2024/08/09 更新

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ミヤムラ ヨシジ
宮村 佳児
MIYAMURA YOSHIJI
所属
応用力学研究所 新エネルギー力学部門 学術研究員
職名
学術研究員
外部リンク

学位

  • 博士(工学)

経歴

  • 1988-2010 : SUMCO TECHXIV (株) 2010-2015 : 物質・材料研究機構

    1988-2010 : SUMCO TECHXIV (株) 2010-2015 : 物質・材料研究機構

研究テーマ・研究キーワード

  • 研究テーマ:シリコン結晶評価

    研究キーワード:シリコン

    研究期間: 2015年4月

論文

  • Do thermal donors reduce the lifetimes of Czochralski-grown silicon crystals? 査読 国際誌

    Miyamura, Y.; Harada, H.; Nakano, S.; Nishizawa, S.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   489   1 - 4   2018年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2018.02.034

  • Relationship between carbon concentration and carrier lifetime in CZ-Si crystals 招待 査読 国際誌

    Miyamura, Y.; Harada, H.; Nakano, S.; Nishizawa, S.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   486   56 - 59   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2018.01.020

  • Advantage in solar cell efficiency of high-quality seed cast mono Si ingot 招待 査読 国際誌

    Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Jiptner, Karolin; Nakano, Satoshi; Gao, Bing; Kakimoto, Koichi; Nakamura, Kyotaro; Ohshita, Yoshio; Ogura, Atsushi; Sugawara, Shin; Sekiguchi, Takashi

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   8 ( 6 )   0623021   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.8.062301

  • Carbon monoxide concentrations in a Czochralski growth furnace 招待 査読 国際誌

    #Y. Miyamura, #H. Harada , #S. Nakano , #S. Nishizawa , #K. Kakimoto

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   558   2021年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2020.126015

  • In-situ measurement of CO gas concentration in a Czochralski furnace of silicon crystals 査読 国際誌

    Miyamura, Y.; Harada, H.; Liu, X.; Nakano, S.; Nishizawa, S.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   507   154 - 156   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2018.11.017

  • Numerical analyses and experimental validations on transport and control of carbon in Czochralski silicon crystal growth 招待 査読 国際誌

    Xin Liu, Hirofumi Harada, Yoshiji Miyamura, Xue feng Han, Satoshi Nakano, Shinichi Nishizawa, Koichi Kakimoto

    Journal of Crystal Growth   499   8 - 12   2018年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2018.07.020

  • Determination of C concentration in P-doped n-type Czochralski-grown Si crystals by liquid N temperature photoluminescence after electron irradiation 招待 査読 国際誌

    Ishikawa, Yoichiro; Tajima, Michio; Kiuchi, Hirotatsu; Ogura, Atsushi; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Kakimoto, Koichi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 ( 8 )   2018年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.08RB06

  • Relationship between Dislocation Density and Oxygen Concentration in Silicon Crystals during Directional Solidification 招待 査読 国際誌

    Ide, Tomoro; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Imai, Masato; Nakano, Satoshi; Kakimoto, Koichi

    CRYSTALS   8 ( 6 )   2018年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/cryst8060244

  • 3D Global Heat Transfer Model on Floating Zone for Silicon Single Crystal Growth 招待 査読 国際誌

    Han, Xue-Feng; Liu, Xin; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Kakimoto, Koichi

    CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY   53 ( 5 )   2018年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/crat.201700246

  • Effect of oxygen on dislocation multiplication in silicon crystals 招待 査読 国際誌

    Fukushima, Wataru; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Imai, Masato; Nakano, Satoshi; Kakimoto, Koichi

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   486   45 - 49   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2017.12.030

  • 3D numerical simulation of free surface shape during the crystal growth of floating zone (FZ) silicon 招待 査読 国際誌

    Han, Xue-Feng; Liu, Xin; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Kakimoto, Koichi

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   483   269 - 274   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2017.12.012

  • Three-dimensional analysis of dislocation multiplication during thermal process of grown silicon with different orientations 招待 査読 国際誌

    Gao, B.; Nakano, S.; Harada, H.; Miyamura, Y.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   474   121 - 129   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2016.12.059

  • Numerical analysis of the relation between dislocation density and residual strain in silicon ingots used in solar cells 招待 査読 国際誌

    Nakano, S.; Gao, B.; Jiptner, K.; Harada, H.; Miyamura, Y.; Sekiguchi, T.; Fukuzawa, M.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   474   130 - 134   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2016.12.007

  • Silicon bulk growth for solar cells: Science and technology 招待 査読 国際誌

    Kakimoto, Koichi; Gao, Bing; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56 ( 2 )   2017年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.020101

  • Dislocation behavior in seed-cast grown Si ingots based on crystallographic orientation 招待 査読 国際誌

    Jiptner, Karolin; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Gao, Bing; Kakimoto, Koichi; Sekiguchi, Takashi

    PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS   24 ( 12 )   1513 - 1522   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pip.2708

  • Statistical Consideration of Grain Growth Mechanism of Multicrystalline Si by One-Directional Solidification Technique 査読 国際誌

    Takashi Sekiguchi, Ronit R. Prakash, Karolin Jiptner, Xian Jia Luo, Jun Chen, Yoshiji Miyamura, Hirofumi Harada

    Solid State Phenomena   242   35 - 40   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.242.35

  • Orientation Dependency of Dislocation Generation in Si Growth Process 査読 国際誌

    Karolin Jiptner, Yoshiji Miyamura, Bing Gao, Hirofumi Harada, Koichi Kakimoto, Takashi Sekiguchi

    Solid State Phenomena   242   15 - 20   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.242.15

  • 50 cm Size Seed Cast Si Ingot Growth and its Characterization 査読 国際誌

    T. Sekiguchi, Y. Miyamura, H. Harada, K. Jiptner, J. Chen, R. R. Prakash, S. Nakano, B. Gao, K. Kakimoto

    Solid State Phenomena   242   30 - 34   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.242.30

  • Single-Seed Casting Large-Size Monocrystalline Silicon for High-Effi ciency and Low-Cost Solar Cells 招待 査読 国際誌

    Gao, Bing; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Sekiguchi, Takashi; Kakimoto, Koichi

    ENGINEERING   1 ( 3 )   378 - 383   2015年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.15302/J-ENG-2015032

  • Control of extended defects in cast and seed cast Si ingots for photovoltaic application 査読 国際誌

    T. Sekiguchi, K. Jiptner, Ronit R. Prakash, J. Chen, Y. Miyamura, H. Harada, S. Nakano, B. Gao, and K. Kakimoto

    Phys. Status Solidi   C12 ( 8 )   1094 - 1198   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssc.201400230

  • Control of extended defects in cast multicrystalline silicon using polycrystalline template 招待 査読 国際誌

    R. R. Prakash, K. Jiptner, J. Chen, Y. Miyamura, H. Harada, T. Sekiguchi

    Phys. Status Solidi   C12 ( 8 )   1099 - 1102   2015年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssc.201400299

  • Applicability of the three-dimensional Alexander-Haasen model for the analysis of dislocation distributions in single-crystal silicon 招待 査読 国際誌

    Gao, B.; Jiptner, K.; Nakano, S.; Harada, H.; Miyamura, Y.; Sekiguchi, T.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   411   49 - 55   2015年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.11.011

  • Grain boundary interactions in multicrystalline silicon grown from small randomly oriented seeds 査読 国際誌

    R. R. Prakash, K. Jiptner, J. Chen, Y. Miyamura, H. Harada and T. Sekiguchi

    Applied Physics Express   8 ( 3 )   035502   2015年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.8.035502

  • Thermal stress induced dislocation distribution in directional solidification of Si for PV application 招待 査読 国際誌

    Jiptner, Karolin; Gao, Bing; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Fukuzawa, Masayuki; Kakimoto, Koichi; Sekiguchi, Takashi

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   408   19 - 24   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.09.017

  • Crystal growth of 50 cm square mono-like Si by directional solidification and its characterization 招待 査読 国際誌

    Miyamura, Y.; Harada, H.; Jiptner, K.; Chen, J.; Prakash, R. R.; Nakano, S.; Gao, B.; Kakimoto, K.; Sekiguchi, T.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   401   133 - 136   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.03.016

  • Grain growth of cast-multicrystalline silicon grown from small randomly oriented seed crystal 招待 査読 国際誌

    R. R. Prakash, T. Sekiguchi, K. Jiptner, Y. Miyamura, J. Chen, H. Harada, K. Kakimoto

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   401   717 - 719   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.01.067

  • Focused Ion Beam Imaging of Defects in Multicrystalline Si for Photovoltaic Application 査読 国際誌

    Y. Miyamura, T. Sekiguchi, J. Chen, J.Y. Li, K. Watanabe, K. Kumagai, A. Ogura

    ACTA PHYSICA POLONICA A   125   991   2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.12693/APhysPolA.125.991

  • Dislocation Generation and Propagation across the Seed in Seed Cast-Si Ingots 査読 国際誌

    26. Y. Miyamura, J. Chen, R.R. Prakash, K. Jiptner, H. Harada, T. Sekiguchi

    ACTA PHYSICA POLONICA A   125   1024   2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.12693/APhysPolA.125.1024

  • 10 cm diameter mono cast Si growth and its characterization 招待 査読 国際誌

    Miyamura, Y.; Harada, H.; Jiptner, K.; Chen, J.; Prakash, R. R.; Li, J. Y.; Sekiguchi, T.; Kojima, T.; Ohshita, Y.; Ogura, A.; Fukuzawa, M.; Nakano, S.; Gao, B.; Kakimoto, K.

    Solid State Phenomena   205-206   89 - 93   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.205-206.89

  • Analysis of inhomogeneous dislocation distribution in multicrystalline Si 査読 国際誌

    J. Chen, R. R. Prakash, J. Y. Li, K. Jiptner, Y. Miyamura, H. Harada, A. Ogura and T. Sekiguchi

    Solid State Phenomena   205-206   77 - 82   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.205-206.77

  • Characterization of residual strain in Si ingots grown by the seed-cast method 査読 国際誌

    K. Jiptner, M. Fukuzawa, Y. Miyamura, H. Harada, K. Kakimoto and T. Sekiguchi

    Solid State Phenomena   205-206   94 - 99   2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.205-206.94

  • Butterfly-shaped distribution of SiNx precipitates in multi-crystalline Si for solar cells 招待 査読 国際誌

    Li, Jianyong; Prakash, Ronit Roneel; Jiptner, Karolin; Chen, Jun; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Kakimoto, Koichi; Ogura, Atsushi; Sekiguchi, Takashi

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   377   37 - 42   2013年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2013.03.051

  • Effect of Cooling Rate on the Activation of Slip Systems in Seed Cast-Grown Monocrystalline Silicon in the [001] and [111] Directions 招待 査読 国際誌

    Gao, B.; Nakano, S.; Harada, H.; Miyamura, Y.; Kakimoto, K.

    CRYSTAL GROWTH & DESIGN   13 ( 6 )   2661 - 2669   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/cg400428z

  • Numerical Analysis of the Dislocation Density in Multicrystalline Silicon for Solar Cells by the Vertical Bridgman Process 招待 査読 国際誌

    Inoue, Makoto; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Gao, Bing; Kangawa, Yoshihiro; Kakimoto, Koichi

    INTERNATIONAL JOURNAL OF PHOTOENERGY   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1155/2013/706923

  • Effect of crystallinity on residual strain distribution in cast-grown Si 査読 国際誌

    K. Jiptner, M. Fukuzawa, Y. Miyamura, H. Harada, T. Sekiguchi

    Jpn. J. Appl. Phys.   52   065501   2013年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.065501

  • Dislocation Analysis of a New Method for Growing Large-Size Crystals of Monocrystalline Silicon Using a Seed Casting Technique 招待 査読 国際誌

    Gao, Bing; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Sekiguchi, Takashi; Kakimoto, Koichi

    CRYSTAL GROWTH & DESIGN   12 ( 12 )   6144 - 6150   2012年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/cg301274d

  • Evaluation of residual strain in directional solidified mono-Si ingots 招待 査読 国際誌

    Jiptner, Karolin; Fukuzawa, Masayuki; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Kakimoto, Koichi; Sekiguchi, Takashi

    PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 10, NO 1   10 ( 1 )   141 - 145   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssc.201200884

  • Anisotropic Thermal Stress Simulation with Complex Crystal-Melt Interface Evolution for Seeded Growth of Monocrystalline Silicon 招待 査読 国際誌

    Gao, Bing; Nakano, Satoshi; Harada, Hirofumi; Miyamura, Yoshiji; Sekiguchi, Takashi; Kakimoto, Koichi

    CRYSTAL GROWTH & DESIGN   12 ( 11 )   5708 - 5714   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/cg301225w

  • Reduction of polycrystalline grains region near the crucible wall during seeded growth of monocrystalline silicon in a unidirectional solidification furnace 招待 査読 国際誌

    Gao, B.; Nakano, S.; Harada, H.; Miyamura, Y.; Sekiguchi, T.; Kakimoto, K.

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   352 ( 1 )   47 - 52   2012年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2011.11.084

  • Evaluation of Silicon Substrates Fabricated by Seeding Cast Technique 招待 査読 国際誌

    Tachibana, T.; Sameshima, T.; Kojima, T.; Arafune, K.; Kakimoto, K.; Miyamura, Y.; Harada, H.; Sekiguchi, T.; Ohshita, Y.; Ogura, A.

    Mater Sci Forum   725   133 - 136   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.133

  • Structural Study of Small Angle Grain Boundaries in Multicrystalline Si 査読 国際誌

    Y. Miyamura, H. Harada, S. Ito, J. Chen, T. Sekiguchi

    Mater Sci Forum   725   157 - 160   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.157

  • Effect of Si3N4 Coating on Strain and Fracture of Si Ingots 査読 国際誌

    K. Jiptner, H. Harada, Y. Miyamura, M. Fukuzawa, T. Sekiguchi

    Mater Sci Forum   725   247 - 250   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.247

  • Evaluation of defects generation in crystalline silicon ingot grown by cast technique with seed crystal for solar cells 招待 査読 国際誌

    Tachibana, Tomihisa; Sameshima, Takashi; Kojima, Takuto; Arafune, Koji; Kakimoto, Koichi; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Sekiguchi, Takashi; Ohshita, Yoshio; Ogura, Atsushi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   111 ( 7 )   074505   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3700250

  • Impact of Light-Element Impurities on Crystalline Defect Generation in Silicon Wafer 招待 査読 国際誌

    Tachibana, Tomihisa; Sameshima, Takashi; Kojima, Takuto; Arafune, Koji; Kakimoto, Koichi; Miyamura, Yoshiji; Harada, Hirofumi; Sekiguchi, Takashi; Ohshita, Yoshio; Ogura, Atsushi

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 2 )   2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.02BP08

  • Analytical Model for Epitaxial Growth of SiGe from SiH4 and GeH4 in Reduced-Pressure Chemical Vapor Deposition 招待 査読 国際誌

    Imai, Masato; Miyamura, Yoshiji; Murata, Daisuke; Kanda, Takahiro

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   47 ( 12 )   8733 - 8738   2008年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.47.8733

  • Lattice relaxation and dislocation generation/annihilation in SiGe-on-insulator layers during Ge condensation process 招待 査読 国際誌

    Tezuka, Tsutomu; Moriyama, Yoshihiko; Nakaharai, Shu; Sugiyama, Naoharu; Hirashita, Norio; Toyoda, Eiji; Miyamura, Yoshiji; Takagi, Shin-ichi

    IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2004, TECHNICAL DIGEST   508 ( 1-2 )   251 - 255   2006年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2005.07.319

  • Performance enhancement of partially and fully depleted strained-SOI MOSFETs 招待 査読 国際誌

    Numata, T; Irisawa, T; Tezuka, T; Koga, J; Hirashita, N; Usuda, K; Toyoda, E; Miyamura, Y; Tanabe, A; Sugiyama, N; Takagi, S

    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES   53 ( 5 )   1030 - 1038   2006年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TED.2006.871871

  • Characterization of SiGe layer on insulator by in-plane diffraction method 招待 査読 国際誌

    Imai, M; Miyamura, Y; Murata, D; Ogi, A

    Solid State Phenomena   108-109   451 - 456   2005年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Oxygen concentration in the top silicon layer of silicon-on-insulator materials formed by low-dose implantation of oxygen 招待 査読 国際誌

    Saito, M; Jablonski, J; Katayama, T; Miyamura, Y; Ikegaya, K; Imai, M

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS   35 ( 3B )   L359 - L361   1996年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effect of Fe impurities on the generation of process-induced microdefects in Czochralski silicon crystals 招待 査読 国際誌

    Jablonski, J; Saito, M; Miyamura, Y; Imai, M

    1997 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE PROCEEDINGS   35 ( 2A )   520 - 525   1996年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Investigations on high-temperature thermal oxidation process at top and bottom interfaces of top silicon of SIMOX wafers 招待 査読 国際誌

    Nakashima, S; Katayama, T; Miyamura, Y; Matsuzaki, A; Kataoka, M; Ebi, D; Imai, M; Izumi, K; Ohwada, N

    JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY   143 ( 1 )   244 - 251   1996年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • GETTERING OF CU AND NI IMPURITIES IN SIMOX WAFERS 招待 査読 国際誌

    JABLONSKI, J; MIYAMURA, Y; IMAI, M; TSUYA, H

    JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY   142 ( 6 )   2059 - 2066   1995年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • TEMPERATURE-DEPENDENT ELECTRON-BEAM INDUCED CURRENT STUDY OF DEFECTS IN SILICON 招待 査読 国際誌

    SEKIGUCHI, T; KUSANAGI, S; MIYAMURA, Y; SUMINO, K

    ACTA PHYSICA POLONICA A   83 ( 1 )   71 - 79   1993年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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