Platelet NaNbO₃ grown by single-step molten salt synthesis: Study on bismuth migration in topochemical conversion reaction 査読

Takayuki Watanabe, Masatoshi Watanabe, Tatsuya Suzuki, Satoshi Yamabi, Hisato Yabuta, Kaoru Miura, Naoko Ito, Nobuhiro Kumada

Japanese Journal of Applied Physics   53 ( 9S )   09PB08   2014年9月

Microscopic structure and electrical transport property of sputter-deposited amorphous indium-gallium-zinc oxide semiconductor films 招待 査読

H Yabuta, N Kaji, M Shimada, T Aiba, K Takada, H Omura, T Mukaide, I Hirosawa, T Koganezawa, H Kumomi

Journal of Physics: Conference Series   518 ( 1 )   012001   2014年6月

Characterizations of epitaxial Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃–Bi(Zn_1/2Ti_1/2)O₃ solid solution films grown by pulsed laser deposition 査読

Takahiro Oikawa, Shintaro Yasui, Takayuki Watanabe, Hisato Yabuta, Takeshi Kobayashi, Kaoru Miura, Hiroshi Funakubo

Japanese Journal of Applied Physics   53 ( 5S1 )   05FE06   2014年5月

Growth of (1-x)NaNbO₃–xBaTiO₃ Single Crystals by Slow-Cooling and Flux Methods 査読

Takayuki Watanabe, Hisato Yabuta, Miki Ueda, Masatoshi Watanabe, Tatsuya Suzuki, Kaoru Miura, Naoko Ito, Nobuhiro Kumada

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 9S1 )   09KC02   2013年9月

Structure and Magnetic Properties of BiFe_1–xCo_xO₃ and Bi_0.9Sm_0.1Fe_1–xCo_xO₃ 査読

Makoto Kubota, Kengo Oka, Hisato Yabuta, Kaoru Miura, Masaki Azuma

Inorganic Chemistry   52 ( 18 )   10698 - 10704   2013年9月

Effect of sintering condition and V-doping on the piezoelectric properties of BaTiO₃–Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃–BiFeO₃ ceramics 査読

Ichiro FUJII, Ryuta MITSUI, Kouichi NAKASHIMA, Nobuhiro KUMADA, Hisato YABUTA, Mikio SHIMADA, Takayuki WATANABE, Kaoru MIURA, Satoshi WADA

Journal of the Ceramic Society of Japan   121 ( 1416 )   589 - 592   2013年8月

Microstructure and Piezoelectric Properties of BaTiO₃–Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃–BiFeO₃ Ceramics 査読

Ryuta Mitsui, Ichiro Fujii, Kouichi Nakashima, Nobuhiro Kumada, Takayuki Watanabe, Mikio Shimada, Jumpei Hayashi, Hisato Yabuta, Makoto Kubota, Tetsuro Fukui, Yoshihiro Kuroiwa, Satoshi Wada

Key Engineering Materials   566   59 - 63   2013年7月

Growth of (111) One-Axis-Oriented Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃ Films on (100)Si Substrates 査読

Takahiro Oikawa, Shintaro Yasui, Takayuki Watanabe, Koji Ishii, Yoshitaka Ehara, Hisato Yabuta, Takeshi Kobayashi, Tetsuro Fukui, Kaoru Miura, Hiroshi Funakubo

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 4S )   04CH09   2013年4月

Film Thickness Dependence of Ferroelectric Properties of (111)-Oriented Epitaxial Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃ Films 査読

Takahiro Oikawa, Shintaro Yasui, Takayuki Watanabe, Hisato Yabuta, Yoshitaka Ehara, Tetsuro Fukui, Hiroshi Funakubo

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9 PART 2 )   09LA04   2012年9月

Microstructure of BaTiO₃–Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃–BiFeO₃ Piezoelectric Ceramics 査読

Hisato Yabuta, Mikio Shimada, Takayuki Watanabe, Jumpei Hayashi, Makoto Kubota, Kaoru Miura, Tetsuro Fukui, Ichiro Fujii, Satoshi Wada

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9 PART 2 )   09LD04   2012年9月

Piezoelectric enhancement of relaxor-based lead-free piezoelectric ceramics by nanodomain engineering 査読

Ichiro Fujii, Ryuta Mitsui, Kouichi Nakashima, Nobuhiro Kumada, Satoshi Wada, Hisato Yabuta, Mikio Shimada, Takayuki Watanabe, Kaoru Miura

Proceedings of ISAF-ECAPD-PFM 2012   6297767   2012年7月

Sm置換BiFeO₃の相転移挙動 査読

久保田純, 岡研吾, 中村嘉孝, 薮田久人, 三浦薫, 島川祐一, 東正樹

粉体および粉末冶金   59 ( 5 )   239 - 245   2012年5月

Sequential Phase Transitions in Sm Substituted BiFeO₃ 査読

Makoto Kubota, Kengo Oka, Yoshitaka Nakamura, Hisato Yabuta, Kaoru Miura, Yuichi Shimakawa, Masaki Azuma

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 )   09NE08   2011年9月

Structural, Dielectric, and Piezoelectric Properties of Mn-Doped BaTiO₃–Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃–BiFeO₃ Ceramics 査読

Ichiro Fujii, Ryuta Mitsui, Kouichi Nakashima, Nobuhiro Kumada, Mikio Shimada, Takayuki Watanabe, Jumpei Hayashi, Hisato Yabuta, Makoto Kubota, Tetsuro Fukui, Satoshi Wada

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 )   09ND07   2011年9月

Structural Transformation of Hexagonal (0001)BaTiO₃ Ceramics to Tetragonal (111)BaTiO₃ Ceramics 査読

Takayuki Watanabe, Mikio Shimada, Toshiaki Aiba, Hisato Yabuta, Kaoru Miura, Kengo Oka, Masaki Azuma, Satoshi Wada, Nobuhiro Kumada

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 )   09ND01   2011年9月

Relaxor Characteristics of BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃ Ceramics 査読

Ichiro Fujii, Keisuke Yamato, Mikio Shimada, Jumpei Hayashi, Hisato Yabuta, Makoto Kubota, Tetsuro Fukui, Kouichi Nakashima, Nobuhiro Kumada, Satoshi Wada

Key Engineering Materials   485   31 - 34   2011年7月

Sputtering formation of p-type SnO thin-film transistors on glass toward oxide complimentary circuits 査読

Hisato Yabuta, Nobuyuki Kaji, Ryo Hayashi, Hideya Kumomi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Masahiro Hirano, Hideo Hosono

Applied Physics Letters   97 ( 7 )   072111   2010年8月

Electronic states of magnetic refrigerator materials Mn_0.9Fe_1.1P_0.55As_0.45using soft x-ray magnetic circular dichroism 査読

Y Takeda, T Okane, T Ohkochi, S -i Fujimori, Y Saitoh, H Yamagami, H Yabuta, T Takabatake

Journal of Physics: Conference Series   200 ( 1 )   012199   2010年1月

Materials, Devices, and Circuits of Transparent Amorphous-Oxide Semiconductor 査読

Hideya Kumomi, Seiichiro Yaginuma, Hideyuki Omura, Amita Goyal, Ayumu Sato, Masaya Watanabe, Mikio Shimada, Nobuyuki Kaji, Kenji Takahashi, Masato Ofuji, Tomohiro Watanabe, Naho Itagaki, Hisae Shimizu, Katsumi Abe, Yoshinori Tateishi, Hisato Yabuta, Tatsuya Iwasaki, Ryo Hayashi, Toshiaki Aiba, Masafumi Sano

Journal of Display Technology   5 ( 12 )   531 - 540   2009年12月

42.1: Invited Paper: Improved Amorphous In-Ga-Zn-O TFTs 査読

Ryo Hayashi, Ayumu Sato, Masato Ofuji, Katsumi Abe, Hisato Yabuta, Masafumi Sano, Hideya Kumomi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Masahiro Hirano, Hideo Hosono

SID Symposium Digest of Technical Papers   39 ( 1 )   621 - 624   2008年5月

Circuits using uniform TFTs based on amorphous In-Ga-Zn-O 査読

Ryo Hayashi, Masato Ofuji, Nobuyuki Kaji, Kenji Takahashi, Katsumi Abe, Hisato Yabuta, Masafumi Sano, Hideya Kumomi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Masahiro Hirano, Hideo Hosono

Journal of the Society for Information Display   15 ( 11 )   915 - 921   2007年11月

Neutron powder diffraction study of the site disorder in YbInCu₄ 査読

K. Hiraoka, H. Yabuta, K. Kojima, K. Oikawa, T. Kamiyama

Journal of Magnetism and Magnetic Materials   310 ( 2 )   380 - 382   2007年3月

Pressure effects on the first order transition in MnFe(P,As) and MnFe(P,Ge) 査読

H. Yabuta, K. Umeo, T. Takabatake, L. Chen, Y. Uwatoko

Journal of Magnetism and Magnetic Materials   310 ( 2 )   1826 - 1828   2007年3月

Temperature- and Field-Induced First-Order Ferromagnetic Transitions in MnFe(P_1-xGe_x) 査読

Hisato Yabuta, Kazunori Umeo, Toshiro Takabatake, Keiichi Koyama, Kazuo Watanabe

Journal of the Physical Society of Japan   75 ( 11 )   113707 - 113707   2006年11月

High-mobility thin-film transistor with amorphous InGaZnO₄ channel fabricated by room temperature rf-magnetron sputtering 査読

Hisato Yabuta, Masafumi Sano, Katsumi Abe, Toshiaki Aiba, Tohru Den, Hideya Kumomi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Hideo Hosono

Applied Physics Letters   89 ( 11 )   112123 - 112123   2006年9月

¹¹⁵NMR study of YbInNi₄ 査読

H Yabuta, K Hiraoka, Y Miura, K Kojima, S Tomiyoshi

Journal of Magnetism and Magnetic Materials   272-276   205 - 206   2004年5月

Low Temperature Recovery of Ru/(Ba, Sr)TiO₃/Ru Capacitors Degraded by Forming Gas Annealing 査読

Toshihiro Iizuka, Koji Arita, Ichiro Yamamoto, Shintaro Yamamichi, Hiromu Yamaguchi, Takeo Matsuki, Shuji Sone, Hisato Yabuta, Yoichi Miyasaka, Yoshitake Kato

Japanese Journal of Applied Physics   39 ( Part 1, No. 4B )   2063 - 2067   2000年4月

Plasma CVD of (BaSr)TiO₃ Dielectrics for Gigabit DRAM Capacitors 査読

M. Yoshida, H. Yabuta, S. Yamamichi, H. Yamaguchi, S. Sone, K. Arita, T. Iizuka, S. Nishimoto, Y. Kato

Journal of Electroceramics   3 ( 2 )   123 - 133   1999年6月

Electrical Properties of (Ba, Sr)TiO₃ Films on Ru Bottom Electrodes Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition at Extremely Low Temperature and Rapid Thermal Annealing 査読

Shuji Sone, Reiko Akahane, Koji Arita, Hisato Yabuta, Shintaro Yamamichi, Masaji Yoshida, Yoshitake Kato

Japanese Journal of Applied Physics   38 ( Part 1, No. 4B )   2200 - 2204   1999年4月

A stacked capacitor technology with ECR plasma MOCVD (Ba,Sr)TiO₃ and RuO₂/Ru/TiN/TiSi_x/ storage nodes for Gb-scale DRAMs 査読

S. Yamamichi, P. Lesaicherre, H. Yamaguchi, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, K. Sato, T. Tamura, K. Nakajima, S. Ohnishi, K. Tokashiki, Y. Hayashi, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, H. Ono

IEEE Transactions on Electron Devices   44 ( 7 )   1076 - 1083   1997年7月

A stacked capacitor with an MOCVD-(Ba,Sr)TiO₃ film and a RuO₂/Ru storage node on a TiN-capped plug for 4 Gbit DRAMs and beyond 査読

H. Yamaguchi, T. Iizuka, H. Koga, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, S. Yamamichi, P. Lesaicherre, M. Suzuki, Y. Kojima, K. Nakajima, N. Kasai, T. Sakuma, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, S. Nishimoto

International Electron Devices Meeting. Technical Digest   675 - 678   1996年12月

Low Temperature Fabrication of (Ba, Sr)TiO₃ Thin Films by ECR Plasma CVD 査読

Y. Kato, H. Yabuta, S. Sone, H. Yamaguchi, T. Iizuka, S. Yamamichi, P-Y. Lesaicherre, S. Nishimoto, M. Yoshida

MRS Proceedings   433   3 - 8   1996年12月

Low Temperature Deposition of (Ba,Sr)TiO₃ Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition 査読

Shuji Sone, Hisato Yabuta, Yoshitake Kato, Toshihiro Iizuka, Shintaro Yamamichi, Hiromu Yamaguchi, Pierre-Yves Lesaicherre, Shozo Nishimoto, Masaji Yoshida

Japanese Journal of Applied Physics   35 ( Part 1, No. 9B )   5089 - 5093   1996年9月

Thin film (Ba,Sr)TiO₃ over stacked RuO₂ nodes for Gbit DRAM capacitors 査読

Yoshida, M., Yabuta, H., Sone, S., Takemura, K., Sakuma, T., Kato, Y., Miyasaka, Y., Iizuka, T., Yamamichi, S., Yamaguchi, H., Lesaicherre, P. Y., Nishimoto, S.

Nec Research & Development   37 ( 3 )   305 - 316   1996年3月

An ECR MOCVD (Ba,Sr)TiO₃ based stacked capacitor technology with RuO₂/Ru/TiN/TiSi_x storage nodes for Gbit-scale DRAMs 査読

S. Yamamichi, P.-Y. Lesaicherre, H. Yamaguchi, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, K. Sato, T. Tamura, K. Nakajima, S. Ohnishi, K. Tokashiki, Y. Hayashi, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, H. Ono

Proceedings of International Electron Devices Meeting   119 - 122   1995年12月

Improved Electrical Properties of SrTiO₃, Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition 査読

Hisato Yabuta, Koichi Takemura, Hiromu Yamaguchi, Shuji Sone, Toshiyuki Sakuma, Masaji Yoshida

MRS Proceedings   361   325 - 330   1994年12月

(Ba+Sr)/Ti ratio dependence of the dielectric properties for (Ba_0.5Sr_0.5)TiO₃ thin films prepared by ion beam sputtering 査読

Shintaro Yamamichi, Hisato Yabuta, Toshiyuki Sakuma, Yoichi Miyasaka

Applied Physics Letters   64 ( 13 )   1644 - 1646   1994年3月

Magnetic and NMR study of valence phase transition in YbIn_1−xT_xCu₄ (T = Ag and Au) 査読

K. Kojima, H. Yabuta, T. Hihara

Journal of Magnetism and Magnetic Materials   104-107   653 - 654   1992年2月

Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)_x(InN)_1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N₂discharges 国際会議

Y. Nakano, UR. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta and N. Itagaki

The International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)  2023年7月 

Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization 国際会議

Yoshiharu Wada, Zhiyuan Shen, Hisato Yabuta, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Haruki Kiyama, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki

The International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)  2023年7月 

Pseudomorphic growth of (ZnO)_x(InN)_1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N₂/O₂ discharges 国際会議

R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, and N. Itagaki

The International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)  2023年7月 

Sputter epitaxy of Zn_1-xMg_xO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N₂ and Ar/O₂ discharges 国際会議

T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

The International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)  2023年7月 

Structural investigation of BiFeO₃-BaTiO₃ single crystals around the morphotripic phase boundary by reciprocal space mapping 招待 国際会議

Hisato Yabuta, Mikio Shimada, Masatoshi Watanabe, Takayuki Watanabe, Makoto Kubota, Tomoyuki Koganezawa, Ichiro Hirosawa, Nobuyuki Kumada, Satoshi Wada, Naho Itagaki

International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2023)  2023年7月 

A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films 国際会議

Zhiyuan Shen, Yuta Mido, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Hisato Yabuta, Naho Itagaki

The 7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM 2023)  2023年1月 

The Early Work on Sputtering Formation of Amorphous IGZO (In-Ga-Zn-O) Channel and SnO Channel TFTs 招待

Hisato Yabuta, Ryo Hayashi, Hideya Kumomi

The 29th International Display Workshops (IDW ’22),  2022年12月 

Amorphous In-Ga-Mg-O thin film: Optical, Electrical Properties and TFT characteristics 招待

H. Yabuta, N. Itagaki, T. Ekino, Y. Shigesato

The 32nd Annual Meeting of MRS-J  2022年12月 

YbInCu₄の価数揺動状態 III

薮田 久人, 小島 健一, 檜原 忠幹

日本物理学会 第45回年次大会 大阪大学  1990年3月 

YbInCu₄の価数揺動状態 IV

薮田 久人, 小島 健一, 堀江 雅浩, 鈴木 孝至, 桜井 醇児, 藤田 敏三, 福田 豊, 檜原 忠幹

日本物理学会 1990年秋の分科会 岐阜大学  1990年10月 

C15b型イッテルビウム化合物のNMR

薮田 久人, 小島 健一, 福田 豊, 檜原 忠幹, 笠松 義隆

日本物理学会 1991年春の分科会 学習院大学  1991年3月 

Magnetic and NMR study of valence phase transition in YbIn_1-xT_xCu₄ (T = Ag and Au)"

K. Kojima, 〇H. Yabuta, T. Hihara

International Conference on Magnetism;Edinburgh, Scotland  1991年9月 

Cl5b型イッテルビウム化合物のNQR

薮田 久人, 小島 健一, 檜原 忠幹, 笠松 義隆

日本物理学会 第46回年会 北海道大学  1991年9月 

IBS-(Ba,Sr)TiO₃薄膜の誘電率の（Ba,Sr)/Ti比依存性

薮田 久人, 山道 新太郎, 佐久間 敏幸, 宮坂 洋一

第54回応用物理学会学術講演会 北海道大学  1993年9月 

ECR-CVD法によるSrTiO₃膜電気特性のマイクロ波パワー依存性

山口 弘, P-Y. Lesaicherre, 薮田 久人, 佐久間 敏幸, 小野 春彦, 吉田 政次

第41回応用物理学会関係連合講演会  1994年3月 

Growth of SrTiO₃ Thin Films by Sr((CH₃)₃COCHCOC(CH₃)₃)₂/Ti(O-iC₃H₇)₄/O₂/Ar Vapor Phase System

Hisato Yabuta, Hiromu Yamaguchi, Toshiyuki Sakuma, Masaji Yoshida

7th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE VII), Yokohama, Japan  1994年5月 

ECR-CVDによるSrTiO₃薄膜の電気的特性

薮田 久人, 竹村 浩一, 山口 弘, 曽祢 修次, 佐久間 敏幸, 吉田 政次

第55回応用物理学会学術講演会 名城大学  1994年9月 

Improved Electrical Properties of SrTiO₃ Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition

Hisato Yabuta, Koichi Takemura, Hiromu Yamaguchi, Shuji Sone, Toshiyuki Sakuma, Masaji Yoshida

1994 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting, Boston, USA,  1994年11月 

ECR-CVD法によるSrTiO₃膜電気特性のマイクロ波パワー依存性

山口 弘, 曽祢 修次, 薮田 久人, 吉田 政次, 加藤 芳健

第42回応用物理学会関係連合講演会  1995年3月 

高誘電率(Ba,Sr)TiO₃薄膜のCVD

吉田 政次, 薮田 久人, 曽祢 修次, 山口 弘, 加藤 芳健

化学工学会 第27回秋季大会  1995年9月 

ECR-CVD法により成膜した(Ba,Sr)TiO₃の電気特性

曽祢 修次, 薮田 久人, 山口 弘, 加藤 芳健, 吉田 政次, 山道 新太郎

第56回応用物理学会学術講演会  1995年9月 

CVD-SrTiO₃膜の電気特性

山口 弘, 曽祢 修次, 薮田 久人, 加藤 芳健, 吉田 政次

電気学会電子材料研究会 (EFM-95)  1995年11月 

CVDによる(Ba,Sr)TiO₃薄膜

吉田 政次, 薮田 久人, 曽祢 修次, 山口 弘, 加藤 芳健

日本表面科学会 第15回表面科学講演大会  1995年12月 

An ECR MOCVD (Ba,Sr)TiO₃ based stacked capacitor technology with RuO₂/Ru/TiN/TiSi_x storage nodes for Gbit-scale DRAMs

S. Yamamichi, P.-Y. Lessaicherre, H. Yamaguchi, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, K. Sato, T. Tamura, K. Nakajima, S. Ohnishi, K. Tokashiki, Y. Hayashi, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, H. Ono

The IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM '95), Washington DC, USA  1995年12月 

Low Temperature Fabrication of (Ba,Sr)TiO₃ Thin Films by ECR Plasma CVD

Y. Kato, H. Yabuta, S. Sone, H. Yamaguchi, T. Iizuka, S. Yamamichi, P.-Y. Lesaicherre, S. Nishimoto, M. Yoshida

1996 Materials Research Society (MRS) Spring Meeting, San Fransisco, USA  1996年4月 

ECR-CVD法による(Ba,Sr)TiO₃の低温成膜

曽祢 修次, 薮田 久人, 加藤 芳健, 吉田 政次, 飯塚 敏洋, 山道 新太郎, 山口 弘, LESAICHERRE Pierre-Yves, 西本 昭三

第13回強誘電体応用会議(FMA13)  1996年5月 

ギガビットDRAM用のECRプラズマCVD-(Ba,Sr)TiO₃容量膜

吉田 政次, 有田 幸司, 薮田 久人, 曽祢 修次, 山道 新太郎, 竹村 浩一, 佐久間 敏幸, 加藤 芳健, 宮坂 洋一, 飯塚 敏洋, 山口 弘, LESAICHERRE Pierre-Yves, 西本 昭三

第51回半導体・集積回路技術シンポジウム  1996年12月 

Stacked Capacitors with (Ba,Sr)TiO₃ Films and RuO₂/Ru Storage Nodes Over TiN Studs for 4Gbit DRAMs and Beyond

H. Yamaguchi, S. Yamamichi, K. Takemura, S. Sone, H. Yabuta, T. Sakuma, Y. Kato, Y. Miyasaka, M. Yoshida, H. Koga, N. Kasai, T. Iizuka, S. Nishimoto, M. Suzuki, P.-Y. Lesaicherre, Y. Kojima, K. Nakajima

The IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM '96), San Francisco, USA  1996年12月 

Phase Formation in CVD-grown SrTiO₃ and (BaSr)TiO₃ Films

M. Yoshida, H. Yabuta, S. Sone, H. Yamaguchi, K. Arita, Y. Kato

Joint International Meeting - the 192nd Meeting of The Electrochemical Society and the 48th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry, Paris, France,  1997年8月 

ECR-CVDによるBST薄膜の6インチ基板面内均一性

薮田 久人, 山道 新太郎, 有田 幸司, 飯塚 敏洋, 曽祢 修次, 山口 弘, 加藤 芳健, 西本 昭三, 吉田 政次

第45回応用物理学会関係連合講演会 東京工科大学  1998年3月 

Reliability Study on High Dielectric Constant (Ba,Sr)TiO₃ Thin Films

S. Yamamichi, A. Yamamichi, D. Park, H. Yabuta, T. Iizuka, K. Arita, S. Sone, Y. Kato, S. Nishimoto, T.-J. King, C. Hu, M. Yoshida

The 193rd Electrochemical Society Spring Meeting, San Diego, USA,  1998年5月 

Electrical Properties of (Ba,Sr)TiO₃ Films on Ru Bottom Electrodes Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition at Extremely Low Temperature and Rapid Thermal Annealing

S. Sone, R. Akahane, K. Arita, H. Yabuta, S. Yamamichi, M. Yoshida, Y. Kato

1998 International Conference on Solid State Devices & Materials (SSDM), Hiroshima, Japan,  1998年9月 

Low Temperature Recovery of Ru/(Ba,Sr)TiO₃/Ru Capacitors Degraded by Forming Gas Annealing

T. Iizuka, K. Arita, I. Yamamoto, S. Yamamichi, H. Yamaguchi, T. Matsuki, S. Sone, H. Yabuta, Y. Miyasaka, Y. Kato

1999 International Conference on Solid State Devices & Materials (SSDM), Tokyo, Japan,  1999年9月 

Ru/(Ba,Sr)TiO₃/Ru薄膜キャパシタの水素アニール劣化に対する低温ポストアニール回復効果

飯塚 敏洋, 有田 幸司, 山本 一郎, 山道 新太郎, 山口 弘, 松木 武雄, 薮田 久人, 曽祢 修次, 宮坂 洋一, 加藤 芳健

第58回半導体・集積回路技術シンポジウム  2000年5月 

¹¹⁵In NMR study of YbInNi₄

H. Yabuta, K. Hiraoka, Y. Miura, K. Kojima, S. Tomiyoshi

International Conference on Magnetism, Roma, Italy,  2003年7月 

遍歴電子メタ磁性体MnFe(P,Ge)の磁性

薮田 久人, 梅尾 和則, 高畠 敏郎, 小山 佳一, 渡辺 和雄

日本物理学会 第60回年次大会 東京理科大学  2005年3月 

遍歴電子メタ磁性体MnFe(P,Ge)の磁性II

薮田 久人, 笹川 哲也, 重藤 啓輔, 高畠 敏郎

日本物理学会 2005年秋季大会 同志社大学  2005年9月 

RFスパッタ法によるアモルファス酸化物チャネルTFTの室温作成

薮田 久人, 佐野 政史, 安部 勝美, 田 透, 雲見 日出也, 野村 研二, 神谷 利夫, 細野 秀雄

第66回応用物理学会学術講演会 徳島大学  2005年9月 

Amorphous Oxide Channel TFTs Fabricated with RF Sputtering Method

H. Kumomi, N. Kaji, H. Yabuta, M. Sano, K. Abe, T. Den, K. Nomura, T. Kamiya, H. Hosono

ITC’06, The 2nd International Thin-Film Transistor Conference, Kitakyushu, Japan  2006年1月 

メタ磁性体MnFe(P,Ge)およびMnFe(P,As)の電気抵抗

薮田 久人, 笹川 哲也, 道村 真司, 重藤 啓輔, 伊賀 文俊, 高畠 敏郎

日本物理学会 第61回年次大会 愛媛大学  2006年3月 

Pressure effects on the first order transition in MnFe(P,As) and MnFe(P,Ge)

H. Yabuta, K. Umeo, T. Takabatake, L. Chen, Y. Uwatoko

International Conference on Magnetism, Kyoto, Japan  2006年8月 

TEM Characterization of TFTs of Transparent Oxide Semiconductors Fabricated at Room Temperature by Rf-sputtering Method

T. Aiba, M. Shimada, H. Yabuta, K. Abe, K. Nobuyuki, R. Hayashi, M. Sano, H. Kumomi

The 16th International Microscopy Congress, Sapporo, Japan  2006年9月 

メタ磁性物質MnFe(P,As)の磁性元素サイト置換効果

メタ磁性物質MnFe(P, As, の磁性元素サイト置換効果

日本物理学会 2006年秋季大会 千葉大学  2006年9月 

Amorphous In-Ga-Zn-O based TFTs and circuits

R. Hayashi, M. Ofuji, N. Kaji, K. Abe, H. Yabuta, M. Sano, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, M. Hirano, H. Hosono

The 3rd International TFT Conference (ITC07), Rome, Italy  2007年1月 

磁気冷凍材料の軟X線磁気円二色性

竹田 幸治, 岡根 哲夫, 大河内 拓雄, 斎藤 祐児, 山上 浩志, 薮田 久人, 高畠 敏郎

日本物理学会 2007年春季大会 鹿児島大学  2007年3月 

メタ磁性物質MnFe(P,As)の圧力誘起スピングラス相

薮田 久人, 陳 林, 上床 美也, 重藤 啓輔, 高畠 敏郎

日本物理学会 第62回年次大会 北海道大学  2007年9月 

Fundamental Analysis on On-Operation of an Amorphous In-Ga-Zn-O Based Gated Four-Probe TFT

K. Abe, M. Ofuji, H. Shimizu, A. Sato, Y. Tateishi, K. Takahashi, N. Kaji, H. Yabuta, R. Hayashi, M. Sano, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, M. Hirano, H. Hosono

ITC08, The 4th International Thin-Film Transistor Conference, Seoul, Korea,  2008年1月 

アモルファス半導体In-Ga-Zn-O膜の構造と伝導

薮田 久人, 高田 一広, 島田 幹夫, 雲見 日出也, 廣沢 一郎, 野村 研二, 神谷 利夫, 平野 正浩, 細野 秀雄

日本物理学会 第63回年次大会 近畿大学  2008年3月 

アニールにより伝導制御されたアモルファスIn-Ga-Zn-O 膜の電気伝導と構造

薮田 久人, 高田 一広, 島田 幹夫, 加地 信幸, 林 享, 雲見 日出也, 廣沢 一郎, 野村 研二, 神谷 利夫, 平野 正浩, 細野 秀雄

第55回応用物理学関係連合講演会、日本大学  2008年3月 

Invited Paper: Improved Amorphous In-Ga-Zn-O TFTs 招待

R. Hayashi, A. Sato, M. Ofuji, K. Abe, H. Yabuta, M. Sano, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, M. Hirano, H. Hosono

2008 SID International Symposium, Los Angeles, USA  2008年5月 

p型伝導を示す多結晶およびアモルファスSnO膜の構造および電気特性

薮田 久人, 加地 信幸, 林 享, 雲見 日出也, 野村 研二, 神谷 利夫, 平野 正浩, 細野 秀雄

第56回応用物理学関係連合講演会、筑波大学  2009年3月 

EELSによるIn-Ga-Zn系アモルファス酸化物半導体の構造解析

島田 幹夫, 大村 秀之, 雲見 日出也, 薮田 久人, 饗場 利明, 須賀 健夫, 高田 一広, 向出 太平

日本顕微鏡学会第65回学術講演会 仙台国際センター  2009年5月 

Electronic States of Magnetic Refrigerator Materials using Soft X-ray Magnetic circular Dichroism

Y Takeda, T Okane, T Ohkochi, S -i Fujimori, Y Saitoh, H Yamagami, H Yabuta, T Takabatake

International Conference on Magnetism (ICM2009), Karlsruhe, Germany,  2009年7月 

Amorphous Oxide Semiconductor Based TFTs: Their Current Situation and Issues 招待

N. Itagaki, S. Yaginuma, H. Omura, A. Goyal, A. Sato, M. Watanabe, M. Shimada, N. Kaji, K. Takahashi, M. Ofuji, T. Watanabe, H. Shimizu, K. Abe, Y. Tateishi, H. Yabuta, T. Iwasaki, R. Hayashi, T. Aiba, M. Sano, H. Kumomi

第19回日本MRS学術シンポジウム, 産業貿易センター  2009年12月 

Materials and Devices of Transparent Amorphous Oxide Semiconductors 招待

H. Kumomi, S. Yaginuma, H. Omura, A. Goyal, A. Sato, M. Watanabe, M. Shimada, N. Kaji, K. Takahashi, M. Ofuji, T. Watanabe, N. Itagaki, H. Shimizu, K. Abe, Y. Tateishi, H. Yabuta, T. Iwasaki, R. Hayashi, T. Aiba, M. Sano

International Workshop on Transparent Amorphous Oxide Semiconductors (TAOS 2010), Yokohama, Japan,  2010年1月 

エピタキシャルBi(M_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃薄膜(M = Zn, Mg)の強誘電性評価(I)

長田 潤一, 安井 伸太郎, 山田 智明, 内田 寛, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 三浦 薫, 舟窪 浩

第71回応用物理学会学術講演会 長崎大学  2010年9月 

エピタキシャルBi(M_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃薄膜(M = Zn, Mg)の強誘電性評価(II)

安井 伸太郎, 長田 潤一, 山田 智明, 内田 寛, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 三浦 薫, 舟窪 浩

第71回応用物理学会学術講演会 長崎大学  2010年9月 

非鉛系圧電材料開発の現状と今後

和田 智志, 三井 龍太, 藤井 一郎, 中島 光一, 熊田 伸弘, 島田 幹夫, 林 潤平, 薮田 久人, 久保田 純, 福井 哲朗

第49回セラミックス基礎科学討論会 岡山コンベンションセンター  2011年1月 

エピタキシャルBi(Zn_1/2Ti_1/2)O₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃薄膜の作製と評価

長田 潤一, 安井 伸太郎, 山田 智明, 内田 寛, 東 正樹, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 三浦 薫, 舟窪 浩

第58回応用物理学関係連合講演会 神奈川工科大学  2011年3月 

BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃三成分系セラミックス作製と圧電特性

三井 龍太, 藤井 一郎, 中島 光一, 熊田 伸弘, 和田 智志, 島田 幹夫, 林 潤平, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 久保田 純, 福井 哲朗

日本セラミックス協会 2011年 年会 静岡大学  2011年3月 

c軸配向六方晶BaTiO₃セラミックスの(111)配向正方晶BaTiO₃への構造変化

渡邉 隆之, 島田 幹夫, 餐場 利明, 薮田 久人, 三浦 薫, 岡 研吾, 東 正樹, 和田 智志, 熊田 伸弘

第28回強誘電体応用会議(FMA28) コープイン京都  2011年5月 

Sm置換BiFeO₃の相転移挙動

久保田 純, 薮田 久人, 三浦 薫, 中村 嘉孝, 島川 祐一, 岡 研吾, 東 正樹

第28回強誘電体応用会議(FMA28) コープイン京都  2011年5月 

BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃系セラミックスの誘電・圧電特性

藤井 一郎, 三井 龍太, 中島 光一, 熊田 伸弘, 和田 智志, 黒岩 芳弘, 島田 幹夫, 渡邉 隆之, 林 潤平, 薮田 久人, 久保田 純, 福井 哲朗

第28回強誘電体応用会議(FMA28) コープイン京都  2011年5月 

(111)配向正方晶BaTiO₃セラミックスの作製

熊田 伸弘, 渡邉 隆之, 島田 幹夫, 餐場 利明, 薮田 久人, 三浦 薫, 岡 研吾, 東 正樹, 和田 智志

粉体粉末冶金協会 平成23年度春季大会 早稲田大学  2011年6月 

Structural, dielectric, and piezoelectric properties of BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃ ceramics

Ichiro Fujii, Ryuta Mitsui, Kouichi Nakashima, Nobuhiro Kumada, Satoshi Wada, Yoshihiro Kuroiwa, Mikio Shimada, Takayuki Watanabe, Jumpei Hayashi, Hisato Yabuta, Makoto Kubota, Tetsuro Fukui

ISAF-PFM-2011, The 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and Interrnational Symposium on Piezoresponse Force Microscopy & Nanoscale Phenomena in Polar Materials, Vancouver, Canada  2011年7月 

Sm置換BiFeO₃の相転移挙動

久保田 純, 薮田 久人, 三浦 薫, 中村 嘉孝, 島川 祐一, 岡 研吾, 東 正樹

粉体粉末冶金協会 平成23年度秋季大会 大阪大学  2011年10月 

PLD法によるBi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃膜の作製と評価

及川 貴弘, 安井 伸太郎, 舟窪 浩, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 福井 哲郎

第31回エレクトロセラミックス研究討論会 東京大学  2011年10月 

BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃セラミックスの微構造と圧電特性

三井 龍太, 藤井 一郎, 中島 光一, 熊田 伸弘, 和田 智志, 島田 幹夫, 林 潤平, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 久保田 純, 福井 哲朗

第31回エレクトロセラミックス研究討論会 東京大学  2011年10月 

一軸配向Bi(Zn_1/2Ti_1/2)O₃系圧電体薄膜の作製と圧電性評価

安井 伸太郎, 及川 貴弘, 長田 潤一, 内田 寛, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 三浦 薫, 黒澤 実, 舟窪 浩

第59回応用物理学関係連合講演会 早稲田大学  2012年3月 

ドナー及びアクセプターを添加したBaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃セラミックスの圧電特性

藤井 一郎, 三井 龍太, 中島 光一, 熊田 伸弘, 和田 智志, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 島田 幹夫, 林 潤平, 久保田 純, 福井 哲朗

日本セラミックス協会 2012年 年会 京都大学  2012年3月 

PLD法で作製したBi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃膜の特性

及川 貴弘, 安井 伸太郎, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 福井 哲郎, 舟窪 浩

第59回応用物理学関係連合講演会 早稲田大学  2012年3月 

BiFeO₃-BaTiO₃固溶体結晶の強誘電性と磁性

薮田 久人, 向出 太平, 島田 幹夫, 渡邉 隆之, 久保田 純, 三浦 薫, 福井 哲朗, 藤井 一郎, 熊田 伸弘, 和田 智志

日本物理学会 第67回年次大会 関西学院大学  2012年3月 

高圧合成法で作製したSm置換BiFe_1-xCo_xO₃の組成および温度依存性

久保田 純, 薮田 久人, 三浦 薫, 岡 研吾, 東 正樹

第29回強誘電体応用会議(FMA29) コープイン京都  2012年5月 

ナノドメインエンジニアリングによるBaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃系圧電セラミックスの開発

藤井 一郎, 三井 龍太, 中島 光一, 熊田 伸弘, 和田 智志, 森吉 千佳子, 黒岩 芳弘, 薮田 久人, 渡邉 隆之, 島田 幹夫, 三浦 薫

第29回強誘電体応用会議(FMA29) コープイン京都  2012年5月 

PLD法で作製したBi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃膜の評価

及川 貴弘, 安井 伸太郎, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 福井 哲朗, 舟窪 浩

第29回強誘電体応用会議(FMA29) コープイン京都  2012年5月 

BaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃-BiFeO₃圧電セラミクスの微細構造

薮田 久人, 島田 幹夫, 渡邉 隆之, 林 潤平, 久保田 純, 三浦 薫, 福井 哲朗, 藤井 一郎, 和田 智志

第29回強誘電体応用会議(FMA29) コープイン京都  2012年5月 

シリコン基板上に作製したビスマス基圧電体膜の特性評価

及川 貴弘, 安井 伸太郎, 真鍋 直人, 小林 健, 渡邉 隆之, 薮田 久人, 三浦 薫, 舟窪 浩

第73回応用物理学会学術講演会 愛媛大学・松山大学  2012年9月 

BiFeO₃-BaTiO₃固溶体結晶の強誘電性と磁性II

薮田 久人, 向出 太平, 島田 幹夫, 渡邉 隆之, 久保田 純, 三浦 薫, 福井 哲朗, 藤井 一郎, 熊田 伸弘, 和田 智志

日本物理学会 2012年秋期大会 横浜国立大学  2012年9月 

BiFeO₃-BaTiO₃固溶体結晶の強誘電性と磁性III

薮田 久人, 渡邉 壮俊, 島田 幹夫, 向出 太平, 渡邉 隆之, 久保田 純, 三浦 薫, 熊田 伸弘, 和田 智志

日本物理学会 第68回年次大会 広島大学  2013年3月 

Microscopic Structure and Electrical Transport Property of Sputter-Deposited Oxide-Semiconductor Thin Films 招待

Hisato Yabuta

26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26), Fukuoka, JAPAN  2013年9月 

BiFeO₃-BaTiO₃固溶体結晶の構造・強誘電性・磁性

薮田久人, 渡邉壮俊, 島田幹夫, 向出太平, 渡邉隆之, 久保田純, 三浦薫, 熊田伸弘, 和田智志

日本物理学会 2013年秋期大会 徳島大学  2013年9月 

機能性酸化物材料の構造評価 招待

薮田久人

SPring-8利用推進協議会 次世代先端デバイス研究会（第1回）連合会館  2014年3月 

BiFeO₃-BaTiO₃固溶体結晶の構造・強誘電性・磁性Ⅱ

薮田久人, 渡邉壮俊, 島田幹夫, 向出太平, 渡邉隆之, 久保田純, 三浦薫, 熊田伸弘, 和田智志

日本物理学会 第69回年次大会 東海大学  2014年3月 

Mn添加BaTiO₃ 強誘電体セラミックスへのBi 添加効果

薮田久人, 田中秀典, 古田達雄, 清水康志, 渡邉隆之, 松田堅義, 三浦 薫, 伊福俊博

第31回強誘電体応用会議（FMA31）コープイン京都  2014年5月 

BaTiO₃強誘電体セラミックスへのMn,Bi同時添加効果

薮田久人, 田中秀典, 古田達雄, 清水康志, 渡邉隆之, 久保田純, 松田堅義, 三浦薫, 伊福俊博

日本物理学会 2014年秋期大会 中部大学  2014年9月 

BaTiO₃セラミックスのBi,Mn添加による微視的構造変化

薮田久人, 田中秀典, 古田達雄, 清水康志, 渡邉隆之, 久保田純, 松田堅義, 三浦薫, 伊福俊博, 米田安宏

日本物理学会 第70回年次大会 早稲田大学  2015年3月 

マグネトロンスパッタリング法による酸化物半導体薄膜の開発とその評価 招待

薮田 久人

応用物理学会九州支部 特別講演会 九州大学  2021年3月 

非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果 招待

板垣 奈穂, 沈 志遠, 御堂 雄大, 薮田 久人

第82回応用物理学会秋季学術講演会 オンライン  2021年9月 

Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides

Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第25回支部大会 オンライン  2021年12月 

固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜：固相結晶化温度の影響

沈 志遠, 山下 尚人, 鎌滝 晋礼, 奥村 賢直, 古閑 一憲, 白谷 正治, 薮田 久人, 板垣 奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会 東北大学  2022年9月 

BaTiO3 系非鉛圧電セラミックス開発における放射光利用 招待

薮田久人

第10 回SPring-8 次世代先端デバイス研究会／第84 回SPring-8 先端利用技術ワーク ショップ 「シリコン半導体製造技術・セラミックスデバイス開発の最前線と放射光 利用」  2022年12月 

学術論文等の審査

役割：査読

2020年

学術論文等の審査

役割：査読

2018年

学術論文等の審査

役割：査読

2016年

学術論文等の審査

役割：査読

2015年

学術論文等の審査

役割：査読

2014年

学術論文等の審査

役割：査読

2013年

学術論文等の審査

役割：査読

2012年

学術論文等の審査

役割：査読

2011年

学術論文等の審査

役割：査読

2010年

学術論文等の審査

役割：査読

2009年

ディジタル電子回路Ⅱ（EC）

2023年12月 - 2024年2月   冬学期

電気電子工学演示Ⅱ

2023年10月 - 2024年3月   後期

電気電子工学読解Ⅱ

2023年10月 - 2024年3月   後期

ディジタル電子回路Ⅰ（EC）

2023年10月 - 2023年12月   秋学期

電磁エネルギー工学特論Ⅱ

2023年6月 - 2023年8月   夏学期

Electromagnetic Energy Engineering II

2023年6月 - 2023年8月   夏学期

電気電子工学特別演習

2023年4月 - 2024年3月   通年

電磁エネルギー工学特別講究

2023年4月 - 2024年3月   通年

Advanced Research in Electromagnetic Energy Engineering

2023年4月 - 2024年3月   通年

Advanced Research in Electrical and Electronic Eng II

2023年4月 - 2024年3月   通年

電気電子工学特別研究Ⅰ

2023年4月 - 2024年3月   通年

電気電子工学特別研究Ⅱ

2023年4月 - 2024年3月   通年

Advanced Seminar in Electrical and Electronic Engineering

2023年4月 - 2024年3月   通年

Advanced Research in Electrical and Electronic Engineering I

2023年4月 - 2024年3月   通年

数学演習Ｂ

2023年4月 - 2023年9月   前期

電気電子工学読解Ⅰ

2023年4月 - 2023年9月   前期

電気電子工学演示Ⅰ

2023年4月 - 2023年9月   前期

2023年4月   役割：参加   名称：【シス情FD】若手教員による研究紹介⑧

主催組織：部局

2023年4月   役割：参加   名称：令和５年度 第１回全学ＦＤ（新任教員の研修）The 1st All-University FD (training for new faculty members) in FY2023

主催組織：全学

2023年3月   役割：参加   名称：【シス情FD】独・蘭・台湾での産学連携を垣間見る-Industy 4.0・量子コンピューティング・先端半導体-

主催組織：部局

2022年9月   役割：参加   名称：【シス情FD】研究機器の共用に向けて

主催組織：部局