Thermally Generated Spin Signals in a Nondegenerate Silicon Spin Valve 査読

Naoto Yamashita, Yuichiro Ando, Hayato Koike, Shinji Miwa, Yoshishige Suzuki, Masashi Shiraishi

Physical Review Applied   9 ( 5 )   054002   2018年5月

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2023年10月

Prediction by a hybrid machine learning model for highmobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method 査読 国際誌

K. Kamataki, H. Ohtomo, N. Itagaki, C. F. Lesly, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

J. Appl. Phys.   134   2023年10月

Health assessment of rice cultivated and harvested from plasma-irradiated seeds 査読 国際誌

T. Okumura, H. Tanaka, T. Nakao, T. Anan, R. Arita, M. Shiraki, K. Shiraki, T. Miyabe, D. Yamashita, K. Matsuo, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Hosoda, A. Tanaka, Y. Ishibashi, K. Koga

Sci. Rep.   13   2023年10月

Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition 査読 国際誌

K. Kamataki, Y. Sasaki, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Mater Sci Semicond Process   164   2023年9月

Control of Inhomogeneity and Magnetic Properties of ZnO:Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 査読 国際誌

M. N. Agusutrisno, R. Narishige, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

Mater Sci Semicond Process   162   2023年8月

Role of insoluble atoms in the formation of a three-dimensional buffer layer in inverted Stranski–Krastanov mode 招待 査読

38 ( 5 )   1178 - 1185   2023年1月

One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges 査読 国際誌

I. Nagao, K. Kamataki, A. Yamamoto, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   7   2022年12月

One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges

Iori Nagao, Kunihiro Kamataki, Akihiro Yamamoto, Michihiro Otaka, Yuma Yamamoto, Daisuke Yamashita, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

MRS Advances   7 ( 31 )   911 - 917   2022年12月

Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO–InN alloy films on ZnO substrates(Invited) 査読 国際誌

2022年11月

Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO–InN alloy films on ZnO substrates 招待 査読

38 ( 7 )   1803 - 1812   2022年11月

Raman spectral analysis of the as-deposited a-C:H films prepared by CH4+ Ar plasma CVD

Shinjiro Ono, Sung Hwa Hwang, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Naoto Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Jun-Seok Oh, Susumu Takabayashi, Tatsuyuki Nakatani

MRS ADVANCES   7 ( 30 )   718 - 722   2022年11月

Role of short-lived nitrogen species generated at low-pressure RF plasma on the germination and seedling growth 査読 国際誌

K. Koga, P. Attri, T. Okumura, T. Anan, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Plasma irradiation-introduced RONS amount into plant seeds and their response analysis 査読 国際誌

T. Okumura, T. Anan, P. Attri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Process analysis of cracking aC: H/CNP/aC: H sandwich films under stress using nanoindentation 査読 国際誌

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Sputter epitaxy of Mg-doped ZnO films on sapphire substrates using inverted Stranski-Krastanov mode 査読 国際誌

M. Shiratani, D. Takahashi, N. Yamashita, N. Itagaki

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Effect of plasma irradiation on germination of lettuce seeds with fluctuating dormancy 査読 国際誌

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Pressure dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 査読 国際誌

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Control of magnetic transition of ZnO: Co grown by RF-sputter using post-annealing 査読 国際誌

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

ICIEE   2022年10月

Effects of amplitude modulation discharge on behavior of oxygen ions in Ar/O2 capacitively coupled plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision model 査読 国際誌

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 査読 国際誌

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Bull. Am. Phys. Soc.   2022年10月

Effects of amplitude modulated capacitively coupled discharge Ar plasma on kinetic energy and angular distribution function of ions impinging on electrodes:particle-in-cell/Monte Carlo collision model simulation 査読 国際誌

K. Abe, K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K . Koga, M. Shiratani

Jpn. J. Appl. Phys.   61 ( 10 )   2022年9月

Effects of amplitude modulated capacitively coupled discharge Ar plasma on kinetic energy and angular distribution function of ions impinging on electrodes: particle-in-cell/Monte Carlo collision model simulation

Kohei Abe, Kunihiro Kamataki, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Takamasa Okumura, Naoto Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Japanese Journal of Applied Physics   61 ( 10 )   106003 - 106003   2022年9月

Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, D. Nagamatsu, T. Yang, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, T. Arima, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AIP Adv   12 ( 8 )   2022年8月

Effects of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 査読 国際誌

K. Kamataki, D. Nagamatsu, T. Yang, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, T. Arima, M. Otaka, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AIP Adv.   12   2022年8月

Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma 査読 国際誌

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS Adv.   2022年7月

Raman spectral analysis of the as-deposited aC: H films prepared by CH4+ Ar plasma CVD 査読 国際誌

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS Adv.   7   2022年7月

Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma

Michihiro Otaka, Toshiaki Arima, Jiansyun Lai, Kizuki Ikeda, Kunihiro Kamataki, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

MRS Advances   7 ( 31 )   918 - 922   2022年7月

Detection of NO3− introduced in plasma-irradiated dry lettuce seeds using liquid chromatography-electrospray ionization quantum mass spectrometry (LC-ESI QMS) 査読 国際誌

12   2022年7月

Epitaxial growth of Zn1−xMgxO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode using magnetron sputtering 査読

2022年2月

Synthetic Rashba spin–orbit system using a silicon metal-oxide semiconductor

20 ( 9 )   1228 - 1232   2021年6月

Investigation of the thermal tolerance of silicon-based lateral spin valves

N. Yamashita, S. Lee, R. Ohshima, E. Shigematsu, H. Koike, Y. Suzuki, S. Miwa, M. Goto, Y. Ando, M. Shiraishi

Scientific Reports   11 ( 1 )   10583   2021年5月

Enhancement of spin signals by thermal annealing in silicon-based lateral spin valves

N. Yamashita, S. Lee, R. Ohshima, E. Shigematsu, H. Koike, Y. Suzuki, S. Miwa, M. Goto, Y. Ando, M. Shiraishi

AIP Advances   10 ( 9 )   095021 - 095021   2020年9月

Investigation of spin scattering mechanism in silicon channels of Fe/MgO/Si lateral spin valves 査読

Soobeom Lee, Naoto Yamashita, Yuichiro Ando, Shinji Miwa, Yoshishige Suzuki, Hayato Koike, Masashi Shiraishi

Applied Physics Letters   110 ( 19 )   192401 - 192401   2017年5月

Large-Scale Fabrication of Tm3 Fe5 O12 Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy Using Magnetron Sputtering 国際会議

A. M. Nurut, S. Obinata, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Yamashita

ISPlasma  2024年3月 

CxHy+ArプラズマCVDを用いた水素化アモルファスカーボン膜の堆積特性に対するガス圧力の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル

鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

大気圧プラズマを用いた窒素固定における電極温度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

プラズマ照射によるシロイヌナズナ種皮の物質透過性変化

奥村賢直, 古閑一憲, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 南原英司

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

イネ種皮のプラズマ起因化学種透過性の二次元分布解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第71回応用物理学会 春季学術講演会  2024年3月 

Stability of insulative perovskite YBiO3 film grown on BaBiO3 buffer layer

N. Yamashita, P. Shepley, N. Fox2, J. Burton, J. Freeman, S. Sasaki

2024年3月 

Molecular structure analysis of DBD plasma irradiated DMPO by LC-MS 国際会議

T. Okumura, H. Shi, P.Attri, D. Yamasita, K. Kamataki, N.Yamasita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratan

ISPlasma  2024年3月 

Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films 国際会議

Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ISPlasma  2024年3月 

Nitrogen Fixation to Leaf Mold Using Air Plasma and Evaluation of Phenotype Response of Sugarcane to Nitrogen-Fixed Fertilizer 国際会議

T.Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Koga

ISPlasma  2024年3月 

Deposition of carbon nanoparticles fabricated by multi-hollow discharge plasma CVD on DC biased substrates 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

ISPlasma  2024年3月 

プラズマスパッタによる高品質アモルファスITO薄膜形成のためのハイブリッド機械学習モデル 招待

鎌滝晋礼，板垣 奈穂，山下 大輔, 奥村 賢直，山下 尚人, 古閑 一憲, 白谷 正治

2024年1月 

Predictions for High Quality Amorphous ITO(In2O3:Sn) Film Formation via Hybrid Machine Learning Model 招待 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

ICTS  2024年1月 

Enhancement of The Coercivity and Blocking Temperature of Co doped ZnO films by RF sputtering Using Nitrogen 国際会議

M. N. Agusutrisno, K. Kamataki, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Yamashita

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Effects of Carbon Nanoparticle Interposed between Two Hydrogenated Amorphous Carbon Films on Surface Morphology of a-C:H Film

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2023年12月 

Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization 国際会議

N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Hybrid machine learning model prediction for high mobility amorphous ITO films fabricated by RF plasma sputtering 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

Evaluation of Elastic Parameters of a-C:H Film with Carbon Nanoparticles Using Nanoindentation Method 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

MRM2023/IUMRS-ICA2023  2023年12月 

PECVD を用いた a-C:H 成膜における添加希ガス種における成膜機構の違い

池田築, 大高真寛，大友洋，脇田大地，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲, 白谷正治, 進藤崇央，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

クメンを用いた二周波容量結合プラズマ CVD 法による a-C:H 膜の製膜特性

恵利眞人, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

TEOS-PECVD における発光分光計測を用いたSiO2 薄膜膜質推定についての研究

佐藤優志, 山本祐馬, F. W. Sukuma, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

放電電圧変調波形が高周波容量結合プラズマに与える影響：PIC-MCC シミュレーション

長尾伊織，山本祐馬，佐藤優志，鎌滝晋礼，山下尚人, 奥村賢直，木山治樹，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響

畑昌太朗，中野祐太郎，成重椋太，山下尚人，鎌滝晋礼，奥村賢直，古閑一憲，白谷正治，木山治樹，板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会  2023年12月 

空気プラズマを用いた窒素固定に対する放電電力密度の効果

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 古閑一憲

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  2023年11月 

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer

H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

2023年11月 

任意電圧波形放電による容量結合プラズマにおける重畳周波数の効果：PIC-MCCモデル

頼 建勳, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 奥村 賢直, 山下 尚人, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

TEOS-PECVD によるSiO2成膜におけるプラズマ発光強度と膜質の関係

山本祐馬, 佐藤優志, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference  2023年11月 

Quantitative Analysis of Electric Field Intensity Generated by Scalable Dielectric Barrier Discharge Electrodes for Irradiating to Plant Seeds 国際会議

K. Koga, T. Okumura, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

Comparative study of deposition characteristics of different precursors for plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kunihiro, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2023  2023年11月 

大量処理のためのプラズマ照射による土壌への窒素固定化の最適化

中尾 匠,奥村 賢,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,白谷 正治,古閑 一憲

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における分子修飾解析

史 合平,奥村 賢直,パンカジ アトリ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

スケーラブル誘電体バリア放電プラズマを照射したDMPOの質量分析

乙部 響,史 合平,奥村 賢直,阿南 輝樹,アタリ パンカジ,山下 大輔,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

液体クロマトグラフィー質量分析法を用いたプラズマ被照射物からの亜硝酸塩および硝酸塩の同時検出法の開発

日高 直哉,奥村 賢直,アタリ パンカジ,鎌滝 晋礼,山下 尚人,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治

第33回日本MRS年次大会  2023年11月 

Predictions for High Mobility Amorphous ITO(In2O3:Sn) Films via Hybrid Machine Learning Model 国際会議

K. Kamataki, N. Itagaki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP2023  2023年11月 

Controlling the synthesis, transport, and surface coverage of carbon nanoparticles using plasma CVD 国際会議

S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Highly sensitive electric field vector measurements using an optically trapped fine particle 国際会議

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of carbon nanoparticle adhesion on substrate surface deposited by plasma CVD 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

Global Plasma Forum in Aomori  2023年10月 

Evaluation of Interaction Between Substrate and Nanoparticles Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, M. Eri, T. Okumura, K. Kamataki, N.Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

GEC  2023年10月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(4)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 井口恒聖, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射DMPOの分子修飾解析

史合平, 奥村賢直, P. Attri, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

プラズマ照射による窒素固定肥料へのサトウキビの表現型応答解析

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアタリ, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長

中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長

成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成：3次元島バッファー層の形成温度の影響

矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長：MgOバッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔,　奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果：ZnON膜の結晶化度の影響

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第84回応用物理学会秋季学術講演会  2023年9月 

Fabrication process of patterned perpendicular magnetized multilayered film on plastic sheet for flexible magnetic memory

Y. Kurokawa, N. Yamashita, S. Oishi, H. Yuasa

2023年9月 

大気圧空気プラズマによる硝酸態窒素固定量に対する放電電力密度依存性

中尾匠, 奥村賢直, A. Pankaj, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

質量分析を用いたプラズマ照射イネ種子における変動分子の組織別解析

史合平, 奥村賢直, A. Pankaj, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度(第76回)電気・情報関係学会九州支部連合大会  2023年9月 

Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges 国際会議

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Measurement of electric field, UV photons, and long-lifetime reactive species generated by atmospheric pressure air plasma for plasma bio applications 国際会議

T. Okumura, S. Tsuboyama, Y. Tagawa, T. Nakao, T. Anan, H. Tanaka, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, P. Attri, K. Koga, M. Shiratani, K. Kuchitsu

ICPIG2023  2023年7月 

Coverage control of carbon nanoparticles on substrate using capacitively coupled plasma chemical vapor deposition 国際会議

K. Koga, S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Investigation of particle charge and interparticle interaction in a plasma 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Control of ion trajectory in high aspect ratio trenches by using amplitude modulated rf discharges 国際会議

I. Nagao, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of lower discharge frequency on ion energy distribution function in dual frequency plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo method 国際会議

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, K. Ikeda, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Optical tweezers technique for electric field strength and fluctuation measurements in plasma using a fine particle 国際会議

T. Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization 国際会議

Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges 国際会議

R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges 国際会議

T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of Ne mixing on plasma enhanced chemical vapor deposition of a-C:H films using CH4/Ar/Ne capacitively coupled discharges 国際会議

K. Ikeda, M. Otaka, H. Otomo, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, H. Kiyama, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Relation between Spatial Distribution of Optical Emission Intensity and SiO2 Film Property in TEOS-PECVD 国際会議

Y. Yamamoto, I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

Effects of tailored voltage waveform discharges on deposition of hydrogenated amorphous carbon films by CH4/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

M. Otaka, H. Otomo, K. Ikeda, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Shindo, S. Tanaka, T. Matsudo

ICPIG2023  2023年7月 

Deposition characteristics of cumene plasma CVD for high-speed deposition of high-density a-C:H films 国際会議

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICPIG2023  2023年7月 

プラズマ中帯電微粒子の相互作用に関する研究

井口恒聖, 佐藤斗真, 鎌滝晋礼, 富田健太郎, P. Yiming, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

ナノ粒子を用いた膜界面の形状ゆらぎによる膜応力低減

小野晋次郎, 恵利眞人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 木山治樹, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

2023年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2023年6月 

Prediction of Plasma CVD Process Data of a-Si:H Films via Machine Learning 国際会議

K. Kamataki, F. L. Chawarambwa, D. Yamashita, N. Yamashita, T.Okumura, N. Itagaki, K.Koga, M. Shiratani

ISPC25  2023年5月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

プラズマ照射によるレタス種子表面および内部の分子変動

阿南輝樹, 奥村賢直, アトリパンカジ, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

Non-off Axis Sputtering Deposition of Ferrimagnetic Insulator Film with Perpendicular Magnetic Anisotropy

2023年3月 

プラズマCVD法で堆積した2層a-C:Hの機械的強度に対するカーボンナノ粒子挿入の効果

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

プラズマ照射によるレタス種子表面および内部の分子変動

阿南輝樹, 奥村賢直, アトリパンカジ, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

プラズマCVD法で堆積した2層a-C:Hの機械的強度に対するカーボンナノ粒子挿入の効果

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第70回応用物理学会 春季学術講演会  2023年3月 

Structural Characteristics of Carbon Sphere Composite Deposited by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor Deposition Method 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. 0kumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M.Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Developing Prediction of Key Process Parameters and Sputtering Conditions for Amorphous and high Mobility ITO/In2O3 Films via Machine Learning 国際会議

K. Kamataki, Y. Mido, I. Nagao, D. Yamashita, T. Okumura, N.Yamashita, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films 国際会議

Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of lower discharge frequency on plasma parameters in capacitively coupled plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision method 国際会議

T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputtering 国際会議

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of Gas Pressure on Deposition Characteristics of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Produced by Ar + CH4 Capacitively Coupled Plasma 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Masaharu

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Effects of Amplitude Modulation Discharge on Ion Energy and Angular Distributions studied by PIC-MCC method 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Fluctuation of plasma and amount of nanoparticles in TEOS amplitude modulated rf discharge 国際会議

A. Yamamoto, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar and Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasma. 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate 国際会議

K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

Measurement of fluctuation of electric field in Ar plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers 国際会議

T. Sato, S. Okunaga, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)  2023年1月 

プラズマ照射を用いて窒素リッチ化した肥料で栽培したサトウキビの生育評価

中尾匠，小野晋二郎，山本小龍，内野泰祐，奥村賢直，P. Attri，古閑一憲, 山下大輔，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー：ZnON/MgO バッファー層の効果

湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜

和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲，白谷正治, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

ナノインデンテーションを用いた a-C:H/CNP/a-C:H サンドイッチ構造膜の機械的強度評価

田渕竜也, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲，白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

Ar/Ne/CH4 プラズマ CVD による a-C:H 成膜への Ne 混合効果

池田築，大高真寛，大友洋，有馬聡明，頼建勲，鎌滝晋礼, 山下大輔，奥村賢直，山下尚人，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治, 進藤崇央，田中諭志，松土龍夫

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

水への CO₂プラズマ照射による選択的 CO 生成

内野泰佑, アタリ パンカジ, 奥村賢直, 古閑一憲，山下大輔, 鎌滝普礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治

プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会  2022年12月 

Electric fields measurement using an optically trapped charged particle in Ar plasma (Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, k. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Discharge frequency dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 国際会議

K. Ikeda, M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Measurement of the charge on single fine particles in plasma 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, Y. Pan, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Investigation of dual frequency method in capacitively coupled plasmas using particle-in-cell/Monte Carlo method 国際会議

J. Lai, T. Arima, M. Otaka, I. Nagao, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Effects of Amplitude Modulated Discharge on SiO2 film qualities in TEOS Plasma CVD 国際会議

Y. Yamamoto, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Formation of Graphene Nanoribbon-like Structure in Carbon Nanoparticles Fabricated by Ar+CH4 Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

2022年12月 

Influence of Seed Dormancy on Plasma Irradiation Effects on their Germination 国際会議

K. Koga, T. Okumura, P. Attri, T. Anan, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Kuchitsu, K. Ishikawa, M. Hori

2022年12月 

Study on biomolecules extracted from plasma-irradiated plant seeds using quadrupole mass spectrometer 国際会議

T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

2022年12月 

Plasma Irradiation-induced Molecular Modification of Quercetin as Plant Antioxidant 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

2022年12月 

Improvement of Germination Characteristics of Sorghum bicolor Seeds Irradiated by Surface Discharge Plasma 国際会議

S. Yamamoto, T. Nakao, T. Anan, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Yanagawa, S. Shimada

2022年12月 

二周波重畳容量結合並行平板放電の PIC-MCC シミュレーション:駆動周波数の効果

有馬聡明, 頼建勲, 大高真寛, 池田築, 長尾伊織, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 山下尚人, 板垣奈穂, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治

2022年(令和４年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 7th Asian Applied Physics Conference  2022年11月 

Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers

Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki

2022年11月 

Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films

Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki

2022年11月 

One-dimensional particle-in-cell / Monte Carlo collision model simulation of the effects of amplitude modulation discharge on ion/electron energy distribution functions 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

DPS2022  2022年11月 

Effects of plasma activ ated lact ate solution administration to seeds of Arabidopsis thaliana on germination characteristics 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi, S. Tsuboyama, K. Hashimoto, K. Kuchitsu, H. Hashizume, K. Ishikawa, M. Hori

DPS2022  2022年11月 

Study of electric field measurements in Ar plasmas using an optically trapped fine particle 国際会議

T.Sato, K. Kamataki, K. Tomita, P. Yiming, D. Yamashita, N.Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

AAPPS-DPP 2022  2022年10月 

The role of post-annealing treatment on ZnO:Co structure and magnetic transition grown by sputtering deposition 国際会議

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

ICIEE 2022  2022年10月 

Role of short-lived nitrogen species generated at low-pressure RF plasma on the germination and seedling growth 国際会議

K. Koga, P. Attri, T. Okumura, T. Anan, T. Nakao, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Plasma irradiation-introduced RONS amount into plant seeds and their response analysis 国際会議

T. Okumura, T. Anan, P. Attri, Y. Tsukada, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Ishibashi

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Process analysis of cracking aC: H/CNP/aC: H sandwich films under stress using nanoindentation 国際会議

S. Ono, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Sputter epitaxy of Mg-doped ZnO films on sapphire substrates using inverted Stranski-Krastanov mode 国際会議

M. Shiratani, D. Takahashi, N. Yamashita, N. Itagaki

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Effect of plasma irradiation on germination of lettuce seeds with fluctuating dormancy 国際会議

T. Anan, T. Nakao, T. Okumura, P. Attri, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Pressure dependence on spatio-temporal distribution of excitation rates of Ar 2p1 and Ne 2p1 in Ar and Ar/Ne capacitively coupled plasmas 国際会議

M. Otaka, T. Arima, J. Lai, K. Ikeda, K. Kamataki, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Effects of amplitude modulation discharge on behavior of oxygen ions in Ar/O2 capacitively coupled plasma studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision model 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, Y. Yamamoto, K. Kamataki, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

Measurements of strength and fluctuation of 2D electric fields in plasmas using a fine particle trapped with laser tweezers(Invited) 招待 国際会議

K. Kamataki, T. Sato, K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

ICRP-11/GCE2022  2022年10月 

振幅変調放電法を用いたTEOSプラズマCVDへの効果

山本晃大, 長尾伊織, 山本祐馬, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

Role of plasma treatment on radish seeds affects germination, morphology, and biochemical responses

P. Attri, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, Y. Tsukada, N. Itagaki, M. Shiratani

2022年9月 

固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜：固相結晶化温度の影響

沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜

成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果

三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

異なるMg組成を有する単結晶Zn­­1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果

矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

大気圧空気プラズマを用いた肥料への窒素固定と圃場試験

中尾匠, 奥村賢直, パンカジアトリ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷 正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

休眠状態を考慮したレタス種子発芽へのプラズマ照射効果

奥村賢直, 阿南輝樹, アタリパンカジ, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 石橋勇志

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)

鎌滝晋礼, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月 

Impact of amplitude modulated discharge on suppression of nanoparticle growth in TEOS/O2/Ar capacitively coupled plasma 国際会議

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IVC-22  2022年9月 

Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperature 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Eff ects of Modifi cation of Film Interface by Nanoparticles on Mechanical Properties of Films 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, T. Okumura, K. Koga, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Eff ects of Amplitude Modulated RF Discharge on Properties of SiO2 Films Deposited by TEOS/O2/Ar Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Kamataki, A. Yamamoto, I. Nagao, Y. Yamamoto, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 国際会議

2022年9月 

Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen 国際会議

A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces  2022年9月 

Thermoplastic Polymer Electrolytes for DSSCs Performance Under V-Shape Low-Concentrated Light 国際会議

T. E. Putri, F. L. Chawarambwa, A. Pankaj, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Magnetic properties of Co-doped ZnO films fabricated by sputtering using mediated crystallization. 国際会議

A. M. Nurut, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, N. Itagaki, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Ion energy and angular distribution functions in amplitude modulated capacitively coupled Ar discharge plasma obtained using particle-in-cell Monte Carlo collision model simulation 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Time resolved optical emission spectroscopy in Ar/Ne capacitively coupled radio frequency plasma 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu1, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

Spatio-temporal structures of plasma density in lower driving rf frequency plasmas studied by particle-in-cell/Monte Carlo collision method 国際会議

T. Arima, M.Otaka, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

IUMRS-ICYRAM 2022  2022年8月 

TEOSプラズマSiO2成膜に及ぼす振幅変調放電の効果

山本晃大、長尾伊織、山本祐馬、大高真寛、山下大輔、鎌滝晋礼、奥村賢直、山下尚人、板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

大気圧空気プラズマで生成した硝酸態窒素の水表面への輸送評価

中尾匠、奥村賢直、P. Attri、古閑一憲、山下大輔、鎌滝晋礼、山下尚人、板垣奈穂、白谷正治

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響

三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

2022年度日本表面真空学会　九州支部学術講演会  2022年6月 

Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov mode 国際会議

N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Development of Measurement of Two-Dimensional Distribution of Strength of Electrical Field with High Spatial Resolution Using Optical Trapped Particle in Plasma 国際会議

K. Kamataki, S. Okunaga,T. Sato,K. Tomita, P. Yimin, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Structural Control of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Substrate Position and Gas Pressure in Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

S. Ono, S. H. Hwang, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, J. S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron Sputtering 国際会議

R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Stress Relaxation of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Incorporating Carbon Nanoparticles Using Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, J-S. Oh, S. Takabayashi, T. Nakatani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Time Resolved Optical Emission Spectroscopy in Ar and Ar/Ne Capacitively Coupled Radio Frequency Plasma 国際会議

M. Otaka, D. Nagamatsu, T. Arima, K. Kamataki, D. Yamashita, N. yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Effects of rf Frequency on Plasma Density in Capacitively Coupled Plasmas at Low Pressure Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision Method 国際会議

T. Arima , T. Yang, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Quantitative Evaluation through LC-QqQ MS/MS for RONS Induced into Dry Seeds by Non-Thermal Plasma Irradiation 国際会議

T. Okumura , K. Koga , P. Attri , K. Kamataki , N. Yamashita , N. Itagaki, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

Amplitude Modulation Frequency Dependence of Ion Energy Distribution in Capacitively Coupled Discharge Plasma Studied by Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision Method 国際会議

I. Nagao, A. Yamamoto, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Yamashita, T. Okumura, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

MRS spring meeting 2022  2022年5月 

プラズマ CVD 法を用いた a-C:H 薄膜製膜特性に対するガス圧力・基板位置の効果

小野晋次郎, 吉川大智, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 呉準席, 鷹林将, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測

鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, P. Yiming, 山下大輔, 山下尚人,奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

調湿レタス種子のラジカル量に与えるプラズマ照射の効果

奥村賢直，阿南輝樹，パンカジアタリ, 古閑一憲, 鎌滝晋礼，山下尚人, 板垣奈穂, 白谷正治, 石橋勇

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

CNP 層を挿入した a-C:H 膜の応力低減に対する CNP 被覆率の効果

吉川大智, 小野晋次郎, 黄成和, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 鷹林将，呉準席, 中谷達行

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

植物へのプラズマ照射効果解明に向けたゼニゴケ実験系の確立

古閑一憲, 坪山祥子，田川雄大, 中尾匠，田中颯，阿南輝樹，奥村賢直 ，P. Attri，鎌滝晋礼，山下尚人 ，板垣奈穂 ，白谷正治 ，朽津和幸

第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

プラズマCVDを用いて堆積した薄膜のナノ構造化による機械的特性制御

古閑一憲，黄成和，小野晋次郎，吉川大智, 奥村賢直，鎌滝晋礼，山下尚人，板垣奈穂，白谷正治

日本物理学会 第77回年次大会（2022年）  2022年3月 

Deposition of Carbon Nanoparticles of 5 nm in Size on Positively Biased Substrates using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method 国際会議

K. Koga, S. H. Hwang, S. Ono, D. Yoshikawa, T. Okumura, K. Kamataki, N. Yamashita, N. Itagaki, M. Shiratani

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022  2022年3月 

プラズマ照射による酸化還元反応に対する種子内水分量の効果

阿南 輝樹, 田中颯，奥村賢直, アタリパンカジ, 中尾匠, 鎌滝晋礼，山下尚人, 板垣奈穂，古閑ー憲, 白谷 正治

2022年1月 

Ohmic contact on n-type Si using an Iron-based Alloy 国際会議

N. Yamashita, E. Shigematsu, S. Honda, R. Ohshima, M. Shiraishi, Y. Ando

2022 Joint MMM-Intermag Conference  2021年12月 

Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides

Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki

2021年12月 

PIC-MCCM を用いた平行平板容量結合プラズマに対する放電周波数依存性に関する研究

陶陽, 阿部滉平, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

平行平板容量結合高周波放電プラズマの AM 変調周波数依存性に関する PICMCC シミュレーション

長尾伊織, 阿部滉平, 山本晃大, 鎌滝晋礼, 山下大輔, 奥村賢直, 山下尚人, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

逆 Stranski-Krastanov モードを利用した単結晶 ZnMgO 薄膜のスパッタリング成膜

矢髙功太郎, 山下尚人, 髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂

プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会  2021年12月 

Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering 国際会議

R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

MRS fall meeting 2021  2021年12月 

Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of RF power 国際会議

R. Mitsuishi, D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki

The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)  2021年12月 

Large Modulation of the Fermi Energy in an Iron-Based Alloy

N. Yamashita, E. Shigematsu, S. Honda, R. Ohshima, M. Shiraishi, Y. Ando

2021年9月 

量子ビット応用に向けた酸化物半導体における暗励起子スピン流の研究

研究課題/領域番号：22K14292  2022年 - 2023年

日本学術振興会  科学研究費助成事業  若手研究

2021年9月   役割：参加   名称：博士後期課程の充足率向上に向けて

主催組織：部局