Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 査読

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2023年10月

Health assessment of rice cultivated and harvested from plasma-irradiated seeds 査読 国際誌

T. Okumura, H. Tanaka, T. Nakao, T. Anan, R. Arita, M. Shiraki, K. Shiraki, T. Miyabe, D. Yamashita, K. Matsuo, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Hosoda, A. Tanaka, Y. Ishibashi, K. Koga

Sci. Rep.   2023年10月

Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Sasaki, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mater Sci Semicond Process   62   2023年9月

Reaction kinetics studies for phenol degradation under the impact of different gas bubbles and pH using gas–liquid discharge plasma 査読 国際誌

62   2023年8月

Control of Inhomogeneity and Magnetic Properties of ZnO:Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 査読 国際誌

M. N. Agusutrisno, R. Narishige, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

Mater Sci Semicond Process   11   2023年8月

Silicon surface passivation with a-Si:H by PECVD: growth temperature effects on defects and band offset 査読 国際誌

S. Nunomura, I. Sakata, T. Misawa, S. Kawai, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   162   2023年8月

Improving the efficiency of Sabatier reaction through H2O removal with low-pressure plasma catalysis 査読 国際誌

T. Hasegawa, S. Toko, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   62   2023年8月

Plasma-assisted CO2 and N2 conversion to plant nutrient 査読 国際誌

P. Attri, T. Okumura, N. Takeuchi, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Front. Phys.   62   2023年7月

Contribution of active species generated in plasma to CO2 methanation 査読 国際誌

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   62   2023年7月

Effect of time-modulation bias on polysilicon gate etching 査読 国際誌

M. Morimoto, M.Tanaka, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   62   2023年5月

Silicon surface passivation with a-Si:H by PECVD : Growth temperature effects on defects and band offset 査読 国際誌

Nunomura, Shota, SAKATA Isao, Misawa Tatsuya, Kawai Shinji, KAMATAKI Kunihiro, Koga Kazunori, SHIRATANI Masaharu

Japanese Journal of Applied Physics   2023年5月

Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

Kunihiro Kamataki, Yusuke Sasaki, Iori Nagao, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naoto Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani

Materials Science in Semiconductor Processing   164   107613   2023年5月

Optical emission spectroscopy study in CO2 methanation with plasma 査読 国際誌

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   2023年4月

Control of inhomogeneity and magnetic properties of ZnO:Co films grown by magnetron sputtering using nitrogen 査読 国際誌

M.N. Agusutrisno, Ryota Narishige, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naoto Yamashita

Materials Science in Semiconductor Processing   162   107503   2023年4月

Optical emission spectroscopy study in CO2 methanation with plasma 査読 国際誌

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani and Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics   62   SI1008   2023年4月

Role of insoluble atoms in the formation of a three-dimensional buffer layer in inverted Stranski–Krastanov mode 査読 国際誌

38 ( 5 )   1178 - 1185   2023年1月

One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges 査読 国際誌

Iori Nagao, K. Kamataki, A. Yamamoto, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Advances   7 ( 31 )   911 - 917   2022年12月

Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO_InN alloy films on ZnO substrates 査読 国際誌

Ryota Narishige, Naoto Yamashita, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Hisato Yabuta & Naho Itagaki

Journal of Materials Research   38 ( 7 )   1803 - 1812   2022年11月

Plasma Synthesis of Silicon Nanoparticles: From Molecules to Clusters and Nanoparticle Growth 査読 国際誌

SHOTA NUNOMURA, KUNIHIRO KAMATAKI, TAKEHIKO NAGAI, TATSUYA MISAWA, SHINJI KAWAI, KOSUKE TAKENAKA, GIICHIRO UCHIDA, AND KAZUNORI KOGA

IEEE Open Journal of Nanotechnology   3   94-100   2022年9月

Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 査読 国際誌

Kunihiro Kamataki, Daiki Nagamatsu, Tao Yang, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Toshiaki Arima, Michihiro Otaka, Yuma Yamamoto, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naoto Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani

AIP Advances   12   085220   2022年8月

Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma 査読 国際誌

Michihiro Otaka, Toshiaki Arima, Jiansyun Lai, Kizuki Ikeda, Kunihiro Kamataki, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga & Masaharu Shiratani

MRS Adv.   2022年7月

Detection of NO3－ introduced in plasma-irradiated dry lettuce seeds using liquid chromatography-electrospray ionization quantum mass spectrometry (LC-ESI QMS) 査読 国際誌

12 ( 1 )   12525   2022年7月

Raman spectral analysis of the as-deposited a-C:H films prepared by CH4 + Ar plasma CVD 査読 国際誌

2022年7月

Treatment of organic wastewater by a combination of non-thermal plasma and catalyst: a review 査読 国際誌

Pankaj Attri, Kazunori Koga, Takamasa Okumura, Fadzai L. Chawarambwa, Tika E. Putri, Yuichi Tsukada, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki & Masaharu Shiratani

Reviews of Modern Plasma Physics   6 ( 17 )   2022年7月

Effects of amplitude modulated capacitively coupled discharge Ar plasma on kinetic energy and angular distribution function of ions impinging on electrodes: particle-in-cell/Monte Carlo collision model simulation 査読 国際誌

Kohei Abe, Kunihiro KAMATAKI, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naoto Yamashita, Naho ITAGAKI, Kazunori Koga and Masaharu SHIRATANI

Japanese Journal of Applied Physics   2022年6月

Growth of single crystalline ZnO films on 18%-lattice-mismatched sapphire substrates using buffer layers with three-dimensional islands 査読 国際誌

Y. Nakamura, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

Cryst. Growth Des.   22 ( 6 )   3770 - 3777   2022年5月

Growth of single crystalline ZnO films on 18%-lattice-mismatched sapphire substrates using buffer layers with three-dimensional islands 査読 国際誌

Y. Nakamura, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

Cryst. Growth Des.   22 ( 6 )   3770-3777   2022年5月

The Effects of Spin-Coating Rate on Surface Roughness, Thickness, and Electrochemical Properties of a Pt Polymer Counter Electrode 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Advanced Engineering Forum   116845   1 - 13   2022年4月

The Effects of Spin-Coating Rate on Surface Roughness, Thickness, and Electrochemical Properties of a Pt Polymer Counter Electrode 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Advanced Engineering Forum   45   1-13   2022年4月

Performance comparison of nitrile-based liquid electrolytes on bifacial dye-sensitized solar cells under low-concentrated light 査読 国際誌

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   7   427-432   2022年4月

Performance comparison of nitrile-based liquid electrolytes on bifacial dye-sensitized solar cells under low-concentrated light 査読 国際誌

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   7   427 - 432   2022年4月

Epitaxial Growth of Zn1-xMgxO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode Using Magnetron Sputtering 査読 国際誌

D. Takahashi, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS Adv.   7   415 - 419   2022年2月

Epitaxial Growth of Zn1-xMgxO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode Using Magnetron Sputtering 査読 国際誌

D. Takahashi, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS Adv.   7   415-419   2022年2月

Improved luminescence performance of Yb3+-Er3+-Zn2+: Y2O3 phosphor and its application to solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Optical Materials   123   111928   2022年1月

Effect of gas flow rate and discharge volume on CO2 methanation with plasma catalysis 査読 国際誌

S. Toko, M. Ideguchi, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K.Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

Jpn. J. Appl. Phys.   61   SI1002   2022年1月

Performances of Carbon Black-Titanium nitrate and Carbon Black-Titanium/Triton X-100 Composite Polymer Counter Electrodes for Dye-Sensitized Solar Cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Adv. Mater. Res.   1168   35 - 47   2022年1月

Plasma Treatment Effect on the Paramagnetic Species of Barley Seed Radical’s Intensity: An EPR study 査読 国際誌

10 ( 3 )   159 - 168   2021年12月

Performance Characteristics of Bifacial Dye-Sensitized Solar Cells with a V-Shaped Low-Concentrating Light System 査読 国際誌

T. E. Putri, F. L Chawarambwa, M. K. Son, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ACS Appl. Energy Mater.   4 ( 12 )   13410 - 13414   2021年11月

Effects of concentrated light on the performance and stability of a quasi-solid electrolyte in dye-sensitized solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Chem. Phys. Lett.,   781   138986   2021年10月

Comparison between Ar+CH4 Cathode and Anode Coupled Capacitively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon Films 査読 国際誌

S. H. Hwang, R. Iwamoto, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

Thin Solid Films   729   2021年7月

Highly efficient and transparent counter electrode for application in bifacial solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Chem. Phys. Lett.   768   2021年4月

Synthesis of Yb3+/Ho3+ co-doped Y2O3 nanoparticles and its application to dye sensitized solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, K. Kamataki, M. Shiratani, K. Koga, N. Itagaki, D. Nakamura

J. Mol. Struct.   1228   2021年3月

Effects of Activated Carbon Counter Electrode On Bifacial Dye Sensitized Solar Cells (DSSCs) 査読 国際誌

T. E. Putri, Y. Hao, F. L. Chawarambwa, H. Seo, Min-Kyu Son, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mater. Sci. Forum   1016   2021年1月

Time of Flight Size Control of Carbon Nanoparticles Using Ar+CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition Method 査読 国際誌

S. H. Hwang, K. Koga, Y. Hao, P. Attri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, J-S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

Processes   9 ( 1 )   2020年12月

Graphene-Si3N4 nanocomposite blended polymer counter electrode for low-cost dye-sensitized solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, M. K. Son, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Chem. Phys. Lett.   758   2020年11月

Size and flux of carbon nanoparticles synthesized by Ar+CH4 multi-hollow plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Diam Relat Mater   109   2020年11月

Synthesis of Yb3+/Ho3+ co-doped Y2O3 nanoparticles and its application to dye sensitized solar cells 査読 国際誌

F. L. Chawarambwa, T. E. Putri, K. Kamataki, M. Shiratani, K. Koga, N. Itagaki, D. Nakamura

J. Mol. Struct.   2020年10月

Low stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles fabricated by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Nakatani, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   59 ( 10 )   2020年10月

Impact of surface morphologies of substrates on the epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-x films 査読 国際誌

R. Narishige, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

Jpn. J. Appl. Phys.   60 ( SA )   2020年10月

Spatial-Structure of Fluctuation of Amount of Nanoparticles in Amplitude-Modulated VHF Discharge Reactive Plasma 査読 国際誌

Ren Zhou, Kunihiro Kamataki, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunoni Koga and Masaharu Shiratani

Journal of Plasma and Fusion Research   2019年7月

Study on Relationship between Growth of Nanoparticles and Plasma Fluctuation due to Amplitude Modulated Discharge Voltage in Capacitively Coupled Reactive Plasma 国際誌

K. Kamataki, R. Zhou, H. Ohtomo, R. Iwamoto, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of XXXIV ICPIG & ICRP-10   2019年7月

基幹教育セミナーにおける学生の意識の変容：4学期制導入に伴う授業内容の変更とセミナーの意義に焦点を当てて 査読

鎌滝晋礼, 小島健太郎，飯嶋裕治，内田竜也, 大河内豊, 大久保文哉, 斎藤新悟, 猿渡悦子, セビリア・アントン, 田中真理, 野瀬健, 川島啓二, 安永和央, 木村政伸

基幹教育紀要   2019年3月

Amplitude Modulation Frequency Dependence of Growth of Nano-Particles in Reactive Plasma 国際誌

K. Kamataki, R. Zhou, H. Ohtomo, R. Iwamoto, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proceedings of 36th Symposium on Plasma Processing (SPP36) / The 31th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM31)   2019年1月

Effects of nitrogen impurity on zno crystal growth on Si substrates 査読 国際誌

S. Muraoka, L. Jiahao, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS Adv.   4 ( 27 )   1557 - 1563   2019年1月

Relationship between Amount of Nano-particles Incorporation into SiN Film and Properties of Film by SiH4+N2 Plasma Chemical Vapor Deposition 国際誌

Kunihiro Kamataki, Shota Nagaishi, Yusuke Sasaki, Kazuma Tanaka, Hisayuki Hara, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani

Proceedings of 36th Symposium on Plasma Processing (SPP36) / The 31th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM31)   2019年1月

Effect of Plasma Fluctuation Frequency on Growth of Nanopariticles in Reactive Plasmas 国際誌

K. Kamataki, R. Zhou, H. Ohtomo, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani

Proc. of the 3rd Asian Applied Physics Conference   2018年12月

課題協学科目による初年次学生の動機づけと学習観への影響 : 1つの授業実践の事例から 査読

鎌滝 晋礼

基幹教育紀要   2017年3月

初年次における文系学部学生への科学実験授業の影響と意義

鎌滝 晋礼

第65回九州地区大学一般教育研究協議会議事録   2017年2月

科学実験を用いた課題解決型授業の展開

鎌滝 晋礼

第64回九州地区大学一般教育研究協議会議事録   2015年9月

少人数クラスによる実験系学問分野におけるグループ学習の取組事例

鎌滝晋礼

第63回九州地区大学一般教育研究協議会議事録   2015年3月

Plasma etching of single fine particle trapped in Ar plasma by optical tweezers 査読 国際誌

T. Ito, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani

J. Phys. : Conf. Series.(SPSM26)   518 ( 1 )   2014年6月

Deposition of crystalline Ge nanoparticle films by high-pressure RF magnetron sputtering method 査読 国際誌

D. Ichida, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani

J. Phys. : Conf. Series (SPSM26)   518 ( 1 )   2014年6月

Effects of filter gap of cluster-eliminating filter on cluster eliminating efficiency 査読 国際誌

Y. Hashimoto, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani

J. Phys. : Conf. Series (SPSM26)   518 ( 1 )   2014年6月

Contribution of ionic precursors to deposition rate of a-Si:H films fabricated by plasma CVD 査読 国際誌

S. Toko, Y. Hashimoto, Y. Kanemitu, Y. Torigoe, H. Seo, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani

J. Phys. : Conf. Series (SPSM26)   518 ( 1 )   2014年6月

the LHD Experimental Group,Contribution of H2 plasma etching to radial profile of amount of dust particles in a divertor simulator 査読 国際誌

M. Tateishi, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura and A. Sagara

J. Phys. : Conf. Series (SPSM26)   518 ( 1 )   2014年6月

Nanostructure Control of Si and Ge Quantum Dots Based Solar Cells Using Plasma Processes 査読 国際誌

M. Shiratani, G. Uchida, H. Seo, D. Ichida, K. Koga, N. Itagaki, and K. Kamataki

Materials Science Forum   783-786   2014年5月

SiC Nanoparticle Composite Anode for Li-Ion Batteries 査読 国際誌

M. Shiratani, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki, T. Ishihara

Mat. Res. Soc. Symp.   2014年4月

Study on the Crystal Growth Mechanism of ZnO Films Fabricated Via Nitrogen Mediated Crystallization 査読 国際誌

I. Suhariadi, K. Oshikawa, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, and N. Itagaki

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Combinatorial Plasma CVD of Si Nanoparticle Composite Films for Band Gap Control 査読 国際誌

G. Uchida, Y. Kanemitsu, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Correlation between nanoparticle growth and plasma parameters in low pressure reactive VHF discharge plasmas 査読 国際誌

M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Effects of H2 Gas Addition on Structure of Ge Nanoparticle Films Deposited by High-pressure RF Magnetron Sputtering Method 査読 国際誌

G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Spatial Profile of Flux of Dust Particles Generated due to Interaction between Hydrogen Plasmas and Graphite Target 査読 国際誌

M. Tateishi, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experimental Group

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Effects of Grid DC Bias on Incorporation of Si Clusters into Amorphous Silicon Thin Films in Multi-Hollow Discharge Plasma CVD 査読 国際誌

S. Toko, Y. Kim, Y. Hashimoto, Y. Kanemitu, H. Seo, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani

JPS Conf. Proc. (12th Asia Pacific Physics Conference)   1   2014年3月

Analysis on the photovoltaic property of Si quantum dot-sensitized solar cells 査読 国際誌

H. Seo, D. Ichida, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing   15 ( 2 )   2014年2月

Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas 査読 国際誌

M. Shiratani, K. Koga, K. Kamataki, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, and N. Itagaki

Jpn. J. Appl. Phys.   53 ( 1 )   2014年1月

The improvement on the performance of quantum dot-sensitized solar cells with functionalized Si 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, M. Sato, G. Uchida, K. Koga, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani

Thin Solid Films   546   2013年11月

Characteristics of Crystalline Silicon/Si Quantum Dot/Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Hybrid Solar Cells 査読 国際誌

G. Uchida, Y. Wang, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   52   2013年11月

Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH 査読 国際誌

Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   52   2013年11月

Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates 査読 国際誌

K. Koga, M. Tateishi, K. Nishiyama, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, Akiko Sagara, the LHD Experimental Group

Jpn. J. Appl. Phys.   52   2013年11月

Epitaxial Growth of ZnInON Films with Tunable Band Gap from 1.7 eV to 3.3 eV on ZnO Templates 査読 国際誌

K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

Jpn. J. Appl. Phys.   52   2013年11月

Characteristics of Photocurrent Generation in the Near-Ultraviolet Region in Si Quantum-Dot Sensitized Solar Cells 査読 国際誌

G. Uchida, M. Sato, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Thin Solid Films   544   2013年10月

Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD 査読 国際誌

Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Surf. Coat. Technol.   228 ( 1 )   2013年8月

Observation of nanoparticle growth process using a high speed camera 国際誌

Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani

ISPC 21 Proceedings   2013年7月

Discharge Power Dependence of Carbon Dust Flux in a Divertor Simulator 査読 国際誌

K. Nishiyama, Y. Morita, G. Uchida, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group, S. Bornholdt, and H. Kersten

Journal of Nuclear Materials   438   2013年7月

Effects of DC Substrate Bias Voltage on Dust Flux in the Large Helical Device 査読 国際誌

K. Koga, K. Nishiyama, Y. Morita, G. Uchida, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experimental Group

Journal of Nuclear Materials   438   2013年7月

Growth control of ZnO nano-rod with various seeds and photovoltaic application 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

J. Phys. : Conference Series   441 ( 1 )   2013年6月

Analysis on the effect of polysulfide electrolyte composition for higher performance of Si quantum dot-sensitized solar cells 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Electrochimica Acta   95 ( 1 )   2013年4月

Effects of Hydrogen Dilution on ZnO Thin Films Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization 査読 国際誌

I. Suhariadi, K. Matsushima, K. Kuwahara, K. Oshikawa, D. Yamashita, H. Seo, G. Uchida, K. Kamtaki, K. Koga, M. Shiratani, S. Bornholdt, H. Kersten, Harm Wulff, N. Itagaki

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 1 )   2013年1月

High Amount Cluster Incorporation in Initial Si Film Deposition by SiH4 Plasma Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 1 )   2013年1月

The reduction of charge recombination and performance enhancement by the surface modification of Si quantum dot-sensitized solar cell 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Electrochimica Acta   87 ( 1 )   2013年1月

Improvement of Si Adhesion and Reduction of Electron Recombination for Si Quantum Dot-Sensitized Solar Cells 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, M. Sato, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   52 ( 1 )   2013年1月

Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage 査読 国際誌

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

Thin Solid Films   523   2012年11月

Effects of crystalline nanoparticle incorporation on growth, structure, and properties of microcrystalline silicon films deposited by plasma CVD 査読 国際誌

Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara ,G. Uchida, K. Kamataki , N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani

Thin Solid Films   523   2012年11月

Sputter deposition of Epitaxial Zinc-Indium Oxynitride Films for Excitonic Transistors (Invited) 招待 国際誌

N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of International Symposium on Dry Process   34   2012年11月

ZnO:Al Thin Films with Buffer Layers Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization: Effects of N2/Ar Gas Flow Rate Ratio 査読 国際誌

I. Suhariadi, N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Oshikawa, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, K. Nakahara, M. Shiratani

Transactions of the Materials Research Society of Japan   37 ( 2 )   2012年6月

High quality epitaxial ZnO films grown on solid-phase crystallized buffer layers 査読 国際誌

K. Kuwahara, N. Itagaki, K. Nakahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Thin Solid Films   520 ( 14 )   2012年5月

In situ analysis of size dispersion of nano-particles in reactive plasma using two dimentional laser light scattering method 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Morita, M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki

Journal of Instrumentation   7 ( 4 )   2012年4月

Characteristics of stable a-Si:H Schottoky cells fabricated by suppressing cluster deposition 査読 国際誌

M. Shiratani, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, Y. Kim, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga

Mat. Res. Soc. Symp. Proc.   1426   2012年4月

In-situ Measurements of Cluster Volume Fraction in Silicon Thin Films Using Quartz Crystal Microbalances 査読 国際誌

Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, H. Seo, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mat. Res. Soc. Symp. Proc.   1426   2012年4月

The Optical Analysis and Application of Size-controllable Si Quantum Dots Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

H. Seo, Y. Wang, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mat. Res. Soc. Symp. Proc.   1426   2012年4月

理系日本人学生の実験授業における日本簿の英語教育によるハイブリッド授業の試み

鎌滝晋礼

第60回九州地区大学一般教育研究協議会議事録   2012年3月

Combinatorial Deposition of Microcrystalline Silicon Films Using Multihollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

K. Koga, T. Matsunaga, Y. Kim, K. Nakahara, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, and M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 1 )   2012年1月

Deposition of cluster-free B-doped a-Si:H films using SiH4+B10H14 multi-hollow discharge plasma CVD 査読 国際誌

K. Koga, K. Nakahara, Y. Kim, T. Matsunaga, D.Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 1 )   2012年1月

Effect of nitridation of Si nano-particles on the performance of quantum-dot sensitized solar cells 査読 国際誌

G. Uchida, K. Yamamoto, M. Sato, Y. Kawashima, K. Nakahara, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 1 )   2012年1月

Dynamics of global transport and turbulence noise force - an experimental analysis on plasma turbulence 国際誌

Y. Nagashima, S. Itoh, S. Inagaki, H. Arakawa, N. Kasuya, A. Fujisawa, K. Kamataki, T. Yamada, S. Shinohara, S. Oldenburger, M. Yagi, Y. Takase, P. H. Diamond, and K. Itoh

Proc. of Plasma Conference 2011   25   2011年11月

Self-organized carbon Mk formation on the top surface of fine trenches using a low temperature plasma anisotropic CVD for depositing fine organic structure 国際誌

K. Koga, T. Urakawa, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Effects of nanoparticle incorporation on Si thin films deposited by plasma CVD 国際誌

M. Shiratani, Y. Kim, T. Matsunaga, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Low resistive ZnO:Al films with ZnO buffer layers fabricated by Ar/N2 magnetron sputtering 国際誌

N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Nakahara, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Deposition of cluster-free a-Si:H films using cluster eliminating filter 国際誌

K. Nakahara, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, T. Matsunaga, M. Sato, D. Yamashita, H. Matsuzaki, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Radical Flux Evaluation to Microcrystalline Silicon Films Deposited by Multi-Hollow Discharge Plasma CVD 国際誌

Y. Kim, T. Matsunaga, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Collection of carbon dust particles formed due to plasma-wall interactions between high density H2 plasma and carbon wall onto substrates by applying local DC bias voltage 国際誌

K. Nishiyama, Y. Morita, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group, S. Bornholdt, H. Kersten

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD 国際誌

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Influence of nano-particles on multi-hollow discharge plasma for microcrystalline silicon thin films deposition 国際誌

T. Matsunaga, Y. Kim, K. Koga, H. Seo, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Effects of N2 gas addition to sputtering plasma on properties of epitaxial ZnO films 国際誌

K. Kuwahara, N. Itagaki, K. Nakahara, D. Yamashita, Seo H., G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)   2011年11月

Combinatorial study on effects of substatrate temperature of silicon film deposition using multi-hollow discharge plasma cvd 査読 国際誌

Y. Kim, T. Matsunaga, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of The 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)   2011年11月

Defect density of cluster-free a-si:h films deposited by multi-hollow discharge plasma CVD 査読 国際誌

K. Nakahara, K. Hatozaki, M. Sato, T. Matsunaga, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of The 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)   2011年11月

Zinc oxide-based transparent conducting films with buffer layers fabricated via nitrogen-mediated crystallization 査読 国際誌

N. Itagaki, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of The 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)   2011年11月

Zno films with buffer layers crystallized via nitrogen mediation: Effects of deposition temperature of buffer layers 査読 国際誌

K. Kuwahara, N. Itagaki, K. Nakahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of The 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)   2011年11月

Effects of nano-particles on (220) crystal orientation of microcrystallite silicon thin films 査読 国際誌

T. Matsunaga, Y. Kim, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Proc. of The 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)   2011年11月

文系学生に対する科学教育の取り組みと意義 査読

鎌滝晋礼

大学の物理教育   17 ( 3 )   2011年11月

Hybrid sensitized solar cells using Si nanoparticles and ruthenium dye 査読 国際誌

G. Uchida, Y. Kawashima, K. Yamamoto, M. Sato, K. Nakahara, T. Matsunaga, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Kondo, M. Shiratani

Physica Status Solidi (c)   8 ( 10 )   2011年10月

Impacts of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Growth of Nanoparticles in Reactive Plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, M. Shiratani

Applied Physics Express   4 ( 10 )   2011年10月

Deposition of cluster-free P-doped a-Si:H films using SiH4+PH3 multi-hollow discharge plasma CVD method 査読 国際誌

K. Koga, K. Nakahara, Y. Kim, Y. Kawashima, T. Matsunaga, M. Sato, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani

Physica Status Solidi (c)   8 ( 10 )   2011年10月

Surface nitridation of silicon nano-particles using double multi-hollow discharge plasma CVD 査読 国際誌

G. Uchida, K. Yamamoto, Y. Kawashima, M. Sato, K. Nakahara, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Kondo, M. Shiratani

Physica Status Solidi (c)   8 ( 10 )   2011年10月

Impacts of Plasma Fluctuations on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasma 国際誌

K. Kamataki, H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

2011年9月

Comparison between silicon thin films with and without incorporating crystalline silicon nanoparticles into the film 査読 国際誌

K. Koga, Y. Kawashima, T. Matsunaga, M. Sato, K. Nakahara, W. M. Nakamura, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Thin Solid Films   519 ( 20 )   2011年8月

Non-Gaussian properties of global momentum and particle fluxes in a cylindrical laboratory plasma 査読 国際誌

Y. Nagashima, S. Itoh, S. Inagaki, H. Arakawa, N. Kasuya, A. Fujisawa, K. Kamataki, T. Yamada, S. Shinohara, S. Oldenburger, M. Yagi, Y. Takase, P. H. Diamond, and K. Itoh

Physics of Plasma   18   2011年7月

Combinatorial study of substrate temperature dependence on properties of silicon films deposited using multihollow discharge plasma CVD 国際誌

Y. Kim, T. Matsunaga, Y. Kawashima, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani

2011年7月

Nano-factories in plasma: present status and outlook 査読 国際誌

M. Shiratani, K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, N. Itagaki, K. Kamataki

Journal of Physics D: Applied Physics   44 ( 17 )   2011年5月

Development of radially movable multichannel Reynolds stress probe system for a cylindrical laboratory plasma 査読 国際誌

Y. Nagashima, S. Inagaki, K. Kamakaki, H. Arakawa, T. Yamada, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, A. Fujisawa, S. Itoh, K. Itoh, and Y. Takase

Rev. Sci. Instrum.   82   2011年3月

Generation and Surface Modification of Si nano-particles using SiH4/H2 and N2 multi-hollow discharges and their application to the third generation photovoltaics 招待 査読 国際誌

K. Koga, G. Uchida, K. Yamamoto, Y. Kawashima, M. Sato, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

International Conference on Advances in Condensed and Nano Materials (ICACNM)   1393   2011年2月

ECRH Superposition on Linear Cylindrical Helicon Plasma in LMD-U 査読

K. Kamataki, K. Itoh, S. Itoh, A. Fujisawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, M. Yagi, T. Yamada

Journal of Plasma and Fusion Research   5   2010年12月

Nonlinear mode couplings in a cylindrical magnetized plasma 査読

T. Yamada, S. Itoh, S. Inagaki, Y. Nagashima, S. Shinohara, N.Kasuya, K. Terasaka, K. Kamataki, H. Arakawa, M. Yagi, A. Fujisawa, K. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   5   2010年12月

Probability Density Function of Density Fluctuations in Cylindrical Helicon Plasma 査読

H. Arakawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, T. Yamada, K. Kamataki, T. Kobayashi, S. Sugita, M. Yagi, N. Kasuya, A. Fujisawa, K. Itoh, S. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   5   2010年12月

Bi-spectral analysis of density and potential flucutuations in a high neutral density cylindrical plasma 査読

T. Kobayashi, S. Inagaki, H. Arakawa, K. Kamataki, Y. Nagashima, T. Yamada, S. Sugita, M. Yagi, N. Kasuya, A. Fujisawa, S. Itoh, K. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   5   2010年12月

Observation of Quasi-Two-Dimensional Nonlinear Interactions in a Drift-Wave Streamer 査読 国際誌

T. Yamada, S. Itoh, S. Inagaki, Y. Nagashima, N. Kasuya, K. Kamataki, H. Arakawa, T.Kobayashi, M. Yagi, A. Fujisawa, and K. Itoh

Physical Review Letter   105   2010年11月

Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies 査読 国際誌

M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, K. Kamataki

IEEE Region 10 Conference on TENCON 2010   2010年11月

Effects of Amplitude Modulation of rf Discharge Voltage on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

IEEE Region 10 Conference on TENCON 2010   2010年11月

Effects of Ar addition on breakdown voltage in a Si(CH3)2(OCH3)2 RF discharge 査読 国際誌

G. Uchida, S. Nunomutra, H. Miyata, S. Iwashita, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IEEE Region 10 Conference on TENCON 2010   2010年11月

Substrate Temperature Dependence of Sticking Probability of SiOx-CH3 Nano-Particles 国際誌

H. Miyata, K. Nishiyama, S. Iwashita, H. Matsuzaki, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of International Symposium on Dry Process   2010年11月

Optical and Electrical Properties of Particle Composite Thin Films deposited in SiH4/H2 and N2 Multi-Hollow Discharges 国際誌

G. Uchida, M. Sato, Y. Kawashima, K. Yamamoto, K. Nakahara, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, M. Kondo

2010年11月

Carbon dust particles generated due to H2 plasma-carbon wall interaction 国際誌

H. Miyata, K. Nishiyama, S. Iwashita, H. Matsuzaki, D. Yamashita, G. Uchida, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD experimental group

Proc. of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasma   55 ( 7 )   2010年10月

Deposition rate enhancement of cluster-free P-doped a-Si:H films using multi-hollow discharge plasma CVD method 国際誌

K. Nakahara, Y. Kawashima, M. Sato, T. Matsunaga, K. Yamamoto, W. M. Nakamura, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasma   55 ( 7 )   2010年10月

Combinatorial deposition of microcrystalline Si films using multi-hollow discharge plasma CVD 国際誌

T. Matsunaga, Y. Kawashima, K. Koga, W. M. Nakamura, K. Nakahara, H. Matsuzaki, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

Proc. of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasma   55 ( 7 )   2010年10月

Generation of nitridated silicon particles and their thin film deposition using double multi-hollow discharges 国際誌

G. Uchida, M. Sato, Y. Kawashima, K. Nakahara, K. Yamamoto, T. Matsunaga, D. Yamashita, H. Matsuzaki, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasma   55 ( 7 )   2010年10月

Bifurcation of the plasma turbulence on LMD-U 査読 国際誌

H. Arakawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, T. Yamada, K. Kamataki, T. Kobayashi, S. Sugita, M. Yagi, N. Kasuya, A. Fujisawa, S. -I Itoh and K. Itoh

Plasma Phys. Controlled Fusion   51 ( 10 )   2010年9月

Deposition of cluster-free P-doped a-Si:H films using a multi-hollow discharge plasma CVD method 査読 国際誌

K. Nakahara, Y. Kawashima, M. Sato, T. Matsunaga, K. Yamamoto, W. M. Nakamura, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. of 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference   2010年7月

Si quantum dot-sensitized solar cells using Si nanoparticles produced by plasma CVD 査読 国際誌

Y. Kawashima, K. Yamamoto, M. Sato, K. Nakahara, T. Matsunaga, W. M. Nakamura, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, M. Kondo

Proc. 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conf.   2010年7月

理系日本人学生の実験授業における日本語と英語によるハイブリッド授業の試み

鎌滝晋礼

大学教育   ( 16 )   2010年6月

Study of Amplitude Correlation Technique in a Cylindrical Magnetized Plasma 査読

T. Yamada, S. Itoh, S. Inagaki, Y. Nagashima, K. Kamataki, H. Arakawa, M. Yagi, A. Fujisawa, K. Itoh

Journal of the Physical Society of Japan   79   2010年6月

Two-dimensional bi-spectral analysis of drift wave turbulence in a cylindrical plasma 査読 国際誌

T.Yamada, S. Itoh, S. Inagaki, Y.Nagashima, S. Shinohara, N.Kasuya, K.Terasaka, K.Kamataki, H. Arakawa, M. Yagi, A. Fujisawa, K. Itoh

Phys. Plasma   17   2010年5月

ECRH Superposition on Linear Cylindrical Helicon Plasma in LMD-U 査読

K. Kamataki, K. Itoh, S. Itoh, A. Fujisawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, M. Yagi, T. Yamada

Journal of Plasma and Fusion Research, 5, S2046, 2010.   5   S2046-1 - 5   2010年4月

Statistical Analysis Technique for Estimation of Causal Relationship in Plasma Turbulence 査読

K. Kamataki, K. Itoh, S. Itoh, A. Fujisawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, M. Yagi, T. Yamada

Journal of the Physical Society of Japan   79 ( 2 )   2010年2月

Observations of abrupt changes in the fluctuation spectrum on LMD-U 査読 国際誌

H. Arakawa, K. Kamataki, S. Inagaki, T. Maruta, Y. Nagashima, T. Yamada, S. Shinohara, K. Terasaka, S. Sugita, M. Yagi, N. Kasuya, A. Fujisawa, S. Itoh, K. Itoh

Plasma Phys. Controlled Fusion   51 ( 8 )   2009年8月

Measurement of Nonlinear Mode Couplings in the Large Mirror Device-Upgrade 査読

T. Yamada, S. Itoh, S. Inagaki, Y. Nagashima, S. Shinohara, T. Maruta, K. Terasaka, K. Kamataki, N. Kasuya, M. Yagi, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   8   2009年8月

Dynamics of Drift and Flute Modes in Linear Cylindrical ECR Plasma 査読

K. Kamataki, S. Itoh, Y Nagashima, S. Inagaki, S. Shinohara, M. Yagi, T. Yamada, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh.

Journal of Plasma and Fusion Research   8   2009年8月

Reynolds Stress Measurements for Investigation of Nonlinear Processes of Turbulence in the Large Mirror Device and in the Large Mirror Device-Upgrade 査読

Y. Nagashima, S. Itoh, K. Itoh, A. Fujisawa, S. Inagaki, Y. Kawai, S. Shinohara, M. Fukao, T. Yamada, K. Terasaka, T. Maruta, K. Kamataki, H. Arakawa, M. Yagi, N. Kasuya, G. R. Tynan, P. H. Diamond, Y. Takase

Journal of Plasma and Fusion Research   8   2009年8月

Observation of Zonal Flow Type Oscillation in Linear Cylindrical ECR Plasma 査読

K. Kamataki, S. Itoh, Y Nagashima, S. Inagaki, S. Shinohara, M. Yagi, T. Yamada, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   3   2008年8月

Sheared flow generation and mode suppression in a magnetized linear cylindrical plasma 査読 国際誌

H. Tsuchiya, S. Itoh, A. Fujisawa, K. Kamataki, S. Shinohara, M. Yagi, Y. Kawai, A. Komori, K.Itoh

Plasma Phys. Control. Fusion   50 ( 5 )   2008年5月

Investigation of Competitive Oscillations between Drift Mode and Flute Mode in Linear Cylindrical ECR Plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, S. Itoh, Y Nagashima, S. Inagaki, S. Shinohara, M. Yagi, T. Yamada, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh

Plasma Phys. Control. Fusion   50   2008年3月

Coexistence of Collisional Drift and Flute Wave Instabilities in Bounded Linear ECR Plasma 査読

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

Journal of the Physical Society of Japan   76 ( 5 )   2007年5月

Observation of Competition between Drift Instability and Flute Instability in a Bounded Linear ECR Plasma 査読

K. Kamataki, Y Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, S. Inagaki, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

Journal of Plasma and Fusion Research   2   2007年5月

Growth of single crystalline films on lattice-mismatched substrates through 3D to 2D mode transition 査読 国際誌

N. Itagaki, Y. Nakamura, R. Narishige, K. Takeda, K. Kamataki, K. Koga, M. Hori, M. Shiratani

Sci. Rep.   10   2020年3月

Impact of radish sprouts seeds coat color on the electron paramagnetic resonance signals after plasma treatment 査読 国際誌

K. Koga, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, V. Mildaziene

Jpn. J. Appl. Phys.   59 ( SH )   2020年3月

Identification and Suppression of Si-H2 Bond Formation at P/I Interface in a-Si:H Films Deposited by SiH4 Plasma CVD 査読 国際誌

K. Tanaka, H. Hara, S. Nagaishi, L. Shi, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Plasma Fusion Res.   14   2019年9月

Effect of Higher-Order Silane Deposition on Spatial Profile of Si-H2/Si-H Bond Density Ratio of a-Si:H Films 査読 国際誌

L. Shi, K. Tanaka, H. Hara, S. Nagaishi, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Plasma Fusion Res.   14   2019年9月

Effects of Gas Pressure on Size Distribution and Structure of Carbon Nanoparticles Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharged Plasma Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

Sung Hwa Hwang, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani

Journal of Plasma and Fusion Research   2019年7月

Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on Lattice-mismatched Sapphire Substrate 査読 国際誌

N. Miyhaara, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS Advances   2019年7月

科学的思考力育成のための文系学生に対する科学実験の展開

鎌滝 晋礼

日本科学教育学会年会論文集   2016年8月

アクティブ・ラーニングを取り入れた科学実験・工作

鎌滝 晋礼

日本物理学会第71回年次大会予稿集   2016年3月

社会的責任養成としての科学実験

鎌滝 晋礼

学教育学会2015年度課題研究集会予稿集   2015年11月

Real-time mass measurement of dust particles deposited on vessel wall in a divertor simulator using quartz crystal microbalances 査読 国際誌

M. Tateishi, K. Koga, R. Katayama, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experiment Group

Journal of Nuclear Materials   463   865 - 868   2015年8月

学生に社会問題の意識を向上させる実験授業展開

鎌滝 晋礼

物理教育学会年会物理教育研究大会予稿集   2015年8月

Competition behavior between drift instability and flute instability in bounded linear ECR plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

Proc. of 34th European Physical Society (EPS) Conferences on Plasma Physics   31 ( 1 )   2007年6月

Observation of the Drift Wave Instability in Bounded ECR Plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

Proc. of 33rd European Physical Society (EPS) Conferences on Plasma Physics   14   2006年6月

Electric field measurements in Ar plasma using a fine charged particle trapped with laser tweezers

Kunihiro Kamataki, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

23rd Workshop on Fine Particle Plasmas  2022年12月 

Electric fields measurement using an optical trapped charged particle in Ar plasma(invited) 招待

Kunihiro Kamataki, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

The 32nd Annual Meeting of MRS-J  2022年12月 

Measurement of the charge on single fine particles in plasma

Kunihiro Kamataki, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

The 32nd Annual Meeting of MRS-J  2022年12月 

プラズマCVDにおける成膜とナノ粒子成長 国際会議

第38回 九州･山口プラズマ研究会  2022年11月 

Control of Growth of Nano-particles and Properties of SiO2 Films with Amplitude Modulated Discharge in TEOS-PECVD(Plenary) 招待 国際会議

Kunihiro Kamataki, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Yuma Yamamoto, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

AAPPS-DPP2022 (6th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics)  2022年10月 

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers(invited) 招待 国際会議

Kunihiro Kamataki, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

GEC2022/ICRP-11(The 75th Annual Gaseous Electronics Conference/the 11th International Conference on Reactive Plasmas)  2022年10月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)

鎌滝 晋礼, 佐藤 斗真,富田 健太郎,Pan Yiming, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

Impact of amplitude modulated discharge on suppression of nanoparticles growth in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

Kunihiro Kamataki, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Yuma Yamamoto, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)  2022年9月 

Effects of amplitude modulated rf discharge on properties of SiO2 films deposited by TEOS/O2/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition 国際会議

Kunihiro Kamataki, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Yuma Yamamoto, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX)  2022年9月 

Development of measurement of two-dimensional distribution of strength of electrical field with high spatial resolution using optical trapped particle in plasma 国際会議

Kunihiro Kamataki, Sakyo Okunaga, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

2022 MRS (Material Research society) Spring Meeting  2022年5月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(1)

鎌滝 晋礼, 奥永 冴京,佐藤 斗真,富田 健太郎,Pan Yiming, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

光捕捉微粒子による超高感度電場計測-電場強度と電場揺動計測-

鎌滝 晋礼, 奥永 冴京,佐藤 斗真,富田 健太郎,Pan Yiming, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

令和3年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会  2022年2月 

Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma 国際会議

Kunihiro. Kamataki, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

SPP-39/SPSM34(39th Symposium on Plasma Processing/34th Symposium on Plasma Science for Materials)  2022年1月 

Investigation of 2D electric field measurements in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 国際会議

Kunihiro Kamataki, Sakyo Okunaga, Toma Sato, Kentaro Tomita, Pan Yimin, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

MRM2021(Material Research Meeting)  2021年12月 

Investigation of growth suppression mechanism of nanoparticles through amplitude modulation discharge method in TEOS plasma 国際会議

Kunihiro Kamataki, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)  2021年12月 

Better step coverage of TEOS-PECVD SiO2 films realized by amplitude modulation of RF discharge voltage 国際会議

K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, S. Tahara, Y. Mizokami, Y. Miyata, K. Tabuchi, T. Tanikuni, S. Hiyama, K. Nagahata

DPS 2021 (42nd International Symposium on Dry Process)  2021年11月 

Study on measurement of strength and fluctuation of electrical field using optical trapped particle in Ar plasma (invited) 招待 国際会議

Kunihiro KAMATAKI, Sakyo OKUNAGA, Toma SATO, Kentaro TOMITA, Pan YIMIN, Daisuke YAMASHITA, Takamasa OKUMURA, Naho ITAGAKI, Kazunori KOGA, Masaharu SHIRATANI

AAPPS-DPP2021(5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics)  2021年9月 

Predictive analytics in plasma process using machine learning tools and techniques (invited) 招待 国際会議

Kunhiro KAMATAKI, Chen Feiyu, Tao Yang, Sakyo Okunaga, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

1st Workshop on Artificial Intelligence in Plasma Science - Satellite Workshop of EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing  2021年9月 

振幅変調放電プラズマ中の光捕捉微粒子の挙動に関する研究

鎌滝 晋礼, 奥永 冴京,佐藤 斗真,富田 健太郎,Pan Yiming, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

SiH4+N2 プラズマによる SiNx の低温高品質成膜 招待

鎌滝晋礼 , 佐々木勇輔 , 奥村賢直 ，板垣奈穂 ，古閑一憲 ，白谷正治

応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 第227回 研究集会  2021年3月 

Arプラズマ中の光捕捉微粒子への作用力の研究

鎌滝晋礼,奥永冴京, 岩本 亮介, 富田 健太郎, P.Yiming, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

プラズマCVDによるアモルファスシリコン成膜におけるプラズマプロセスへの機械学習の適用

鎌滝晋礼

第36回九州・山口プラズマ研究会  2020年11月 

Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films 国際会議

K. Kamataki

4th Asia Pacific Conference on Plasma Physics  2020年10月 

Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films(invited) 招待 国際会議

Kunihiro Kamataki, Tomoaki Yoshida, Yusuke Sasaki, Kohei Abe, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani

AAPPS-DPP2020 e-conference  2020年10月 

Information on electric field deduced using a fine particle trapped with laser tweezers in Ar plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Okunaga, K. Tomita, D. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference  2020年10月 

低温環境下におけるプラズマCVDによる高品質保護膜の作製

鎌滝晋礼, 吉田知晃, 佐々木勇輔, 阿部滉平, 岩本亮介, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

日本物理学会 2020年秋季大会  2020年9月 

Future prospects of Plasma-nano interface (Invited) 招待

K. Kamataki

2020年8月 

低温成膜における反応性プラズマ中のナノ粒子制御

鎌滝晋礼, 吉田知晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 永石翔大, 岩本亮介, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

日本物理学会第75回年次大会(2020年)  2020年3月 

光ピンセットによるプラズマ中捕捉微粒⼦の揺動スペクトル解析

鎌滝晋礼, 奥永冴京, 岩本亮介, 富田健太郎, 山下⼤輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

Low temperature fabrication of passivation films by plasma enhanced CVD 招待 国際会議

K. Kamataki, Y. Sasaki, S. Nagaishi, T. Yoshida, K. Abe, H. Hara, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2020, 4th International Symposium on Energy Research and Application  2020年1月 

Developing Prediction of Amorphization Condition Models from Sputter Deposition Experimental Results by Machine Learning Method 国際会議

K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, S. Muraoka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2019年12月 

Investigation of Impact of Plasma Fluctuation Driven by Amplitude Modulated VHF Discharge on Growth of Nanoparticles in Reactive Plasma (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, R. Iwamoto, H. Tanaka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2019年12月 

反応性プラズマにおけるナノ粒子生成制御(招待講演) 招待

鎌滝晋礼, 永石翔大, 佐々木勇輔, 原尚志, 岩本亮介, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第36回プラズマ・核融合学会年会  2019年11月 

Low Temperature Fabrication of High Nitriding Degree of SiN films by Multi-Hollow Discharge SiH4+N2 Plasma CVD 国際会議

K. Kamataki, S. Nagaishi, Y. Sasaki, H. Hara, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

41st International Symposium on Dry Process (DPS2019)  2019年11月 

Precision control of nanoparticle property in reactive plasma ~ Low Temperature Fabrication of Low Hydrogen Content SiN films in a Multi-Hollow Discharge Plasma CVD ~

K. Kamataki, S. Nagaishi, Y. Sasaki, H. Hara, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2019年11月 

Challenges and Opportunities in Dye Sensitized Solar Cells Using DBD Plasma Treated Upconversion Nanoparticles (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, F. L. Chawarambwa, K. Koga, M. Shiratani

236th ECS Meeting  2019年10月 

AM変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長揺動に関する時空間情報解析

鎌滝 晋礼, 田中 颯, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月 

Developing Prediction of Key Plasma Processing Parameter from Small Data of Experimental Results by Machine Learning Method 国際会議

K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)  2019年9月 

Investigation of Spatiotemporal Structure of Fluctuation Related with Nanoparticle Growth in Amplitude-Modulated VHF Discharge Reactive Plasma 国際会議

K. Kamataki, R. Iwamoto, H. Tanaka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)  2019年9月 

Low Temperature Fabrication of Low Hydrogen Content SiN films in a Multi-Hollow Discharge Plasma CVD 国際会議

K. Kamataki, S. Nagaishi, Y. Sasaki, H. Hara, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  2019年7月 

Study on Relationship between Growth of Nanoparticles and Plasma Fluctuation due to Amplitude Modulated Discharge Voltage in Capacitively Coupled Reactive Plasma 国際会議

K. Kamataki, R. Zhou, H. Ohtomo, R. Iwamoto, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  2019年7月 

Predictive insight based on grey box analysis of plasma process data 招待 国際会議

K. Kamataki, M. Shiratani

2nd International Conference on Data Driven Plasma Science (2nd ICDDPS)  2019年5月 

反応性プラズマにおけるナノ粒子成長における変調レベル依存性

鎌滝晋礼, 周靭, 大友洋, 岩本亮介, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

日本物理学会第74回年次大会（2019年）  2019年3月 

Spatio-temporal structure of growth of nano-particles with without amplitude modulation in reactive plasmas 国際会議

K. Kamataki, Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani

5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2013)  2013年1月 

放電電力変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長の時空間構造の観測

鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 白谷正治

プラズマ・核融合学会　第29回年会  2012年11月 

プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス

鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, H. Seo, 白谷正治

九州山口プラズマ研究会、応物新領域研究会  2012年11月 

High Capacity Li Ion Battery Anodes Using Silicon Carbide Nanoparticles Produced by Double Multi-Hollow Discharge Plasma CVD 国際会議

K. Kamataki, M. Shiratani, T. Ishihara, H. Nagano, Y. Morita, K. Kuwahara, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga

2012年9月 

Characteristics of stable a-Si:H Schottoky cells fabricated by suppressing cluster deposition 国際会議

M. Shiratani, K. Nakahara, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, T. Matsunaga, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga

2012 MRS Spring Meeting  2012年4月 

Interaction between amplitude modulated plasmas and nanoparitcles growth in the plasmas 国際会議

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani

4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)  2012年3月 

反応性プラズマにおけるナノ粒子生成に対する放電電力摂動の効果

鎌滝晋礼, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 第15回九州・沖縄・山口支部大会  2011年12月 

Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD 国際会議

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani

Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)  2011年11月 

Impacts of Plasma Fluctuations in Reactive Plasmas (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, M. Shiratani

BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T  2011年10月 

プラズマCVD中におけるナノ粒子成長に対するプラズマ揺らぎの効果

鎌滝晋礼, 古閑一憲, 内田儀一郎,　板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治

プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念特別シンポジウム  2011年10月 

Two dimensional laser light scattering to deduce size and density of nanoparticles in plasmas (Invited) 招待 国際会議

M. Shiratani, K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida

Laser Aided Plasma Diagnostic conference (LAPD15)  2011年10月 

理系日本人学生の実験授業における日本語と英語のハイブリッド授業の試み

鎌滝晋礼

第60回九州地区大学一般教育研究協議会  2011年10月 

高周波放電のAM変調によるナノ粒子サイズ分布の制御

白谷正治, 鎌滝晋礼, 西山雄士, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂

平成23年度（第64回）電気関係学会九州支部連合大会  2011年9月 

Deposition of quantum dot thin films using Si nanoparticles with surface nitridation (Invited) 招待 国際会議

M. Shiratani, K. Yamamoto, M. Sato, Y. Kawashima, K. Nakahara, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida, K. Koga

The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2011)  2011年9月 

Frontier science of interactions between plasmas and nano‐interfaces (Plenary) 招待 国際会議

2011年9月 

Impacts of Plasma Fluctuations on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas 国際会議

K. Kamataki , H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

2011年8月 

Fluctuation Control towards Ultimate Plasma Nanotechnologies (Keynote) 招待 国際会議

M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, K. Kamataki

2011年7月 

Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage 国際会議

K. Kamataki, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

2011年7月 

反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する気相揺らぎの効果

鎌滝晋礼, 宮田大嗣, 古閑一憲, 内田儀一郎, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治

第58回応用物理学関係連合講演会  2011年3月 

Investigation of Interaction between of Growth of Nano Particles and Plasma Fluctuations in Plasma CVD

K. Kamataki, H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

2010年12月 

プラズマCVD中のナノ粒子成長に対するプラズマ揺動の影響

鎌滝晋礼, 宮田大嗣, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第14回 支部大会  2010年12月 

Effects of Amplitude Modulation of rf Discharge Voltage on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas 国際会議

K. Kamataki, H. Miyata, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, M. Shiratani

International technical conference of IEEE Region 10  2010年11月 

Manipulation of Nano-objects Uusing Plasmas for a Plasma Nano-factory (Invited) 招待 国際会議

M. Shiratani, K. Koga, G.u Uchida, N. Itagaki, K. Kamataki

The 11th Asia Pacific Physics Conference (APPC11)  2010年11月 

反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する電力摂動の効果

鎌滝晋礼, 宮田大嗣, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治

第71回応用物理学会学術講演会  2010年9月 

基礎プラズマと反応性プラズマにおけるプラズマ揺動制御に関する研究 （招待講演） 招待

鎌滝晋礼

第37回西日本放電懇談会  2010年8月 

Plasma Fluctuations in Pristine and Reactive Plasmas (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki

The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics  2010年7月 

Plasma Fluctuation 国際会議

K. Kamataki

2010 International Workshop on Plasma Application  2010年6月 

LMD-UにおけるECRH重畳ヘリコンプラズマにおける揺動スペクトルの変化

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

プラズマ核融合学会　九州・山口・沖縄支部第13回支部大会  2009年12月 

直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験I

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、伊藤公孝、伊藤早苗

日本物理学会 2005年秋季大会  2005年9月 

Experiment on Drift Wave Excitation in Linear ECR Plasma 国際会議

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, K. Itoh, S. Itoh

2005年10月 

The Excitation of Drift Wave Instability in Bounded ECR plasma 国際会議

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

2005年12月 

境界のある直線ECRプラズマにおける衝突性ドリフト波不安定性

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

プラズマ核融合学会　九州・山口・沖縄支部第9回支部大会  2005年12月 

直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験Ⅱ

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

日本物理学会　第61回年次大会  2006年3月 

Observation of the Drift Wave Instability in Bounded ECR Plasma 国際会議

K. Kamataki, Y. Nagashima, S. Shinohara, Y. Kawai, M. Yagi, K. Itoh, S. Itoh

33rd European Physical Society (EPS) Conferences on Plasma Physics  2006年6月 

直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

RIAMフォーラム 2006  2006年6月 

直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験Ⅲ

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

日本物理学会 2006年秋季大会  2006年9月 

Collisional Drift and Flute Wave Instabilities in Bounded Linear ECR Plasma – Identification and Stabilization 国際会議

2006年10月 

境界のある直線ECRプラズマにおける衝突性ドリフト波不安定性とフルート不安定性の共存

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

プラズマ核融合学会　九州・山口・沖縄支部第10回支部大会  2006年12月 

直線ECRプラズマにおける衝突性ドリフト波不安定性とフルート波不安定性の共存現象

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

日本物理学会 2007年春季大会  2007年3月 

直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い

鎌滝晋礼、永島芳彦、篠原俊二郎、河合良信、矢木雅敏、伊藤公孝、伊藤早苗

日本物理学会 2007年年次大会  2007年9月 

直線ECRプラズマにおけるドリフトモードとフルートモードの周期的競合

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

プラズマ核融合学会　九州・山口・沖縄支部第11回支部大会  2007年12月 

直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い・Ⅱ

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

日本物理学会 2008年第63回年次大会  2008年3月 

直線ECRプラズマ装置におけるドリフトモードとフルートモードの競合的関係

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

第11回若手科学者によるプラズマ研究会  2008年3月 

Investigation of Competitive Oscillations between Drift Mode and Flute Mode in Linear Cylindrical ECR Plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Itoh, Y. Nagashima, S. Inagaki, S. Shinohara, M. Yagi, T. Yamada, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh

2nd ITER International Summer School (IISS2008) In conjunction with the 47th Summer School of JSPF for Young Plasma Scientists  2008年7月 

Dynamics of Drift and Flute Modes in Linear Cylindrical ECR Plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Itoh, Y. Nagashima, S. Inagaki, S. Shinohara, M. Yagi, T. Yamada, Y. Kawai, A. Fujisawa, K. Itoh

14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008)  2008年9月 

直線ECRプラズマにおける帯状流型振動

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

プラズマ核融合学会　九州・山口・沖縄支部第12回支部大会  2008年12月 

直線円筒形ECRプラズマにおけるゾーナルフロー型振動の観測

鎌滝晋礼、伊藤早苗、永島芳彦、稲垣滋, 篠原俊二郎、矢木雅敏、山田琢磨、河合良信、藤澤彰英、伊藤公孝

日本物理学会 2009年第64回年次大会  2009年3月 

ECRH Superposition on Linear Cylindrical Helicon Plasma in LMD-U 国際会議

K. Kamataki, K. Itoh, S. Itoh, A. Fujisawa, S. Inagaki, Y. Nagashima, M. Yagi, T. Yamada

19th International Toki Conference (ITC19)  2009年12月 

プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル

鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

Large-Scale Fabrication of Tm3 Fe5 O12 Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy Using Magnetron Sputtering 国際会議

A. M. Nurut, S. Obinata, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Yamashita

ISPlasma  2024年3月 

イネ種皮のプラズマ起因化学種透過性の二次元分布解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマ照射によるシロイヌナズナ種皮の物質透過性変化

奥村賢直, 古閑一憲, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 南原英司

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

大気圧プラズマを用いた窒素固定における電極温度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマを用いた CO2 のメタン化におけるモレキュラーシーブの活用

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

CxHy+ArプラズマCVDを用いた水素化アモルファスカーボン膜の堆積特性に対するガス圧力の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films 国際会議

Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ISPlasma  2024年3月 

Deposition of carbon nanoparticles fabricated by multi-hollow discharge plasma CVD on DC biased substrates 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

ISPlasma  2024年3月 

Molecular structure analysis of DBD plasma irradiated DMPO by LC-MS 国際会議

T. Okumura, H. Shi, P.Attri, D. Yamasita, K. Kamataki, N.Yamasita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratan

ISPlasma  2024年3月 

Influence of CO and H2O2 in plasma agriculture 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPlasma  2024年3月 

Nitrogen Fixation to Leaf Mold Using Air Plasma and Evaluation of Phenotype Response of Sugarcane to Nitrogen-Fixed Fertilizer 国際会議

T.Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Koga

ISPlasma  2024年3月 

プラズマスパッタによる高品質アモルファスITO薄膜形成のためのハイブリッド機械学習モデル（招待講演） 招待

鎌滝晋礼，板垣 奈穂，山下 大輔, 奥村 賢直，山下 尚人, 古閑 一憲, 白谷 正治

2024年1月 

Predictions for High Quality Amorphous ITO(In2O3:Sn) Film Formation via Hybrid Machine Learning Model (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

ICTS  2024年1月 

Effects of Carbon Nanoparticle Interposed between Two Hydrogenated Amorphous Carbon Films on Surface Morphology of a-C:H Film

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2023年12月 

Enhancement of The Coercivity and Blocking Temperature of Co doped ZnO films by RF sputtering Using Nitrogen 国際会議

M. N. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Analysis of Plasma Processes using Machine Learning and Quantum Computing 国際会議

M. Shiratani, K. Kamataki

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Evaluation of Elastic Parameters of a-C:H Film with Carbon Nanoparticles Using Nanoindentation Method 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Hybrid machine learning model prediction for high mobility amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization 国際会議

N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis 国際会議

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

クメンを用いた二周波容量結合プラズマ CVD 法による a-C:H 膜の製膜特性

恵利眞人, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

PECVD を用いた a-C:H 成膜における添加希ガス種における成膜機構の違い

池田築, 大高真寛，大友洋，脇田大地，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

任意波形放電による水素化アモルファスカーボン成膜：イオンフラックスが膜質に与える影響

脇田大地，大高真寛，池田築，頼建勲，大友洋，鎌滝晋礼，山下直人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治，進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響

畑昌太朗，中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

放電電圧変調波形が高周波容量結合プラズマに与える影響：PIC-MCC シミュレーション

長尾伊織，山本祐馬，佐藤優志，鎌滝晋礼，山下尚人, 奥村賢直，木山治樹，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

水と大気圧プラズマの相互作用による二酸化炭素分解

乙部響, P. Attri，奥村賢直, 史合平, 中尾匠，日高直哉, 鎌滝晋礼，山下大輔，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

TEOS-PECVD における発光分光計測を用いたSiO2 薄膜膜質推定についての研究

佐藤優志, 山本祐馬, F. W. Sukuma, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

空気プラズマを用いた窒素固定に対する放電電力密度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月 

Effect of the plasma-generated reactive species on protein folding

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023年11月 

プラズマ中に浮遊する微粒子の帯電量の新評価法

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, P. Yiming, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 富田健太郎

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

TEOS-PECVD によるSiO2成膜におけるプラズマ発光強度と膜質の関係

山本祐馬, 佐藤優志, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

任意電圧波形放電による容量結合プラズマにおける重畳周波数の効果：PIC-MCCモデル

頼 建勳, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 奥村 賢直, 山下 尚人, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer

H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

2023年11月 

Comparative study of deposition characteristics of different precursors for plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kunihiro, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Quantitative Analysis of Electric Field Intensity Generated by Scalable Dielectric Barrier Discharge Electrodes for Irradiating to Plant Seeds 国際会議

K. Koga, T. Okumura, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Combining machine learning of classification and regression models for predicting high quality amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Plasma effect on the enzyme structure: Experimental and simulation studies

P. Attri,T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, M. Shiratani

2023年11月 

大量処理のためのプラズマ照射による土壌への窒素固定化の最適化

中尾 匠,奥村 賢,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,白谷 正治,古閑 一憲

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

液体クロマトグラフィー質量分析法を用いたプラズマ被照射物からの亜硝酸塩および硝酸塩の同時検出法の開発

日高 直哉,奥村 賢直,アタリ パンカジ,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマを照射したDMPOの質量分析

乙部 響,史 合平,奥村 賢直,阿南 輝樹,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における分子修飾解析

史 合平,奥村 賢直,パンカジ アトリ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

Predictions for High Mobility Amorphous ITO(In2O3:Sn) Films via Hybrid Machine Learning Model 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023  2023年11月 

Highly sensitive electric field vector measurements using an optically trapped fine particle 国際会議

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Controlling the synthesis, transport, and surface coverage of carbon nanoparticles using plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of carbon nanoparticle adhesion on substrate surface deposited by plasma CVD 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N.Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

GEC  2023年10月 

プラズマ照射による窒素固定肥料へのサトウキビの表現型応答解析

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(4)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 井口恒聖, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果：ZnON膜の結晶化度の影響

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長：MgOバッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔,　奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成：3次元島バッファー層の形成温度の影響

矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長

成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射DMPOの分子修飾解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

任意波形放電を用いた水素化アモルファスカーボン膜の膜質制御

大高真寛,大友洋, 池田築, 頼建勲, 脇田大地, 鎌滝晋礼, 山下直人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における変動分子の組織別解析

史合平, 奥村賢直, A. Pankaj, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

大気圧空気プラズマによる硝酸態窒素固定量に対する放電電力密度依存性

中尾匠, 奥村賢直, A. Pankaj, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

Measurement of electric field, UV photons, and long-lifetime reactive species generated by atmospheric pressure air plasma for plasma bio applications 国際会議

T. Okumura, S. Tsuboyama, Y. Tagawa, T. Nakao, T. Anan, H. Tanaka, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kuchitsu

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of tailored voltage waveform discharges on deposition of hydrogenated amorphous carbon films by CH4/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

M. Otaka, H. Otomo, K. Ikeda, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Optical tweezers technique for electric field strength and fluctuation measurements in plasma using a fine particle 国際会議

T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Control of ion trajectory in high aspect ratio trenches by using amplitude modulated rf discharges 国際会議

I. Nagao, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Investigation of particle charge and interparticle interaction in a plasma 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Coverage control of carbon nanoparticles on substrate using capacitively coupled plasma chemical vapor deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges 国際会議

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Deposition characteristics of cumene plasma CVD for high-speed deposition of high-density a-C:H films 国際会議

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Relation between Spatial Distribution of Optical Emission Intensity and SiO2 Film Property in TEOS-PECVD 国際会議

Y. Yamamoto, I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of Ne mixing on plasma enhanced chemical vapor deposition of a-C:H films using CH4/Ar/Ne capacitively coupled discharges 国際会議

K. Ikeda, M. Otaka, H. Otomo, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges 国際会議

T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges 国際会議

R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization 国際会議

Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of lower discharge frequency on ion energy distribution function in dual frequency plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo method 国際会議

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, K. Ikeda, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Ion Trajectory Control in Processing Plasmas for Nano-Fabrication（keynote） 招待 国際会議

2023年7月 

プラズマ中帯電微粒子の相互作用に関する研究

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

ナノ粒子を用いた膜界面の形状ゆらぎによる膜応力低減

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

Plasma-induced CO2 conversion: Experimental and Computational study 国際会議

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, N. Takeuchi, K. Kamataki, M. Shiratani

ISPC25  2023年5月 

Prediction of Plasma CVD Process Data of a-Si:H Films via Machine Learning 国際会議

K. Kamataki, F. L. Chawarambwa, D. Yamashita, N. Yamashita, T.Okumura, N. Itagaki, K.Koga, M. Shiratani

ISPC25  2023年5月 

Effects of sputtering of a-C:H films on the chemical composition 国際会議

M. Shiratani, K. Ikeda, M. Otaka, S. Ono, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki

ISPC25  2023年5月 

High Throughput Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon Films using High-Pressure Ar+CH4 Plasmas 国際会議

ICMCTF2021  2021年4月 

プラズマを用いてカーボンナノ粒子層を含むミルフィーユ型 a-C:H 膜の機械的特性

古閑一憲, 黄成和, Y.Hao, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 白谷正治

第68回応用物理学会春季学術講演会  2021年3月 

マグネトロンスパッタリング法による(ZnO)x(InN)1-x膜のエピタキシャル成長:基板の面極性の影響

成重椋太, 金島健太郎, 浦川 聖一, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム  2021年3月 

ナノ粒子取り込みによる SiNx の低温プラズマ CVD 製膜

佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム  2021年3月 

任意波形励起プラズマ CVD 法による a-C:H 膜質の制御

岩本亮介, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム  2021年3月 

プラズマCVD中飛行時間によるカーボンナノ粒子サイズ制御

古閑一憲, S. H. Hwang, Y. Hao, P. Attir, 奥村賢直，鎌滝晋礼，板垣奈穂, 白谷正治

日本物理学会第76回年次大会  2021年3月 

Electric Field Measurements in Ar plasmas using a Fine Particle Trapped with Optical Tweezers 国際会議

S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021  2021年3月 

調湿レタス種子の発芽に及ぼす大気圧プラズマ照射の影響

奥村 賢直, 阿南 輝樹, 田中 颯, 有田 涼, 山下 大輔, アトリ パンカジ, 鎌滝 晋礼, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治, 藤本 祉史, 熊内 雅人, 松井 英享, 石橋 勇志

2021年1月 

Sputter deposition of ZnAlO films with tunable bandgaps from 3.4 to 6.1 eV 国際会議

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-x films 国際会議

R. Narishige, K. Kaneshima, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen mediate amorphization method: Effects of nitrogen flow rate 国際会議

Y. Mido, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Structural and Optical Properties of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy 国際会議

D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Impact of surface morphologies of 3D island layers on the single crystal growth of magnetron sputtered ZnO films 国際会議

Y. Nakamura, M. Kikuchi, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagak

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Growth of high-quality (ZnO)x(InN)1-x films by RF magnetron sputtering using a two-step growth process 国際会議

K. Kaneshima, S. Urakawa, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICMAP 2020 & ISFM 2020  2021年1月 

Low temperature fabrication of SiO2 films using capacitively coupled TEOS plasma 国際会議

Y. Sasaki, T. Yoshida, K. Abe, K. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 21st Workshop on Fine Particle Plasmas  2020年12月 

Study on Film Deposition Process using Spatial Profiles of Plasma Parameters and Nanoparticles in Reactive Plasma 国際会議

K. Kamataki, T. Yoshida, Y. Sasaki, K. Abe, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

The 21st Workshop on Fine Particle Plasmas  2020年12月 

ITO薄膜のスパッタ製膜プロセスへの機械学習の適用

陳飛宇, 岩本亮介, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

PIC-MCCMを用いたCCPにおけるIEDに関する研究

阿部滉平, 陶陽, 岩本亮介, 佐々木勇輔, 吉田知晃, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

レタス種子の発芽特性に及ぼす調湿・プラズマ照射時間依存性

阿南輝樹, 田中颯, 有田涼, 山下大輔, 奥村賢直, アトリ パンカジ, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志, 藤本祉史, 熊内雅人, 松井英享

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

アルゴンプラズマ中光捕捉微粒子への作用力の校正

奥永 冴京, 鎌滝 晋礼, 富田 健太郎, Pan Yiming, 山下 大輔, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治,

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

PECVD における任意電圧波形を用いた a-C:H 成膜

永松大樹, 岩本亮介, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央, 田中諭志, 松土龍夫

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

CCPにおける径方向電場Eyの計測の試み

陶陽, 岩本亮介, 阿部滉平, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

スパッタエピタキシー法による(ZnO)X(InN)1-X膜の作製: 高温バッファー層の効果

寺澤寛, 金島健太郎, 成重椋太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Ar/N2スパッタリングによるサファイア基板上へのZnO単結晶成長：O-poorバッファー層の効果

松本翔剛, 髙橋大智, 中村優太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Ar+CH4 マルチホロー放電プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子のフラックスに対する熱泳動力の効果

郝源, 𠮷川大智, 黄成和, 古閑一憲, 白谷正治, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 奥村賢直

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係

吉田知晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山本晃大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

TEOSプラズマCVDを用いたSiO2膜の形成:基板バイアス電圧依存性

山本晃大, 吉田智晃, 阿部滉平, 佐々木勇輔, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

容量結合プラズマCVD法によるSiO2膜の低温製膜

佐々木勇輔, 吉田知晃, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

容量結合プラズマ触媒法によるサバティエ反応：圧力依存性

長谷川大樹, 出口雅志, 都甲将, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

令和2年度プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　第24回支部大会  2020年12月 

Impact of Plasma Treatment on the binding of C-terminal Domain of SARS-CoV-2 Spike Protein with Human Angiotensin-Converting Enzyme 2 (hACE2) 国際会議

P. Attri, K. Koga, T. Okumura, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani

2020年12月 

Nitric Acid Generation by Pulsed Needle-water Discharge Plasma 国際会議

H. Tanaka, R. Kogawa, Y. Oba, M. Fujita, T. Okumura, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kamataki, N. Itagaki

2020年12月 

Impact of Plasma Treatment Time on the Barley Seeds using Electron Paramagnetic Resonance 国際会議

K. Koga, P. Attri, T. Anan, R. Arita, H. Tanaka, T. Okumura, D. Yamashita, K. Matsuo, K. Kanataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi

2020年12月 

Growth of Rice Cultivated in Field from Plasma-irradiated Seeds and Its Health Assessment for rats 国際会議

T. Okumura, H. Tanaka, R. Arita, D. Yamashita, K. Matsuo, P. Attri, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2020年12月 

プラズマ触媒法を用いたCO2のCH4化反応におけるプラズマ発光強度の空間分布

出口雅志, 山下大輔, 都甲将, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第37回 プラズマ・核融合学会 年会  2020年12月 

プラズマCVDにおけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係

白谷正治, 古閑一憲, 鎌滝晋礼, 吉田知晃, 佐々木勇輔, 阿部滉平

第37回 プラズマ・核融合学会 年会  2020年12月 

Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature 国際会議

Y. Midou, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 5t h Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2020年11月 

プラズマ触媒メタン化におけるメタン収率とプラズマ発光強度空間分布の関係

出口雅志，長谷川 大樹，山下 大輔，鎌滝 晋礼，板垣 奈穂，古閑 一憲，白谷 正治，都甲 将，寒川 誠二

2020年(令和2年度 )応用物理学会九州支部学術講演会  2020年11月