, Osamu OHNISHI, Yoji UMEZAKI, and Yoji MATSUKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Silicon CMP Characteristics and Pad Conditioning Using a High Pressure Micro Jet (HPMJ) 査読 国際誌

    Taro AKAMA, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Sho ITONAGA, Yoshiyuki SEIKE, and Osamu OHNISHI

    Proc. of the 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Effect of Particle-Substrate Interaction on the Polishing Rate 査読 国際誌

    Kazusei TAMAI, Akihito YASUI, Hitoshi MORINAGA, Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMP Technique for CNT/SOD Composite Using Ceria Slurry 査読 国際誌

    Takashi HYAKUSHIMA, Toshiro K. DOI, Motonobu SATO, Syuhei KUROKAWA, Mizuhisa NIHEI, and Yuji AWANO

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Precision Deposition of Organic EL films applying a CMP Technology Combined with Spraying under the Atmosphere Pressure 査読 国際誌

    Kazuasa KURIZUKA, Toshiro K. DOI, Syuhei KUROKAWA, Koichi SATO, Yoshinori KOBAYASHI, Yoshihiko TSUCHIDA, and Keiji MIYACHI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Development of a Revolution Atomizing Two Fluid Cleaning Nozzle (RAC nozzle) for Post-CMP Cleaning 査読 国際誌

    Yoshiyuki SEIKE, Tatsuo SHIBATA, Yoshinori KOBAYASHI, Keiji MIYACHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Study on Micro-Scratches Generated in Oxide Film CMP with Fumed Silica Slurry (Effect of Slurry Dispersion Condition on Micro-Scratch Defect Generation) 査読 国際誌

    Yoshihiko ITO, Toshiro K. DOI, Hroyuki KOHNO, Syuhei KUROKAWA, and Yoji UMEZAKI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2009   2009年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Cu/Low-k配線対応CMPプロセスの開発(低選択バリアメタル研磨による表面段差是正の検討) 査読

    山田洋平,小西信博,大嶽 敦,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   75 ( 9 )   2009年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Stress Analysis of Dielectrics Using FEM for Analyzing the Cause of Cracking Observed After W-CMP 査読 国際誌

    Akira FUKUDA, Yoshihiro MOCHIZUKI, Hirokuni HIYAMA, Manabu TSUJIMURA, Toshiro DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Journal of the Electrochemical Society   156 ( 9 )   2009年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • CMP of SiC Wafers as a Post-Si Power-Device (Bell-Jar shaped CMP machine assisted by photocatalitic reactions under high pressure oxygen gas and CMP characteristics of functional materials) 国際誌

    Toshiro DOI and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of the 1st International Conference on Surface and Interface Fabrication Techonologies (ICSIF)   2009年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Impact of high-speed image recognition of transition phenomenon of chip formation and chip flow in gear hobbing process 査読 国際誌

    Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, Yasutsune ARIURA

    Proceedings of the 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments ISMTII2009   2009年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CuCMPプロセスに起因した銅残渣発生の研究(配線間の銅残渣の低減) 査読

    山田洋平,小西信博,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   75 ( 5 )   2009年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Transient Phenomenon of Chip Generation and Its Movement in Hobbing ---Jamming of Chip Formed in Generating of Finished Surface in Flytool Simulation Tests--- 査読 国際誌

    Yoji UMEZAKI, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, and Yuho IJIMA

    Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • A Fundamental Study on the Surface Durability of Austempered Ductile Iron (ADI) Gears in Long Life Region 査読 国際誌

    Ryohei ISHIMARU, Yasutsune ARIURA, Syuhei KUROKAWA, Yoji MATSUKAWA, and Masahito GOKA

    Proc. of the JSME International Conference on Motion and Power Transmissions   2009年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 研磨砥粒を含まないスラリを用いたCuCMP技術の開発(不均一発砲ポリウレタンパッドを用いたCu残渣の低減) 査読

    山田洋平,小西信博,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   2009年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • シリコンウェーハ製造研磨におけるウェーハエッジ形状の影響評価 査読

    福田 明,福田哲生,檜山浩國,辻村 学,土肥俊郎,黒河周平

    砥粒加工学会誌   2009年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 酸化膜CMPにおけるマイクロスクラッチ低減の検討(CMPプロセスにおけるスクラッチの発生要因調査) 査読

    山田洋平,菅谷貴浩,小西信博,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   2008年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • CMP characteristics of silicon wafer with a micro-fiber pad, and pad conditioning with high pressure micro jet (HPMJ) 国際誌

    Keiji Miyachi, Taro Akama, Syuhei Kurokawa, Toshiro Doi, Kimio Nakayama, Yoshiyuki Seike, Yoji Matsukawa, Yoji Umezaki

    Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials (JSPS Si Symposium)   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Analysis of Chemical and Mechanical Factors in CMP Process 査読 国際誌

    Kazusei Tamai, Hitoshi Morinaga, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • E-CMP of Cu Substrates with Unwoven Fabric Pads 査読 国際誌

    Yusuke Shimoda, Yoji Umezaki, Syuhei KUROKAWA, Ryohei Ishimaru, Yoji Matsukawa, Tadashi Hasegawa, and Toshiro DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Pad Conditioning with Electrodeposited Diamond Conditioners and Polishing Characteristics in Cu-CMP 査読 国際誌

    Kazumasa Kurizuka, Kazunori Kazomura, Toshio Fukunishi, Yoji Umezaki, Yoji Matsukawa, Syuhei KUROKAWA, Yuhei Nishimori, and Toshiro DOI

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • CMP of SiC Wafers as a Post-Si Power-Device -Photocatalitic reaction assisted Bell-Jar shaped CMP Machine under high pressure oxygen gas- 査読 国際誌

    Toshiro K. DOI, and Syuhei KUROKAWA

    Proc. of International Conference on Planarization/CMP Technology 2008   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • 硬質パッドを用いた高平坦化CMP技術の開発(CMPプロセスにおけるウエーハ面内研磨均一性の改善) 査読

    山田洋平,菅谷貴浩,小西信博,黒河周平,土肥俊郎

    精密工学会誌   2008年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Si CMP with a sealed 'Bell-Jar' type CMP machine -Processing characteristics of Si-CMP, influenced by the processing atmosphere and additives dispersed in the slurry - 国際誌

    Takeharu Kihara, Toshiro Doi, Syuhei KUROKAWA, Yota Oki, Yoji Umezaki, Yoji Matsukawa, Koichiro Ichikawa, Isamu Koshiyama, and Hiroyuki Kono

    Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials (JSPS Si Symposium)   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Frictional Characterization of Chemical-Mechanical Polishing Pad Surface and Diamond Conditioner Wear 査読 国際誌

    Yohei YAMADA, Masanori KAWAKUBO, Osamu HIRAI, Nobuhiro KONISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Japanese Hournal of Applied Physics   2008年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Study on Factors in Time-Dependent Dielectric Breakdown Degradation of Cu/Low-k Integration Related to Cu Chemical-Mechanical Polishing 査読 国際誌

    Yohei YAMADA, Nobuhiro KONISHI, Junji NOGUCHI, Tomoko JIMBO, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Japanese Journal of Applied Physics   2008年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Tribological Behavior of Metal CMP and Detection of Process Abnormality 査読 国際誌

    Yohei YAMADA, Masanori Kawakubo, Osamu Hirai, Nobuhiro KONISHI, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro DOI

    Journal of The Electrochemical Society   2008年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 加工環境を制御するベルジャー型密閉研磨装置による高能率CMP技術 査読

    土肥俊郎,黒河周平

    砥粒加工学会誌   2008年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Impact of a High Pressure Micro Jet (HPMJ) on the conditioning and cleaning of unwoven fabric polyester pads in silicon polishing 国際誌

    Keiji MIYACHI, Yoshiyuki SEIKE, Shinichi HABA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology   2007年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Conditioning of CMP Pad to Reinstate Pad Surface Functions 国際誌

    Kazunori KADOMURA, Toshio FUKUNISHI, Yoji UMEZAKI, Yoji MATSUKAWA, Syuhei KUROKAWA, and Toshiro K. DOI

    Proc. of the International Conference on Planarization/CMP Technology   2007年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • A Fundamental Study on Surface Durability of High Strength Spheroidal Graphite Cast Iron Gears 査読 国際誌

    Ryohei ISHIMARU, Syuhei KUROKAWA, Yoji MATSUKAWA and Masashito GOKA

    Proc. of the International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology, ICMDT2007, CD-ROM   2007年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Evaluation of Peak-to-Vally Values of Transmission Error with Gear Eccentricity by Measurement and Analysis 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the International Symposium of Technology of Mechanical Engineering Design, ISTMED'2007   2007年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Prediction of Sidebands of Mesh Frequency with Frequency Modulation Caused by Gear Eccentricity 査読 国際誌

    Syuhei KUROKAWA, and Yasutsune ARIURA

    Proc. of the International Symposium of Technology of Mechanical Engineering Design, ISTMED'2007   2007年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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書籍等出版物

  • Advances in CMP/Polishing Technologies for the Manufacture of Electronic Devices

    Toshiro DOI, Ioan D. MARINESCU, and Syuhei KUROKAWA( 担当: 共著)

    William Andrew Applied Science Publishers, Elsevier Inc.  2011年12月 

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    担当ページ:317ページ   記述言語:英語   著書種別:学術書

  • 機械製作法II

    有浦泰常,鬼鞍宏猷,仙波卓弥,鈴木俊男,黒河周平( 担当: 共著)

    朝倉書店  2007年3月 

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    担当ページ:190ページ   記述言語:日本語   著書種別:学術書

  • Emotional Engineering, Vol.6, Chapter 8 Feel of Fishing Reel

    @Tetsuo INOUE and @Syuhei KUROKAWA( 担当: 共著)

    Springer International Publishing  2017年12月 

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    担当ページ:Emotional Engineering, Vol.6, Chapter 8(全10章), pp.93-118 ISBN: 978-3-319-70801-0   記述言語:英語   著書種別:学術書

    DOI: DOI:https://doi.org/10.1007/978-3-319-70802-7

  • 機械工学ハンドブック

    土肥俊郎,黒河周平( 担当: 共著)

    朝倉書店  2011年9月 

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    担当ページ:1100ページ   記述言語:日本語   著書種別:学術書

  • MEMS/NEMS工学全集

    桑野博喜,土肥俊郎,黒河周平他( 担当: 共著)

    (株)テクノシステム  2009年4月 

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    担当ページ:1100ページ   記述言語:日本語   著書種別:学術書

  • 希土類の材料技術ハンドブック 研磨の加工メカニズムと研磨剤(スラリー)-ガラス,半導体,CMP-

    足立吟也,土肥俊郎,黒河周平他( 担当: 共著)

    (株)エヌ・ティー・エス  2008年5月 

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    担当ページ:978ページ   記述言語:日本語   著書種別:学術書

  • 薄膜ハンドブック(第2版)

    日本学術振興会薄膜第131委員会編,吉田貞史,土肥俊郎,黒河周平他( 担当: 共著)

    (株)オーム社  2008年3月 

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    担当ページ:1235ページ   記述言語:日本語   著書種別:学術書

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講演・口頭発表等

  • Scanning Measurement and Evaluation of Gear Tooth Root and Bottom Profiles 国際会議

    Syuhei KUROKAWA, Hiromitsu KIDO, Tetsuya TAGUCHI, Tatsuki OKADA, Osamu OHNISHI, and Toshiro DOI

    2011年10月 

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    開催年月日: 2011年10月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:中華人民共和国  

  • Micro Radial Grating Disk Manufactured by Nanoimprinting Technique for Transmission Error Measurement of Micro Gears 国際会議

    Syuhei Kurokawa, Morihisa Hoga, Yoji Matsukawa, Osamu Ohnishi, and Toshiro Doi

    The 56th International Scientific Colloquium  2011年9月 

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    開催年月日: 2011年9月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  • Gear manufacturing and metrology for industry and science--- from large to tiny size with old and new techniques 招待 国際会議

    Syuhei KUROKAWA

    The 7th International Symposium on Precision Engineering Measurement and Instrumentation  2011年8月 

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    開催年月日: 2011年8月

    会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    国名:中華人民共和国  

  • Impact of Reduction in CeO2 Slurry Consumption for Oxide CMP ---Approach from Alternative Slurries and Pad Groove Patterns--- 国際会議

    Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Tsutomu YAMAZAKI, Yoji UMEZAKI, Osamu OHNISHI, Yoji MATSUKAWA, Kiyoshi SESHIMO, Yasuhide YAMAGUCHI, and Yasunori KAWASE

    International Conference on Planarization/CMP Technology 2010  2010年11月 

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    開催年月日: 2010年11月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

  • 歯面形状誤差および歯車偏心・端面振れを含むかみ合い伝達誤差解析

    黒河周平,松川洋二,梅崎洋二,土肥俊郎

    日本機械学会九州支部・中国四国支部合同企画長崎講演会  2009年10月 

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    開催年月日: 2009年10月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎大学(長崎市)   国名:日本国  

  • 歯車の歯当たりとかみ合い評価法について(可展円筒歯車歯面の図式展開について)

    黒河周平,有浦泰常,梅崎洋二,土肥俊郎

    日本機械学会2009年度年次大会  2009年9月 

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    開催年月日: 2009年9月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岩手大学(盛岡市)   国名:日本国  

  • Influence of Gear Eccentricity on Sidebands of Mesh Frequency ---Derivation and Detection of Amplitude Modulation by Transmission Error Measurement--- 国際会議

    Syuhei KUROKAWA, Atsushi BEKKI, Yoji MATSUKAWA, Yoji UMEZAKI, and Toshiro DOI

    The JSME International Conference on Motion and Power Transmissions, MPT2009  2009年5月 

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    開催年月日: 2009年5月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 大局的形状パラメータを用いた三次歯面修正の新しい評価法

    黒河周平

    日本機械学会 第6回機素潤滑設計部門講演会  2006年5月 

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    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:ホテル松島大観荘(宮城県松島町)   国名:日本国  

  • 三⾓測量⽅式レーザープローブ測定誤差予測のための反射光強度推定⼿法 ~度数分布に基づく評価関数の改善~

    #⼭本航太郎,@⿊河周平,@林照剛,#池⽥蓮,#村⽥将哉

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • ワイヤ放電加⼯を⽤いたマルチスケールテクスチャリングに関する研究 −細胞の成⻑に影響を及ぼす⽔・油仕様ワイヤ放電加⼯テクスチャの調査−

    #出野佑,@⿊河周平,@林照剛,@藏⽥耕作,#久積翔

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 蛍光光⼦相関法を⽤いたナノ粒⼦粒径計測に関する研究〜蛍光異⽅性の測定誤差要因の検討〜

    #吉岡慶⼤,@林照剛,@⿊河周平

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 新しい⻭⾞加⼯法による加⼯表⾯性状と運転性能に関する研究 ―弾性ブラスト処理を施したポリッシュ研削⻭⾞の加⼯痕に着⽬した加⼯表⾯性状―

    #池⽥蓮,@⿊河周平,@林照剛,#⼩⻄優輝,#⼭本航太郎,@松川洋⼆

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • ⻭⾞の加⼯表⾯性状と運転性能に関する研究 ―ポリッシュ研削⻭⾞の低粘度潤滑油での疲労寿命試験における表⾯性状―

    #小西優輝,@⿊河周平,@林照剛,@松川洋⼆,#池⽥蓮

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 超⾼速ホブ切りによる⾼精度⻭⾞の加⼯に関する研究 ー焼⼊れを施した⻭⾞に対する仕上げホブ切り―

    #井上魁⽃,@⿊河周平,@林照剛,@⽯津和幸,@櫻井則之,@髙⽊達朗

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • CMPにおける研磨パッドに着⽬した研磨機構の解明 -三次元形状測定によるパッド表⾯形状モデルの検討-

    #髙橋冬也,@⿊河周平,@林照剛,@檜⼭浩國,@和⽥雄⾼,@安⽥穂積,@半⽥直廉,@林俊太郎

    日本機械学会九州支部 第77期総会講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 静電霧化技術による医療用ワイヤへの塗装 ―塗布膜厚の均一性の評価―

    #隈元凜,@黒河周平,@林照剛,@加藤幹大

    日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • ナノ粒子チップを用いた液中の多分散粒子の高精度粒度分布測定に関する研究

    #賀数弘啓,@林照剛,@黒河周平

    日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 指先における振動知覚に関する研究 ~指の違いによる振動知覚感度の調査と考察~

    #岩永寛生,@黒河周平,@林照剛

    日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 ーかさ歯車の形状測定アルゴリズムおよびスキャニング測定の試行ー

    #村田将哉,@黒河周平,@林照剛

    日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • ELID 研削を用いたマルチスケールテクスチャリングの細胞成長に及ぼす影響 -一方向テクスチャを施した試料表面の調査-

    #久積翔,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#出野佑

    日本機械学会九州支部 九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会  2024年3月 

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    開催年月日: 2024年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学千原キャンパス(沖縄県中頭郡西原町千原)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 -細胞の成長に影響を及ぼす水・油仕様ワイヤ放電加工テクスチャの調査-

    #出野佑,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#久積翔

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―ポリッシュ研削歯車の疲労寿命試験における油膜厚さと表面性状―

    #小西優輝,@黒河周平,@林照剛,#池田蓮,@松川洋二

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 ―ブラスト処理により鏡面加工を施した歯車性状の観察と測定―

    #池田蓮,@黒河周平,@林照剛,#小西優輝,#山本航太郎,@松川洋二

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 超高速ホブ切りによる歯車加工に関する研究 ー焼入れを施した歯車の仕上げ加工―

    #井上魁斗,@黒河周平,@石津和幸,@髙木達朗,@櫻井則之

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • CMPにおける研磨パッドに着目した研磨機構の解明 -パッド表面形状の定量化および突起とポアの関係の調査-

    #髙橋冬也,@黒河周平,@林照剛,@和田雄高,@檜山浩國,@安田穂積,@半田直廉,@林俊太郎

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子の高精度粒径計測に関する研究 ~第11報 蛍光異方性の測定誤差要因の検討~

    #吉岡慶大,@林照剛,@黒河周平

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる 励起状態面の表面加工に関する研究 (第十五報) ―光照射強度と遅延時間が加工閾値に及ぼす影響についての検証―

    #武智昭久,@林照剛,@黒河周平

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 三角測量方式ラインレーザプローブ検出誤差予測のための反射光強度推定手法 ~法線分布関数の導入による反射光強度評価の改善~

    #山本航太郎,@黒河周平,@林照剛,#池田蓮,#村田将哉

    2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島大学西条キャンパス(西条市)   国名:日本国  

  • 三角測量方式ラインレーザプローブ検出誤差予測のための反射光強度分布推定 -表面微細高さ情報を用いた幾何光学的シミュレーションによる解析-

    #山本航太郎,@黒河周平,@林照剛,#池田蓮,#村田将哉

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • CMP における研磨パッドに着目した研磨機構の解明 −ポア縁辺に形成されるパッド表面形状が研磨性能に与える影響の調査−

    #髙橋冬也,@黒河周平,@林照剛,@和田雄高,@檜山浩國,@安田穂積,@林俊太郎,@半田直廉

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 −ポリッシュ研削歯車の低粘度潤滑油での疲労寿命試験−

    #小西優輝,@黒河周平,@林照剛,#池田蓮,@松川洋二

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 −水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の初期 動態について−

    #出野佑,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#久積翔

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学術講演会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 超高速ホブ切りによる歯車加工に関する研究 -加工精度と表面粗さ-

    #井上魁斗,@黒河周平,@林照剛,@石津和幸,@髙木達朗,@櫻井則之

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 -高硬度材へのエンドミル仕上げ加工を施した加工表面性状の調査-

    #池田蓮,@黒河周平,@林照剛,#小西優輝,#山本航太郎,@松川 洋二

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • ダブルパルスビームを用いたフェムト秒レーザ加工についての研究 -低照度光照射時の加工閾値の評価-

    #武智昭久,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 蛍光光子相関法を用いたナノ粒子計測に関する研究 -正弦波変調照明を用いた蛍光異方性の計測-

    #吉岡慶太,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2023年度秋季大会学生研究発表会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 低照度フェムト秒レーザーによるSiCの加工表面組成変化(第二報)-マルチショット加工における初期段階の構造変化-

    #村上萌恵,@林照剛,@黒河周平

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • ELID研削を用いた細胞成長に影響を及ぼすマルチスケールテクスチャリングに関する研究 ―一方向テクスチャとクロステクスチャについてー

    #小里信広,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,@大森整,#出野佑

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響 ―歯面研削歯車の疲労寿命試験における歯面状態の推移とポリッシュ研削との比較―

    #小西優輝,@黒河周平,@林照剛,@松川洋二,#池田蓮

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 新しい歯車加工法による加工表面性状と運転性能に関する研究 ーエンドミル加工におけるスワーフ加工とボール部加工の加工痕性状の調査ー

    #池田蓮,@黒河周平,@林照剛,#小西優輝,@松川洋二

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • CNC三次元歯車専用測定機の開発(三次元形状かさ歯車のスキャニング測定のための歯面推定手法の開発と実測定の試行)

    #安玄俊,@黒河周平,@林照剛,@松川洋二,#谷澤健太,@田口哲也,@堀内雅史,@楊迪

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 非接触レーザプローブを用いた歯車測定に関する研究 ―共焦点方式レーザプローブによる基準位置同定とピッチ測定の試行―

    #山本邦晴,@黒河周平,@林照剛,@松川洋二,#山本航太郎,#アンヒョンジュン

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • CMPにおける研磨パッドに着目した研磨機構の解明 -研磨性能に影響を与えるパッド表面形状の調査-

    #髙橋冬也,@黒河周平,@林照剛,@檜山浩國,@和田雄高,@安田穂積,@半田直廉,@林俊太郎

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • ワイヤ放電加工を用いた細胞成長に影響を及ぼすマルチスケールテクスチャリングに関する研究 -水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の動態に及ぼす影響について-

    #出野佑,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#小里信広

    日本機械学会九州支部 第76期総会講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 蛍光光子相関法を用いたナノ粒子計測に関する研究 ~正弦波強度変調照明を用いた蛍光異方性の計測~

    #吉岡慶太,@林照剛,@黒河周平,#朱家慶

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • 異なる周波数振動刺激に対する指先の知覚に関する研究 ~階段法,上昇法および下降法による知覚閾値の測定とその考察~

    #藤井 省伍,@黒河 周平,@林 照剛

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • 超高速ホブ切りによる高精度歯車の加工に関する研究 ―歯面形状誤差と表面粗さ―

    #井上 魁斗,@黒河 周平,@林 照剛,@石津 和幸,@櫻井 則之,@髙木 達朗

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC 三次元歯車測定機の開発 -平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定の高速化と評価-

    #谷澤 健太,@黒河 周平,@林 照剛,#安 玄俊,@堀内雅史,@楊迪,@田口哲也

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • 三角測量方式レーザープローブ測定誤差予測のための反射光分布解析 ~表面粗さ情報を用いた幾何光学に基づくレーザー反射光強度分布推定~

    #山本 航太郎,@黒河 周平,@林 照剛,#山本 邦晴,#池田 蓮

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • ダブルパルスビームを用いたダメージフェムト秒レーザ加工について研究-低照度光照射時の加工閾値の評価-

    #武智昭久,@林照剛,@黒河周平,#村上萌恵

    日本機械学会九州支部 九州学生会第54回学生員卒業研究発表講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学(宮崎市)   国名:日本国  

  • 非接触レーザプローブを用いた歯車全周の測定に関する研究 ―共焦点方式レーザプローブによる基準位置同定の試行―

    #山本邦晴,@黒河周平,@林照剛,@松川洋二,#山本航太郎,#アン・ヒョンジュン

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • エンドミル加工歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―高硬度材を対象としたエンドミル仕上げ加工―

    #池田蓮,@黒河周平,@林照剛,#小西優輝

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―ポリッシュ研削歯車と通常研削歯車の運転性能の比較―

    #小西優輝,@黒河周平,@林照剛,#池田蓮

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • 結晶基板を工具とする窒化ガリウムの平坦化中仕上げ加工

    #リ ホンリン,@黒河周平,@林照剛,#AO XUEMEI

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いたSiCに対するダブルパルス表面加工(第二報) 〜マルチショット時の加工表面構造の検討〜

    #村上萌恵,@林照剛,@黒河周平

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 ―細胞の成長に影響を及ぼす一方向テクスチャの調査―

    #小里信広,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#出野佑,@大森整

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 ―水・油仕様ワイヤ放電加工を用いたテクスチャリングと細胞の動態に及ぼす影響について―

    #出野佑,@黒河周平,@林照剛,@藏田耕作,#小里信広

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明 ―研磨性能に影響を与えるパッド表面形状の調査―

    #髙橋冬也,@黒河周平,@林照剛,@檜山浩國,@和田雄高,@半田直廉

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元歯車専用測定機の開発 ―歯車の測定前処理のための歯面推定―

    #安玄俊,@黒河周平,@林照剛,@松川洋二,#谷澤健太,@田口哲也

    2022年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 久留米地方講演会  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:久留米工業大学(久留米市)   国名:日本国  

  • ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第4報) -粒子の高さ相当径の評価-

    #朱家慶,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2022年度秋季大会学術講演会  2022年9月 

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    開催年月日: 2022年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究―第10報 溶媒粘度と拡散係数の関係の評価―

    #平野友裕,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2022年度春季大会学術講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第三報)―AFMを用いた高さ相当径の評価―

    #朱家慶,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2022年度春季大会学術講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明-研磨レートの異なるパッドの負荷曲線の調査と研磨モデルの提案-

    #林俊太郎,@黒河 周平,@林 照剛,@檜山 浩國,@和田 雄高,@半田 直廉

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響―ポリッシュ研削された歯車の疲労寿命試験における歯面状況の推移―

    #小金丸 高志,@黒河 周平,@林 照剛,@松川洋二,#後藤 愛実

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • CNC三次元歯車専用測定機の開発(校正結果異常値の原因分析)

    #安 玄俊,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#山本 邦晴,#桐原 修平,@田口 哲也,@堀内 雅史,@楊 迪

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 低照度フェムト秒レーザーによるSiCの加工表面組成変化

    #村上萌恵,@林 照剛,@黒河 周平

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 非接触レーザプローブを用いた歯車全周の測定に関する研究―基準位置の同定とレーザプローブの測定精度の把握―

    #山本 邦晴,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#山本 航太郎,#アン ヒョンジュン

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究―超高速加工による歯面への影響について―

    #後藤愛実,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#小金丸 高志,#池田蓮,@吉川啓祐,@石津 和幸

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究―ELID研削を用いたクロステクスチャリングと細胞の初期動態について―

    #小里 信広,@黒河 周平,@林 照剛,@藏田 耕作,@大森 整,#出野 佑

    日本機械学会九州支部 第75期総会・講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 三角測量方式レーザプローブ測定誤差予測のための反射光分布解析~幾何光学に基づく表面粗さ情報を用いたレーザー反射光分布シミュレータの開発~

    #山本 航太郎,@黒河 周平,@林 照剛,#山本 邦晴,#池田 蓮

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したワイヤ放電加工によるマルチスケールテクスチャリングと細胞の初期動態に関する研究

    #出野 佑,@黒河 周平,@林 照剛,@藏田 耕作,#小里 信広

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響―エンドミル加工歯車の歯形・歯すじ偏差の発生原因とその改善―

    #池田 蓮,@黒河 周平,#小金丸 高志,#後藤 愛実,@林 照剛

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 静電霧化技術による医療用ワイヤーへの均一な表面薄膜形成とその評価方法及び適切な条件の判定に関する研究

    #谷村 智,@黒河 周平,@林 照剛,@宮地 計二,@加藤 幹大

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 蛍光光子相関法を用いた並進ブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測に関する研究

    #井上 創太,@林 照剛,@黒河 周平,#平野 友裕

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 高速・高精度のCNC 三次元歯車測定機の開発−歯すじ測定の高速化及びスキャン速度と測定精度の評価−

    #桐原 修平,@黒河 周平,@林 照剛

    日本機械学会九州学生会 第53回学生員卒業研究発表講演会  2022年3月 

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究~第9報 周波数領域蛍光法を用いた回転ブラウン運動の計測~

    #平野 友裕,@林 照剛,@黒河 周平,#井上創太

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いたSiCに対するダブルパルス表面加工~顕微レーザーラマン分光装置によるレーザー加工痕の表面構造分析~

    #村上萌恵,@林照剛,@黒河周平

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 超高速切削による浸炭焼入歯車の仕上げホブ切りに関する研究- 歯車加工精度と歯面性状について-

    #後藤 愛実,@黒河 周平,@林 照剛,@松川洋二,#小金丸高志,#池田連,@石津和幸,@吉川啓二

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究―ポリッシュ研削された歯車の疲労寿命に及ぼす表面粗さの影響―

    #小金丸高志,@黒河周平,@林照剛,#後藤愛実,#池田蓮,@松川洋二

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究―ELID研削を用いた一方向テクスチャリング及びクロステクスチャリングと細胞の接着性についてー

    #小里 信広,@黒河 周平,@林 照剛,@大森 整,@藏田 耕作,#出野 佑

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明-研磨レートの異なるパッドの表面形状の調査-

    #林 俊太郎,@黒河 周平,@林 照剛,@檜山浩國,@和田雄高,@半田直廉

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • CNC三次元歯車専用測定機の開発―かさ歯車測定に向けた校正動作の安定性調査―

    #安 玄俊,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#山本 邦晴,@田口 哲也,@堀内 雅史,@楊 迪

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 非接触レーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究―歯車全周のプロファイル取得における基準位置の同定―

    #山本 邦晴,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#山本航 太郎,#アン・ヒョンジュン

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第二報)ーAFMを用いた一次粒子の粒径評価および誤差分析ー

    #朱 家慶,@林 照剛,@黒河 周平

    2021年度 公益社団法人精密工学会中国四国支部・九州支部共催 岡山地方講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第一報) ―AFMを用いた一次粒子の粒度分布評価―

    #朱家慶,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2021年度春季大会学術講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンデマンド   国名:日本国  

  • 超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究 -切削速度2000m/minを超える切削領域での歯面性状-

    #後藤 愛実,@黒河周平,@林 照剛,@松川 洋二,#小金丸 高志,@西村 幸久,@藤村宜孝,@吉川 啓祐,@石津 和幸

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響 ―表面粗さから考察される疲労寿命の予測と運転試験の経緯―

    #小金丸 高志,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#後藤 愛実

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • 高精度三次元歯車測定機の開発 -平歯車の三次元形状測定における端面エッジ及び面取り形状測定・評価-

    #須藤 優,@黒河 周平,#安 玄俊,@林 照剛,@松川 洋二,#山本 邦晴,@田口 哲也,@堀内 雅史,@楊 迪

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 -被測定物の表面粗さ変化に起因する検出誤差-

    #加治木 奨紀,@黒河 周平,@林 照剛,#山本邦晴

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒度分布計測 -偏光蛍光光子相関法を用いた並進・回転拡散係数測定による溶媒粘性評価-

    #平野 友裕,@林 照剛,@黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • ELID研削を前加工としたCVD多結晶SiCのP-CVM/CMP融合加工

    #大高下 修平,@黒河 周平,@林 照剛,#小里 信広,@大森 整,@上原 嘉宏

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる難加工性基板の光励起加工(第二報) ~合成石英に対するマルチショット加工による加工条件の検討~

    #水町 遼祐,@林 照剛,@黒河 周平,#村上 萌恵,@錦野将元,@長谷川 登,@ヂン タンフン

    一般社団法人日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Webex)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 (被測定物とスタイラスの干渉を回避するためのスタイラス姿勢検出)

    #安 玄俊,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#須藤 優,@田口 哲也,@堀内 雅史,@楊 迪

    一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • カーボン膜付きSiC 基板のフェムト秒レーザ加工

    #村上 萌恵,@林 輝剛,@黒河周平,#水町遼祐

    一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 非接触レーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 ―歯車全周のプロファイル取得とその測定値の評価―

    #山本邦晴,@黒河周平,@林照剛,#加治木奨紀,#須藤優

    一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 細胞の接着と増殖に最適な表面を目指したマルチスケールテクスチャリングに関する研究 -ELID 研削を用いた表面テクスチャリングと細胞の初期接着性について-

    #小里 信広,@黒河 周平,@林 照剛,@大森 整,@上原 嘉宏,@藏田 耕作,#大高下 修平

    一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 外部電極を用いた静電誘引形スプレーのパターン制御によるワイヤーへの塗着効率の向上に関する研究

    #ペ ジンソク,@黒河 周平,@林 照剛,@宮地 計二,@加藤 幹大

    一般社団法人日本機械学会 九州支部九州学生会 第52回学生員卒業研究発表講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (Zoom)   国名:日本国  

  • 触覚応答遅れ時間を仮定した指先の振動知覚メカニズムの解明 ―ヒトの指先の振動強度の検出可能閾値と等振動触覚曲線の調査―

    #福澤真知子,@黒河周平,@林 照剛,@井上 徹夫

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究 (第十三報) ~合成石英における光励起効果の検討~

    #水町遼祐,@林照剛,@黒河周平,#村上萌恵,@錦野将元,@長谷川登

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • ELID 研削を用いた生体適合材料の微細凹凸付加加工に関する研究

    #小里 信広,@黒河 周平,@林 照剛,#大高下 修平

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明 -研磨レートの異なる研磨パッドのポア部面積の定量化-

    #林 俊太郎,@黒河 周平,@林 照剛,@檜山浩國,@和田雄高,@半田直廉

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • ELID 研削を前加工としたCVD 多結晶SiC のP-CVM による酸化状態評価

    #大高下修平,@黒河周平,@林照剛,#小里信広

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーによる医療用ワイヤーへの高効率・高能率成膜に関する研究

    #ペジンソク,@黒河周平,@林照剛,@宮地計二,@加藤幹大

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 超高速切削による浸炭焼入歯車の仕上げホブ切りに関する研究 - 歯車加工精度と加工限界について-

    #後藤 愛実,@黒河 周平,@林 照剛,#小金丸高志,@松川洋二,@西村幸久,@藤村宜孝,@吉川啓祐

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 非接触ポイントレーザプローブを用いた三次元形状測定に関する研究 ―歯車の歯面・歯先・歯底を含む全周測定の試行とその問題点について―

    #山本 邦晴,@黒河 周平,@林 照剛,#加治木 奨紀

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC 三次元歯車専用測定機の開発 ―任意角度スタイラスの傾き角度検出―

    #安 玄俊,@黒河 周平,@林 照剛,@松川 洋二,#須藤 優,@田口 哲也,@堀内 雅史,@楊 迪

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 -検出誤差と表面粗さパラメータとの関係-

    #加治木 奨紀,@黒河 周平,@林 照剛,#山本邦晴

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状と運転性能に関する研究 ―表面粗さから考察される疲労寿命の予測と運転試験―

    #小金丸高志,@黒河 周平,@林 照剛,#後藤愛実,@松川洋二

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 回転ブラウン運動測定のための周波数領域蛍光法装置の開発

    #平野友裕,@林照剛,@黒河周平

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元歯車測定機の開発 平歯車の歯すじ方向スキャニング測定による立体形状の取得と歯形・歯すじ誤差の抽出・評価

    #須藤 優,@黒河 周平, @林照剛, @松川 洋二,#安 玄俊,#山本 邦晴,@田口 哲也, @堀内 雅史,@楊 迪

    2020年度 公益社団法人精密工学会九州支部 学生Web講演会  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンライン (MS Teams)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第8報 ナノ粒子の粒径と並進拡散係数の関係の評価~

    #平野友裕 ,@林照剛,@黒河周平

    公益社団法人精密工学会2020年度秋季大会学術講演会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:web オンデマンド   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元測定機の開発 -測定誤差成分の分類とその要因の調査-

    #梶谷 優人, #須藤 優, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, @田口 哲也, @松岡 良太

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 -過大な検出誤差の原因となりうる表面粗さと反射率の関係-

    #加治木 奨紀, @黒河 周平, @林 照剛

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • ELID研削を前工程とするP-CVD多結晶SiCの平坦化加工

    #大高下 修平, @黒河 周平, @林 照剛, #若松 海斗

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 薄膜付き透明材料のフェムト秒レーザ加工についての研究(第二報) -くり返し照射パルスによる加工形態-

    #廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #水町 遼祐

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる難加工性基板の光励起加工

    #水町 遼祐, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, #津波古 康平

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定における表面形状の算出とその評価

    #須藤 優, @黒河 周平, #梶谷 優人, @林 照剛, @田口 哲也, @松岡 良太, @松川 洋二

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨 ~添加剤の濃度変化における研磨効率と凝集状態の調査~

    #若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #大高下 修平

    日本機械学会九州支部第73期総会・講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 超高速切削による歯車の仕上げホブ切りに関する研究 ―詳細測定による歯面形状誤差に関する調査―

    #後藤 愛実, @黒河 周平, #小金丸 高志, @林 照剛

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工表面性状が運転性能に及ぼす影響 ―ポリッシュ研削された歯車の加工表面性状と運転試験―

    #小金丸 高志, @黒河 周平, @林 照剛, #後藤 愛実, @松川 洋二

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 外部電極を用いた静電誘引形スプレーのパターン制御に関する研究

    #山下 悠人, @黒河 周平, @林 照剛, @加藤 幹大, @宮地 計二

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 低照度フェムト秒レーザを用いた半導体基板の加工痕形状の評価

    #津波古 康平, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, #水町 遼祐

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 研磨パッド-ウェーハ接触界面における砥粒挙動の定量化

    #入船 聡太, @黒河 周平, @林 照剛, @檜山 浩國, @和田 雄高, @高東 智佳子, @嶋 昇平, @半田 直廉

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測に関する研究

    #平野 友裕, @林 照剛, @黒河 周平, #赤星 圭将

    日本機械学会九州支部九州学生会 第51回学生員卒業研究発表講演会  2020年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第十二報) ー照射回数と加工形態変化の関係についての検討ー

    #水町 遼祐, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, @長谷川 登, @錦野 将元, @ヂンタンフン

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • ナノパーティクルマイクロアレイを用いたナノ粒子粒度分布計測(第二報) ―粒子の個数ベースサイズ分布とDLS測定結果の比較―

    #朱 家慶, @林 照剛, @黒河 周平

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • ELID研削とP-CVMを組み合わせたCVD多結晶SiCの平坦化加工

    #大高下 修平, @黒河 周平, @林 照剛, #若松 海斗

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨 ~pH 調整によるスラリー性状の調査~

    #若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #大高下 修平

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ー第6報 溶媒粘度による並進拡散係数のバラツキ評価ー

    #赤星 圭将, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二, #平野 友裕

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC 三次元測定機の開発―測定誤差を与える要因の調査―

    #梶谷 優人, @黒河 周平, #須藤 優, @林 照剛, @松川 洋二, @田口 哲也, @松岡 良太

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • ラインレーザプローブを用いた三次元形状計測に関する研究 -過大な検出誤差発生のモデル化とシミュレーション-

    #加治木 奨紀, @黒河 周平, @林 照剛, @田口 哲也, @松岡 良太

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 歯車専用測定機における平歯車の端面エッジを含む歯すじ測定法の確立とその評価

    #須藤 優, @黒河 周平, #梶谷 優人, @林 照剛, @松川 洋二, @田口 哲也, @松岡 良太

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究(第二報) ー膜付き基板における加工閾値評価ー

    #廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #水町 遼祐

    2019年度 公益社団法人精密工学会 九州支部・中国四国支部共催 佐世保地方講演会  2019年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 高集積化ナノ粒子チップを用いた一次粒子の粒径分布計測 ―未知濃度の粒子溶液のモル濃度の計測―

    #朱 家慶, @林 照剛, @黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会 第13回生産加工・工作機械部門講演会  2019年10月 

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    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 薄膜付き透明材料のフェムト秒レーザ加工についての研究

    #廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #水町 遼祐, @長谷川 登, @錦野 将元, @ヂン タン フ

    一般社団法人日本機械学会 第13回生産加工・工作機械部門講演会  2019年10月 

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    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学 黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • はすば歯車の基礎円付近におけるトロコイド干渉によるピッチング損傷 (歯面接触 状態と摩耗の逐次変化を考慮したシミュレーション)

    @熊谷 幸司, @隼田 敦之, @内藤 佑太, @黒河周平

    一般社団法人日本機械学会2019年度年次大会  2019年9月 

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    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:秋田大学 手形キャンパス(秋田市)   国名:日本国  

  • 歯面に溝を有する仮想高周波振動フェースギヤの検証

    @井上徹夫, @黒河周平

    一般社団法人日本機械学会2019年度年次大会  2019年9月 

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    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:秋田大学 手形キャンパス(秋田市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザによるダブルパルスビームを用いた励起状態面の表面加工に関する研究 第十一報 繰り返しパルスを用いた合成石英の表面加工

    #水町遼祐, @林照剛, @黒河周平, #廣津佑紀, @錦野将元, @長谷川登, @ヂンダンフン

    公益社団法人精密工学会2019年度秋季大会学術講演会  2019年9月 

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    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:静岡大学 浜松キャンパス(浜松市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザ照射されたSiC基板のCMP研磨特性

    @黒河周平,#王成武,@林照剛

    2019年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2019)  2019年8月 

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    開催年月日: 2019年8月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:埼玉大学(さいたま市)   国名:日本国  

  • The Cleaning Effect of High-Pressure Jet on Hard and Soft CMP Pads 国際会議

    @Syuhei KUROKAWA, @Hirokuni HIYAMA, @Yutaka WADA, and @Chikako TAKATOH

    The 23rd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization(CAMP2019)  2019年8月 

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    開催年月日: 2019年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

  • Multiple Femtosecond Laser Ablation Effect for 4H-SiC Substrate and Its Application to CMP 国際会議

    @Syuhei Kurokawa, @Chengwu Wang, @Terutake Hayashi, and @Toshiro Doi

    The 12nd MIRAI Conference on Microfabrication and Green Technology  2019年8月 

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    開催年月日: 2019年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いた高精度ナノ粒子粒径計測に関する研究 ―分散媒粘度が並進拡散係数に及ぼす影響についての検討―

    #赤星 圭将, @林 照剛, @黒河 周平, #草場 博喜

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 外部電場付加によるレジスト塗布膜厚制御へ向けた外部電極形状の検討

    #萱島 秀紀, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #山本 周平, @小林 義典, @宮地 計二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨―低濃度スラリーを用いた高効率研磨-

    #若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #渡邊 敦則

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 低温応答性を有するCO2可逆吸収剤の高効率利用における微細加工技術の応用―膜厚および担体表面積が利用効率に与える影響―

    #山本 周平, @黒河 周平, @林 照剛, @星野 友, @松川 洋二, #萱島 秀紀

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いた薄膜付き透明材料の光励起加工に関する研究

    #廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #水町 遼祐

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元測定機の開発―校正球とスタイラス球の表面状態が校正に与える影響―

    #梶谷 優人, @黒河 周平, @田口 哲也, #宮本 祐有, @林 照剛, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第72期総会・講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • ナノパーティクルマイクロアレイを用いたナノ粒子粒度分布計測(第一報)—1次粒子の個別抽出技術の検討—

    #朱 家慶, @林 照剛, @黒河 周平

    公益財団法人精密工学会 2019年度春季大会学術講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学 東京千住キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • CMPの研磨パッドと基板との界面におけるスラリー砥粒の挙動観察—ハードパッドとソフトパッドの砥粒挙動の比較観察—

    #渡邊 敦則, @黒河 周平, @林 照剛, @半田 直廉, @和田 雄高, @高東智佳子, @嶋 昇平, @檜山浩國

    公益財団法人精密工学会 2019年度春季大会学術講演会  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学 東京千住キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究—第5報 蛍光プローブを標識したナノ粒子の並進拡散時間評価—

    #草場博喜, @林 照剛, @黒河周平, #赤星圭将

    公益財団法人精密工学会 2019年度春季大会学術講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学 東京千住キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルス ビームによる合成石英の光励起加工

    #水町 遼祐, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • 歯車の加工性状が運転性能に与える影響についての研究―エンドミル加工された歯車の加工面性状―

    #都築 宗一郎, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #宮本 祐有

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • プラズマ融合 CMP による CVD 多結晶 SiC の平坦化加工

    #大高下 修平, @黒河 周平, @林 照剛, #関口 寛教

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブを用いた三次元形状測定における異常測定値の発生原因調査

    #加治木 奨紀, @黒河 周平, @林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元測定機の開発―歯車の多断面歯すじ測定―

    #宮本 祐有, @黒河 周平, @田口 哲也, #梶谷 優人, @林 照剛, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザー光励起加工における基板表面反射率の時間空間分解計測システムの開発

    #西田 涼, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀

    一般社団法人日本機械学会九州学生会 第50回学生員卒業研究発表講演会  2019年3月 

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    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーによる外部電場付加を利用した塗布膜厚制御

    #萱島秀紀, @黒河周平, @林 照剛, @松川洋二, #山本周平, @小林義典, @宮地計二

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨 ~異なるスラリー濃度による高効率研磨~

    #若松 海斗, @黒河 周平, @林 照剛, #渡邊 敦則

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • CMPの研磨パッドと基板との界面における研磨機構解明のためのスラリー砥粒の挙動観察

    #渡邊 敦則, @黒河 周平, @林 照剛, @半田 直廉, @和田 雄高, 高東 智佳子, @嶋 昇平, @檜山 浩國

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • CVD-SiC 基板の CMP における強酸化剤を利用した段差解消の検討

    #関口寛教, @黒河周平, @林 照剛, #大高下 修平

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 低温応答性を有するCO2可逆吸収剤の高効率利用における微細加工技術の適用―膜厚変化による反応への影響―

    #山本周平, @黒河周平, @林 照剛, @星野友, #萱島秀紀, @松川洋二

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • ナノ粒子粒径計測時におけるブラウン運動粒子の粘性抵抗評価

    #赤星圭将, @林 照剛, @黒河周平, #草場博喜

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • ナノパーティクルマイクロアレイによるナノ粒子幾何学径の評価

    #朱 家慶, @林 照剛, @黒河 周平

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第 3報 蛍光プローブの並進拡散係数の評価~

    #草場博喜, @林 照剛, @黒河周平

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元測定機の開発 ―プローブの精度が校正に与える影響―

    #梶谷 優人, @黒河 周平, #宮本 祐有, @林 照剛, @松川 洋二, @田口 哲也

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究

    #廣津佑紀, @林 照剛, @黒河周平, #水町遼佑, @松川洋二

    2018年度 公益財団法人精密工学会 九州支部 北九州地方講演会  2018年12月 

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    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • トロコイド干渉によるはすば歯車のピッチング損傷 (基礎円付近の歯面損傷に及ぼす歯先修整の影響)

    #熊谷 幸司, @森川 邦彦, @隼田 敦之, @内藤 佑太, @黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学千里山キャンパス(大阪府吹田市)   国名:日本国  

  • CMP スラリー中のナノ粒子粒径評価に関する研究

    @林 照剛, @黒河 周平, #草場 博喜, #赤星 圭介, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学千里山キャンパス(大阪府吹田市)   国名:日本国  

  • 低照度フェムト秒レーザー照射後の半導体表面の光反射率変化の計測

    @林 照剛, #松永 啓伍, @黒河 周平, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学千里山キャンパス(大阪府吹田市)   国名:日本国  

  • 歯面に付加した溝により仮想的な高かみ合い周波数を発生する フェースギヤの設計

    @井上 徹夫, @黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会2018年度年次大会  2018年9月 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学千里山キャンパス(大阪府吹田市)   国名:日本国  

  • 座標測定機能を有する歯車測定機の開発 -プローブの姿勢が測定精度へ与える影響の評価-

    @松岡良太, @田口哲也, @黒河周平

    公益財団法人精密工学会 2018年度秋季大会学術講演会  2018年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:函館アリーナ(函館市)   国名:日本国  

  • 触覚応答遅れ時間によるリール巻き心地の推定と振動検出閾曲線の導出

    @井上 徹夫, @黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会第18回機素潤滑設計部門講演会  2018年4月 

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    開催年月日: 2018年4月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:月岡ホテル(山形県上山市)   国名:日本国  

  • CNC 歯車測定機の多機能化―原点ずれが歯形誤差に与える影響―

    #宇都宮 勇貴, #梶谷 優人, @黒河 周平, @田口 哲也, @林 照剛, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部第71期総会講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 新規CO2可逆吸収剤の高効率利用における微細加工技術の応用‐最適な実験系の構築‐

    #山本 周平, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #萱島 秀紀

    一般社団法人日本機械学会九州支部第71期総会講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • レジスト膜厚分布を利用したTSV 形成用のための高能率成膜に関する研究

    #萱島秀紀, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #山本 周平, @小林 義典, @宮地 計二

    一般社団法人日本機械学会九州支部第71期総会講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブにおける微小表面粗さによる測定結果への影響

    #蒋 敏, @黒河 周平, @林 照剛, #宇都宮 勇貴, #山本 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部第71期総会講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • ELID 研削前加工を施したSiC- CMP における基板表面の高効率・高品位化の検討

    #吹春 昇, #関口 寛教, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部第71期総会講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたCMPスラリーの砥粒粒度分布計測 -砥粒粒径の幾何学径と拡散係数相当径の比較-

    @林 照剛, #草場 博喜, @黒河 周平, @松川 洋二

    2018年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2018年3月 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中央大学後楽園キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測-第4報 蛍光標識ナノ粒子の拡散係数計測-

    #草場 博喜, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二

    2018年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中央大学後楽園キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第9報 加工変質層の元素組成評価)

    #松永 啓伍, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二, @長谷川 豊, @錦野 将元

    2018年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2018年3月 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中央大学後楽園キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 凝集コロイダルセリアを利用した石英ガラス基板研磨―研磨圧力とスラリー濃度がガラス基板の研磨特性に及ぼす影響-

    #若松海斗, @黒河 周平, @林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第49回 学生員 卒業研究発表講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学理工学部旦野原キャンパス(大分市)   国名:日本国  

  • フェムト秒ダブルパルスビームを用いた低ダメージレーザクリーニング

    #廣津 佑紀, @林 照剛, @黒河 周平, #松永 啓伍

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第49回 学生員 卒業研究発表講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学理工学部旦野原キャンパス(大分市)   国名:日本国  

  • 粘性抵抗評価に基づくCMPスラリー中砥粒の粒度分布計測に関する研究

    #赤星 圭将, @林 照剛, @黒河 周平, #草場 博喜

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第49回 学生員 卒業研究発表講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学理工学部旦野原キャンパス(大分市)   国名:日本国  

  • CVD-SiC基板のCMPにおける段差解消の検討

    #関口 寛教, @黒河 周平, @林 照剛, #吹春 昇

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第49回 学生員 卒業研究発表講演会  2018年3月 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学理工学部旦野原キャンパス(大分市)   国名:日本国  

  • 高速・高精度CNC三次元測定機の校正方法の比較

    #梶谷 優人, #宇都宮 勇貴, @黒河 周平, @林 照剛, @田口 哲也, @松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第49回 学生員 卒業研究発表講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学理工学部旦野原キャンパス(大分市)   国名:日本国  

  • ELID 研削加工を施した SiC 基板の CMP による基板表面の高品位化の検討

    #吹春 昇, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #関口 寛教

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

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    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • TSV形成用レジストの膜厚分布を利用したビアホール内部への成膜法に関する研究

    #萱島秀紀, @黒河 周平, @林 照剛, @松川 洋二, #山本 周平, @小林 義典, @宮地 計二

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 微細加工技術を適用した新規CO2可逆吸収剤の高効率利用に関する研究

    #山本 周平, @黒河 周平, @林 照剛, #萱島 秀紀, @松川 洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

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    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いた膜付透明材料の微細加工に関する研究

    #松永 啓伍, @林 照剛, @黒河 周平, #廣津 佑紀, @松川 洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 異なる表面粗さを有する工学表面の非接触ラインレーザプローブによる測定

    #蒋 敏, @黒河 周平, @林 照剛, #宇都宮 勇貴, #山本 周平, @松川 洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 座標測定機能を有する歯車測定機を使用した内歯車の全周スキャニング測定

    #宇都宮 勇貴, @黒河 周平, #梶谷 優人, @田口 哲也, @林 照剛, @松川 洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

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    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究

    #草場 博喜, @林 照剛, @黒河 周平, #赤星 圭将

    2017年度 公益社団法人精密工学会九州支部 熊本地方講演会  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学黒髪キャンパス(熊本市)   国名:日本国  

  • 透明材料の光励起応答を利用した3次元光トリガー加工に関する研究(第2報)-透明材料加工のための光励起技術の検討-

    #松永 啓伍, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2017年9月 

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    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学 豊中キャンパス(大阪府豊中市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリア砥粒の凝集状態に着目した石英ガラスの基板研磨

    @黒河 周平, #外山 貴彬, @林 照剛, @須田 栄作, @徳田 潤

    2017年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学 豊中キャンパス(大阪府豊中市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第8報)-低ダメージレーザー照射技術の表面洗浄への応用ー

    @林 照剛, #松永 啓伍, @黒河 周平, @松川 洋二, @長谷川 豊, @錦野 将元

    2017年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学 豊中キャンパス(大阪府豊中市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第7報)-加工変質層の評価ー

    #松永 啓伍, @林 照剛, @黒河 周平, @松川 洋二, @長谷川 豊, @錦野 将元

    2017年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学 豊中キャンパス(大阪府豊中市)   国名:日本国  

  • フェースギヤTE制御曲線に沿った座標測定による魚釣り用リールの巻き心地推定

    @井上 徹夫, @黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会2017年度年次大会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:埼玉大学(さいたま市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーによる半導体表面の光励起加工

    @林 照剛, #松永 啓伍, @黒河 周平, @松川 洋二, @長谷川 豊, @錦野 将元

    2017年度砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年8月 - 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたナノ粒子粒径計測システムの開発

    @林 照剛, #世利 俊樹, @黒河 周平, @松川 洋二

    2017年度砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017  2017年8月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年8月 - 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブにおけるプローブ姿勢による測定ばらつきについて

    蒋 敏, 黒河 周平, 林 照剛, 宇都宮 勇貴

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • エンドミル工具摩耗のインプロセス検出に関する研究―ボールエンドミルにおける摩耗検出結果について―

    鳥居 哲也, Gouarir Amine,村田 光昭, 黒河 周平, 松川 洋二, 林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリア砥粒を用いた石英ガラス基板研磨~AFMを用いた基板表面の調査~

    黒河 周平, 林 照剛, 外山 貴彬

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • 研削加工を前工程としたSiC基板に対する高効率研磨の検討

    吹春 昇, 王 成武, 外山 貴彬, 黒河 周平,林 照剛, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • CMPソフトパッド表面性状の観察調査―高圧ジェットのパッド表面性状への影響評価―

    北村 将, 渡邊 敦則, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山 浩國, 和田 雄高, 高東 智佳子

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の半導体表面加工に関する研究(第3報)-光励起効果による電子密度の影響-

    横尾 英昭, 林 照剛, 黒河 周平, 松永 啓吾, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第70期総会講演会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学理工学部(佐賀市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第六報)-表面ダメージ層の検討-

    #松永 啓伍, @林 照剛, @黒河 周平, #横尾 英昭, @松川 洋二, @長谷川登, @錦野将元

    2017年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第五報)-光表面励起効果の検討-

    松永 啓伍, 林 照剛, 黒河 周平, 横尾 英昭, 松川 洋二, 長谷川登, 錦野将元

    2017年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  • CNC歯車測定機を使用した小モジュール・内歯車の全周スキャニング測定

    宇都宮 勇貴, 黒河 周平, 都築 宗一郎, 林 照剛, 松川 洋二, 田口 哲也

    2017年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  • ナノ粒子粒径評価のためのブラウン運動解析に基づく粘性計測

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平, 草場 博喜

    2017年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第3報)-ナノ粒子に対する粘性抵抗の評価-

    林 照剛, 世利俊樹, 黒河周平, 松川洋二

    2017年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス(神奈川県横浜市)   国名:日本国  

  • 微細加工によるCO2 吸収装置の効率向上に関する研究

    山本 周平, 黒河 周平, 林 照剛, 蒋 敏

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第48回卒業研究発表講演会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学工学部(沖縄県中頭郡西原町)   国名:日本国  

  • マルチパラメーター蛍光相関分光法を用いたブラウン運動解析によるナノ粒子粒径計測技 術に関する研究

    草場 博喜, 林 照剛, 黒河 周平, 世利 俊樹

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第48回卒業研究発表講演会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学工学部(沖縄県中頭郡西原町)   国名:日本国  

  • 蛍光観察による CMP 仕上げ研磨用ソフトパッドとウェーハ接触部の調査

    渡邊 敦則, 北村 将, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山 浩國, 和田 雄高, 高東 智佳子

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第48回卒業研究発表講演会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学工学部(沖縄県中頭郡西原町)   国名:日本国  

  • TSV 形成用レジストの均一成膜技術に関する研究(スポット成膜を利用した高能率成 膜)

    萱島 秀紀, 黒河 周平, 林 照剛, 小林 義典, 宮地 計二

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第48回卒業研究発表講演会  2017年3月 

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    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学工学部(沖縄県中頭郡西原町)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いた単結晶SiC表面改質による高効率研磨の実現~加工前基板の表面状態とレーザによる表面除去・改質の効果の関係~

    吹春 昇, 黒河周平, 林 照剛, 外山貴彬

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第三報)-間接遷移半導体の加工領域と励起電子密度の関係-

    横尾英昭, 林 照剛, 黒河周平, 松永啓伍, 松川洋二

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第四報)―励起現象の時間変化に関する検証―

    松永 啓伍, 林 照剛, 黒河 周平, 横尾 英昭, 松川 洋二

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 座標測定機能を有する歯車測定機を使用した小モジュール歯車測定

    宇都宮 勇貴, 黒河 周平, 都築 宗一郎, 林 照剛, 松川 洋二, 田口 哲也

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 非接触ラインレーザプローブによる異なるアスペクト比を持つ形状測定

    蒋敏, 黒河周平, 林照剛, 宇都宮勇貴, 山本周平

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • エンドミル工具摩耗のインプロセス検出に関する研究―ボールエンドミルにおける切れ刃の接触状態と検出信号について―

    鳥居哲也, Amine GOUARIR, 黒河周平, 林 照剛, 松川洋二, 村田光昭

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブのブラウン運動解析によるCMPスラリーの粘性抵抗計測

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平, 草場 博喜

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリア砥粒を用いた石英ガラス基板研磨~高能率研磨及びそのメカニズム~

    外山 貴彬, 黒河 周平, 林 照剛

    2016年度 公益社団法人精密工学会九州支部 北九州地方講演会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子の粒径計測技術に関する研究―分散媒の粘性と温度の測定―

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 大型鍛鋼品の偏析帯と焼割れ発生の関係

    有川 剛史, 今村亮祐, 黒河周平

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の半導体表面加工に関する研究―表面励起状態の時間依存特性に関する検討―

    横尾 英昭, 林 照剛, 黒河 周平, 松永 啓伍, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 歯車対のかみ合い伝達誤差波形成分に対する指先の触覚応答特性

    井上徹夫, 黒河周平

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • 座標測定機能を有する歯車測定機における3Dプローブ校正方法の検討

    松岡 良太, 田口 哲也, 黒河 周平, 寺岡 孝, 宇都宮 勇貴

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • はすば歯車の歯底・歯元を含む軸直角断面スキャニング測定

    黒河 周平, 寺岡 孝, 宇都宮 勇貴, 林 照剛, 田口 哲也

    一般社団法人日本機械学会2016年度年次大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 伊都キャンパス(福岡市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第二報)-間接遷移半導体の表面改質領域とパルス間隔の関係-

    横尾英昭, 林 照剛, 黒河周平, 松永啓伍, 松川洋二

    2016年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:茨城大学 水戸キャンパス(茨城県水戸市)   国名:日本国  

  • 透明材料の光励起応答を利用した3 次元光トリガー加工に関する研究

    林 照剛, 黒河周平, 横尾英昭, 松永啓伍, 松川洋二

    2016年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:茨城大学 水戸キャンパス(茨城県水戸市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第2 報)-光子相関法による並進拡散係数計測-

    林 照剛, 世利俊樹, 黒河周平, 松川洋二

    2016年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:茨城大学 水戸キャンパス(茨城県水戸市)   国名:日本国  

  • 低照度ダブルパルスビームを用いたワイドバンドギャップ半導体のナノ表面励起加工に関する研究

    林 照剛, 松永啓伍, 黒河周平, 横尾英昭, 松川洋二, 長谷川登, 錦野将元, 乙部智仁, 熊田高之

    2016年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:茨城大学 水戸キャンパス(茨城県水戸市)   国名:日本国  

  • 革新的“Plasma fusion CMP装置”の設計・試作(第12報)—B-type装置によるダイヤモンド基板の高能率加工とその加工メカニズム

    西澤 秀明, 土肥 俊郎, 大山 幸希, 會田 英雄, 佐野 泰久, 黒河 周平, 金 聖祐

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第3報)—表面励起効果の検討

    林 照剛, 横尾 英昭, 松永 啓伍, 松川 洋二, 王 成武, 黒河 周平

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測

    林 照剛, 世利 俊樹, 黒河 周平

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第6報)—fsレーザ照射による疑似ラジカル場形成基板表面のCMP研磨特性

    黒河 周平, 王 成武, 土肥 俊郎, 佐野 泰久, 會田 英雄, 大山 幸希, 林 照剛, 吹春 昇

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第10報)—基本型装置(A型)によるダイヤモンドの加工

    佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 宮崎 俊亘, 山内 和人

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第11報)—B-Type装置によるGaN基板加工特性とその加工メカニズム

    大山 幸希, 西澤 秀明, 土肥 俊郎, 會田 英雄, 金 聖祐, 佐野 泰久, 黒河 周平, 山崎直樹

    2016年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)   国名:日本国  

  • エンドミル工具摩耗のインプロセス検出に関する研究―ボールエンドミルにおける検出信号について

    鳥居 哲也, Gouarir Amine, 村田 光昭, 黒河 周平, 松川 洋二, 林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリア砥粒による石英ガラス基板研磨―KOH添加による砥粒凝集状態と研磨レート調査

    外山 貴彬, 黒河 周平, 林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 静電誘引型スプレーを用いたTSV向けレジスト成膜に関する研究―対向電極を用いた成膜パターンの精密化

    内山 雄介, 黒河 周平, 林 照剛, 宮地 計二, 小林 義典, 松尾 一壽

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の半導体表面加工に関する研究

    横尾 英昭, 林 照剛, 松永 啓伍, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 高圧ジェットを用いたCMP用ソフトパッド表面の洗浄効果―回転速度と噴霧圧力による残留シリカ除去効果

    徳元 勇太, 北村 将, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山 浩國, 和田 雄高, 高東 智佳子

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • CMPハードパッドにおける高圧ジェット洗浄効果の定量評価―噴射圧力および噴射距離と洗浄効果

    北村 将, 徳元 勇太, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山 浩國, 和田 雄高, 高東 智佳子

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いたナノ粒子の粒径計測技術に関する研究

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • 三次元座標測定機能を有する歯車測定機の開発―はすば歯車の軸直角断面スキャニング測定手法の考案

    寺岡 孝, 宇都宮 勇貴, 黒河 周平, 田口 哲也, 林 照剛, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第69期総会講演会  2016年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:熊本大学工学部(熊本市)   国名:日本国  

  • ダブルパルスフェムト秒レーザーを用いた半導体の表面励起加工に関する研究―励起照明の検討―

    松永 啓伍, 林 照剛, 横尾 英昭, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第47回卒業研究発表講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島工業高等専門学校(鹿児島県霧島市)   国名:日本国  

  • 歯車断面スキャニング測定におけるエッジ部の測定および形状評価―歯先部測定時におけるスタイラスの過度な押し込みの回避―

    宇都宮 勇貴, 寺岡 孝, 黒河 周平, 田口 哲也, 林 照剛, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第47回卒業研究発表講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島工業高等専門学校(鹿児島県霧島市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いた単結晶SiC表面改質による高効率研磨の実現~レーザによる表面改質に対する加工前基板表面粗さの影響~

    吹春 昇, 王 成武, 黒河 周平, 林 照剛, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第47回卒業研究発表講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島工業高等専門学校(鹿児島県霧島市)   国名:日本国  

  • 微細加工技術を応用した二酸化炭素吸収剤の高効率利用に関する研究

    山田 拓也, 黒河 周平, 林 照剛, 内山 雄介

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第47回卒業研究発表講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島工業高等専門学校(鹿児島県霧島市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーの回折照明を用いた半導体ウェハのナノ表面欠陥検出に関する研究

    神崎 信之介, 林 照剛, 黒河 周平, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第47回卒業研究発表講演会  2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島工業高等専門学校(鹿児島県霧島市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いたダブルパルスビームによる表面励起現象を利用した表面加工に関する研究

    横尾 英昭, 林 照剛, 松永 啓伍, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたレジスト成膜に関する研究―電圧切替によるレジスト膜の部分膜厚制御―

    内山 雄介, 黒河 周平, 林 照剛, 宮地 計二, 小林 義典, 松尾 一壽

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリア砥粒を用いた石英ガラス基板研磨~pH調整による高品位・高能率研磨~

    外山 貴彬, 黒河 周平, 林 照剛

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • 蛍光プローブを用いた砥粒のブラウン運動評価に関する研究

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • CMPハードパッドにおける高圧ジェット洗浄効果の定量評価―定盤回転速度および洗浄時間と洗浄効果―

    北村 将, 徳元 勇太, 黒河 周平, 林 照剛, 和田 雄高, 檜山 浩國, 高東 智佳子

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • 高圧ジェットを用いたCMP用ソフトパッド表面の洗浄効果―定盤の回転速度と噴霧圧力による洗浄効果―

    徳元 勇太, 北村 将, 黒河 周平, 林 照剛, 和田 雄高, 檜山 浩國, 高東 智佳子

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • エンドミル工具摩耗のインプロセス検出に関する研究―検出結果の切削速度非依存性について―

    鳥居 哲也, Gouarir Amine, 黒河 周平, 松川 洋二, 林 照剛, 村田 光昭

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • 三次元座標測定機能を有する歯車測定機の開発―はすば歯車断面スキャニング測定の歯形誤差評価―

    寺岡 孝, 宇都宮 勇貴, 黒河 周平, 松川 洋二, 林 照剛, 田口 哲也

    2015年度 公益社団法人精密工学会九州支部 飯塚地方講演会  2015年12月 

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学情報工学部 飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究

    林 照剛, 横尾 英昭, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    日本機械学会2015年度年次大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学工学部(札幌市)   国名:日本国  

  • 伝達誤差制御曲線を有するフェースギヤ対のピニオンギヤ圧力角誤差低減方法の提案

    井上 徹夫, 黒河 周平

    日本機械学会2015年度年次大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学工学部(札幌市)   国名:日本国  

  • 歯底・歯元を含めたはすば歯車の断面スキャニング測定―ねじれ角によるスタイラスの歯車軸方向変位の影響

    寺岡 孝, 上杉 健輔, 黒河 周平, 田口 哲也, 林 照剛, 松川 洋二

    日本機械学会2015年度年次大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学工学部(札幌市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いたダブルパルス照射による励起状態面の表面加工に関する研究

    横尾 英昭, 林 照剛, 松川 洋二, 王 成武, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • 蛍光偏光法を用いたCMPスラリーの粘性係数測定による砥粒拡散現象評価

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • 高圧ジェットを用いたCMP用ソフトパッド表面の洗浄効果

    徳元 勇太, 北村 将, 黒河 周平, 林 照剛, 和田 雄高

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討

    林 照剛, 横尾 英昭, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第8報)-基本型装置(A型)によるダイヤモンド加工の基礎検討

    佐野 泰久, 塩澤 昂祐, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • 革新的 “Plasma fusion CMP装置”の設計・試作(第9報)-ダイヤモンド単結晶基板の加工特性

    西澤 秀明, 大山 幸希, 土肥 俊郎, 會田 英雄, 金 聖祐, 佐野 泰久, 黒河 周平, 王 成武

    2015年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2015年9月 

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    開催年月日: 2015年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学 川内北キャンパス(仙台市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

    林 照剛, 横尾 英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河 周平

    2015年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東洋大学 白山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 革新的”plazma fusion CMP装置”の設計・試作(第6報)―基本型装置(A型)の平坦化特性についての詳細な検討―

    塩澤 昴祐, 平岡 佑太, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 曾田 英雄, 大山 幸希, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    2015年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2015年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東洋大学 白山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 革新的”plazma fusion CMP装置”の設計・試作(第7報)―”plasma fusion CMP装置”(B型)による加工メカニズムの検討―

    大山 幸希, 土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 曾田 英雄, 金 聖祐, 塩澤 昴祐, 西澤秀明, 山﨑 努, 宮下 忠一

    2015年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東洋大学 白山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 三次元座標測定機能を有する歯車測定機の開発―歯車全周スキャニング測定のはすば歯車への応用―

    寺岡 孝, 上杉 健輔, 黒河 周平, 林 照剛, 田口 哲也, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 歯車全周スキャニング測定と作用歯面部の曲面形状解析―歯車ピッチ誤差計算における新評価手法の提案―

    上杉 健輔, 寺岡 孝, 田口 哲也, 黒河 周平, 林 照剛, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 高圧ジェットによる研磨用ソフトパッド表面のコンディショニング効果

    徳元 勇太, 黒河 周平, 林 照剛, 北村 将, 和田 雄高, 檜山 浩國

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたTSVおよびMEMS向けレジストパターンコーティングに関する研究

    佛淵 友彬, 内山 雄介, 黒河 周平, 林 照剛, 宮地 計二, 小林 義則, 松尾 一壽

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたレジスト成膜に関する研究-マルチノズル形状による成膜の高効率化-

    内山 雄介, 佛淵 友彬, 宮地 計二, 小林 義則, 松尾 一壽, 林 照剛, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 異なる表面粗さを有する被測定物の高精度三次元測定機におけるスキャニング測定-スタイラスチップ挙動の繰り返し性評価-

    藤岡 拓寛, 黒河 周平, 林 照剛, 松川 洋二, 寺岡 孝

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 加工雰囲気の違いによるSiCウエハの研磨特性

    張 吉, 黒河 周平, 林 照剛, 王 成武, 浅川 英志

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第68期総会講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • コロイダルセリアスラリーを用いた高能率・高品位研磨に関する研究

    外山 貴彬, 黒河 周平, 森 聡太郎, 林 照剛

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • スクエアエンドミル加工時における工具逃げ面摩耗と工具・被削材間接触電気抵抗との相関

    間庭 崇裕, Gouarir Amine, 黒河 周平, 林 照剛, 村田 光昭

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • CMP スラリー系のナノ粒子拡散現象評価

    世利 俊樹, 林 照剛, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • CMP 研磨パッドの目詰まりと高圧ジェットによる洗浄効果の統計的調査

    北村 将, 徳元 勇太, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山浩國, 和田雄高, 高東智佳子

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザーによるコヒーレントフォノン励起面の表面加工に関する研究

    横尾 英昭, 林 照剛, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 酸化剤添加スラリーを用いた単結晶SiC ウエハのSi 面とC 面での研磨特性の差異

    浅川 英志, 黒河 周平, 林 照剛, 王 成武, 張 吉

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第46回卒業研究発表講演会  2015年3月 

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    開催年月日: 2015年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北九州工業高等専門学校(北九州市)   国名:日本国  

  • 三次元測定機能を有する歯車測定機の開発―全周スキャニング測定における歯形誤差の繰り返し性評価―

    寺岡 孝, 上杉 健輔, 黒河 周平, 松川 洋二, 林 照剛, 田口 哲也

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

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    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 加工雰囲気の違いによるSiC ウエハの研磨特性

    張 吉, 黒河 周平, 林 照剛, 王 成武, 浅川 英志

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 高圧ジェットによるコンディショニングの評価

    徳元 勇太, 北村 将, 黒河 周平, 林 照剛, 和田 雄高, 福永 明, 檜山 浩國

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたレジスト成膜に関する研究―ノズル形状およびノズルレイアウトによるレジスト成膜への影響―

    内山 雄介, 佛淵 友彬, 林 照剛, 黒河 周平, 宮地 計二, 小林 義則, 松尾 一壽

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたレジスト膜の部分膜厚制御に関する研究

    佛淵 友彬, 内山 雄介, 林 照剛, 黒河 周平, 宮地 計二, 小林 義則, 松尾 一壽

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 歯車全周スキャニング測定と歯面形状解析に関する研究―歯車表面データからのピッチ・歯厚・歯溝のふれ抽出―

    上杉 健輔, 寺岡 孝, 林 照剛, 黒河 周平, 松川 洋二, 田口 哲也

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 異なる表面粗さを有する被測定物のスキャニング測定におけるスタイラスチップ挙動への影響

    藤岡 拓寛, 黒河 周平, 林 照剛, 松川 洋二, 上杉 健輔, 寺岡 孝

    2014年度 公益社団法人精密工学会九州支部 鹿児島地方講演会  2014年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鹿児島大学工学部(鹿児島市)   国名:日本国  

  • 周波数分解光ゲート法を用いた半導体ウェハ表面の非接触光計測に関する研究

    林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会第10回生産加工・工作機械部門講演会  2014年11月 

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    開催年月日: 2014年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:徳島大学常三島キャンパス(徳島市)   国名:日本国  

  • Hybrid X-FROG法を用いたウェハ表面の非接触光計測技術に関する研究

    林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河 周平

    2014年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2014年9月 

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    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鳥取大学 鳥取キャンパス(鳥取市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第4報)―A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価―

    佐野 泰久, 塩澤 昴祐, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 曾田 英雄, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    2014年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2014年9月 

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    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鳥取大学 鳥取キャンパス(鳥取市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第5報)―B-type装置による各種難加工材料の基本的加工特性とその評価―

    大山 幸希, 土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 曾田 英雄, 塩澤 昴祐, 宮下 忠一, 金 聖祐

    2014年度 公益社団法人精密工学会秋季大会  2014年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:鳥取大学 鳥取キャンパス(鳥取市)   国名:日本国  

  • 伝達誤差制御曲線を有するフェースギヤの回転誤差発生メカニズムとその低減方法の研究

    井上徹夫, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会2014年度年次大会  2014年9月 

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    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学 東京千住キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 九州大学工学部旧生産機械工学科の工作実習教育

    吉田 敬介, 黒河 周平, 三島 美佐子

    一般社団法人日本機械学会2014年度年次大会  2014年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学 東京千住キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 歯車対のかみ合い伝達誤差評価用振動シミュレーターの開発

    井上徹夫, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会第14回機素潤滑設計部門 部門講演会  2014年4月 

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    開催年月日: 2014年4月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:信州松島ロイヤルホテル(長野市)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM 融合装置の設計・試作(第3 報)―挑戦型融合加工装置 (B -type)とその基本特性―

    大山 幸希, 土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 曾田 英雄, 塩澤 昴祐, 宮下 忠一, 住澤 春男

    2014年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学 本郷キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM 融合装置の設計・試作(第1 報)― 装置化の基本コンセプトと試作装置 ―

    土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 曾田英雄

    2014年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学 本郷キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 革新的CMP/P-CVM 融合装置の設計・試作(第2 報)―基本型融合加工装置 (A -type)とその基本特性―

    塩澤 昴祐, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 曾田 英雄, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人

    2014年度 公益社団法人精密工学会春季大会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学 本郷キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • Approach to High Efficient CMP for Power Device Substrates 招待 国際会議

    Syuhei Kurokawa, Chengwu WANG, Shin-ichi KOMAI, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI, Yasuhisa SANO, Keiichi TSUKAMOTO, Toshiro Karaki Doi

    China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2014  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:中華人民共和国  

    Approach to High Efficient CMP for Power Device Substrates

  • 高分解能・微小径ロータリエンコーダ開発を目的としたグレーティングディスクのナノマシニング(直径1mm と250μm のグレーティングディスクの比較)

    車 ヒョミン, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 法元 盛久

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 繊維加熱FW 法がCFRP 容器強度に及ぼす影響

    與島 健司, 佐島 隆生, 黒河 周平, 田淵 大介, 蓑田 愛

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 多給糸FW 法における層構成がCFRP 容器強度に及ぼす影響

    過能 健太, 佐島 隆生, 黒河 周平, 田淵 大介, 蓑田 愛

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 透光性アルミナウェハーの平坦化加工に関する研究 -結晶方位が及ぼす影響の調査と平坦性の向上について

    森 聡太郎, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 酸化マンガンスラリーによるSiC ウエハの研磨特性̶研磨能率へのオフ角の依存性̶

    張 吉, 黒河 周平, 永松 彦人

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたTSV 内レジスト成膜に関する研究

    佛淵 友彬, 黒河 周平, 丸山 健治, 宮地 計二, 小林 義典, 松尾 一壽, 内山 雄介

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 異なる表面粗さを有する被測定物の高精度三次元測定機によるスキャニング測定

    藤岡 拓寛, 黒河 周平, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 座標測定機能を有する歯車測定機の開発と三次元歯面形状解析

    上杉 健輔, 黒河 周平, 寺岡 孝, MD.Hazrat Ali, 松川 洋二, 田口 哲也

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 具摩耗のインプロセス検出におけるチップブレーカおよび切削油による影響

    藤原 宏彰, 黒河 周平, 村田 光昭, Amine Gouarir

    一般社団法人日本機械学会九州支部 第67期総会講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 工学部(北九州市)   国名:日本国  

  • 化学的アプローチによる単結晶SiC ウエハの高効率研磨に関する研究

    永松 彦人, 森 聡太郎, 張 吉, 王 成武, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第45回卒業研究発表講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーによるコンフォーマル成膜技術に関する研究―スプレーの基本的性質と成膜条件の違いによる影響―

    内山 雄介, 黒河 周平, 佛淵 友彬, 宮地 計二, 小林 義典, 丸山 健治, 松尾 一嘉

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第45回卒業研究発表講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • フェムト秒レーザを用いた高脆性材料の内部吸収型低カーフロス加工に関する研究

    駒井 信一, 黒河 周平, 王 成武

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第45回卒業研究発表講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • CNC 三次元測定機の開発と歯車形状パラメータの抽出

    寺岡 孝, 黒河 周平, 上杉 健輔, MD.Hazrat ALI, 田口 哲也

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第45回卒業研究発表講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 曲線ヒータを用いた同時加熱FW 法によるCFRP 容器の開発

    坂口 翔一, 佐島 隆生, 黒河 周平, 田淵 大介, 蓑田 愛

    一般社団法人日本機械学会九州支部九州学生会 第45回卒業研究発表講演会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学 工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • CFRP容器製造のための繊維加熱装置開発に関する研究

    與島 健司, 佐島 隆生, 黒河 周平, 田淵 大介, 蓑田 愛

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

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    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 透光性アルミナウェハーの平坦化加工に関する研究‐研磨レートと結晶方位の関連把握‐

    森 聡太郎, 黒河 周平

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

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    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 高圧雰囲気対応型CMP装置におけるpH及び添加剤によるSiCウエハの研磨特性

    張 吉, 黒河 周平, 尹 涛, 王 成武, 森 聡太郎, 永松 彦人

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

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    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • CNC座標測定機の開発と歯車全周スキャニング測定の高精度化

    上杉 健輔, 黒河 周平, 寺岡 孝, MD. Hazrat ALI, 松川 洋二, 田口 哲也

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

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    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 高精度三次元測定機のスキャニング測定における表面粗さとスキャニングパラメータの関係

    藤岡 拓寛, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 工具摩耗のインプロセス検出における切れ刃コーティングの影響

    藤原 宏彰, 黒河 周平, 村田 光昭, Amine Gouarir

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

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    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 多給糸FW法によるCFRP容器開発に関する研究

    過能 健太, 佐島 隆生, 黒河 周平, 田淵 大介, 蓑田 愛

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • マイクロ機械要素の回転伝達誤差評価を目的とした微小径ロータリエンコーダ用グレーティングディスクの開発

    車 ヒョミン, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 法元 盛久

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 静電誘引形スプレーを用いたレジスト成膜に関する研究―レジスト濃度とホットプレート温度の影響―

    佛淵 友彬, 黒河 周平, 宮地 計二, 小林 義典, 丸山 健治, 松尾 一壽

    2013年度 公益社団法人精密工学会九州支部 宮崎地方講演会  2013年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮崎大学 工学部(宮崎市)   国名:日本国  

  • 長寿命域における鋳鉄歯車の面圧強さに関する基礎研究

    石丸 良平, 有浦 泰常, 黒河 周平, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門 運動及び動力伝達機構MPT2013シンポジウム<伝動装置>  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮日会館(宮崎市)   国名:日本国  

  • 歯車の歯元,歯底および歯先を含む歯面の全周スキャニング測定

    黒河 周平, 上杉 健輔, 寺岡 孝, MD. Hazrat Ali, 田口 哲也, 梅崎 洋二, 松川 洋二

    一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門 運動及び動力伝達機構MPT2013シンポジウム<伝動装置>  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮日会館(宮崎市)   国名:日本国  

  • Camera Based Automatic Stylus Tracking During Gear Profile Measurement

    2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    Camera Based Automatic Stylus Tracking During Gear Profile Measurement

  • 伝達誤差制御曲線を有するフェースギヤのかみ合いにおけるアラインメント誤差と加工誤差の影響

    井上 徹夫, 黒河 周平

    一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門 運動及び動力伝達機構MPT2013シンポジウム<伝動装置>  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:宮日会館(宮崎市)   国名:日本国  

  • Prototype Development of a Micro Grating Disk by Nanomanufacturing Technique for Micro Gear Metrology 招待 国際会議

    Syuhei Kurokawa

    The 2013 International symposium on Advanced Engineering, ISAE 2013  2013年11月 

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    開催年月日: 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    Prototype Development of a Micro Grating Disk by Nanomanufacturing Technique for Micro Gear Metrology

  • Diamond Substrate Planarization Polishing Technique 国際会議

    Koki OYAMA, Toshiro Karaki Doi, Hideo AIDA, Syuhei Kurokawa, Yasuhisa SANO, Hidetoshi TAKEDA, Koji KOYAMA, Tsutomu YAMAZAKI, Kunimitsu TAKAHASHI

    The International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月 - 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:台湾  

    Diamond Substrate Planarization Polishing Technique

  • Removal Rate Improvement in SiC-CMP using MnO2 Slurry with Strong Oxidant 国際会議

    Syuhei Kurokawa, Takateru EGASHIRA, Zhe TAN, Tao YIN, Toshiro Karaki Doi

    The International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT2013  2013年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月 - 2013年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:台湾  

    Removal Rate Improvement in SiC-CMP using MnO2 Slurry with Strong Oxidant

  • Formation and Evaluation of Quasi-radical Site Induced by Femtosecond Laser on the Surface of Diamond 国際会議

    Chengwu WANG, Syuhei Kurokawa, Shin-ichi KOMAI, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI, Yasuhisa SANO, Keiichi TSUKAMOTO, Toshiro Karaki Doi

    The 13th International Symposium on Aerospace Technoloy  2013年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    Formation and Evaluation of Quasi-radical Site Induced by Femtosecond Laser on the Surface of Diamond

  • Influence of Manufacturing Error on Transmission Error of a Face Gear with Controlled Curve and Proposal of Improved Manufacturing Process 国際会議

    Tetsuo INOUE, Syuhei Kurokawa

    The International Conference on Gears  2013年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

    Influence of Manufacturing Error on Transmission Error of a Face Gear with Controlled Curve and Proposal of Improved Manufacturing Process

  • Experimental Estimation for Wear Resistance of Coating Films on High-speed Steel Hob and the Effect of Oxidization of Coating Films on Crater Wear 国際会議

    Syuhei Kurokawa, Yoji Umezaki, Yoshiyuki FUNAKI

    The International Conference on Gears  2013年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

    Experimental Estimation for Wear Resistance of Coating Films on High-speed Steel Hob and the Effect of Oxidization of Coating Films on Crater Wear

  • レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発-測定誤差に影響をおよぼす要因-

    甲木 昭雄, 佐島 隆生, 村上 洋, MD. Hazrat Ali, 大西 修, 黒河 周平

    2013年度 精密工学会秋季大会  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学 千里山キャンパス(吹田市)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第3報)―fsレーザ照射による疑似ラジカル場形成ダイヤモンド基板とその基本的加工特性―

    大山 幸希, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 佐野 泰久, 會田 英雄, 高橋 邦充, 武田 秀俊, 塚本 敬一, 紀 文勇, 山崎 努, 小山 浩司

    2013年度 精密工学会秋季大会  2013年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学 千里山キャンパス(吹田市)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第4報)―加工変質層の断面TEMによる評価とそのPCVM加工特性―

    塩澤 昂祐, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大西 修, 畝田 道雄, 岡田 悠, 山内 和人

    2013年度 精密工学会秋季大会  2013年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学 千里山キャンパス(吹田市)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第5報)―fsレーザ照射による疑似ラジカル場形成の検討―

    黒河 周平, 王 成武, 駒井 信一, 會田 英雄, 大山 幸希, 高橋 邦充, 佐野 泰久, 塚本 敬一, 土肥 俊郎

    2013年度 精密工学会秋季大会  2013年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:関西大学 千里山キャンパス(吹田市)   国名:日本国  

  • マイクロ歯車精度計測のための微小径ロータリエンコーダの開発―直径500umのグレーティングディスクの連続的信号検出―

    車皛暋, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二

    日本機械学会2013年度年次大会  2013年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学 津島キャンパス(岡山市)   国名:日本国  

  • 伝達誤差制御歯面を有するフェースギヤのかみ合いに関する研究(第1報)―アラインメント誤差による干渉発生メカニズムの解明

    井上 徹夫, 黒河 周平

    日本機械学会2013年度年次大会  2013年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:岡山大学 津島キャンパス(岡山市)   国名:日本国  

  • Polishing Characteristics of Manganese Slurry in Glass substrate and SiC Wafer 招待 国際会議

    Syuhei Kurokawa

    The 18th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization  2013年8月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

    Polishing Characteristics of Manganese Slurry in Glass substrate and SiC Wafer

  • Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears Including Working Flanks, Tooth Tip and Bottom Profiles 国際会議

    Syuhei Kurokawa, M.D. Hazrat ALI, Kensuke UESUGI, Tetsuya TAGUCHI, Yoji Umezaki, Yoji MATSUKAWA

    The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII2013  2013年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

    Whole Circumference Scanning Measurement of Cylindrical Gears Including Working Flanks, Tooth Tip and Bottom Profiles

  • A Study for Damage of Carbide Hobs 国際会議

    Ryohei Ishimaru, Isao Sakuragi, Yasuo Yoshitake, Naoshi Izumi, Syuhei Kurokawa

    The 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013  2013年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    A Study for Damage of Carbide Hobs

  • Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel 国際会議

    Tetsuo Inoue, Syuhei Kurokawa

    The 5th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Triboligy, ICMDT2013  2013年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    Tooth Flank Modification on Face Gear with Transmission Error Controlled Curve and Investigation on Rotational Feeling in Spinning Reel

  • Prototype of a Grating Disk of 500 μm in Diameter using Nanoimprint Technique to Evaluate the Micro Gear Engagement 国際会議

    2013年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:BEXCO(BUsan)   国名:大韓民国  

  • Characteristics in SiC-CMP Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant under Different Atmospheric Conditions 招待 国際会議

    The 2013 MRS Spring Meeting & Exibit (invited)  2013年4月 

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    開催年月日: 2013年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:アメリカ合衆国  

    Characteristics in SiC-CMP Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant under Different Atmospheric Conditions

  • Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods 国際会議

    Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

    The 9th Cooperative and Joint international conference on Ultra-precision Machining Process, CJUMP2013  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    Development of High Speed Tool Wear Detection System by using DC Two-Terminal Methods

  • ガラス基板の研磨における酸化マンガン系スラリーの開発と研磨メカニズムの考察

    武藤 美代, 瀬下 清, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 梅崎 洋二, 山崎 努

    2013年度精密工学会春季大会学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第1報)―新しい概念を導入した加工プロセスの提案―

    土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 會田 英雄, 大西 修, 畝田 道雄

    2013年度精密工学会春季大会学術講演会  2013年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究(第2報)-疑似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大-

    佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 大西 修, 畝田 道雄, 岡田 悠, 西川 央明, 山内 和人

    2013年度精密工学会春季大会学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都)   国名:日本国  

  • 直流2端子法による工具・被削材間接触電気抵抗のインプロセス測定

    村田 光昭, 黒河 周平, 大西 修, 永田 晃大, 土肥 俊郎

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 微小径ロータリエンコーダ用グレーティングディスクの開発(ナノインプリント技術を用いた直径500 µmのグレーティングディスクの試作)

    車 皛暋, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 法元 盛久

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • TSV裏面のCMP後における洗浄性に関する研究

    岩元 真一, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 畝田 道雄, 大西 修, 鈴木 敏之, 河瀬 康弘, 原田 憲

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 耐圧密閉チャンバー型CMP装置による加工雰囲気制御下での難加工材料の加工特性-元素分析による研磨特性の評価-

    江頭 峻輝, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 大西 修, 畝田 道雄, 越山 勇, 市川 大造

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • CMPコンディショニングによるパッド表面解析

    江上 和貴, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 大西 修

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • スプレー成膜法を用いた有機薄膜太陽電池の製造と性能評価

    村田 昌彦, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 松川 洋二, 三宅 邦仁, 宮地 計二, 小林 義典

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハの加工特性-酸化剤添加MnO2スラリーを用いたSiCウエハのC面とSi面それぞれの加工特性-

    譚 喆, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 大西 修, 松川 洋二, 山崎 努, 尹 涛

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 炭素繊維電極を用いたシリコンのワイヤ放電加工に関する基礎的研究

    大西 修, 稲尾 卓哉, 佐島 隆生, 黒河 周平, 土肥 俊郎

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • CFRP複合水素容器の過昇温現象の抑制に関する研究

    過能 健太, 佐島 隆生, 甲木 昭雄, 黒河 周平, 田淵 大介, 岡崎 順二, 蓑田 愛, 中川 幸次郎

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • ホブコーティング膜の耐摩耗向上に関する基礎研究

    米村 星人, 梅崎 洋二, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 舟木 義行

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • SiCスローアウェイチップの製作とそれを用いた旋削における加工特性

    藤原 宏彰, 黒河 周平, 大西 修, 土肥 俊郎, 藤田 房雄, 高橋 和男

    日本機械学会九州支部第66期総会講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州産業大学工学部(福岡市)   国名:日本国  

  • 高純度SiCウエハの廃材から製造したSiCスラリーを用いたCMP研磨に関する研究

    森 聡太郎, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 王 智達, 藤田 房雄, 高橋 和男

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • 球状黒鉛鋳鉄歯車の被削性に関する研究

    山田 康介, 梅崎 洋二, 黒河 周平

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • CFRPタンク成形における外部加熱装置の開発および評価

    稗田 謙一, 佐島 隆生, 甲木 昭雄, 黒河 周平

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • TSV用レジスト膜のコンフォーマル成膜に関する研究~ビアホール内の膜厚に対するスプレー距離の影響~

    佛淵 友彬, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 清家 善之

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • 歯車測定機のワーク回転軸を用いた歯車形状の全周測定手法の開発ならびに誤差の評価

    上杉 健輔, Md. Hazrat Ali, 田口 哲也, 黒河 周平

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • 超低熱膨張ブロックゲージを用いた高精度大型座標測定機の校正

    野地 俊成, 黒河 周平

    日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:阿蘇ファームランド(熊本県阿蘇郡)   国名:日本国  

  • FW法における外部加熱装置の開発および評価

    稗田 謙一, 佐島 隆生, 甲木 昭雄, 黒河 周平

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 高精度大型座標測定機の校正に関する研究

    野地 俊成, 黒河 周平

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 高純度SiCウエハとその廃材より製造したSiCスラリーによるCMP研磨に関する研究

    森 聡太郎, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 王 智達, 藤田 房雄, 高橋 和男

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 歯車測定機のワーク回転軸を用いた歯車形状の全周測定法の開発

    上杉 健輔, Md. Hazrat Ali, 黒河 周平, 田口 哲也

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 回転霧化式エアロゾルスプレーを用いたTSV内レジスト成膜に関する研究

    佛淵 友彬, 黒河 周平, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 清家 善之

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 歯車材適用を目指した球状黒鉛鋳鉄の被削性に関する研究

    山田 康介, 黒河 周平, 梅崎 洋二

    2012年度精密工学会九州支部第13回学生研究発表会  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • Formation of Organic EL Films by Combination of Precision Spray Deposition Method and Imprinting Technique under Atmospheric Pressure 招待 国際会議

    Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Takanori Iwahashi, Koichi Sato, Yoshinori Kobayashi

    The 12th International Symposium on Advanced Organic Photonics ISAOP-12 (Invited)  2012年12月 

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    開催年月日: 2012年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    Formation of Organic EL Films by Combination of Precision Spray Deposition Method and Imprinting Technique under Atmospheric Pressure

  • Development of Mechanical Actuator for Deep-Hole Measurement System 国際会議

    Md. Hazrat Ali, Akio Katsuki, Takao Sajima, Hiroshi Murakami, Syuhei Kurokawa

    The First International Conference for Trends in Intelligent Robotics, Automation, and Manufacturing IRAM2012  2012年11月 

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    開催年月日: 2012年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:マレーシア  

    Development of Mechanical Actuator for Deep-Hole Measurement System

  • Tool Flank Wear Estimation in Face Milling by Holm's Contact Theory 国際会議

    Mitsuaki Murata, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Toshiro Karaki Doi

    The International Conference on Manufacturing Process Technology 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

    Tool Flank Wear Estimation in Face Milling by Holm's Contact Theory

  • Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine 国際会議

    Takateru Egashira, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Isamu Koshiyama, Daizo Ichikawa

    Advanced Metallization Conference 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine

  • SiC-CMP Processing Characteristics under Different Atmospheres Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant 国際会議

    Advanced Metallization Conference 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    SiC-CMP Processing Characteristics under Different Atmospheres Using MnO2 Slurry with Strong Oxidant

  • Conformal Resist Coating Technique in the Trough-Silicon Via (TSV) with a Rotary Atomizer Aerosol Spray 国際会議

    Yoshiyuki Seike, Masanori Ohtubo, Kenji Maruyama, Futoshi Shimai, Hiroyuki Akenaga, Hirosih Morishita, Keiji Miyachi, Masahiko Amari, Toshiro Karaki Doi, Syuhei Kurokawa

    Advanced Metallization Conference 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    Conformal Resist Coating Technique in the Trough-Silicon Via (TSV) with a Rotary Atomizer Aerosol Spray

  • Evaluation of Surface Damaged Layer Depth of Si Wafer for TSV 国際会議

    Shinichi Iwamoto, Syuhei Kurokawa, Toshiro Karaki Doi, Michio Uneda, Osamu Ohnishi, Toshiyuki Suzuki, Yasuhiro Kawase, Ken Harada

    Advanced Metallization Conference 2012  2012年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

    Evaluation of Surface Damaged Layer Depth of Si Wafer for TSV

  • Processing Properties of Strong Oxidizing Slurry and Effect of Processing Atmosphere in SiC-CMP 国際会議

    International Conference on Planarization/CMP Technology 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:フランス共和国  

    Processing Properties of Strong Oxidizing Slurry and Effect of Processing Atmosphere in SiC-CMP

  • 微小径ロータリエンコーダ用グレーティングディスクの開発(ナノ・マシニング手法を用いた放射格子溝の試作)

    黒河 周平, 車 皛暋, 梅崎 洋二, 松川 洋二, 土肥 俊郎

    日本機械学会九州支部福岡講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • 高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハの加工特性―酸化剤添加MnO2スラリーを用いたCMP加工特性―

    譚 喆, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修, 山崎 努, 尹 涛

    日本機械学会九州支部福岡講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学(福岡市)   国名:日本国  

  • SiCへの超音波振動マイクロ穴加工における加工特性

    大西 修, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 高橋 和男, 藤田 房雄, 水江 宏, 城門 由人

    2012年度精密工学会秋季大会学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • Siウエハの加工変質層の評価

    岩元 真一, 黒河 周平, 土肥 俊郎, 畝田 道雄, 大西 修, 鈴木 敏之, 河瀬 康弘, 原田 憲

    2012年度精密工学会秋季大会学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • CMPコンディショナの砥粒配置とパッド表面状態の解析

    黒河 周平, 江上 和貴, 土肥 俊郎, 大西 修

    2012年度精密工学会秋季大会学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性

    江頭 峻輝, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修, 畝田 道雄, 越山 勇, 市川 大造

    2012年度精密工学会秋季大会学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 強酸化剤を添加したスラリーによるSiCウエハのCMP加工特性

    尹 涛, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 大西 修, 山崎 努, 王 智達, 譚 喆

    2012年度精密工学会秋季大会学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス(北九州市)   国名:日本国  

  • 伝達誤差制御歯面を有するフェースギヤのかみ合いに関する研究(アラインメント誤差と加工誤差の影響度の調査)

    井上 徹夫, 黒河 周平

    日本機械学会2012年度年次大会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢大学 角間キャンパス(金沢市)   国名:日本国  

  • APPLICATION OF MEMS TECHNIQUE FOR MICRO GEAR METROLOGY 国際会議

    Syuhei KUROKAWA, Yoji UMEZAKI, Morihisa HOGA, Ryohei ISHIMARU, Osamu OHNISHI and Toshiro DOI

    The 4th International Conference on Power Transmissions - PT'21  2012年6月 

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    開催年月日: 2012年6月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ルーマニア  

  • マイクロ歯車の精度計測を目指した微小径ロータリエンコーダの開発(グレーティングディスク放射格子溝の試作)

    黒河周平,梅崎洋二,松川洋二,大西 修,土肥俊郎

    日本機械学会 第12回機素潤滑設計部門講演会  2012年4月 

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    開催年月日: 2012年4月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛媛県県民文化会館(松山市)   国名:日本国  

  • シリコンのワイヤ放電加工特性

    稲生卓哉,大西修,土肥俊郎,黒河周平,畝田道雄,佐島隆生,水江宏

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • CuメッキのCMPにおける材料表面のマイクロスクラッチの簡易評価法

    山口智士,河野博之,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • 有機薄膜太陽電池製造におけるスプレー成膜法と噴霧条件変化による膜状態の改善

    村田昌彦,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,岩橋孝典,三宅邦仁,宮地計二,小林義典

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • 脱真空・スプレー/ナノインプリント融合プロセス技術による有樹EL薄膜の超精密成膜技術(第二報)

    岩橋孝典,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,村田昌彦,小林義典

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • CMPコンディショナの砥粒状態とパッド表面解析

    江上和貴,黒河周平,土肥俊郎,大西修,畝田道雄,門村和徳

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • 加工環境を制御したCMP装置によるSiCウエハの高能率加工に関する研究 –SiC-CMP加工における加工雰囲気及びスラリーpHの影響-

    尹涛,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,山崎努,王智達,譚喆,江頭峻輝

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • Bell-Jar型CMP装置による各種加工雰囲気下での難加工材料の加工特性

    江頭峻輝,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,越山勇,市川大造

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • MnO2スラリーを用いた高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハ特性

    譚喆,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,山崎努,尹涛,王智達

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • 高純度SiC製造プロセスにおける副生成物の精密研磨用スラリーへの応用 –粉砕SiC微粒子の分粒法と研磨特性の検討-

    王智達,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,松川洋二,尹涛,藤田房雄,高橋和男

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • TSV用バックグラインドSiウエハの加工変質層の評価

    岩元真一,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,鈴木敏之,河瀬康弘,原田憲

    日本機械学会九州支部 第65期総会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐賀大学(佐賀市)   国名:日本国  

  • 機能性難加工材料の研磨特性に関する基礎研究

    古賀慎二,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,松廣啓治

    2012年度精密工学会春季大会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:首都大学東京(東京都)   国名:日本国  

  • CMPにおける新しい溝パターンパッドの開発 –各種パッド溝によるガラス基板の研磨特性-

    山崎努,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修

    2012年度精密工学会春季大会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:首都大学東京(東京都)   国名:日本国  

  • 高圧水素貯蔵タンク内壁の平滑鏡面加工技術(第1報) -汎用スラリーによるAl-CMPと電解援用の効果-

    畝田道雄,土肥俊郎,佐島隆生,黒河周平,大西修,嶋田俊太,朴成千,三浦崇寛

    2012年度精密工学会春季大会講演会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:首都大学東京(東京都)   国名:日本国  

  • 低環境負荷球状黒鉛鋳鉄材における基礎実験

    宇根裕一,梅崎洋二,黒河周平,松川洋二

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • PCDドリルによるSiCへの穴加工特性

    大西修,土肥俊郎,黒河周平,藤原宏彰,高橋和男,藤田房雄

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • 画像解析を用いたCMPパッド上におけるスラリー流れの定量的解析

    麻生康徳,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,山崎努,瀬下清

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • 機能性材料基板のCMPとその加工特性

    李学昌,古賀慎二,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • 三次元測定機能を有する歯車測定機の開発と,はすば歯車の歯底スキャニング測定

    野地俊成,黒河周平,土肥俊郎,大西修

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • 高品位溝加工を実現するためのマイクロエンドミルの形状に関する研究

    過能健太,大西修,土肥俊郎,黒河周平

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • 水素ライナー用アルミニウムの電界複合CMPに関する基礎研究

    嶋田俊太,土肥俊郎,畝田道雄,黒河周平,大西修,三浦崇寛

    日本機械学会九州学生会 第43回卒業研究発表会  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:佐世保工業高等専門学校(佐世保市)   国名:日本国  

  • Development of In-process Tool Flank Wear Detection System for Intermittent Cutting Process by Face Milling 国際会議

    Mitsuaki MURATA, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, and Toshiro DOI

    The 4th International Conference on Advanced Manufacturing  2012年3月 

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    開催年月日: 2012年3月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:台湾  

  • RC回路を用いたシリコンの放電加工特性

    稲生卓哉,大西修,土肥俊郎,黒河周平,佐島隆生,畝田道雄

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • 有機薄膜太陽電池におけるスプレー塗布条件と有樹膜状態の関係

    村田昌彦,土肥俊郎,黒河周平

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • TSV用Siウエハの加工変質層の評価

    岩元真一,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,鈴木敏之,河瀬康弘,原田憲

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • 有樹EL高分子薄膜スプレー製造法における乾燥速度の影響

    岩橋孝典,土肥俊郎,黒河周平,大西修,小林義典,佐藤行一,村田昌彦

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • LN単結晶基板の研磨における機械的作用と化学的作用の影響

    古賀慎二,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,松廣啓治

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • Bell-Jar型CMP装置を用いた加工環境制御下におけるサファイアの加工特性

    江頭峻輝,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,越山勇

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • 高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハ特性に関する研究

    譚喆,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,山崎努

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • CMP研磨用SiCスラリーの製造と研磨特性に関する研究

    王智達,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,藤田房雄,高橋和男

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • 加工環境を制御したCMP装置によるSiCウエハの高能率加工に関する研究 –酸化剤(KMnO4)を添加したコロイダルシリカの加工特性-

    尹涛,土肥俊郎,黒河周平,大西修,畝田道雄,山崎努

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

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  • ホブコーティング膜AlCrSiNの耐摩耗性に関する研究

    米村星人,梅崎洋二,大西修,黒河周平,土肥俊郎

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • 工具・被削材間接触電気抵抗変化によるフライス工具摩耗のインプロセス検出

    村田光昭,黒河周平,大西修,畝田道雄,土肥俊郎

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • マイクロ電着工具を用いたシリコンへのELID研削加工特性

    高下洋平,大西修,土肥俊郎,黒河周平,畝田道雄

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • CMPパッドドレッシングにおけるドレッサ砥粒の配置と軌跡に関する研究

    江上和貴,黒河周平,土肥俊郎,大西修,畝田道雄,門村和徳

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • CuメッキSiウエハによるスクラッチの簡易評価法

    山口智士,土肥俊郎,河野博之,黒河周平,大西修,畝田道雄

    2011年度精密工学会九州支部大分地方講演会  2011年12月 

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    開催年月日: 2011年12月

    会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大分大学(大分市)   国名:日本国  

  • Research on the electrochemical process (E-CMP) for aluminum alloy-Polishing on inside an aluminum tank for fuel system 国際会議

    Toshiro DOI, Kenji YOJIMA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Syuhei KUROKAWA, Takao SAJIMA, Tsutomu YAMAZAKI and Takahiro MIURA

    Fray International Symposium 2011  2011年11月