ツツイ クンゲン
堤井 君元
TSUTSUI KUNGEN
所属
総合理工学研究院 エネルギー科学部門 准教授
工学部 融合基礎工学科（併任）
総合理工学府 総合理工学専攻（併任）
職名
准教授
連絡先
プロフィール
活動概要
1998年4月から2001年2月まで、名古屋大学にてVBL研究員として研究活動に従事した。2001年3月より、九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門の教員として、教育・研究活動に従事している。これまでの主な研究テーマは、
・パワーエレクトロニクス（パワーデバイス）用半導体膜および誘電体膜の作製と電気・電子物性評価
・電子エミッター用材料の作製と電子物性評価
・超硬質膜の作製と機械特性および生体親和特性評価
・ダイヤモンド、ナノカーボン、窒化ホウ素、SiC膜の気相合成
・反応性ドライエッチングによる薄膜微細加工
・質量分析法、プローブ法、分光法による反応性プラズマの診断
・金属間化合物の製造、構造評価
である。
教育面では、2001-2004年(前期)に、大学院向けに「電気プロセス工学基礎」と「量子プロセス理工学基礎２」を担当した。2002-2004年(後期)には、工学部電気情報工学科「数学演習（二年生、後期）」を担当した。2005年(前期)からは、大学院向けに「プラズマ量子工学特論」と「基礎電磁気学」を担当した。2007年度からは、名称変更により「プラズマ量子工学特論」に代わり「光エレクトロニクス特論」を担当した。2007-2008および2010年度は、工学部機械航空工学科「一般電気工学第一（二年生、後期）」を担当した。 2011年度は、工学部機械航空工学科「電気工学基礎（二年生、後期）」を担当した。2011-2012年度は、芸術工学部環境設計学科および画像設計学科「力学基礎・同演習（一年生、前期）」を担当した。2012-2013年度は、工学部物質科学科「電気工学基礎（一年生、後期）」を担当した。2014年度は、理学部数学科「基幹物理学IB演習（一年生、後期）」を担当した。2015-2017年度は、理学部数学科「基幹物理学IB（一年生、後期）」を担当した。2015-2021年度は、工学部物質科学科「電気工学基礎（二年生、前期）」を担当した。2020年度は、理学部数学科「基幹物理学IB演習（一年生、後期）」を担当した。2021年度は、理系ディシプリン科目「電磁気学基礎演習（一年生、秋学期）」および「熱力学基礎演習（一年生、冬学期）」を担当した。2021年度からは、大学院向けに「電子デバイス基礎」を担当している。2023年度からは、工学部融合基礎工学科「機械電気科学実験I（三年生、春学期）」および「電気エネルギー工学（三年生、夏学期）」を担当している。2024年度からは、工学部融合基礎工学科「半導体・デバイス工学B（四年生、夏学期）」を担当している。
研究キーワード
パワーエレクトロニクス, パワー半導体デバイス, 電子・電気材料, 超硬材料, 生体・医療材料, ナノ構造材料, プラズマ工学, プラズマCVD, ダイヤモンド, ナノカーボン, 立方晶窒化ホウ素, 超硬合金, 半導体, 誘電体, 質量分析法, 静電プローブ法, 電子エミッター, 超硬工具, インプラント, モールド
ホームページ
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https://igses.kyushu-u.ac.jp/yamagata-tsutsui/jp/electronics_group/english.html
Electronic Materials & Devices Group
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http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K001514/index.html
九州大学研究者データベース
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https://igses.kyushu-u.ac.jp/yamagata-tsutsui/jp/index.html
電離反応工学研究室
学位
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博士（工学）
経歴
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名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー、1998-2001年
研究テーマ・研究キーワード
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研究テーマ：スーパーハードコーティング, バイオコーティング
研究キーワード：超硬材料、バイオ材料、インプラント、生体親和性、窒化物、DLC、超硬合金、遷移金属、ハイス、超硬工具、モールド、トライボロジー
研究期間： 2007年4月
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研究テーマ：ナノ構造炭素材料の作製、物性評価、電子エミッターへの応用
研究キーワード：ナノカーボン、ナノダイヤモンド、アモルファスカーボン、真空マイクロエレクトロニクス、電子源、イオンエンジン、トンネル効果、電子親和力、複合膜、超薄膜
研究期間： 2005年4月
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研究テーマ：ワイドギャップ半導体の作製、物性評価、パワーエレクトロニクスへの応用
研究キーワード：ダイヤモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素、結晶成長、エピタキシー、高温デバイス、パワーデバイス、ドーピング、半導体プロセス
研究期間： 1998年4月
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研究テーマ：プラズマプロセシング
研究キーワード：プラズマＣＶＤ、スパッタリング、質量分析、静電プローブ法、分光法
研究期間： 1998年4月
受賞
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研究活動表彰
2013年11月 九州大学
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研究活動表彰
2012年11月 九州大学
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研究活動表彰
2011年11月 九州大学
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優秀論文発表賞（A賞）
2008年1月 電気学会 電気学会が主催する研究会やシンポジウムにおける優れた研究発表が対象
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石井学術奨励賞（優秀賞）
1998年1月 総合研究奨励会 東京大学大学院の博士修了者のうち、優れた博士論文の提出者が対象
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優秀論文発表賞（A賞）
1994年1月 電気学会 電気学会が主催する研究会やシンポジウムにおける優れた研究発表が対象
論文
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Enhanced Field Emission from Ultrananocrystalline Diamond-Decorated Carbon Nanowalls Prepared by a Self-Assembly Seeding Technique 査読 国際誌
#L. Huang, #S. Harajiri, S. Wang, X. Wu, @K. Teii
ACS Appl. Mater. Interfaces 2022年1月
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Biocompatible Cubic Boron Nitride: A Noncytotoxic Ultrahard Material 査読 国際誌
#J. H. C. Yang, @K. Teii, C.-C. Chang, @S. Matsumoto, M. Rafailovich
Adv. Funct. Mater. 2021年1月
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Field Emission Characteristics of Metal Nanoparticle-Coated Carbon Nanowalls 査読 国際誌
#Y. Kaneko, #K. Terada, @K. Teii
Nanotechnology 2020年4月
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Electrical Transport and Capacitance Characteristics of Metal-Insulator-Metal Structures using Hexagonal and Cubic Boron Nitride Films as Dielectrics 査読 国際誌
@K. Teii, #S. Kawamoto, #S. Fukui, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2018年4月
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Thermal Stability of Boron Nitride/Silicon p-n Heterojunction Diodes 査読 国際誌
K. Teii, Y. Mizusako, T. Hori, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2015年10月
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Rectification Properties of n-Type Nanocrystalline Diamond Heterojunctions to p-Type Silicon Carbide at High Temperatures 査読 国際誌
M. Goto, R. Amano, N. Shimoda, Y. Kato, K. Teii
Appl. Phys. Lett. 2014年4月
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Direct Deposition of Cubic Boron Nitride Films on Tungsten Carbide-Cobalt 査読 国際誌
K. Teii, S. Matsumoto
ACS Appl. Mater. Interfaces 2012年10月
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Synthesis and Electrical Characterization of n-Type Carbon Nanowalls 査読 国際誌
K. Teii, S. Shimada, M. Nakashima, A. T. H. Chuang
J. Appl. Phys. 2009年10月
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Origin of Low Threshold Field Emission from Nitrogen-Incorporated Nanocrystalline Diamond Films 査読 国際誌
T. Ikeda and K. Teii
Appl. Phys. Lett. 2009年4月
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Effect of the Sp2 Carbon Phase on n-Type Conduction in Nanodiamond Films 査読 国際誌
T. Ikeda, K. Teii, C. Casiraghi, J. Robertson, A. C. Ferrari
J. Appl. Phys. 2008年10月
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Electron Field Emission from Nanostructured Cubic Boron Nitride Islands 査読 国際誌
K. Teii, S. Matsumoto, J. Robertson
Appl. Phys. Lett. 2008年1月
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Synthesis of Cubic Boron Nitride Films with Mean Ion Energies of a Few eV 査読 国際誌
K. Teii, R. Yamao, T. Yamamura, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2007年2月
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Temperature Dependence of Electrical Characteristics of Metal-Carbon Nanowall Contacts 査読 国際誌
#Z. Sun, #L. Huang, @Y. Kato, @K. Teii
Mater. Chem. Phys. 2023年8月
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Measurement of Oxygen Concentration in Atmospheric Air Using Ultrasound Time of Flight with Humidity Compensation 査読 国際誌
#H. Fukuoka, #M. Taskin @K. Teii, @Y. Kato
Rev. Sci. Instrum. 2023年3月
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Effect of Precursor Gas on Growth Temperature and Electrical Conduction of Carbon Nanowalls in Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌
#L. Huang, #H. Ikematsu, @Y. Kato, @K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. 2023年2月
-
Electrical Characteristics of Metal Contacts to Carbon Nanowalls 査読 国際誌
#Z. Sun, #M. Cho, #L. Huang, #R. Hijiya, @Y. Kato, @K. Teii
ECS J. Solid State Sci. Technol. 2022年6月
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Control of Electrostatic Self-Assembly Seeding of Diamond Nanoparticles on Carbon Nanowalls 査読 国際誌
#L. Huang, X. Wu, #R. Hijiya, @K. Teii
Nanotechnology 2022年4月
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Low Temperature Annealing of Nanocrystalline Si Paste for pn Junction Formation 査読 国際誌
#Y. Kuboki, #H. Zhu, #M. Sakamoto, @H. Matsumoto, @K. Teii, @Y. Kato
Mater. Sci. Semicond. Process. 2021年7月
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Ozone Behavior on Catalytic Probes and Its Application Studied in Gas Flow Downstream of Dielectric Barrier Discharge Ozonizers 査読 国際誌
T.-L. Sung, C.-M. Liu, S. Ono, S. Teii, @K. Teii , K. Ebihara
IEEE Trans. Plasma Sci. 2021年1月
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Electrical Insulation Characteristics of Metal-Insulator-Metal Structures Using Boron Nitride Dielectric Films Deposited with Low-Energy Ion Impact 査読 国際誌
#Y. Kamimura, #M. Torigoe, @K. Teii, S. Matsumoto
Mater. Sci. Semicond. Process. 2021年1月
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Rapid Thermal Annealing of Si Paste Film and pn-Junction Formation 査読 国際誌
#H. Zhu, #M. Sakamoto, #T. Pan, @T. Fujisaki, @H. Matsumoto, @K. Teii, @Y. Kato
Nanotechnology 2020年9月
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Effect of the Boron-to-Nitrogen Ratio on Leakage Current Characteristics of Boron Nitride Films Prepared by Surface-Wave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読 国際誌
#Y. Kamimura, #T. Matsuura, @K. Teii, S. Matsumoto
Thin Solid Films 2020年7月
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Enhanced Field Emission from Metal-Coated Carbon Nanowalls 査読 国際誌
#Y. Kaneko, #K. Terada, @K. Teii
Jpn. J. Appl. Phys. 2019年10月
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Lowering of the Substrate Bias Voltage for Deposition of Cubic Boron Nitride in Microwave Plasma 査読 国際誌
#T. Nakakuma, @K. Teii, S. Matsumoto
IEEE Trans. Plasma Sci. 2019年2月
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Effect of Low-Energy Ion Impact on the Structure of Hexagonal Boron Nitride Films Studied in Surface-Wave Plasma 査読 国際誌
#M. Torigoe, #Y. Kamimura, @K. Teii, S. Matsumoto
Surf. Interface Anal. 2019年1月
-
Formation of Nanocrystalline Diamond Cones by Reactive Ion Etching in Microwave Plasma for Enhancing Field Emission 査読 国際誌
#K. Ota, @Y. Kato, @K. Teii
Jpn. J. Appl. Phys. 2019年1月
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Field Emission Characteristics of Metal-Coated Nanocrystalline Diamond Films 査読 国際誌
#K. Ota, #Y. Kaneko, #K. Terada, @Y. Kato, @K. Teii
ECS J. Solid State Sci. Technol. 2018年7月
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Leakage Current Characteristics of Thick Cubic Boron Nitride Films Deposited on Titanium 査読 国際誌
#S. Kawamoto, #T. Nakakuma, @K. Teii, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2017年12月
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Electrical Contacts to Nanocrystalline Diamond Films Studied at High Temperatures 査読 国際誌
N. Shimoda, Y. Kato, K. Teii
J. Appl. Phys. 2016年12月
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Low-Energy Ion-Assisted Deposition of Boron Nitride Films in Surface-Wave Plasma 査読 国際誌
M. Torigoe, K. Teii, S. Matsumoto
IEEE Trans. Plasma Sci. 2016年12月
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Superhydrophilic Cubic Boron Nitride Films 査読 国際誌
K. Teii, S. Kawakami, S. Matsumoto
RSC Adv. 2016年9月
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Effect of the Hexagonal Phase Interlayer on Rectification Properties of Boron Nitride Heterojunctions to Silicon 査読 国際誌
K. Teii, H. Ito, N. Katayama, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2015年2月
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Numerical Study on Heat Flow during Catalytic Dissociation of Ozone in a Dielectric Barrier Discharge Ozonizer 査読 国際誌
R.-C. Hsiao, T.-L. Sung, C.-M. Liu, S. Teii, S. Ono, K. Teii, K. Ebihara
IEEE Trans. Plasma Sci. 2015年2月
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Impact of Low-Energy Ions on Plasma Deposition of Cubic Boron Nitride 査読 国際誌
K. Teii, S. Matsumoto
Thin Solid Films 2015年2月
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Plasma Deposition of Diamond at Low Pressures: A Review 査読 国際誌
K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. 2014年12月
-
Hydrophilic Stability of Plastic Surfaces Treated in Low- and Atmospheric-Pressure Radio-Frequency Plasmas 査読 国際誌
R.-C. Hsiao, T.-L. Sung, C.-M. Liu, S. Teii, T.-C. Chan, S. Ono, K. Teii, C.-C. Yang, S.-C. Zeng
IEEE Trans. Plasma Sci. 2014年12月
-
Direct Measurement of Metal Surface Temperature during Catalytic Dissociation of Ozone for Sensor Application 査読 国際誌
T.-L. Sung, R.-C. Hsiao, C.-M. Liu, S. Teii, H.-P. Jhou, K. Teii, S. Ono, K. Ebihara, F. Mitsugi
IEEE Trans. Plasma Sci. 2014年12月
-
Self-Compensated Standing Wave Probe for Characterization of Radio-Frequency Plasmas 査読 国際誌
T.-L. Sung, S. Matsumura, K. Teii, S. Teii
Rev. Sci. Instrum. 2014年6月
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Enhanced Wettability of Cubic Boron Nitride Films by Plasma Treatment 査読 国際誌
J. H.C. Yang, S. Kawakami, K. Teii, S. Matsumoto
Mater. Sci. Forum 2014年5月
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Surface-Enhanced Ozone Dissociation in Gas Flow Downstream of a Dielectric Barrier Discharge Ozonizer Studied by Using Catalytic Probes 査読 国際誌
R.-C. Hsiao, T.-L. Sung, C.-M. Liu, H.-T. Tseng, S. Teii, K. Teii, S. Ono, K. Ebihara
Vacuum 2014年4月
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Rectification Properties of Nanocrystalline Diamond/Silicon p-n Heterojunction Diodes 査読 国際誌
K. Teii, T. Ikeda
J. Appl. Phys. 2013年9月
-
Origin of Rectification in Boron Nitride Heterojunctions to Silicon 査読 国際誌
K. Teii, T. Hori, Y. Mizusako, S. Matsumoto
ACS Appl. Mater. Interfaces 2013年4月
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Effect of Pulse Power Characteristics and Gas Flow Rate on Ozone Production in a Cylindrical Dielectric Barrier Discharge Ozonizer 査読 国際誌
T.-L. Sung, S. Teii, C.-M. Liu, R.-C. Hsiao, P.-C. Chen, Y.-H. Wu, C.-K. Yang, K. Teii, S. Ono, K. Ebihara
Vacuum 2013年4月
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Surface Catalytic Effect of Electrode Materials on Ozone Dissociation in a Cylindrical Dielectric Barrier Discharge Ozonizer 査読 国際誌
T.-L. Sung, S. Teii, C.-M. Liu, R.-C. Hsiao, P.-C. Chen, Y.-H. Wu, C.-K. Yang, S. Ono, K. Ebihara, K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. 2012年10月
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Mechanisim of Enhanced Wettability of Nanocrystalline Diamond Films by Plasma Treatment 査読 国際誌
J. H.C. Yang and K. Teii
Thin Solid Films 2012年8月
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Wettability of Amorphous Diamond-Like Carbons Deposited on Si and PMMA in Pulse-Modulated Plasmas 査読 国際誌
T.-L. Sung, J. H.-C. Yang, K. Teii, S. Teii, C.-M. Liu, W.-Y. Tseng, L.-D. Lin, S. Ono
IEEE Trans. Plasma Sci. 2012年7月
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Low Threshold Field Emission from Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films 査読 国際誌
C. Y. Cheng, M. Nakashima, K. Teii
Diamond Relat. Mater. 2012年7月
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Control of the Growth Regimes of Nanodiamond and Nanographite in Microwave Plasmas 査読 国際誌
C. Y. Cheng and K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. 2012年7月
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Low Threshold Field Emission from High-Quality Cubic Boron Nitride Films 査読 国際誌
K. Teii, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2012年5月
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Fabrication of 4H-SiC/Nanocrystalline Diamond pn Junctions 査読 国際誌
R. Amano, M. Goto, Y. Kato, K. Teii
Mater. Sci. Forum 2012年5月
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Wettability of Plasma-Treated Nanocrystalline Diamond Films 査読 国際誌
J. H.C. Yang and K. Teii
Diamond Relat. Mater. 2012年4月
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Formation of Epitaxial 3C-SiC Layers by Microwave Plasma-Assisted Carbonization 査読 国際誌
Y. Kato, M. Goto, R. Sato, K. Yamada, A. Koga, K. Teii, C. Srey, S. Tanaka
Surf. Coat. Technol. 2011年11月
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Deposition of Amorphous Hydrogenated Carbon Films on Si and PMMA by Pulsed Direct-Current Plasma CVD 査読 国際誌
T.-L. Sung, Y.-A. Chao, C.-M. Liu, K. Teii, S. Teii, C.-Y. Hsu
Thin Solid Films 2011年8月
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Fabrication of n-Type Nanocrystalline Diamond/3C-SiC/p-Si(001) Junctions 査読 国際誌
M. Goto, A. Koga, K. Yamada, Y. Kato, K. Teii
Mater. Sci. Forum 2011年3月
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Growth and Electrical Properties of 3C-SiC/Nanocrystalline Diamond Layered Films 査読 国際誌
A. Koga, K. Teii, M. Goto, K. Yamada, Y. Kato
Jpn. J. Appl. Phys. 2011年1月
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Enhanced Deposition of Cubic Boron Nitride Films on Roughened Silicon and Tungsten Carbide-Cobalt Surfaces 査読 国際誌
K. Teii, T. Hori, S. Matsumoto
Thin Solid Films 2011年1月
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Feasibility Study on Cubic Boron Nitride Coated Glass Press Molds 査読 国際誌
K. Teii and S. Matsumoto
Diamond Relat. Mater. 2010年11月
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Low Threshold Field Emission from Nitrogen-Incorporated Carbon Nanowalls 査読 国際誌
S. Shimada, K. Teii, M. Nakashima
Diamond Relat. Mater. 2010年7月
-
Synthesis and Field Emission Properties of Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films 査読 国際誌
K. Teii and M. Nakashima
Appl. Phys. Lett. 2010年1月
-
Effect of Cubic Phase Evolution on Field Emission Properties of Boron Nitride Island Films 査読 国際誌
K. Teii, R. Yamao, S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2009年12月
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Role of Hydrogen in Ultrananocrystalline Diamond Deposition from Argon-Rich Microwave Plasmas 査読 国際誌
C.-M. Liu, K. Teii, T.-L. Sung, K. Ting, S. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. 2009年7月
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Origin of Reverse Leakage Current in n-Type Nanocrystalline Diamond/p-Type Silicon Heterojunction Diodes 査読 国際誌
T. Ikeda and K. Teii
Appl. Phys. Lett. 2009年2月
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Conductive and Resistive Nanocrystalline Diamond Films Studied by Raman Spectroscopy 査読 国際誌
K. Teii and T. Ikeda
Diamond Relat. Mater. 2007年4月
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Effect of Enhanced C2 Growth Chemistry on Nanodiamond Film Deposition 査読 国際誌
K. Teii, T. Ikeda
Appl. Phys. Lett. 2007年3月
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Formation of Microcrystalline Diamond using a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma Assisted by Thermal Decomposition of di-t-Alkyl Peroxide 査読 国際誌
H. Ito, K. Teii, M. Ito. M. Hori
Diamond Relat. Mater. 2007年1月
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Local Retarding Field for Ions towards a Positively Biased Substrate in Plasma and its Application to Soft Ion-Bombardment Processing 査読 国際誌
K. Teii and S. Matsumoto
J. Appl. Phys. 2007年1月
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Polymerization in Nanocrystalline Diamond Films by Oxygen Incorporation 査読 国際誌
K. Teii and T. Ikeda
Plasma Process. Polym. 2006年11月
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In Vacuo Substrate Pretreatments for Enhancing Nanodiamond Formation in Electron Cyclotron Resonance Plasma 査読 国際誌
K. Teii, Y. Kouzuma, K. Uchino
J. Vac. Sci. Technol. 2006年9月
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Comparative Study on Nanocrystalline Diamond Growth from Acetylene and Methane 査読 国際誌
T. Ikeda and K. Teii
Diamond Relat. Mater. 2006年4月
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Effect of Hydrogen Plasma Exposure on the Amount of trans-Polyacetylene in Nanocrystalline Diamond Films 査読 国際誌
K. Teii, T. Ikeda, A. Fukutomi, K. Uchino
J. Vac. Sci. Technol. 2006年1月
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Time Dependence of Nucleation Density and Crystallinity of Diamond in Low-Pressure, Ion-Enhanced Deposition 査読 国際誌
Y. Kouzuma, K. Teii, S. Mizobe, K. Uchino, K. Muraoka
Diamond Relat. Mater. 13 ( 4-8 ) 656 - 660 2004年5月
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Prediction of a Threshold Density of Atomic Hydrogen for Nanocrystalline Diamond Growth at Low Pressures 査読 国際誌
K. Teii
Chem. Phys. Lett. 389 ( 4-6 ) 251 - 254 2004年5月
-
Diagnostic and Analytical Study on a Low-Pressure Limit of Diamond Chemical Vapor Deposition in Inductively Coupled CO-CH4-H2 Plasmas 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto
J. Appl. Phys. 95 ( 8 ) 4463 - 4470 2004年5月
-
Diamond Nucleation Density as a Function of Ion-Bombardment Energy in Electron Cyclotron Resonance Plasma 査読 国際誌
Y. Kouzuma, K. Teii, K. Uchino, K. Muraoka
Phys. Rev. B 68 ( 6 ) 064104 2003年8月
-
Argon Dilution Effects on Diamond Deposition in Electron Cyclotron Resonance Plasma: A Double Probe Study 査読 国際誌
K. Teii, H. Yoshioka, S. Ono, S. Teii
Thin Solid Films 437 ( 1-2 ) 63 - 67 2003年7月
-
Time- and Space-Resolved Electric Potentials in a Parallel-Plate Radio-Frequency Plasma 査読 国際誌
K. Teii, M. Mizumura, S. Matsumura, S. Teii
J. Appl. Phys. 2003年5月
-
Ion-to-CH3 Flux Ratio in Diamond Chemical-Vapor Deposition 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto
J. Appl. Phys. 92 ( 7 ) 4103 - 4108 2002年10月
-
Diamond Nucleation Enhancement on Si by Controlling Ion-Bombardment Eneragy in Electron Cyclotron Resonance Plasma 査読 国際誌
Y. Kouzuma, K. Teii, K. Uchino, K. Muraoka
Jpn. J. Appl. Phys. 41 ( 9 ) 5749 - 5750 2002年9月
-
Soft Ion Impact for Surface Activation during Diamond Chemical-Vapor Deposition on Diamond and Silicon 査読 国際誌
K. Teii
Phys. Rev. B 64 ( 12 ) 125327 2001年9月
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Dual-Electrode Biasing for Controlling Ion-to-Adatom Flux Ratio during Ion-Assisted Deposition of Diamond 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto
J. Appl. Phys. 89 ( 9 ) 4714 - 4718 2001年5月
-
Negative Bias Dependence of Sulfur and Fluorine Incorporation in Diamond Films Etched by an SF6 Plasma 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto
J. Electrochem. Soc. 2001年2月
-
Codeposition on Diamond Film Surface during Reactive Ion Etching in SF6 and O2 Plasmas 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto
J. Vac. Sci. Technol. 2000年11月
-
Loss Kinetics of Carbon Atoms in Low-Pressure High-Density Plasmas 査読 国際誌
H. Ito, K. Teii, H. Funakoshi, M. Hori, T. Goto, M. Ito, T. Takeo
J. Appl. Phys. 2000年10月
-
Precursors of Fluorocarbon Film Growth Studied by Mass Spectrometry 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, T. Goto, N. Ishii
J. Appl. Phys. 2000年5月
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Kinetics and Role of C, O, and OH in Low-Pressure Nanocrystalline Diamond Growth 査読 国際誌
K. Teii, H. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Goto
J. Appl. Phys. 2000年5月
-
Study on Polymeric Neutral Species in High-Density Fluorocarbon Plasmas 査読 国際誌
K. Teii, M. Hori, M. Ito, T. Goto, N. Ishii
J. Vac. Sci. Technol. 2000年1月
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Diamond Deposition and Behavior of Atomic Carbon Species in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma 査読 国際誌
H. Ito, K. Teii, M. Ishikawa, M. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Kato, T, Goto
Jpn. J. Appl. Phys. 1999年7月
-
Independent Control of Ion Energy and Flux in Plasma-Enhanced Diamond Growth 査読 国際誌
K. Teii
Appl. Phys. Lett. 1999年6月
-
Lower Pressure Limit of Diamond Growth in Inductively Coupled Plasma 査読 国際誌
K. Teii and T. Yoshida
J. Appl. Phys. 1999年2月
-
Diagnostics of the Diamond-Depositing Inductively Coupled Plasma by Electrostatic Probes and Optical Emission Spectroscopy 査読 国際誌
K. Teii
J. Vac. Sci. Technol. 1999年1月
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Structure Changes in a-C:H Films in Inductive CH4/Ar Plasma Deposition 査読 国際誌
K. Teii and T. Yoshida
Thin Solid Films 1998年11月
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ダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマのプローブ測定 査読
堤井 君元、吉田 豊信
電気学会論文誌 1998年7月
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Positive Bias Effects on the Growth of Diamond at Pressures below 100 mTorr 査読 国際誌
K. Teii and T. Yoshida
Thin Solid Films 1998年3月
書籍等出版物
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工業材料「超硬質高結晶性立方晶窒化ホウ素膜」
松本精一郎, 堤井君元（ 担当： 共著）
日刊工業新聞社 2009年1月
講演・口頭発表等
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Plasma Deposition of Boron Nitride Films and Nanodiamond-Nanowall Hybrids for Electronic and Optoelectronic Applications 招待 国際会議
@K. Teii
Diamond Jubilee Lecture on Materials for Optoelectronic Devices 2023年11月
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プラズマCVD法による高品位cBN膜の成膜技術と応用展開（招待講演） 招待
@堤井君元
表面技術協会関西支部令和4年度第2回表面物性研究会 2022年10月
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プラズマCVDでつくる高品質立方晶窒化ホウ素とその応用（招待講演） 招待
@堤井君元
第75回CVD研究会 2021年10月
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Plasma Deposition of Cubic Boron Nitride Films for Hard Coatings and Electronic Devices (INVITED) 国際会議
K. Teii, S. Matsumoto
10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2017年12月
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プラズマ技術がつくる新しい立方晶窒化ホウ素―超硬コーティングと半導体への応用―（依頼講演） 招待
堤井 君元
名古屋産業振興公社プラズマ技術産業応用センター第54回プラズマが拓くものづくり研究会（プラズマ技術講演会）「革新的プラズマコーティング技術とその産業応用」 2015年10月
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Plasma Deposition and Electrical Applications of High-Quality Cubic Boron Nitride Films (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii, S. Matsumoto
8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2013年12月
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Electron Field Emission from Semiconducting Carbon Nanowalls and Boron Nitride Films (INVITED) 国際会議
K. Teii, J. H.C. Yang, S. Matsumoto
8th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC 2013) 2013年12月
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Plasma Deposition and Applications of Cubic Boron Nitride Films (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii, J. H.C. Yang, S. Matsumoto
IUMRS-International Conference on Electronic Materials 2012 2012年9月
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立方晶窒化ホウ素膜のプラズマCVD合成と電気電子応用（依頼講演） 招待
堤井 君元
第80回表面科学研究会「窒化ホウ素：電子デバイス材料としての課題と展望」 2014年1月
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Plasma Enhanced Deposition of Cubic Boron Nitride Films under Ultralow-Energy Ion Impact: Structural Evolution and Electrical Properties (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii and S. Matsumoto
35th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2008年5月
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Synthesis and Electrical Properties of Cubic Boron Nitride Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition under Low-Energy Ion Bombardment (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii and S. Matsumoto
6th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2009年12月
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立方晶窒化ホウ素膜のプラズマCVD合成と応用 (依頼講演) 招待
堤井 君元
日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第122回定例研究会「ハードマテリアルに関する最近の動向」 2011年3月
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マイクロ波プラズマCVDによるナノウォール構造体の生成条件と電気特性に関する研究
#Sun Zewen, #大寳正太, #Nahar Arijun, @加藤喜峰, @堤井君元
電気学会誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会 2024年1月
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ダイヤモンドナノ粒子で修飾したナノウォール構造体の電界放出特性と電界分布シミュレーション
#原尻駿吾, #Huang Lei, #Nahar Arijun, @堤井君元
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月
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炭素ナノウォール構造体の電界放出特性と電界分布シミュレーション
#原尻駿吾, #Huang Lei, @堤井君元
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月
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ナノウォール構造体からの電界放出における電界シミュレーション
#原尻駿吾, #Huang Lei, @堤井君元
令和4年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 2022年11月
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電界シミュレーションを用いたナノウォール構造体の電界放出特性に関する研究
#原尻駿吾, #Huang Lei, @堤井君元
2022年度(第75回)電気・情報関係学会九州支部連合大会 2022年9月
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Control of Self-Assembly Seeding of Diamond Nanoparticles on Nanowall Structures for Enhancing Field Emission 国際会議
#L. Huang, #S. Harajiri, #R. Hijiya, @K. Teii
International Thin Film Conference (TACT) 2021 2021年11月
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Wetting Behavior of Plasma-Treated Ultrahard Boron Nitride Films 国際会議
J. H. C. Yang, @K. Teii, S. Matsumoto
International Thin Film Conference (TACT) 2021 2021年11月
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Lowering of the Substrate Bias Voltage for Formation of Cubic Boron Nitride Films in Microwave Plasma 国際会議
#H. Ikematsu, #T. Nakakuma, @K. Teii, S. Matsumoto
International Thin Film Conference (TACT) 2021 2021年11月
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Electrical Characterization of Metal Contacts to Nitrogen-Incorporated Nanowall Structures 国際会議
#Z. Sun, #M. Cho, #R. Hijiya, #L. Huang, @K. Teii
International Thin Film Conference (TACT) 2021 2021年11月
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Plasma Deposition of High-Quality Cubic Boron Nitride Films for Applications to Ultrahard Coatings and Electronic Devices (INVITED) 招待 国際会議
@K. Teii, J. H. C. Yang, S. Matsumoto
7th International Symposium on Advanced Ceramics and Technology for Sustainable Energy Applications toward a Low Carbon Society 2021年11月
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低エネルギーイオン衝撃下でのプラズマCVDを用いたエレクトロニクス材料の合成と機能物性評価（招待講演） 招待
@堤井君元
電気学会プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会第４回研究会 2021年5月
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均一なナノダイヤモンド膜形成のための基板への堆積前処理
#泥谷亮太, #黄磊, @堤井君元
日本セラミックス協会2021年年会 2021年3月
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ナノダイヤモンド膜の微細加工と電界放出特性の評価
#泥谷亮太, #太田洸輝, @堤井君元
日本セラミックス協会2021年年会 2021年3月
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表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価
#泥谷亮太, #伊藤隆太, #山本世翔, #神村勇馬, @堤井君元, 松本精一郎
電気学会誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会 2021年1月
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Field Emission Characteristics of Nanocrystalline Diamond Cones Prepared by Reactive Ion Etching in Microwave Plasma 国際会議
#R. Hijiya, #K. Ota, @K. Teii
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2019年12月
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Structure and Electrical Properties of Boron Nitride Films Deposited by Surface Wave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 国際会議
#T. Matsuura, #Y. Kamimura, #M. Torigoe, @K. Teii, S. Matsumoto
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2019年12月
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Field Emission Characteristics of Nanostructured Boron Nitride Films Deposited by Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議
#R. Ito, #R. Hijiya, #S. Yamamoto @K. Teii, S. Matsumoto
21st Cross Straits Symposium on Energy and Environmental Science and Technology 2019年11月
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Field Emission Characteristics of Metal Nanoparticle-Coated Carbon Nanostructures 国際会議
Y. Kaneko, K. Terada, @Y. Kato, @K. Teii
International Thin Film Conference (TACT) 2019 2019年11月
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Rapid Thermal Annealing on Si Film and pn-Junction Formation by Si Paste 国際会議
#H. Zhu, @Y. Kato, @K. Teii
International Thin Film Conference (TACT) 2019 2019年11月
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Impact of Low-Energy Ions on Plasma Deposition of Cubic Boron Nitride Films for Electronic Applications 国際会議
@K. Teii, S. Matsumoto
International Thin Film Conference (TACT) 2019 2019年11月
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Effect of Low-Energy Ion impact on Structure and Electrical Properties of Boron Nitride Thin Films Studied in Surface-Wave Plasma 国際会議
#M. Torigoe, #Y. Kamimura, @K. Teii, S. Matsumoto
International Thin Film Conference (TACT) 2019 2019年11月
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Effect of Low-Energy Ion Impact on the Structure of Boron Nitride Films Studied in Surface-Wave Plasma 国際会議
#Y. Kamimura, #T. Matsuura, #M. Torigoe, @K. Teii, S. Matsumoto
40th International Symposium on Dry Process 2018年11月
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表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と構造および電気特性評価
神村勇馬, 松浦貴志, 鳥越雅敬, 堤井君元, 松本精一郎
電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会 2018年10月
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Enhanced Wettability of Cubic Boron Nitride Films for Biomedical Applications 国際会議
K. Teii, S. Kawakami, S. Matsumoto
69th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 2018年9月
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フッ素支援プラズマCVD法を用いた立方晶窒化ホウ素膜の島成長と電界放出特性評価
高橋 里奈, 堤井 君元, 松本 精一郎
平成30年電気学会全国大会 2018年3月
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Decolorization and Kinetic Effect of Azo Dyes Aqueous Solution by Ozone 国際会議
R.-C. Hsiao, Z.-J. Li, C.-Y. Lai, P.-K. Tang, K.-Y. Hsiao, T.-L. Sung, S. Teii, K. Teii
10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2017年12月
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Rectification Properties of Boron Nitride Heterojunctions to Silicon 国際会議
K. Teii, M, Ishida, R. Takahashi, S. Matsumoto
11th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices 2017年12月
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Plasma Deposition of Boron Nitride Films using Low-Energy Ion Bombardment 国際会議
Y. Kamimura, M, Torigoe, K. Teii, S. Matsumoto
11th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices 2017年12月
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表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価
神村 勇馬, 鳥越 雅敬, 石田 学, 高橋 里奈, 堤井 君元, 松本 精一郎
電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会 2017年10月
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立方晶窒化ホウ素膜のプラズマ堆積に及ぼす低エネルギーイオンの影響
村田 一磨, 石田 学, 堤井 君元, 松本 精一郎
第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム 2017年1月
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エチレン(C2H4)を用いたSi(100)基板表面の炭化 招待
原崎 俊栄, 加藤 喜峰, 梶原 隆司, 田中 悟, 堤井 君元
応用物理学会九州支部学術講演会 2016年12月
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Rectification Properties of Boron Nitride/Silicon Heterostructure Diodes 国際会議
K. Teii, H. Ito, N. Katayama, S. Matsumoto
7th Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016年10月
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Role of Low-Energy Ion Impact in Plasma Deposition of Cubic Boron Nitride Films 国際会議
K. Murata, M. Torigoe, K. Teii, S. Matsumoto
7th Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2016年10月
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Plasma Deposition of Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films for High-Efficiency Field Emitters 国際会議
Y. Kaneko, K. Terada, K. Teii
9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology/28th Symposium on Plasma Science for Materials 2015年12月
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Plasma Deposition of Cubic Boron Nitride Films for High-Power Electronic Devices 国際会議
S. Fukui, M. Torigoe, K. Teii, S. Matsumoto
9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology/28th Symposium on Plasma Science for Materials 2015年12月
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Double Probe Method to Form a Simple Ozone Detector Using the Effect of Catalytic Ozone Dissociation on Metal Surface 国際会議
R. C. Hsiao, T. L. Sung, C. M. Liu, S. Teii, H.-P. Jhou, S. Ono, K. Ebihara, K. Teii
9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology/28th Symposium on Plasma Science for Materials 2015年12月
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プラズマ曝露処理による親水性硬質コーティングの作製
J. Yang, 金子 祐太, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2015年10月
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Plasma-Enhanced Deposition of Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films for Field Emitters 国際会議
K. Teii, Y. Kaneko, K. Terada, A.T.H. Chuang
68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing 2015年10月
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Effect of Low-Energy Ions on Plasma-Enhanced Deposition of Cubic Boron Nitride 国際会議
M. Torigoe, S. Fukui, K. Teii, S. Matsumoto
68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing 2015年10月
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立方晶窒化ホウ素のプラズマCVDに及ぼす低エネルギーイオン衝撃の影響
鳥越 雅敬, 福井 慎吾, 堤井 君元, 松本 精一郎
電気学会プラズマ研究会 2015年6月
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立方晶窒化ホウ素を用いた電界放出カソードの開発
坂井 寿光, 山本 直嗣, 大川 恭志, 堤井 君元, 船木 一幸, 森田 太智, 中島 秀紀
第58回宇宙科学技術連合講演会 2014年11月
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触媒金属含有基板上への硬質窒化ホウ素コーティング
堤井 君元, 松本 精一郎
日本鉄鋼協会第168回秋季講演大会 2014年9月
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Plasma Deposition and Applications of Nanodiamond Films (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii
2014 International Workshop on Plasma Applications in Nanocarbon Materials and Devices 2014年2月
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Electrical and Thermal Transport Properties of Nanocystal-Embedded Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 招待 国際会議
J. H.C. Yang, T. Ikeda, K. Teii
8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2013年12月
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ナノクリスタルダイヤモンド薄膜の各種オーミック電極
下田 尚考, 加藤 喜峰, 堤井 君元
SiC及び関連半導体研究第22回講演会 2013年12月
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Enhanced Wettability of Cubic Boron Nitride Films by Plasma Treatment 国際会議
J. H.C. Yang, S. Kawakami, K. Teii, S. Matsumoto
8th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC 2013) 2013年12月
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Structure and Electrical Properties of Wide-Gap Boron Nitride Films 国際会議
K. Teii, S. Kawamoto, H. Ito, S. Matsumoto
9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices 2013年12月
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Development of Next Generation Wide Band-Gap Materials for High Temperature Electronics (KEYNOTE) 国際会議
K. Teii
15th Cross Straits Symposium on Energy and Environmental Science and Technology 2013年11月
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炭素ナノウォールのプラズマCVD合成と電界放出特性評価
青木 智宏, 山口 亮太, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2013年9月
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Electron Emission Properties of Boron Nitride Layered Films on Silicon 国際会議
K. Teii, S. Kawamoto, H. Ito, S. Matsumoto
24th International Conference on Diamond and Carbon Materials 2013年9月
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Plasma Treatment of Nanocrystalline Diamond Films for Biocoating Applications 国際会議
J. H.C. Yang, K. Teii
5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2013年1月
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Plasma Deposition and Electronic Applications of Nanostructured Wide-Gap Materials
S. Kawamoto, N. Katayama, K. Teii, S. Matsumoto
2013年1月
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Mechanism of Enhanced Wettability of Nanostructured Diamond-Like Films by Plasma Treatment
J. H.C. Yang, R. Yamaguchi, K. Teii
2013年1月
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Field Emission Properties of Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films 国際会議
C.Y. Cheng, R. Yamaguchi, K. Teii
7th International Conference on Surfaces, Coatings, and Nanostructured Materials 2012年9月
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Enhanced Field Emission from Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films 国際会議
K. Teii, C.Y. Cheng, R. Yamaguchi
23rd International Conference on Diamond and Carbon Materials 2012年9月
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Electrical Characteristics of 4H-SiC/Nanocrystalline Diamond pn Junctions 国際会議
Y. Kato, M. Goto, R. Amano, N. Shimoda, K. Teii
23rd International Conference on Diamond and Carbon Materials 2012年9月
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Deposition of Thick Cubic Boron Nitride Films on Si and Cemented Carbide under Low-Energy Ion Bombardment 国際会議
J. Yang, K. Teii, S. Matsumoto
5th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2011年5月
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Synthesis and Electrical Properties of Cubic Boron Nitride Films by Low-Energy Ion-Assisted Deposition 国際会議
K. Teii and S. Matsumoto
5th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2011年5月
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Enhanced Field Emission from Nitrogen-Incorporated Carbon Nanowalls 国際会議
C.Y. Cheng, M. Nakashima, S. Shimada, K. Teii
5th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2011年5月
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Surface Modification of Nanocrystalline Diamond Films by Plasma Exposure Treatments 国際会議
J. Yang, M. Nakashima, C.-Y. Cheng, K. Teii
3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2011年3月
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ナノダイヤモンド薄膜の相制御と電気特性評価
池田 知弘, 堤井 君元
第19回ダイヤモンドシンポジウム 2005年11月
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Diamond Formation Using a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma 国際会議
H. Ito, K. Teii, M. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Goto
46th American Vacuum Society International Symposium 1999年10月
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Correlation between Gas Phase and Substrate Surface on Fabrication of Low-k Films in ECR Plasma with G4F8 and Perfluorocarbon-Replacement Gases 国際会議
M. Nakamura, K. Teii, S. Takashima, M. Hori, T. Goto, N. Ishii
53rd Annual Gaseous Electronics Conference 1999年10月
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Loss Kinetics of Carbon Atoms in Diamond Depositon Employing Low-Pressure Inductively Coupled Plasma 国際会議
H. Ito, K. Teii, H. Funakoshi, M. Hori, T. Goto, M. Ito, T. Takeo
53rd Annual Gaseous Electronics Conference 1999年10月
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低圧誘導結合型プラズマを用いたダイヤモンド薄膜の形成
堤井 君元
第3回名古屋大学VBLセミナー 1999年2月
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低圧誘導結合プラズマを用いた100mTorr以下におけるダイヤモンド成長
堤井 君元, 吉田 豊信
電気学会プラズマ研究会 1998年6月
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Positive Bias Effects on the Growth of Diamond at Pressures below 100 mTorr
K. Teii and T. Yoshida
1997年6月
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フッ素プラズマCVDを用いた高品質立方晶窒化ホウ素の合成（依頼講演） 招待
堤井 君元
日本フッ素化学会第10回フッ素化学セミナー 2016年9月
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Inductively Coupled Plasma Deposition of Diamond at Pressures below 100 mTorr 国際会議
K. Teii and T. Yoshida
13th International Symposium on Plasma Chemistry 1997年8月
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Behaviors of CFx (x=1-3) and Polymeric Species in Electron Cyclotron Resonance Fluorocarbon Plasmas 国際会議
K. Teii, M. Ito, M. Hori, T. Goto, N. Ishii
4th International Conference on Reactive Plasmas/16th Symposium on Plasma Processing 1998年10月
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Optical Diagnostics of Low-Pressure Inductively Coupled Plasma for Nanocrystalline Diamond Growth 国際会議
K. Teii, H. Ito, M. Ishikawa, M. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Kato, T. Goto
24th International Conference on Phenomena in Ionized Gases 1999年7月
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Observation of Polymeric Species Produced in High-Density Fluorocarbon Plasmas 国際会議
K. Teii, M. Ito, M. Hori, T. Goto, N. Ishii
24th International Conference on Phenomena in Ionized Gases 1999年7月
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Diagnostics of Radicals and Formation of Microcrystalline Diamond in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma (INVITED) 招待 国際会議
M. Hori, K. Teii, T. Goto
9th International Symposium on Advanced Materials 2002年3月
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Thomson Scattering Measurement of Electron Density and Temperature in a Microwave Plasma for Diamond Deposition 国際会議
S. Narishige, S. Kitamura, K. Teii, K. Uchino, K. Muraoka
54th Annual Gaseous Electronics Conference 2001年10月
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Detection of H, CH3, and Ionic Species in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma for Diamond Chemical-Vapor Deposition 国際会議
K. Teii, H. Funakoshi, S. Takashima, M. Hori, T. Goto
16th European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases/5th International Conference on Reactive Plasmas 2002年7月
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A Low-Pressure Limit of Diamond Chemical-Vapor Deposition Studied by Plasma Diagnostics 国際会議
K. Teii, M. Hori, T. Goto
3rd Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2003年12月
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Temporal Variation of Nucleation Density and Crystallinity of Diamond Prepared in Electron Cyclotron Resonance Plasma 国際会議
S. Mizobe, K. Teii, Y. Kouzuma, K. Uchino, K. Muraoka
3rd Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2003年12月
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低圧イオン支援プラズマ堆積におけるダイヤモンド核発生初期過程の制御
堤井 君元、高妻 豊、溝部 俊一、内野 喜一郎、村岡 克紀
プラズマプロセシング研究会 2004年1月
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マイクロ波CH4/H2プラズマCVDによる微結晶ダイヤモンドの合成
堤井 君元、溝部 俊一、福富 篤、高妻 豊、内野 喜一郎、村岡 克紀
応用物理学会学術講演会 2004年3月
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Phase Composition and Electrical Properties of Nanocrystalline Diamond Films Grown by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
4th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2005年12月
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Study on Surface Reaction Kinetics during Diamond Growth and Nucleation in Low-Pressure Plasmas 国際会議
K. Teii, K. Uchino, M. Hori, T. Goto
6th International Conference on Reactive Plasmas/23rd Symposium on Plasma Processing 2006年1月
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Phase Composition and Electrical Properties of Nanocrystalline Diamond Films Deposited by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
6th International Conference on Reactive Plasmas/23rd Symposium on Plasma Processing 2006年1月
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Effect of Phase Purity and Composition on Electrical Properties in Nanocrystalline Diamond Films 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
17th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides 2006年9月
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Phase Control and Electrical Properties of Undoped and Nitrogen-Doped Nanodiamond Films Deposited from Ar-Rich Microwave Plasmas 国際会議
T. Ikeda, K. Takeguchi, K. Teii
18th International Symposium on Plasma Chemistry 2007年8月
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Analyses of Fine Particle Formations by Pulsed Arc Electrohydraulic Discharges in Water with Fe and Ti Electrodes 国際会議
T. Ikeda, H. O. Li, K. Teii, J. S. Chang
18th International Symposium on Plasma Chemistry 2007年8月
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C2ラジカル 成長化学の促進による ナノダイヤモンド薄膜の相制御
池田 知弘、堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2007年9月
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ナノダイヤモンド薄膜のn 型伝導性に及ぼすsp2 アモルファスカーボン相の影響
池田 知弘、堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2007年9月
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極低イオンエネルギー照射下におけるcBN薄膜のプラズマ合成
堤井 君元、山尾 亮太、松本 精一郎
応用物理学会学術講演会 2007年9月
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Effect of sp2 Carbon Phase on Electrical Properties of Nitrogen-Doped Nanodiamond Films 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2007年9月
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Discharge Characteristics of Titanium Electrode Eccentric Pulsed Arc Electrohydraulic Discharge Reactor 国際会議
T. Ikeda, H. O. Li, K. Teii, J. S. Chang
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2007年9月
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Phase and Morphology Evolution of Cubic Boron Nitride Films Grown in a High-Density Fluorine-Containing Plasma 国際会議
K. Teii, R. Yamao, S. Matsumoto
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2007年9月
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Transition from Semiconducting to Quasimetallic Behaviour in Nitrogen-Doped Nanodiamond Films 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
18th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides 2007年9月
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Lower Threshold of Ion Energy for Growing cBN Films in a Fluorine-Containing Plasma 国際会議
K. Teii, S. Shimada, S. Matsumoto
5th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2007年12月
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超低エネルギーイオン照射を用いたナノダイヤモンド成膜のための基板前処理
堤井 君元, 松本 精一郎
プラズマプロセシング研究会 2008年1月
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ナノダイヤモンド薄膜の成長機構とｎ型伝導特性
池田 知弘, 堤井 君元
プラズマプロセシング研究会 2008年1月
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ナノダイヤモンド／シリコンヘテロ接合ダイオードの電気特性評価
池田 知弘, 堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2008年9月
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低エネルギーイオン衝撃下における立方晶窒化ホウ素の三次元島成長
堤井 君元、水迫 優晴、松本 精一郎
応用物理学会学術講演会 2008年9月
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Optimization of Electron Transport Properties for Fabrication of pn Diodes using n-Type Nanodiamond Films 国際会議
T. Ikeda and K. Teii
19th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides 2008年9月
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ナノダイヤモンド膜の形成機構と電気伝導特性
池田 知弘, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2008年10月
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異方性ナノカーボン膜のプラズマCVD法による合成と電気特性評価
嶋田 翔三郎, 中島 誠宏, 池田 知弘, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2008年12月
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ｎ型ナノダイヤモンド膜の形成と電気特性評価
池田 知弘, 堤井 君元
プラズマ科学シンポジウム／プラズマプロセシング研究会 2009年2月
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マイクロ波C2リッチプラズマを用いたナノカーボン膜の合成
嶋田 翔三郎, 中島 誠宏, 堤井 君元
電気学会全国大会 2009年3月
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プラズマCVD法により形成したナノカーボン膜の電気特性の評価
嶋田 翔三郎, 中島 誠宏, 池田 知弘, 堤井 君元
電気学会全国大会 2009年3月
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異方性ナノカーボン膜のプラズマCVD法による合成と電界放出特性評価
中島 誠宏, 嶋田 翔三郎, Alfred T. H. Chuang, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2009年6月
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ｎ型ナノダイヤモンド膜の形成とダイオードへの応用
古閑 彰, 池田 知弘, 堤井 君元
電気学会プラズマ・放電・パルスパワー合同研究会 2009年8月
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Effect of Low-Energy Ion Irradiation on the Growth and Properties of Cubic Boron Nitride Films 国際会議
K. Teii, R. Yamao, S. Matsumoto
15th International Symposium "Radiation Effects in Insulator" 2009年9月
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Origin of Low Threshold Field Emission from Nitrogen-Incorporated Nanodiamond Films 国際会議
K. Teii, M. Nakashima, T. Ikeda
20th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides 2009年9月
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Structural Evolution of Cubic Boron Nitride Islands in a High-Density Fluorine-Containing Plasma 国際会議
T. Hori, Y. Mizusako, R. Yamao, K. Teii, S. Matsumoto
16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams 2009年9月
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Growth and Characterization of Hard Cubic Boron Nitride Films by Plasma-Assisted Deposition using Fluorine Chemistry 国際会議
K. Teii and S. Matsumoto
16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams 2009年9月
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SiC and Nanocrystalline Diamond Coating on Si Substrates Fabricated by Microwave Plasma CVD 国際会議
Y. Kato, T. Horikawa, T. Ikeda, K. Teii
16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams 2009年9月
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Growth and Characterization of Epitaxial 3C-SiC Films by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 国際会議
A. S. M. Miah, A. Koga, K. Teii, Y. Kato
2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2010年3月
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ナノカーボン膜のプラズマ合成と電界放出特性
中島 誠宏, 嶋田 翔三郎, 堤井 君元
電気学会プラズマ研究会 2010年5月
-
マイクロ波プラズマCVD法による炭素ナノウォールの形成と電界放出機構
中島 誠宏、嶋田 翔三郎、堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2010年9月
-
ナノダイヤモンド／炭素ナノウォール複合膜のプラズマCVD合成と電界放出特性
中島 誠宏、堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2010年9月
-
プラズマ曝露による窒化ホウ素膜の表面改質
川上 真司、堤井 君元
応用物理学会学術講演会 2010年9月
-
Synthesis and Electrical Characterization of n-Type Nanocrystalline Diamond Films by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 国際会議
K. Teii and T. Ikeda
63rd Gaseous Electronics Conference/7th International Conference on Reactive Plasmas 2010年10月
-
アルミ基板上のナノダイヤモンド被膜の熱および電気伝導特性
堤井 君元、池田 知弘
軽金属学会講演大会 2010年11月
-
Thermal and Electrical Conduction Properties of Nanocrystalline Diamond/Amorphous Carbon Composite Films 国際会議
K. Teii and T. Ikeda
Materials Research Society Fall Meeting 2010年11月
-
Growth and Field Emission Properties of Boron Nitride Island Films by Low-Energy Ion-Assisted Deposition 国際会議
K. Teii, Y. Utoda, R. Yamao, S. Matsumoto
Materials Research Society Fall Meeting 2010年11月
-
Synthesis and Electrical Properties of Nanodiamond and Nanowall Films by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii
3rd International Workshop on Plasma Scientech for All Something 2011年1月
-
Synthesis and Thermal Transport Properties of Nanocrystalline Diamond/Amorphous Carbon Composite Films 国際会議
K. Teii, J. H.C. Yang, T. Ikeda
22nd European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides 2011年9月
-
Fabrication and Characterization of Si/ and SiC/Nanocrystalline Diamond pn Junctions 国際会議
M. Goto, R. Amano, Y. Kato, K. Teii
14th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2011年9月
-
Enhanced Wettability of Nanocrystalline Diamond Films for Biocoating Applications 国際会議
J. H.C. Yang and K. Teii
Materials Research Society Fall Meeting 2011年11月
-
Control of Thermal and Electrical Conduction Properties of Nanocrystalline Diamond Films 国際会議
K. Teii and T. Ikeda
Materials Research Society Fall Meeting 2011年11月
-
Field Emission from Nanocrystalline Diamond/Carbon Nanowall Composite Films Deposited on Scratched Substrates 国際会議
C.Y. Cheng, M. Nakashima, K. Teii
Materials Research Society Fall Meeting 2011年11月
-
立方晶窒化ホウ素膜のプラズマ合成と電界放出特性
堤井 君元, 中隈 俊就, 松本 精一郎
電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会 2011年12月
-
Plasma Deposition of Wide-Gap Materials for High-Temperature Condition (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii
14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics/2nd Workshop for Nagoya University-Sungkyunkwan University Joint Institute for Plasma-Nano Materials 2012年1月
-
Plasma Deposition and Electrical Characterization of Wide-Gap Materials for High-Temperature Condition (INVITED) 招待 国際会議
K. Teii
7th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2012年4月
-
Enhanced Wettability of Nanocrystalline Diamond and Boron Nitride Films for Biocoating Applications 招待 国際会議
J. H. C. Yang, S. Kawakami, K. Teii
7th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2012年4月
-
ナノダイヤモンド膜のプラズマCVD合成と電気電子応用（依頼講演） 招待
加藤 喜峰, 堤井 君元
第15回応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会新領域研究会/電気学会プラズマ研究会「ダイヤモンドおよびグラフェン関連物質のプラズマプロセシングと先進応用」 2013年11月
-
新しい立方晶窒化ホウ素が拓く産業応用：超硬コーティングとパワー半導体（依頼講演） 招待
堤井 君元
平成２７年度九州大学高等研究院・九州先端科学技術研究所研究交流会 2016年1月
MISC
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ナノダイヤモンド膜のプラズマ合成と電気・電子応用
堤井 君元
電気学会誌 Vol. 135, No. 3, 142-144頁 2015年3月
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Plasma Deposition of Diamond at Low Pressures: A Review
K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci., Vol. 42, pp. 3862-3869 2014年12月
-
Introduction to the Special Issue on the APSPT 2013
J.-S. Wu, C.-C. Hsu, J. P. Chu, K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 42, pp. 3654-3655 2014年12月
-
中間気圧マイクロ波プラズマCVDの最新動向―ダイヤモンドからナノカーボンへの展開―
堤井 君元
電気学会論文誌A, Vol. 131, No. 1, 11-15頁 2011年1月
-
Study on Polymeric Neutral Species in High-Density Fluorocarbon Plasmas
K. Teii, M. Hori, M. Ito, T. Goto, N. Ishii
J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 18, pp. 1-9 2000年1月
-
低エネルギーイオン照射下の プラズマ成膜技術
堤井 君元
プラズマ材料表面処理技術の最新動向（電気学会プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会） 2023年2月
-
Guest Editorial Introduction to the Special Issue on the 10th Asia-Pacific Symposium on Plasma Technology (APSPT 2017)
C.-C. Hsu, T.-C. Wei, Y.-H. Liao, Y. Tanaka, K. Teii
IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 47, pp. 1035-1036 2019年2月
-
Introduction to the Special Issue on The 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9), and The 28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)
H. Akatsuka, J.-S. Wu, K. Teii, K. Takaki
IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 44, pp. 3050-3051 2016年12月
-
”酸化に強い被膜法開発”
堤井 君元
日刊工業新聞平成28年10月12日号 2016年10月
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第15回プラズマ新領域研究会
堤井君元
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会会報, No. 60, 43頁 2014年6月
-
Special Issue on Basics and Applications of Plasma Technology
J.-S. Wu, K. Teii, J. P. Chu, C.-C. Hsu
IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 41, pp. 3190-3191 2013年11月
-
Special Issue on Basics and Applications of Plasma Technology
J.-S. Wu, K. Teii, J. P. Chu, C.-C. Hsu
IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 41, pp. 2574-2575 2013年9月
-
High Performance Field Emission from Carbon Nanowalls and Carbon Nanowall/Nanocrystalline Diamond Composites
K. Teii
2011年11月
-
硬質窒化ホウ素薄膜の平坦化とガラス成型用モールドへの応用
堤井君元
KITEC INFORMATION, 九州産業技術センター, No. 252, 69-74頁 2009年10月
-
立方晶窒化ホウ素厚膜ウルトラハードコーティングの実用化研究
堤井君元
KITEC INFORMATION, 九州産業技術センター, No. 250, 23-27頁 2009年4月
-
第5回APSPT開催報告
堤井君元
電気学会論文誌A, Vol. 128, No. 7, 502頁(2008) 2008年7月
産業財産権
| 特許権 | 出願件数: 11件 | 登録件数: 11件 |
| 実用新案権 | 出願件数: 0件 | 登録件数: 0件 |
| 意匠権 | 出願件数: 0件 | 登録件数: 0件 |
| 商標権 | 出願件数: 0件 | 登録件数: 0件 |
所属学協会
-
Materials Research Society
-
応用物理学会
-
電気学会
委員歴
-
電気学会放電・プラズマ・パルスパワー技術委員会 運営委員 国内
2024年4月 - 2027年3月
-
電気学会プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会 運営委員 国内
2019年1月 - 2021年12月
-
電気学会放電・プラズマ・パルスパワー技術委員会 運営委員 国内
2019年1月 - 2021年3月
-
電気学会プラズマ・パルスパワー技術委員会 運営委員 国内
2018年1月 - 2018年12月
-
電気学会プラズマ技術委員会 運営委員 国内
2014年6月 - 2017年12月
-
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 幹事 国内
2012年4月 - 2014年3月
-
電気学会基礎・材料・共通部門論文委員会（A2グループ） 運営委員 国内
2010年4月 - 現在
-
電気学会プラズマ技術委員会 運営委員 国内
2010年4月 - 2013年3月
-
電気学会基礎・材料・共通部門編修委員会 幹事 国内
2009年8月 - 2011年3月
-
電気学会プラズマ技術委員会 幹事 国内
2008年4月 - 2010年3月
-
電気学会プラズマ技術委員会 幹事補佐 国内
2005年11月 - 2008年3月
-
電気学会 活動推進員 国内
2001年4月 - 2026年3月
-
電気学会 九州支部連合大会プログラム委員 国内
2001年4月 - 2024年3月
学術貢献活動
-
学術論文等の審査
役割：査読
2023年
-
学術論文等の審査
役割：査読
2022年
-
IEEE Transactions on Plasma Science 国際学術貢献
2021年6月 - 2023年2月
-
学術論文等の審査
役割：査読
2021年
-
学術論文等の審査
役割：査読
2020年
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 金沢大学 ） 2019年12月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology （ Japan ） 2019年12月
-
IEEE Transactions on Plasma Science 国際学術貢献
2019年5月 - 2021年1月
-
学術論文等の審査
役割：査読
2019年
-
学術論文等の審査
役割：査読
2018年
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 中原大学 ） 2017年12月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology （ Taiwan ） 2017年12月
-
IEEE Transactions on Plasma Science 国際学術貢献
2017年12月 - 2018年12月
-
学術論文等の審査
役割：査読
2017年
-
International Scientific Committee 国際学術貢献
22nd International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water, Air and Soil （ Holiday Inn Atlanta UnitedStatesofAmerica ） 2016年11月
-
Organizing Committee 国際学術貢献
21st International Conference on Gas Discharges and Their Applications （ Japan ） 2016年9月
-
学術論文等の審査
役割：査読
2016年
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology/28th Symposium on Plasma Science for Materials （ Japan ） 2015年12月
-
Executive Committee 国際学術貢献
8th International Conference on Reactive Plasmas/31th Symposium on Plasma Processing （ Japan ） 2014年2月
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座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 国立交通大学 ） 2013年12月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology （ Taiwan ） 2013年12月
-
Organizing Committee 国際学術貢献
15th Cross Straits Symposium on Energy and Environmental Science and Technology （ China ） 2013年11月
-
座長（Chairmanship）
第15回応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会新領域研究会/電気学会プラズマ研究会 （ 名城大学名駅サテライト ） 2013年11月
-
組織委員
第26回プラズマ材料科学シンポジウム （ 九州大学・百年講堂 ） 2013年9月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
14th Cross Straits Symposium on Energy and Environmental Science and Technology （ Japan ） 2013年2月
-
実行委員
第30回応用物理学会プラズマプロセシング研究会 （ アクトシティ浜松・研修センター ） 2013年1月
-
座長（Chairmanship）
第30回応用物理学会プラズマプロセシング研究会 （ アクトシティ浜松 ） 2013年1月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
7th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology （ Taiwan ） 2012年4月
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 台北医科大学 ） 2012年4月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会 （ 東京工業大学 ） 2011年12月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
13th Cross Straits Symposium on Materials, Energy, and Environmental Engineering （ Japan ） 2011年11月
-
プログラム委員
平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会 （ 琉球大学 ） 2010年9月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
6th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology （ Taiwan ） 2009年12月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 東京都市大学 ） 2009年11月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 佐賀大学 ） 2009年6月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 同志社大学 ） 2008年12月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
10th Cross Straits Symposium on Materials, Energy, and Environmental Engineering （ Japan ） 2008年11月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
14th International Congress on Plasma Physics （ Japan ） 2008年9月
-
座長（Chairmanship）
応用物理学会学術講演会 （ 中部大学 ） 2008年9月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 名古屋工業大学 ） 2008年5月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 呼子ロッジ ） 2008年1月
-
International Organizing Committee 国際学術貢献
5th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology （ Taiwan ） 2007年12月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 同志社大学 ） 2007年12月
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 高雄科技大学 ） 2007年12月
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 浦項工科大学 ） 2007年11月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering （ Japan ） 2007年9月
-
座長（Chairmanship）
電気学会プラズマ研究会 （ 武蔵工業大学 ） 2006年5月
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 雲林科技大学 ） 2005年12月
-
座長（Chairmanship）
電気学会九州支部講演大会 （ 福岡工業大学 ） 2005年9月
-
Local Organizing Committee 国際学術貢献
7th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology/17th Symposium on Plasma Science for Materials （ Japan ） 2004年6月 - 2004年7月
-
座長（Chairmanship） 国際学術貢献
（ 龍華科技大学 ） 2003年12月
共同研究・競争的資金等の研究課題
-
ダイヤモンドナノ粒子で修飾したナノウォール階層構造体の作製と電界放出源への応用
2024年
資金種別：寄附金
-
電荷移動ドープ窒化ホウ素半導体を用いた表面伝導素子の開発
2023年
資金種別：寄附金
-
ナノカーボンハイブリッド電子源の開発 国際共著
2022年10月 - 2024年9月
日本学術振興会
担当区分：研究代表者
-
ナノ構造ダイヤモンドハイブリッド電子源の開発とオプトエレクトロニクス応用
2022年 - 2024年
日本学術振興会 二国間交流
担当区分：研究代表者 資金種別：共同研究
-
高品質窒化ホウ素半導体への表面ドーピング
2018年4月 - 2023年3月
日本学術振興会
担当区分：研究代表者
-
高品質窒化ホウ素半導体への表面ドーピング
研究課題/領域番号：18H01711 2018年 - 2022年
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
遷移金属上への高品質立方晶窒化ホウ素の直接コーティング
2018年
資金種別：寄附金
-
超硬合金基材への超硬質窒化ホウ素の直接コーティング
2017年
資金種別：寄附金
-
遷移金属表面の合金化による高密着性硬質窒化ホウ素コーティングの開発
2017年
資金種別：寄附金
-
遷移金属上への硬質窒化ホウ素コーティングの直接形成
2016年
資金種別：寄附金
-
高品質窒化ホウ素半導体へのin-situドーピング
2014年4月 - 2018年3月
日本学術振興会
担当区分：研究代表者
-
高品質窒化ホウ素半導体へのin-situドーピング
研究課題/領域番号：26289241 2014年 - 2017年
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
溶融半導体中パルス放電の生成と結晶成長への応用
研究課題/領域番号：26630368 2014年 - 2015年
科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
高品質窒化ホウ素半導体の電気伝導特性制御と高温高出力素子への応用
研究課題/領域番号：23360288 2011年 - 2013年
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
溶融半導体中パルス放電の生成と結晶成長への応用
研究課題/領域番号：23656467 2011年 - 2012年
科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
ナノ結晶ダイヤモンド／アモルファス炭素複合膜の熱および電気特性制御と応用
2011年
資金種別：寄附金
-
ダイヤモンドナノ粒子分散膜を用いた高温対応ヒートシンクの開発
2011年
資金種別：寄附金
-
高品質立方晶窒化ホウ素が拓く高温高出力エレクトロニクス
2010年 - 2013年
日本学術振興会 最先端・次世代研究開発支援プログラム
担当区分：研究代表者 資金種別：共同研究
-
硬質窒化ホウ素膜の表面機能制御と生体親和性評価
2010年
科学技術振興機構A-Step探索タイプ
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
海外渡航費補助
2010年
資金種別：寄附金
-
国際研究集会参加助成
2010年
資金種別：寄附金
-
海外交流補助金
2010年
資金種別：寄附金
-
高品質立方晶窒化ホウ素が拓く高温高出力エレクトロニクス
2010年
教育研究プログラム・研究拠点形成プロジェクト（Ｐ＆Ｐ）特別枠経費
担当区分：研究代表者 資金種別：学内資金・基金等
-
硬質窒化物皮膜の成膜技術確立
2009年9月 - 2012年3月
共同研究
担当区分：研究代表者 資金種別：その他産学連携による資金
-
硬質膜の緻密化に関する研究
2009年7月 - 2010年3月
共同研究
担当区分：研究代表者 資金種別：その他産学連携による資金
-
半導体素子の宇宙環境プラズマ照射への耐性評価
2009年 - 2010年
宙空環境センター共同研究費
担当区分：研究代表者 資金種別：学内資金・基金等
-
ハイス上への超硬質窒化ホウ素コーティング
2009年
資金種別：寄附金
-
立方晶窒化ホウ素コーティングを用いた難削材用ワイドユース超硬工具の開発
2008年 - 2012年
新エネルギー・産業技術総合開発機構産業技術研究助成事業（若手研究グラント）
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
ナノダイヤモンド／アモルファスカーボン複合膜の高温用ヒートシンクへの応用
2008年
科学技術振興機構シーズ発掘試験研究（A）
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
硬質窒化ホウ素薄膜の平坦化とガラス成型用モールドへの応用
2008年
九州産業技術センター九州地域戦略産業イノベーション創出事業研究開発委託事業
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
立方晶窒化ホウ素コーティングを用いた高温プレス成形用金型の開発
2008年
資金種別：寄附金
-
ワイドバンドギャップ立方晶窒化ホウ素薄膜の表面機能制御と電界放出性能評価
2008年
資金種別：寄附金
-
窒化ホウ素超硬質薄膜の表面平坦化とガラスプレス加工用モールドへの応用
2008年
資金種別：寄附金
-
ナノダイヤモンド膜を被覆した高温用アルミ製ヒートシンクの作製と性能評価
2008年
資金種別：寄附金
-
ダイヤモンドナノ粒子分散膜の熱・電気特性制御と応用
2008年
資金種別：寄附金
-
窒化ホウ素膜の電気絶縁性の探査に関する研究
2007年11月 - 2009年3月
共同研究
担当区分：研究代表者 資金種別：その他産学連携による資金
-
超低損失デバイス用ｎ型ナノダイヤモンド薄膜の粒界伝導制御と性能評価
2007年 - 2008年
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
立方晶窒化ホウ素厚膜形成法を用いたウルトラハードコーティング技術の開発
2007年 - 2008年
福岡県産業・科学技術振興財団産学官事業
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
宇宙環境プラズマ照射による高分子材料の物性変化に関する研究
2007年 - 2008年
宙空環境センター共同研究費
担当区分：研究代表者 資金種別：学内資金・基金等
-
ガラスのプレス成形金型用超硬度コーティング材の開発
2007年
福岡県産業・科学技術振興財団研究ＦＳ事業
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
立方晶窒化ホウ素厚膜ウルトラハードコーティングの実用化研究
2007年
九州産業技術センター九州地域戦略産業イノベーション創出事業研究開発委託事業
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
-
ナノ結晶ダイヤモンド／アモルファスカーボン複合化による高温用ヒートシンクの開発
2007年
資金種別：寄附金
-
ナノ結晶／アモルファス複合構造ｎ型ダイヤモンド薄膜の高性能化とデバイス応用
2007年
資金種別：寄附金
-
超低損失デバイス開発のためのナノ結晶／アモルファス複合構造ｎ型ダイヤモンド薄膜の高性能化とダイオード性能評価
2007年
資金種別：寄附金
-
ナノカーボン／窒化ホウ素へテロ構造薄膜電子エミッターの開発
2007年
資金種別：寄附金
-
立方晶窒化ホウ素厚膜形成技術を用いた難削材加工用ツールの開発
2007年
資金種別：寄附金
-
立方晶窒化ホウ素厚膜形成技術の難削材加工用ツールへの応用
2007年
資金種別：寄附金
-
ナノダイヤモンド／アモルファスカーボンハイブリッドn型半導体薄膜の相制御と電気特性評価
2006年
資金種別：寄附金
-
プラズマCVDによって得られるBN膜の電気特性の改善
2005年4月 - 2006年1月
受託研究
担当区分：研究代表者 資金種別：その他産学連携による資金
-
プラズマCVD装置にて成膜するBN膜の電気特性改善
2005年1月 - 2005年3月
受託研究
担当区分：研究代表者 資金種別：その他産学連携による資金
-
プラズマー容器壁相互作用による中性高次分子発生機構に関する研究
2005年 - 2006年
科学研究費助成事業 若手研究(B)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
半導体プロセスにおける高次分子検出用電子付着質量分析法の開発
2002年 - 2003年
科学研究費助成事業 若手研究(B)
担当区分：研究代表者 資金種別：科研費
-
高品質へテロエピタキシャルダイヤモンドの大面積堆積
2002年
科学技術振興事業団FS研究調査
担当区分：研究代表者 資金種別：受託研究
教育活動概要
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2001年3月より、大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門の教員として、教育・研究活動に従事している。主に大学院生に対する指導を行い、修士論文および博士論文作成における研究指導に尽力している。2001-2004年(前期)に、大学院向けに「電気プロセス工学基礎」と「量子プロセス理工学基礎２」を担当した。2002-2004年(後期)には、学部向けに「数学演習」を担当した。2005年(前期)は、大学院向けに「プラズマ量子工学特論」を担当し、2007-2019年度は、名称変更により「プラズマ量子工学特論」に代わり「光エレクトロニクス特論」を担当した。2005-2020年度(前期)は、大学院向けに「基礎電磁気学」を担当した。2007-2008および2010年度は、工学部機械航空工学科「一般電気工学第一（二年生、後期）」を担当した。 2011年度は、工学部機械航空工学科「電気工学基礎（二年生、後期）」を担当した。2011-2012年度は、芸術工学部環境設計学科および画像設計学科「力学基礎・同演習（一年生、前期）」を担当した。2012-2013年度は、工学部物質科学科「電気工学基礎（一年生、後期）」を担当した。2014年度は、理学部数学科「基幹物理学IB演習（一年生、後期）」を担当した。2015-2017年度は、理学部数学科「基幹物理学IB（一年生、後期）」を担当した。2015-2021年度は、工学部物質科学科「電気工学基礎（二年生、前期）」を担当した。2020年度は、理学部数学科「基幹物理学IB演習（一年生、後期）」を担当した。2020年度は、理学部数学科「基幹物理学IB演習（一年生、後期）」を担当した。2021年度は、理系ディシプリン科目「電磁気学基礎演習（一年生、秋学期）」および「熱力学基礎演習（一年生、冬学期）」を担当した。2021年度からは、大学院向けに「電子デバイス基礎」を担当している。2023年度からは、工学部融合基礎工学科「機械電気科学実験I（三年生、春学期）」および「電気エネルギー工学（三年生、夏学期）」を担当している。2024年度からは、工学部融合基礎工学科「半導体・デバイス工学B（四年生、夏学期）」を担当している。
担当授業科目
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半導体・デバイス工学B
2024年6月 - 2024年8月 夏学期
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電気エネルギー工学
2024年6月 - 2024年8月 夏学期
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機械電気科学実験I
2024年4月 - 2024年6月 春学期
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電子デバイス基礎
2024年4月 - 2024年6月 春学期
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電気エネルギー工学
2023年6月 - 2023年8月 夏学期
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機械電気科学実験I
2023年4月 - 2023年6月 春学期
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電子デバイス基礎
2023年4月 - 2023年6月 春学期
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電子デバイス基礎
2022年4月 - 2022年6月 春学期
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熱力学基礎演習
2021年12月 - 2022年2月 冬学期
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電磁気学基礎演習
2021年10月 - 2021年12月 秋学期
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電気工学基礎
2021年4月 - 2021年9月 前期
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電子デバイス基礎
2021年4月 - 2021年6月 春学期
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基幹物理学ⅠＢ演習
2020年10月 - 2021年3月 後期
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電気工学基礎
2020年4月 - 2020年9月 前期
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光エレクトロニクス特論
2019年10月 - 2020年3月 後期
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電気工学基礎
2019年4月 - 2019年9月 前期
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基礎電磁気学
2018年4月 - 2018年9月 前期
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電気工学基礎
2018年4月 - 2018年9月 前期
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電気工学基礎
2018年4月 - 2018年9月 前期
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基礎電磁気学
2018年4月 - 2018年6月 春学期
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基幹物理学ⅠB
2017年10月 - 2018年3月 後期
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基幹物理学IB
2017年10月 - 2018年3月 後期
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光エレクトロニクス特論
2017年10月 - 2018年3月 後期
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基礎電磁気学
2017年4月 - 2017年9月 前期
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電気工学基礎
2017年4月 - 2017年9月 前期
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一般電気工学第一
2017年4月 - 2017年9月 前期
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電気工学大意第一
2017年4月 - 2017年9月 前期
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電気工学基礎
2017年4月 - 2017年9月 前期
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基礎電磁気学
2017年4月 - 2017年6月 春学期
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基幹物理学IB
2016年10月 - 2017年3月 後期
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電気工学基礎
2016年4月 - 2016年9月 前期
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基礎電磁気学
2016年4月 - 2016年9月 前期
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光エレクトロニクス特論
2015年10月 - 2016年3月 後期
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基幹物理学IB
2015年10月 - 2016年3月 後期
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電気工学基礎
2015年4月 - 2015年9月 前期
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基礎電磁気学
2015年4月 - 2015年9月 前期
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基幹物理学IB演習
2014年10月 - 2015年3月 後期
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基礎電磁気学
2014年4月 - 2014年9月 前期
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電気工学基礎
2013年10月 - 2014年3月 後期
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基礎電磁気学
2013年4月 - 2013年9月 前期
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力学基礎・同演習
2013年4月 - 2013年9月 前期
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光エレクトロニクス特論
2013年4月 - 2013年9月 前期
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電気工学基礎
2012年10月 - 2013年3月 後期
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基礎電磁気学
2012年4月 - 2012年9月 前期
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力学基礎・同演習
2012年4月 - 2012年9月 前期
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電気工学基礎
2011年10月 - 2012年3月 後期
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光エレクトロニクス特論
2011年4月 - 2011年9月 前期
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力学基礎・同演習
2011年4月 - 2011年9月 前期
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基礎電磁気学
2011年4月 - 2011年9月 前期
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一般電気工学第一
2010年10月 - 2011年3月 後期
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基礎電磁気学
2010年4月 - 2010年9月 前期
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基礎電磁気学
2009年4月 - 2009年9月 前期
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光エレクトロニクス特論
2009年4月 - 2009年9月 前期
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一般電気工学第一
2008年10月 - 2009年3月 後期
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基礎電磁気学
2008年4月 - 2008年9月 前期
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一般電気工学第一
2007年10月 - 2008年3月 後期
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光エレクトロニクス特論
2007年4月 - 2007年9月 前期
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基礎電磁気学
2007年4月 - 2007年9月 前期
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基礎電磁気学
2006年4月 - 2006年9月 前期
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基礎電磁気学
2005年4月 - 2005年9月 前期
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プラズマ量子工学特論
2005年4月 - 2005年9月 前期
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量子プロセス理工学基礎２
2004年4月 - 2004年9月 前期
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電気プロセス工学基礎
2004年4月 - 2004年9月 前期
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量子プロセス理工学基礎２
2003年4月 - 2003年9月 前期
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電気プロセス工学基礎
2003年4月 - 2003年9月 前期
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数学演習
2002年10月 - 2003年3月 後期
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量子プロセス理工学基礎２
2002年4月 - 2002年9月 前期
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電気プロセス工学基礎
2002年4月 - 2002年9月 前期
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量子プロセス理工学基礎２
2001年4月 - 2001年9月 前期
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電気プロセス工学基礎
2001年4月 - 2001年9月 前期
FD参加状況
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2005年5月 役割：参加 名称：e-learningについて
主催組織：全学
その他教育活動及び特記事項
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2024年 クラス担任 学部
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2023年 クラス担任 学部
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2023年 クラス担任 学部
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2023年 その他特記事項 インターンシップの受け入れ（高等専門学校専攻科1名）
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2022年 クラス担任 学部
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2022年 クラス担任 学部
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2021年 その他特記事項 インターンシップの受け入れ（高等専門学校専攻科1名）
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2017年 その他特記事項 インターンシップの受け入れ（高等専門学校専攻科2名）
社会貢献活動
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九州大学2017年度総理工セミナー「物質材料研究の最前線」／口頭発表
九州大学大学院総合理工学府 九州大学筑紫地区 2018年2月
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FIRSTシンポジウム「科学技術が拓く2030 年」／ポスター発表
FIRSTプログラム公開活動実行委員会（株式会社早稲田総研イニシアティブ） ベルサール新宿グランド 2014年3月
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九州大学高等研究院若手研究者交流セミナー／口頭発表
九州大学高等研究院 九州大学筑紫地区 2013年1月
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平成２４年度九州大学大学院総合理工学府公開講座／講師
九州大学大学院総合理工学府 九州大学筑紫地区 2012年8月
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Joint public symposium of Scientific Research on Innovative Areas “Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces”, Funding Program for Next Generation World-Leading Researchers and Center of Plasma Nano-interface Engineering (CPNE), Kyushu University／招待講演
名古屋大学, 九州大学, 韓国Sungkyunkwan University 九州大学箱崎地区 2012年1月
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平成２２年度九州大学大学院総合理工学府セミナー／ポスター発表
九州大学大学院総合理工学府 九州大学筑紫地区 2010年12月
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平成１４年度九州大学産学連携センター第89回KASTECセミナー／講師
九州大学産学連携センター 九州大学筑紫地区 2003年1月
メディア報道
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九大、地上で2番目に硬い「立方晶窒化ホウ素」を改質して生体適合性を向上
マイナビニュース 2020年10月
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ニューリーダーからの１冊
みらいぶプラス（河合塾） 2017年2月
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九大、酸化に強い被膜法を開発 新聞・雑誌
日刊工業新聞 2016年10月
政策形成、学術振興等への寄与活動
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2021年6月 - 2023年2月 IEEE
IEEE Transactions on Plasma Science, Guest Editor
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2019年5月 - 2021年1月 IEEE
IEEE Transactions on Plasma Science, Guest Editor
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2017年12月 - 2019年2月 IEEE
IEEE Transactions on Plasma Science, Guest Editor
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2012年8月 - 2019年3月 文部科学省 科学技術政策研究所 科学技術動向研究センター
専門調査員
外国人研究者等の受け入れ状況
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Atomic Energy Comission
受入れ期間： 2021年10月 - 2022年9月 （期間）：1ヶ月以上
国籍：バングラデシュ人民共和国
専業主体：文部科学省
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湘潭大学
受入れ期間： 2019年10月 - 2020年3月 （期間）：1ヶ月以上
国籍：中華人民共和国
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National Taiwan University
受入れ期間： 2010年10月 - 2011年3月 （期間）：1ヶ月以上
国籍：台湾
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National Taiwan University
受入れ期間： 2009年9月 - 2010年2月 （期間）：1ヶ月以上
国籍：台湾
専業主体：学内資金
海外渡航歴
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2007年3月
滞在国名1：台湾 滞在機関名1：龍華科技大学
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2006年6月 - 2007年3月
滞在国名1：グレートブリテン・北アイルランド連合王国(英国) 滞在機関名1：ケンブリッジ大学
学内運営に関わる各種委員・役職等
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2024年4月 - 2025年3月 専攻 副教務委員
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2023年4月 - 2025年3月 学科 教務委員
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2022年4月 - 2025年3月 学科 工学部融合基礎工学科機電コース担任
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2022年4月 - 2024年3月 学科 工学部同窓会評議委員
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2022年4月 - 2023年9月 学科 工学部Ⅲ群（S1-19）クラス担任
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2021年4月 - 2025年3月 学府 放射線安全委員
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2020年4月 - 2022年3月 専攻 ホームページ委員
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2020年4月 - 2021年3月 学科 広報委員
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2019年4月 - 2021年3月 専攻 海外連携委員会WG委員
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2019年4月 - 2021年3月 全学 附属図書館電子ジャーナル等検討専門委員
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2018年4月 - 2020年3月 専攻 集計委員
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2017年4月 - 2019年3月 全学 入学者選抜研究委員
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2016年4月 - 2018年3月 専攻 TA担当委員
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2016年4月 - 2018年3月 専攻 修士中間発表/修士論文発表会委員
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2014年4月 - 2016年3月 専攻 オープンキャンパス専門委員
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2012年10月 - 2019年3月 全学 グリーンアジア国際戦略プログラム（博士課程教育リーディングプログラム）担当者
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2011年4月 - 2014年3月 専攻 海外連携委員会WG委員
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2009年4月 - 2011年3月 全学 超伝導科学研究センター運営委員
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2009年4月 - 2011年3月 専攻 オープンキャンパス専門委員
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2009年4月 - 2010年3月 専攻 集計委員
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2008年4月 - 2012年3月 全学 総合研究博物館運営委員
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2007年4月 - 2009年3月 専攻 海外連携委員会WG委員
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2007年4月 - 2008年3月 専攻 修士中間発表/修士論文発表会委員
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2004年4月 - 2006年6月 専攻 安全委員
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2004年4月 - 2006年3月 専攻 図書委員
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2004年4月 - 2006年3月 専攻 副学務委員
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2004年4月 - 2005年3月 専攻 海外連携委員会WG委員
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2003年4月 - 2004年3月 専攻 広報委員
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2002年4月 - 2003年3月 専攻 図書委員代理
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2001年4月 - 2002年3月 専攻 レクリエーション委員