2024/07/28 更新

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シラタニ マサハル
白谷 正治
SHIRATANI MASAHARU
所属
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 教授
プラズマナノ界面工学センター (併任)
工学部 電気情報工学科(併任)
システム情報科学府 電気電子工学専攻(併任)
マス・フォア・イノベーション連係学府 (併任)
職名
教授
連絡先
メールアドレス
電話番号
0928023734
プロフィール
1)研究活動概要 プラズマプロセスは,半導体産業をはじめ様々な分野で広く使われている.今後さらに,有機,無機の様々な機能性薄膜材料や新しいデバイスの作製に応用されると考えられており,高精度のプロセス制御技術が求められている.当研究室では,新しいプラズマプロセス技術の開発とその応用について研究している.特に,長期的視野で重要なものを研究課題として選定している.主な課題として,次のような研究を行っている. 1.太陽光発電材料製造技術の研究 経済の発展と人口増加に伴う,エネルギー消費の増大と環境破壊の問題の解決が21世紀の最重要課題である.この解決には,クリーンな発電技術である太陽光発電が大きな役割を果たすと期待されており,太陽電池の高効率化と低コスト化が求められている.当研究室では,21世紀に主流となると考えられるアモルファスシリコン太陽電池の高効率化と低コスト化を実現する製造技術の研究を行っている.これまでに,種々の新しい製造技術の提案を行ってきており,その成果は国内外の研究者から注目されている. 2.微粒子を用いた新しいナノ構造デバイスの研究  ナノメートルサイズの微粒子は,サイズ効果,量子効果の発現が可能なため,これらの効果を利用した新しいナノ構造デバイスの創製が期待されている.この課題に対して,微粒子の結晶性・サイズ・位置の制御技術の開発を行っている.これまでに,青色発光を示すナノシリコン結晶微粒子の作製に成功している. 3.次世代大規模集積回路内配線技術の開発  高集積化が進むにつれて,集積回路内の配線長は長くなり21世紀初頭には,配線総延長は数kmを越えると予想されている.このため今後は,トランジスタより配線が集積回路の性能,歩留まり,信頼性を決めるようになる.このような観点から,プラズマCVD法による銅配線形成技術を開発中であり,既に高純度の銅をサブミクロン幅の溝に埋め込むことに成功している. これまでの研究成果に対して,1991,1996年度に電気学会優秀論文発表賞を,1998年度には日本学術振興会プラズマ材料科学賞を受賞した. 2)教育活動  学内においては学部では,プラズマエレクトロニクス,電磁気学I,電気情報工学卒業研究を,大学院では,プラズマプロセス基礎特論,ナノ集積システム工学演習,電子デバイス工学演習第一,電子デバイス工学演習第二,電子デバイス工学演習第三,電子デバイス工学特別研究を担当している.また,学外においてはサマースクール,講習会等の講師として,全国の大学院生,および社会人を対象とした教育も行っている.

学位

  • 工学博士(九州大学,日本)

研究テーマ・研究キーワード

  • 研究テーマ:プラズマ農業

    研究キーワード:低温プラズマ,発芽率向上,成長促進

    研究期間: 2010年4月 - 2028年6月

  • 研究テーマ:第三世代超高効率太陽電池の研究

    研究キーワード:第三世代太陽電池, 多重励起子

    研究期間: 2008年10月

  • 研究テーマ:次世代LSI用低誘電率層間絶縁膜形成技術の開発

    研究キーワード:低誘電率層間絶縁膜

    研究期間: 2002年1月

  • 研究テーマ:プラズマ・カーボン壁相互作用による微粒子形成機構の研究

    研究キーワード:プラズマ・壁相互作用,核融合

    研究期間: 2001年1月

  • 研究テーマ:次世代LSI用銅配線技術の開発

    研究キーワード:銅配線

    研究期間: 1998年1月

  • 研究テーマ:プロセスプラズマ中の微粒子成長機構の解明と成長制御の研究

    研究キーワード:プロセスプラズマ,微粒子

    研究期間: 1987年1月

  • 研究テーマ:高品質太陽光発電材料の高速製造技術の研究

    研究キーワード:アモルファスシリコン

    研究期間: 1987年1月

受賞

  • 2023 Plasma Materials Science Hall of Fame Prize

    2023年3月  

  • ICRP Most Cited Paper Award

    2022年10月  

  • 第12回 シリコンテクノロジー分科会論文賞

    2021年3月   応用物理学会シリコンテクノロジー分科会   Real-time monitoring of surface passivationof crystalline silicon during growth of amorphous and epitaxial silicon layer

  • MRS-J貢献賞

    2019年11月   日本MRS   日本MRSに多大な貢献した人を顕彰.

  • TOP DOWNLOADED ARTICLE 2017-2018

    2019年6月   Plasma Processes and Polymers  

  • 応用物理学会支部貢献賞

    2018年12月   応用物理学会九州支部   応用物理学会九州支部への顕著な貢献

  • 大阪大学接合科学共同利用・共同研究賞

    2017年6月   大阪大学接合科学研究所   KI-デンプン試薬を用いた大気圧非平衡プラズマジェット照射による酸化反応の可視化研究(世界初)を共同研究で実施した.

  • 第14回プラズマエレクトロニクス賞

    2016年3月   応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会   "Synthesis and characterization of ZnInON semiconductor: a ZnO-based compound with tunable band gap" N. Itagaki, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani

  • 第17回プラズマ材料科学賞基礎部門賞

    2015年12月   日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会   新学術領域研究「プラズマとナノ界面の相 互作用に関する学術基盤の創成」を始めとするプラズマ材料科学に関する基礎研究の推進

  • ICMAP2014 Best Poster Presentation Award

    2014年7月   International Conference of Microelectronics ans Plasma Technology 2014 (ICMAP2014)  

  • 第7回(2013年度)応用物理学会フェロー表彰

    2013年9月   応用物理学会   プロセスプラズマの制御による新機能ナノ材料の合成に関する研究

  • The 9th Asian-European International Conference of Plasma Surface Engineering(AEPSE2013)/ Outstanding Poster Award

    2013年8月   "Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in reactive plasmas" Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani

  • 平成24年度九州大学研究活動表彰

    2012年11月   九州大学   研究活動に対する表彰

  • Advanced Plasma Application Award

    2012年10月   11th Asia Pacific Conference on Plasma Science adn Technology (APCPST) & 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM)  

  • ISPlasma2012 "Best Presentation Award"

    2012年3月   ISPlasma2012  

  • 平成23年度高温学会論文賞

    2011年3月   社団法人高温学会   フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ−ソフトマテリアル相互作用の解析 趙研, 節原裕一, 竹中弘祐, 白谷正治, 関根誠, 堀勝

  • 平成22年九州大学研究活動表彰

    2010年5月   九州大学   研究活動に対する表彰

  • 応用物理学会第8回APEX/JJAP編集貢献賞

    2010年4月   応用物理学会   APEX/JJAP編集への貢献により受賞

  • 平成21年九州大学産学連携活動表彰

    2009年5月   九州大学   産学連携活動に対する表彰

  • Invited Presentation Award at Interfinish 2008

    2008年6月   Interfinish 2008 World Congress and Exposition   In recognition of your distinguished invited presentation entitled "Deposition profile control of plasma CVD films on nano-patterned substrates", the Intefinish 2008 Committee presents you with this Invited Presentation Award.

  • 応用物理学会第3回プラズマエレクトロニクス賞

    2005年3月   応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会   高光安定性を示すアモルファスシリコンの作製に成功した.

  • 応用物理学会第2回プラズマエレクトロニクス賞

    2004年3月   応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会  

  • 日本学術振興会第1回プラズマ材料科学賞

    1998年1月   日本学術振興会  

  • 平成7年度電気学会論文発表賞A

    1996年3月   電気学会  

  • 平成3年度電気学会論文発表賞B

    1992年4月   電気学会  

  • 九州大学工学部電気工学教室宮崎賞

    1983年3月   九州大学  

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論文

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書籍等出版物

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講演・口頭発表等

  • 日本の大学から(招待講演) 招待

    白谷正治

    2024年1月 

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    開催年月日: 2024年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学   国名:日本国  

  • Tuning Properties of Plasma Deposition Films in Unconventional Ways(Plenary) 招待 国際会議

    2023年11月 

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:BPEX   国名:大韓民国  

  • Quantitative Analysis of Plasma Irradiation Dose to Seeds (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    AEPSE 2023  2023年11月 

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • An on-site plasma system for producing nitrogen fertilizers to increase crop yields in an environmentally friendly manner (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    The 65th KVS Summer Annual Conference & IFFM 2023  2023年8月 

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    開催年月日: 2023年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication(keynote) 招待 国際会議

    2023年7月 

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    開催年月日: 2023年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:ウィーン工科大学   国名:オーストリア共和国  

  • Analysis of the Correlation between Seeds Dormancy and Plasma Irradiation Effects on Seeds(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    IWOPA4  2023年6月 

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    開催年月日: 2023年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Plasma Agriculture: An Emerging Field (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    IWOPA4  2023年6月 

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    開催年月日: 2023年6月

    記述言語:英語   会議種別:公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等  

    国名:大韓民国  

  • Expanding plasma technologies for sustainable world(Plenary) 招待 国際会議

    2023年7月 

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    開催年月日: 2023年5月 - 2023年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:the Convention Centre in Strasbourg, France.   国名:フランス共和国  

  • Tuning Mechanical Properties of Plasma CVD a-C:H films using Carbon Nanoparticles(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    ICDDPS-4  2023年4月 

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    開催年月日: 2023年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • プラズマ成膜の革新を目指して (招待講演) 招待

    白谷正治

    2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

  • 機械学習・量子アニーリングを活用したプラズマプロセスの解析と制御 (招待講演) 招待

    白谷正治, 鎌滝晋礼

    第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:上智大学   国名:日本国  

  • Tuning Deposition Profiles and Stress of Plasma CVD Carbon Films (Award Commemorative Speech) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023  2023年3月 

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Si系プラズマCVD研究の現状と展望 (招待講演) 招待

    白谷正治

    学振153プラズマ材料科学委員会 第161回研究会  2023年1月 

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    開催年月日: 2023年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:TKP ガーデンシティ PREMIUM 京橋   国名:日本国  

  • Plasma deposition of nanostructure tuning films (Invited) 招待 国際会議

    15th International Conference on Plasma Science and Applications  2022年12月 

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    開催年月日: 2022年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:インド  

  • Plasma Agriculture: An Emerging Field (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    ICPP 2022  2022年11月 

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    開催年月日: 2022年11月 - 2022年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Electric Field Vector Deduced from Balance of Forces Exerted on a Fine Particle Immersed in Discharge Plasma(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani, T. Sato, K. Kamataki

    iPlasmaNano-XI 2022  2022年9月 

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    開催年月日: 2022年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:スペイン  

  • Identification of key plasma process parameters using support vector machine(Invited) 招待 国際会議

    M. shiratani

    Second Meeting of the NTC Technical Committee on Emerging Plasma Nanotechnologies  2022年5月 

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    開催年月日: 2022年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Dusty Plasma: Scientific and Technological Impacts(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics  2021年9月 

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    開催年月日: 2021年9月 - 2021年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • プラズマ農業の現在と将来(招待講演) 招待

    白谷正治

    名古屋大学プラズマ研究会60周年記念シンポジウム  2021年9月 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン   国名:日本国  

  • Novel methods for tuning film properties using nanostructures(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    Plathinium 2021  2021年9月 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:フランス共和国  

  • Ambient radiant energy source for powering IoT devices(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani, F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, K. Koga, K. Kamataki, M. Son, H. Seo

    Thermec2021  2021年6月 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:オーストリア共和国  

  • Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices(Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani

    EDTM2021  2021年4月 

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    開催年月日: 2021年4月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:中華人民共和国  

  • c-Si表面パッシベーションにおけるプラズマ誘起欠陥とバンド構造(招待講演) 招待

    白谷 正治

    第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン   国名:日本国  

  • プラズマナノテクノロジーの学術変革(招待講演) 招待

    白谷正治

    応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念シンポジウム  2021年3月 

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン   国名:日本国  

  • Applications of Low Temperature Plasma to Agriculture in Preharvest Stage (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani, P.Attri, T. Okumura, K. Koga

    ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

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    開催年月日: 2021年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • 低温低圧プラズマ触媒法による二酸化炭素の資源化(招待講演) 招待

    第1回低温プラズマ科学研究センター(cLPS)公開シンポジウム  2020年12月 

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン   国名:日本国  

  • Materials processing with low pressure plasma:present issues and possible solutions (Invited) 招待 国際会議

    白谷正治

    2020年8月 

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    開催年月日: 2020年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン   国名:日本国  

  • ESR Measurements of Plasma Irradiated Seed (Invited) 招待 国際会議

    the 1st international symposium on applied plasma science and engineering for agro and bio applications  2020年1月 

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    開催年月日: 2020年1月 - 2020年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:タイ王国  

  • Methane production for energy storage using low temperature plasma (Invited) 招待 国際会議

    M. Shiratani, M. Ideguchi, A. Yamamoto, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga

    7th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2020, 4th International Symposium on Energy Research and Application  2020年1月 

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    開催年月日: 2020年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • プラズマ照射した種籾の圃場栽培試験

    古閑一憲, 佐藤僚哉, 吉田知晃, 有田涼, 田中颯, 廣松真弥, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

    第36回プラズマ・核融合学会年会  2019年12月 

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    開催年月日: 2019年11月 - 2019年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:中部大学   国名:日本国  

  • Metabolomics Approach for Studying Effects of Atmospheric Air Plasma Irradiation to Seeds (Keynote) 招待 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani, V. Mildaziene

    29th Annual Meeting of MRS-J  2019年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Impact of Atmospheric Pressure Plasma Irradiation to Seeds on Agricultural Productivity 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2019)  2019年11月 

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:中華人民共和国  

  • Rate Limiting Factors of Low Pressure Plasma-catalytic CO2 Methanation Process 国際会議

    K. Koga, A. Yamamoto, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

    AVS 66th International Symposium & Exhibition  2019年10月 

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    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • Non-equilibrium nanoparticle composite film process using reactive plasmas (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    Advanced Metallization Conference 2019: 29th Asian Session (ADMETA Plus 2019)  2019年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Ar+CH4プラズマCVDを用いて堆積した水素化アモルファスカーボン薄膜の堆積特性に対する電極基板間距離依存性

    古閑一憲, Sung Hwa Hwang, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

    2019年度(第72回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2019年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州工業大学   国名:日本国  

  • Plasmas - from Laboratory to Table - (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)  2019年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Synthesis and deposition of a-C:H nanoparticles using reactive plasmas with a fast gas flow 国際会議

    K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

    The Korea-Japan Workshop on Dust Particles in Plasmas  2019年8月 

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    開催年月日: 2019年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Sputter deposition of wide bandgap (ZnO)x(AlN)1-x alloys: a new material system with tunable bandgap 国際会議

    S. Urakawa, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

    XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  2019年7月 

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    開催年月日: 2019年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Growth Mechanism of Carbon Nanoparticles In Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki M. Shiratani

    XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  2019年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • マルチホロー放電プラズマCVD法による高品質SiN膜の低温(100度)形成

    永石翔大, 佐々木勇輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

    令和元年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会(九州表面・真空研究会2019)  2019年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学   国名:日本国  

  • Deposition of Carbon Nanoparticles Using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD for Synthesis of Carbon Nanoparticle Composite Films 国際会議

    K. Koga, S. H. Hwang, T. Nakatani, J. S. Oh, K. Kamataki, N. Itagaki, M.Shiratani

    46th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2019)  2019年5月 

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    開催年月日: 2019年5月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • 微粒子プラズマにおける2体衝突運動の顕微高速観察

    古閑一憲, 大友洋, 真銅雅子, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

    日本物理学会第74回年次大会(2019年)  2019年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2019年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  • Spatial Profile of RONS Dose Supplied by a Scalable DBD Device 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, R. Sato, R. Shimada, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, T. Kawasaki

    The 3rd Asian Applied Physics Conference  2018年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • カイワレ大根種皮の色素に対するプラズマ照射の効果

    古閑一憲, 嶋田凌太郎, 和田陽介, 佐藤僚哉, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治, Vida Mildaziene

    第35回プラズマ・核融合学会年会  2018年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学   国名:日本国  

  • Innovative Agricultural Productivity Improvement Using Atmospheric Pressure Plasmas (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    2018 MRS Fall Meeting & Exhibit  2018年11月 

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    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • Evaluation of Amount of RONS Transport and Absorption of Seeds 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

    2018 MRS Fall Meeting & Exhibit  2018年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • 反応性プラズマとナノ粒子相互作用ゆらぎネットワーク解析

    古閑一憲

    第34回九州・山口プラズマ研究会  2018年11月 

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    開催年月日: 2018年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:シーサイドホテル屋久島, 鹿児島   国名:日本国  

  • Synthesis of Hydrogenated Amorphous Carbon Nanoparticles using High-Pressure CH4+Ar Plasmas and Their Deposition 国際会議

    K. Koga, S. H. Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, T. Nakatani, M. Shiratani

    AVS 65th International Symposium & Exhibition  2018年10月 

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    開催年月日: 2018年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • プラズマ中二体微粒子の衝突解析による相互作用揺らぎの研究

    古閑一憲, 大友洋, 周靭, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  • Siネットワーク秩序性に対する製膜前駆体の効果

    古閑一憲, 田中和真, 原尚志, 石榴, 中野慎也, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 白谷正治

    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会  2018年9月 

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    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

  • Effects of cluster deposition on spatial profile of Si-Hx bond density in a-Si:H films 国際会議

    K. Koga, K. Tanaka, H. Hara, S. Nagaishi, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

    2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018)  2018年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Challenge to precise control of chemical bond configuration in plasma CVD films 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    RUB Japan Science Days 2018  2018年7月 

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    開催年月日: 2018年7月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  • Control of synthesis and deposition of nanoparticles using a multi-hollow discharge plasma CVD 国際会議

    K. Koga, M. Shiratani

    Workshop "Plasma surface interaction for technological applications"  2018年6月 

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    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  • High energy leverage method on growth enhancement of bio-mass plants using plasma seed treatment 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7)  2018年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • A deep insight of plasma-nanoparticle interaction 招待 国際会議

    K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

    19th International Congress on Plasma Physics  2018年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:カナダ  

  • 水素原子源付プラズマCVD法に任意電圧波形を併用したa-C:H薄膜の堆積

    古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  • 大気圧空気誘電体バリア放電プラズマを照射したカイワレ種子の電子スピン共鳴分光

    古閑一憲, 和田陽介, 佐藤僚哉, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学   国名:日本国  

  • 任意電圧波形を用いたC7H8+Ar+H2プラズマ生成

    古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    平成30年電気学会全国大会  2018年3月 

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    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  • Effects of RONS Dose on Plasma Induced Growth Enhancement of Radish Sprout 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    2nd International Workshop On Plasma Agriculture (IWOPA2)  2018年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Plasma Enhanced Carbon Recycling for Large-Scale Introduction of Solar Cells to Energy Supply Chain 招待 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application  2018年2月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年2月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Towards ultra-high capacity batteries 国際会議

    K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani

    Joint workshop btw SKKU and Kyushu University Emerging materials and devices  2018年1月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2018年1月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • A new insight into nanoparticle-plasma interactions (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    JP-KO dust workshop  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • Evaluation of coupling among interaction fluctuations in nanoparticle growth in reactive plasmas 国際会議

    K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    18th Workshop on Fine Particle Plasmas  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Deposition of High Quality Silicon Thin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in Plasmas 国際会議

    K. Koga, T. Kojima, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    27th annual meeting of MRS-J  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Effects of Number Density of Seeds on Plasma Induced Plant Growth Enhancement 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    27th annual meeting of MRS-J  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Effects of Gas Flow Velocity on Plant Growth of Radish Sprout 国際会議

    K. Koga, Y. Wada, R. Sato, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2017年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 植物種子へのプラズマ照射効果による成長促進とその機序(シンポジウム講演) 招待

    古閑一憲, 白谷正治

    2017年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:姫路商工会議所   国名:日本国  

  • Development of a fine particle transport analyzer for processing plasmas 国際会議

    K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    The 39th International Symposium on Dry Process (DPS 2017)  2017年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 反応性プラズマを用いた物質機能の初期階層形成

    古閑一憲

    第33回九州・山口プラズマ研究会  2017年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:長崎にっしょうかん   国名:日本国  

  • Surface-driven CH4 generation from CO2 in Low-pressure Non-thermal Plasma 国際会議

    K. Koga, S. Toko, S. Tanida, M. Shiratani

    American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64)  2017年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年10月 - 2017年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • 火星上CO2のCH4資源化のための低温低圧プラズマ触媒プロセス

    古閑一憲, 都甲将, 谷田知史, 白谷正治, 細田聡史, 星野健

    第61回宇宙科学技術連合講演会  2017年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ, 新潟   国名:日本国  

  • スケーラブルDBDプラズマのRONS照射量に対する空気流れの効果

    古閑一憲, 和田陽介, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    平成29年度(第70回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:琉球大学   国名:日本国  

  • Hysteresis in Plasma CVD: a new path for high quality film deposition 招待 国際会議

    K. Koga, S. Toko, M. Shiratani

    11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2017)  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • プラズマ照射した種籾への催芽処理の効果

    古閑一憲, 和田陽介, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 橋本昌隆, 小島昌治

    第78回応用物理学会秋季学術講演会  2017年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡国際会議場, 福岡国際センター   国名:日本国  

  • Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body (Invited) 招待 国際会議

    K. Koga, H. Seo, A. Tanaka, N. Itagaki, M. Shiratani

    231st Meeting of Electrochemical Society (ECS)  2017年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年5月 - 2017年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用

    古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会  2017年4月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年4月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:龍郷町生涯学習センター(鹿児島県奄美大島)   国名:日本国  

  • Corrational study of fluctuation of coupling between plasmas and nanoparticles 国際会議

    K. Koga, K. Mori, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017)  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Long-term evaluation of In nanoparticle transport in living body 国際会議

    K. Koga, A. Tanaka, M. Hirata, T. Amano, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017)  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Comparision of Gamma irradation and scalable DBD on the declorization of Dyes 国際会議

    K. Koga, P. Attri, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (ISPlasma2017/IC-PLANTS2017)  2017年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年3月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 九州大学における反応性プラズマ精密制御CVD法の紹介(招待講演) 招待

    古閑一憲

    第1回産学共同研究検討会  2017年1月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2017年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  • Time evolution of cross-correlation between two fluctuations of couplings between plasmas and nanoparticles in amplitude modulated discharges 国際会議

    K. Koga, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016  2016年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Dependence of amount of plasma activated water on growth enhancement of radish sprout 国際会議

    K. Koga, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

    26th annual meeting of MRS-J  2016年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • Comparative study on death of cells irradiated by non-thermal plasma, X-ray, and UV 国際会議

    K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, A. Tanaka, Y. Nakatsu, T. Kondo

    The 1st Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2016年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 小型ダスト飛跡分析装置を用いたミラー上ダスト堆積抑制の検討

    古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男

    第33回プラズマ・核融合学会年会  2016年12月 

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    開催年月日: 2016年11月 - 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学   国名:日本国  

  • プラズマCVDを用いた高効率低劣化Si薄膜太陽電池の作製(招待講演) 招待

    古閑一憲

    第33回プラズマ・核融合学会年会  2016年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月 - 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学   国名:日本国  

  • プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの2次元空間構造の時間発展

    古閑一憲, 森研人, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    第33回プラズマ・核融合学会年会  2016年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月 - 2016年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学   国名:日本国  

  • プラズマ計測・診断 -反応性プラズマ中微粒子を中心として- (招待講演) 招待

    古閑一憲

    第27回プラズマエレクトロニクス講習会  2016年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学   国名:日本国  

  • Control of Plant Growth by RONS Produced Using Nonthermal Atmospheric Air Plasma 国際会議

    K. Koga, T. Sarinont, M. Shiratani

    American Vacuum Society 63rd International Symposium and Exhibition (AVS63)  2016年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • Comparative study of non-thermal atmospheric pressure discharge plasmas for life science applications 国際会議

    K. Koga, R. Katayama, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, P. Attri, E. L. Quiros, .A. Tanaka, M. Shiratani

    69th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2016)  2016年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:ドイツ連邦共和国  

  • 火星上でのロケット燃料生成を目的とした低温低圧放電プラズマによるサバティエ反応

    古閑一憲, 都甲将, 白谷正治

    第60回宇宙科学技術連合講演会  2016年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:函館アリーナ   国名:日本国  

  • Time development of response of cells irradiated by non-thermal atmospheric air plasma 国際会議

    K. Koga, T. Amano, Y. Nakatsu, H. Seo, N. Itagaki, A. Tanaka, T. Kondo, M. Shiratani

    6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM6)  2016年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年9月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • Nitrite concentration of plants grown from seeds irradiated by air dielectric barrier discharge plasmas 国際会議

    K. Koga, T. Sarinont, P. Attri, M. Shiratani

    20th International Vacuum Congress (IVC-20)  2016年8月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年8月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:大韓民国  

  • QCMを用いたLHD内ダスト堆積量のその場測定

    古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ

    第11回核融合エネルギー連合講演会  2016年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  • プラズマ中微粒子を用いたプラズマポテンシャルゆらぎの評価

    古閑一憲, 添島雅大, 伊藤鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治

    日本物理学会第71回年次大会  2016年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北学院大学   国名:日本国  

  • 「プラズマ材料科学の未来を語る」(低圧非平衡プラズマプロセス) (招待講演) 招待

    古閑一憲

    第125回研究会 APSPT9-SPSM28サテライトミーティング『プラズマ材料科学の未来を語る』  2016年2月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:JR博多シティ会議室   国名:日本国  

  • 振幅変調反応性高周波放電中のナノ粒子量のバイスペクトル解析

    古閑一憲

    応用力学研究所共同研究報告会  2016年2月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年2月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学応用力学研究所   国名:日本国  

  • 大気圧非平衡プラズマの基礎 (招待講演) 招待

    古閑一憲

    プラズマ・核融合学会第28回専門講習会「プラズマ医療の現状と展望」  2016年1月 

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    開催年月日: 2016年1月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学   国名:日本国  

  • Potential fluctuation evaluation using binary collision of fine particles suspended in plasmas (Invited) 招待

    K. Koga and M. Shiratani

    2015年12月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    国名:日本国  

  • 液中プラズマを用いたAuとPtナノ粒子の簡易作製法

    古閑一憲, 天野孝昭, Thapanut Sarinont, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 中津可道, 平田美由紀, 田中昭代

    平成27年度応用物理学会九州支部学術講演会  2015年12月