九州大学-研究者情報 [板垣奈穂 (教授) システム情報科学研究院 I&Eビジョナリー特別部門]

板垣奈穂（いたがきなほ）

データ更新日：2024.04.25

教授　／　システム情報科学研究院 I&Eビジョナリー特別部門

総説, 論評, 解説, 書評, 報告書等

1.	板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, スパッタリング成膜法による高品質酸化亜鉛薄膜の形成, 応用物理, 2014.05, [URL], スパッタリング法を用いた酸化亜鉛（ZnO）薄膜の結晶成長において，初期核形成を制御する新しい方法「不純物添加結晶化（Impurity Mediated Crystallization: IMC）法」を開発した．本手法により，高格子不整合基板上への原子レベルで平坦なZnO単結晶膜の作製や，ガラス基板上への極薄低抵抗ZnO導電膜の形成が可能となった．本稿では，IMC法について紹介するとともに，これら成果の概要を述べる．.

pure2017年10月2日から、「九州大学研究者情報」を補完するデータベースとして、Elsevier社の「Pure」による研究業績の公開を開始しました。

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